JPH0224945A - 放射線像拡大観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は紫外線、Ｘ線などの放射線によって試料を拡大
観察する放射線像拡大観察装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の放射線像拡大観察装置を第５図に示す。

これは、所定波長領域の放射線を出射する放射線源１と
、試料２が試料セット位置に取り付けられる試料セット
部材３と、入射窓４が開口され試料セット位置を通過し
た放射線が入射される放射線像拡大部５を備えている。

放射線源１は例えばシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）
を出射するシンクロトロン放射型の光源が使用される。

このＳＯＲ光は可視光からＸ線に至る波長分布を有して
おり、紫外線、Ｘ線などの特定波長領域の放射線のみを
選択透過させる必要がある場合には、放射線［１の出射
端に適宜の光フィルタ（図示せず）が設けられる。

この放射線源１から出射した放射線は試料セット位置に
設けられた試料２に照射され、放射線が試料２を透過す
ると放射線像が形成されて放射線像拡大部５に入射する
。放射線像拡大部５は真空状態を維持されたケース６内
に斜入射反射鏡７と、ストッパ８と、フィルム９とが放
射線の光路上に順に配設されて構成される。この放射線
像拡大部５に入射した放射線は斜入射反射鏡７で反射さ
れ、これによって放射線の波長領域にかかわりなく放射
線像は拡大される。そして、不要な放射線がストッパ８
でカットされたのち、拡大放射線像がフィルムリに結像
される。このような観察装置によれば、放射線によって
感光したフィルム９をケース６から取り出して、試料２
の拡大像を観察することができる。

第６図は放射線像をさらに拡大する構造の装置（本出願
人による特願昭６２−２７４８６３号：未公開）を示し
ている。この装置では、放射線像拡大部５に電子像拡大
部１０が付設された構造となっている。そして、放射線
像拡大部５における放射線の結像位置には光電面１１が
設けられると共に、電子像拡大部１０内にはマイクロチ
ャンネルプレート１２および蛍光面１３が設けられ、さ
らに電子像拡大部１０の外側にコイル１４．１５が巻装
されている。このような構成では、拡大放射線像が光電
面１１に結像され、これに対応した光電子が光電面１１
から電子像拡大部１０に放出される。この電子像はコイ
ル１４．１５によって拡大され、拡大された電子像はマ
イクロチャンネルプレート１２で増倍された後、蛍光面
１３に結像されて光学像を形成する。従って、蛍光面１
３上の光学像をＣＲＴなどのモニタ等を介して直接、観
察することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように放射線像拡大観察装置は、斜入射反射鏡、ゾ
ーンプレート、多層膜反射鏡などの放射線反射鏡で拡大
された放射線像を観察するものであり、斜入射反射鏡な
どの放射線反射鏡の光軸調整は鮮明な放射線像を形成す
るための重要な操作となっている。しかし、斜入射反射
鏡などは真空に維持された放射線像拡大部内に設けられ
ているため、光軸調整の際には真空状態を解除した後に
行う必要があるばかりでなく、光軸調整の後は放射線像
拡大部内を再度、真空とする必要がある。

このため、本来の光軸調整以外の操作が必要で、操作が
煩雑かつ長時間を要するものとなっている。

コノ場合、マニピュレータのハンドなどを放射線像拡大
部内に挿入して光軸調整を行うことも可能であるが、装
置が複雑化および大型化して実用性に乏しくなり、また
高価ともなる。

そこで本発明は、簡単な構造で真空状態下のままで斜入
射反射鏡などの放射線反射鏡の光軸調整を行うことがで
きる放射線像拡大観察装置を提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る放射線像拡大観察装置は、拡大した放射線
像を結像するように放射線を反射させる斜入射反射鏡な
どの放射線反射鏡を有する放射線像拡大観察装置におい
て、放射線反射鏡の光軸方向への移動調整と光軸と直交
する２軸方向への傾き調整とを行う操作手段が設けられ
ていることを特徴とする。

〔作用〕

上記構成では、操作手段の操作により斜入射反射鏡など
の光軸調整が真空状態下で行われる。

〔実施例〕

以下、本発明を添付図面により具体的に説明する。

第１図は本発明の実施例に係る放射線像拡大観察装置を
示し、従来例と同一要素は同一符号を付しである。すな
わち、試料セット部材３の試料セット位置に設けられた
試料２に放射線を出射する放射線源１と、試料セット位
置を通過した放射線像を拡大する放射線像拡大部５と、
放射線像拡大部５の結像位置に設けられた光電面１１と
、光電面１１から放出された光電子を拡大する電子像拡
大部１０とを備えている。また、電子像拡大部１０の後
方にはリレーレンズ１６を介してカメラ１７が配設され
ている。放射線像拡大部５内には入射窓４からケース６
内に入射した放射線を反射して拡大結像させる斜入射反
射鏡７が設けられている。そして、この斜入射反射鏡７
は操作手段２０に保持された状態で放射線像拡大部５内
に配設されている。

操作手段２０は斜入射反射鏡７の光軸方向の移動調整と
、光軸と直交する２軸方向への傾き調整、すなわち斜入
射反射鏡の光軸調整を放射線像拡大部５の外部から行う
ものである。第２図、第３図および第４図はこの操作手
段２０を示している。

図示の通り操作手段２０は、斜入射反射鏡７が嵌め込ま
れる取付リング２１と、取付リング２１の両側に突出し
たシャフト２２．２３が回動可能に取り付けられるアー
ム２４と、アーム２４から下方に延びたピン２５が挿入
されてアーム２４を支持するベース２６と、ベース２６
を往復移動可能に支持するステージ２７とを備える。

取付リング２１の一方のシャフト２３はアーム２４を貫
通して抜き出されており、この抜き出し端には第１の調
整部材２８が取り付けられている。

第１の調整部材２８は上端部にシャフト２３の抜き出し
端が挿入される連結リング２８ａを有し、下端部にはア
ーム２４の一方の側面に横方向から挿入される受片２８
ｂが屈曲形成されている。そして、連結リング２８ａに
ねじ２９を螺合させることで第１の調整部材２８はシャ
フト２３と結合されており、第１の調整部材２８を変位
させると取付リング２１に取り付けられた斜入射反射鏡
７が、１の調整部材２８と一体的にＸ軸（シャフト２３
）を中心に回動してＸ軸に対する傾き調整が行われるよ
うになっている。かかる傾き調整を行うため、受片２８
ｂとアーム２４には第１の調整ねじ３０が螺合されてお
り、この第１の調整ねじ３０を回転させることにより斜
入射反射鏡７はＸ軸に対して傾き角度が変化する。

一方、アーム２４の他方の側面にはベース２６方向に延
びる第２の調整部材３１が形成されている。この第２の
調整部材３１はベース２６内に挿入され、この挿入状態
で第２の調整ねじ３２が螺合されている。この構造では
、第２の調整ねじ３２を回転させると、第２の調整部材
３１がアーム２４内で変位する。この変位によってアー
ム２４はピン２５を中心に左右に回動するため、斜入射
反射鏡７はＹ軸（ピン２５）に対する傾き調整が行われ
る。

さらに、ベース２６を支持するステージ２７は支持ボッ
クス３３に収納されており、この支持ボックス３３とス
テージ２７とに第３の調整ねじ３４が螺合されている。

この構造では、第３の調整ねじ３４を回転させると、ス
テージ２７は支持ボックス３３内を前後方向に直線移動
する。かかるステージ２７の移動方向が光軸（Ｚ軸）と
一致するように操作手段２０が配設されるものであり、
光軸方向の移動調整は第３の調整ねじ３４の回転させる
ことによって行われる。

以上のような構成では、第３の調整ねじ３４の回転で斜
入射反射鏡７の光軸方向の移動調整が行われて、その焦
点を光電面１１に一致させることができる。また、第１
の調整ねじ３０および第２の調整ねじ３２を回転させる
と、光軸（Ｚ軸）と直交するＸ軸およびＹ軸に対する傾
き角度調整を行うことができる。従って、斜入射反射鏡
７は３次元方向の調整ができ、しかも、この調整を放射
線像拡大部５の外側で行うことができるため、斜入射反
射鏡７の光軸調整の際に放射線像拡大部５内の真空を解
放する必要がない。これに・より、斜入射反射鏡７の光
軸調整を容易に行うことができる。

なお、斜入射反射鏡７が放射線像拡大部５内で円滑に移
動および傾き調整できるように、光軸方向に伸縮するベ
ローズ３５が取付リング２１両側に取り付けられている
。また、放射線像拡大部５のケース６はベローズ３５の
開放端部が連結されるように一部分開口されており、ベ
ローズ３５の連結によって放射線像拡大部５内が密封空
間となって、内部の真空引きが可能となっている。この
ようなベローズ３５の装着により、斜入射反射鏡７の光
軸調整を円滑に行うことができるメリットがある。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々変
更が可能である。

例えば、重子像拡大部を備えることなく、放射線像拡大
部のみとしてもよい。また、操作手段の各調整ねじに替
えて、シリンダを使用してもよく、ラックとピニオンを
使用してもよい。さらに、操作手段２０にジヤツキ状の
ものを取り付け、垂直方向の調整を可能にしてもよく、
またＺ軸と直交する水平方向の調整を可能にしてもよい
。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように本発明は、光軸方向と光軸
と直交する２軸方向の斜入射反射鏡などの調整を行う操
作手段を設けたため、放射線像拡大部内の真空を解放す
ることなく、真空状態のままで斜入射反射鏡などの光軸
調整を行うことができ、調整操作が簡便され、また短時
間に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例に係る放射線像拡大観察装置
を示す構成図、第２図は、その部分側面図、第３図は、
操作手段を示す斜視図、第４図は、操作手段の分解斜視
０図、第５図は、従来装置を示す構成図、第６図は、本
出願人による先願の装置を示す構成図である。 １１１．放射線源、２．・・試料、５・・・放射線像拡
大部、７・・・斜入射反射鏡、１０・・・電子像拡大部
、１１１．。 光電面、２０・・・操作手段、２１・・・取付リング、
２３・・・シャフト、２４・・・アーム、２５・・・ピ
ン、２６・・・ベース、２７・・・ステージ、２８・・
・第１の調整部材、３１・・・第２の調整部材、３０，
３２゜３４・・・調整ねじ、３５・・・ベローズ。 特許出願人　　浜松ホトニクス株式会社代理人弁理士　
　　長谷用　　芳　　樹操作手段の斜視図 第３図 第４図 手 続 補 正置 昭和６３年８ 月１９日 事件の表示 昭和６３年 発明の名称 特許願 第１７５７３３号 放射線像拡大観察装置 補正をする者 事件との関係

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、拡大した放射線像を結像するように放射線を反射さ
   せる放射線反射鏡を有する放射線像拡大観察装置におい
   て、 前記放射線反射鏡の光軸方向への移動調整と光軸と直交
   する２軸方向への傾き調整とを行う操作手段が設けられ
   ていることを特徴とする放射線像拡大観察装置。 ２、前記操作手段は、前記光軸と直交する方向への移動
   調整を更に行なうように構成されている請求項１記載の
   放射線像拡大観察装置。 ３、前記操作手段は、前記光軸方向に伸縮するベローズ
   を有している請求項１記載の放射線像拡大観察装置。 ４、前記放射線反射鏡の結像位置には、前記放射線像を
   電子像に変換する光電変換手段が備えられている請求項
   １記載の放射線像拡大観察装置。