JPH02246116A

JPH02246116A - キャリア乾燥装置

Info

Publication number: JPH02246116A
Application number: JP6710289A
Authority: JP
Inventors: Hisao Yonetsuka; 米塚　寿生; Hiroaki Sonoda; 園田　浩明; Nobuo Fujie; 藤江　信夫
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1989-03-17
Filing date: 1989-03-17
Publication date: 1990-10-01
Anticipated expiration: 2012-12-08
Also published as: JP2686132B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（概要〕洗浄したキャリヤを乾燥させる装置に関し、清浄度の向
上及び乾燥効率の向上を可能とすることを目的とし、洗浄済であり水滴が付着しているキャリヤが搬送されて
きて所定位置にセットされたときに上記キャリヤの底面
開口を通って上記製ヤリャの内部に進入するように配設
された内側ノズルと、上記所定位置にセットされた上記
キャリヤの外側面に対向するように配設された外側ノズ
ルと、上記内側ノズル及び外側ノズルを水平方向に繰り
返し往復移動させると共に垂直方向に移動させるノズル
移動機構とよりなり、上記各ノズルより噴射された気体
流が上記キャリヤの内側面及び外側面を走査し上記キャ
リヤに付着している水滴を吹き飛ばして除去するよう構
成する。

（産業上の利用分野〕本発明は洗浄したキャリヤを乾燥させる装置に関する。

つＩハ処理においては、ウェハの各工程間の搬送を行う
ために、複数枚のつＩハを面対向させて収納する容器で
あるキャリヤが使用される。

つＩへ表面を汚染しないように、キャリヤは使用時には
清浄であることが必要ある。従って使用後、キャリヤは
水洗されて清浄な状態とされ、その後乾燥した後、スト
ッカに収容されて次の使用に供される。

ここで、水滴が・一部付着していつまでも残るとこれが
汚れの原因となるため、まず水滴の除去が完全である必
要がある。

また、使用済キャリヤの数は多く、これらについて一つ
ずつ洗浄と乾燥を順次行うため、作業能率上乾燥は短時
間で完了することが望ましい。

（従来の技術〕第４図は従来例を示す。

従来はプロワ−１，２からの温風を矢印で示すように洗
浄済のキャリヤ３に当てて乾燥させていた。キャリヤ３
は合成樹脂製であり、水分が浸透する。

キャリヤ３のウェハを二点！ｌ１ｉｌで示すように支持
するための満４は、幅Ｗが２〜３ｍと狭く、深さｄが５
ｍと深いものであり、水切れが良くなく、満４の奥に水
滴が残り易い。

（発明が解決しようとする課題〕プロワ−１，２からの温風を当てるだけでは上記満４内
の水滴を吹き飛ばすことは困難であり、結果として乾燥
ムラが生じてしまい、洗浄度が低下してしまう。

また乾燥に時開もかかつてしまう。

本発明は洗浄度の向上及び乾燥効率の向上を可能とする
洗浄済キャリヤ乾燥Ｖ装置を提供することを目的とする
。

（：！題を解決するための手段）本発明は、洗浄流であり水滴が付着しているキャリヤが
搬送されてきて所定位置にセットされたときに上記キャ
リヤの底面開口を通って上記キャリヤの内部に進入する
ように配設された内側ノズルと、上記所定位置にセット
された上記キャリヤの外側面に対向するように配設され
た外側ノズルと、上記内側ノズル及び外側ノズルを水平
方向に繰り返し往復移動させると共に垂直方向に移動さ
せるノズル移動機構とよりなり、上記各ノズルより噴射
された気体流が上記キャリヤの内側面及び外側向を走査
し上記キャリヤに付着している水滴を吹き飛ばして除去
する構成としたものである。

（作用）ノズル移動Ｉ構により、各ノズルよりの気体流がキャリ
ヤの内側面及び外側面を満遍なく走査する。

これにより、全部の溝に付着している水滴が吹き飛ばさ
れて除去され、水滴除去が完全となる。

この結果、ムラを生ずることなく乾燥される。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例になる洗浄済１ヤリヤ乾燥Ｖ
＆置を示す。

１０はテーブルであり、四隅を２方向移動用エアシリン
ダ１１−１〜１１−４により支持されており、Ｚ方向（
高さ方向）に昇降する。

１２は内側ノズルであり、パイプ１３の上端に固定して
あり、キャリヤ３が上方より降下して所定位置にセット
されたときに、底面の開口５を通ってキャリヤ３の内部
に進入するように配設しである。

この内側ノズル１２は、平面状六角形状をなし、キャリ
ヤ３のうち一方の内側の満面（Ｘ−Ｚ面）３ａに対向し
て山形をなす各面に夫々−のノズル孔１２−＋、１２−
２を有し、他方の内側の満面（Ｘ−Ｚ面）３ｂに対向し
て山形をなす各面に夫々−のノズル孔１２−ｓ、１２−
４を有する。

１４．１５は夫々長手方向外側ノズルであり、パイプ１
６．１７の上端に固定してあり、キャリヤ３の長手方向
外側面３Ｃ及び３ｄに対向する。

このノズル１４．１５は夫々キャリヤ３の長子方向外側
面３ｃ、３ｄに対向する側を山形とされ、各面にノズル
孔１４−ｒ　、　１４−２．１５−ｔ　。

１５−２を有する。

１８．１９は夫々端面側外側ノズルであり、パイプ２０
．２１の上端に固定してあり、４；ヤリャ３の端面（Ｙ
−２面）３ｅ、３ｆに対向する。

このノズル１８．１９も上記のノズル１４゜１５と同じ
く、端面３ｅ、３ｆに対向する側を山形とされ、各面に
ノズル孔１８−＋　、　１８−２　。

１９−言、１９−２を有する、１各ノズル１２．１４．１５．１８．１９は同じ高さの位
置にある。

また各ノズル１２，１４．１５．１８．１９は平面図的
にはキャリヤ３に対して第２図に示すように配設しであ
る。

パイプ１３．１６．１７は、同じベース２５に立設しで
ある。

パイプ２０はベース２６に立設してあり、パイプ２１は
ベース２７に立設しである。

テーブル１０上には、その中央にＸ方向移動用エアシリ
ンダ２８、左右側にＹ方向移動用エアシリンダ２９．３
０が設けである。

上記のベース２５はエアシリンダ２８により移動される
ように、ベース２６．２７は夫々エアシリンダ２９．３
０により移動されるように設けである。

３１は圧縮空気源、３２．３３．３４は制御弁、３５は
制御弁３２〜３４　ｅ１１ｉ１ｔル１１１ｔ！ｌＩ’ａ
ｌｔ’Ｍる。

ｖＪｗ装欝３５はエアシリンダ２８を反復往復移動させ
、エアシリンダ２９．３０を同期して反復往復移動させ
、且つエアシリンダ１１−１〜１１−４をステップ的に
移動させるように制御弁３２〜３４をｔ、ＩＪ−する。

３６は遠赤外線ヒータであり、キャリヤ３の下側に設け
である。

３７は圧縮窒素ガス源、３８はフィルタである。

また上記の各ノズル孔１２−１等の径は０．５履である
。

またテーブル１０を底面とする四方側面は壁（図示せず
）により囲まれており、槽を構成している。

次に上記乾燥装置の動作について説明する。

洗浄済の水滴が付着したキャリヤ３は搬送機構（図示せ
ず）により搬送されて、ノズル１２゜１４．１５．１８
．１９に対して第１図及び第２図に示すようにセットさ
れる。

即ち、ノズル１２はキャリヤ３の底面開口５を通って１
ヤリヤ３の内側に入り、内側溝面３ａ。

３ｂに対向し、ノズル１４．１５はキャリヤ３の長手方
向外側面３Ｃ，３ｄに対向し、ノズル１８゜１９はキャ
リヤ３の端面３ｅ、３ｆに対向する。

この状態で、第１には、弁３９が開き、各ノズル１２．
１４．１５．１８．１９の各ノズル孔１２−１等より窒
素ガスを噴射（パージ）させる。

窒素ガス流は第２図中矢印４１を付した矢印で示す如く
、キャリヤ３の内側面及び外側面に斜めに噴き付けられ
る。窒素ガス流のガス圧は約２幻／ｄである。

第２には、ｔｌＩＪＩｌ装［３５により！制御弁３２゜
３３．３４が制御される。

ｌｌｌｌ９弁３２の動作によって、エアシリンダ２８が
往復反復駆動され、制御弁３３の動作によってエアシリ
ンダ２９．３０が同期して往復反復駆動され、更にはｌ
ｌ１１１１弁３４の動作によってエアシリンダ１１−１
〜１１−４が下方向にステップ的に駆動される。

第３には、遠赤外線ヒータ３６が動作される６゜エアシ
リンダ２８とエアシリンダ１１−１〜１１−４の駆動に
より、内側ノズル１２は、第３図中矢印で示すように（
第２図中矢印４１で示す）、ａ→ｂ−＋ｃ・・・Ｑ−→
ｉ　−＋　ｊと、水平方向上−方向にキャリヤの略全幅
に亘って移動すると２方向に一段下がり、その侵水平方
向上逆方向に移動し、更に一段下がるようにジグザグ状
にＸ−２面を移動する。

これにより、ノズル孔１２−１，１２２よりの窒素ガス
噴射流４０がキャリヤ３の−の内側溝。

１ｆｆｉ３ａを走査し、ノズル孔１２−ｓ　、　１２−
４よりの窒素ガス噴射流４０がキャリヤ３の反対側の内
側溝面３ｂを走査する。

従って、窒素ガス噴射流４０が全部の溝４に吹き付けら
れ、且つ溝４の奥部まで吹き付けられ、８満４の奥部に
付着している水滴までもが吹き飛ばされて除去される。

即ち、水滴の除去は完全となる。

これにより遠赤外線ヒータ３６による加熱と相俟って、
キャリヤ３の全部の満４はムラなく且つ迅速に乾燥され
る。

また、ノズル１４．１５は上記のノズル１２と同様に移
動してキャリヤ３の長手方向外側面３ｃ。

３ｄをその全面に亘って第２図中矢印４２．４３で示す
ように走査する。

これにより、キャリヤ３の長手方向外側面３Ｃ。

３ｄに付着している水滴が完全に吹き飛ばされて除去さ
れる。

またノズル１８．１９はＹ−２ｍ内でジグザグに移動す
る。第２図中、矢印４４．４５は夫々移動軌跡を示す。

これにより、キャリヤ３の端面３ｅ、３ｆに付着してい
る水滴が完全に吹き飛ばされて除去される。

この結果、洗浄されたキャリヤ３は、完全に水滴を除去
され、乾燥ムラを生ずることなく乾燥され、乾燥された
キャリヤ３は高い清浄度を有する。

また、圧縮窒素ガス１１２７の窒素ガスは圧縮空高純度
のものがよく、更にエアフィルタ３８を通しており、キ
ャリヤ乾燥時にパーティクルの増加は無い。尚、この圧
縮窒素ガス源２７は、清浄空気や清浄な別の不活性ガス
に代えてもよい。

また遠赤外線ヒータ３６を使用しているため、赤外線ヒ
ータを使用した場合に比べて、キャリヤ内に浸透した水
分を除去することが出来、乾燥の効率が向上する。

また乾燥されたキャリヤはストッカ（図示せず）に保管
され、ヘパフィルタを通過したダウンフ〇−φで清浄度
を維持して更に完全に乾燥される。

またキャリヤの内側及び外側の各面に対向させて所定の
間隔で複数のノズルを設けることにより上記と同様の効
果が得られるが、この場合には必要なノズルの数が増え
てしまい好ましくない。

（発明の効果）以上説明した様に、請求項１の発明によれば、ノズルに
より噴射された気体流が溝の全部に対して吹き付けるた
め、全部の溝に付着している水滴を完全に吹き飛ばすこ
とが出来、水滴除去が完全とやり、ムラなく乾燥させる
ことが出来、キャリヤを清浄度良（乾燥させることが出
来る。

請求項２の発明によれば、請求項１の発明により水滴除
去が完全となることと相俟って、乾燥を迅速に完了する
ことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例になる清浄済キャリヤ乾燥＊
Ｍの概略斜視図、第２図は乾燥動作時の各ノズルのキャリヤに対する動き
を説明する平面図、第３図は乾燥動作時の内側ノズルのキャリヤに対する動
きを説明する立面図、第４図は従来例を示す図である。図において、３はキャリヤ、３ａ、ａｂは内側満面、３ｃ、３ｄは長手方向外側面、３ｅ、３ｆは端面、４はつＩハ支持用満、５は底面開口、１０はテーブル、１１−１〜１１−４はエアシリンダ、１２は内側ノズル、１４．１５は外側ノズル。１８．１９は端面側外側ノズル、２８はＸ方向移動用エアシリンダ、２９．３０はＹ方向移動用エアシリンダ、３１は圧縮空
気源、３２〜３４は制御弁、３５はＩＪＪＩＩＩ装置、３６は遠赤外線ヒータ、３７は圧縮窒素ガス源、３８はフィルタ、４０は窒素ガス噴射流、４１〜４５はノズルの移動軌跡を示す。

Claims

【特許請求の範囲】　洗浄済であり水滴が付着しているキャリヤ（３）が搬
送されてきて所定位置にセットされたときに上記キャリ
ヤの底面開口（５）を通って上記キャリヤの内部に進入
するように配設された内側ノズル（１２）と、上記所定位置にセットされた上記キャリヤの外側面に対
向するように配設された外側ノズル（１４、１５、１８
、１９）と、上記内側ノズル及び外側ノズルを水平方向に繰り返し往
復移動させると共に垂直方向に移動させるノズル移動機
構（２８、３０、１１−＿１〜１１−＿４）とよりなり
、上記各ノズルより噴射された気体流（４０）が上記キャ
リヤ（３）の内側面（３ａ、３ｂ）及び外側面（３ｃ、
３ｄ、３ｅ、３ｆ）を走査し上記キャリヤに付着してい
る水滴を吹き飛ばして除去する構成の洗浄済キャリヤ乾
燥装置。