JPH0225131B2 - - Google Patents

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JPH0225131B2
JPH0225131B2 JP17352581A JP17352581A JPH0225131B2 JP H0225131 B2 JPH0225131 B2 JP H0225131B2 JP 17352581 A JP17352581 A JP 17352581A JP 17352581 A JP17352581 A JP 17352581A JP H0225131 B2 JPH0225131 B2 JP H0225131B2
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JP
Japan
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light emitting
optical
light
linear
optical system
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JP17352581A
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JPS5873840A (ja
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Hiroshi Tamaki
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Tokyo Optical Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Optical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Optical Co Ltd filed Critical Tokyo Optical Co Ltd
Priority to JP17352581A priority Critical patent/JPS5873840A/ja
Publication of JPS5873840A publication Critical patent/JPS5873840A/ja
Publication of JPH0225131B2 publication Critical patent/JPH0225131B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0228Testing optical properties by measuring refractive power

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光学系の球面屈折力、円柱屈折力及
びその軸方向、プリズム屈折力及びその基底方向
等、光学系の諸特性を自動的に測定する装置に関
する。本発明の以下に説明する原理及び実施例
は、主に眼鏡レンズの上記諸特性の測定方法及び
装置に関してのものであるが、これは本発明が眼
鏡レンズの諸特性を測定する、いわゆるレンズメ
ーターにおいてのみ適応されることを意味するも
のでなく、広く光学機器に使用されるレンズ光学
系の光学諸特性の測定にも利用できるものであ
る。
近年、眼鏡レンズの球面屈折力、円柱屈折力及
びその軸方向等、眼鏡レンズの光学的諸特性を自
動的に測定する、いわゆる自動式レンズメーター
に関し、その測定原理及び装置が種々提案されて
いる。その一つとして、米国特許第3880525号が
ある。この米国特許による装置は、平行光を被検
レンズに対し測定光軸に平行に入射させ、射出光
の偏りから被検レンズの光学的特性を決定しよう
とするもので、被検レンズの直後に、点開口を有
するマスクを、該点開口が被検レンズの光軸から
外れて位置するように配置し、該マスクから光軸
方向に所定距離だけ離して検出面を設け、マスク
の開口を通過した光束が検出面上に到達する点の
座標を検出して、この検出座標と、マスク上の開
口の座標との比較から、被検レンズ射出光の偏り
方向及び偏り量を計算して、被検レンズの光学的
特性を知るように構成されている。この場合、必
要な情報を得るためには、マスクの開口は、最低
3個必要である。
この米国特許による装置では、マスク上の開口
と検出面上の到達点との間の点対点の対応関係を
正確に検出する必要があり、かつ各開口は必ず平
面的配置にして、射出光束が非共面光束となるよ
うにせねばならない。このために2次元平面の走
査を行なわねばならず、装置が全体として高価に
ならざるを得ない。また、最低3点の座標情報に
より5元連立方程式を解く必要があり、演算機構
も複雑かつ高価になる。
このような2次元平面検出に伴なう膨大な情報
処理の問題を解決できるものとしては、米国特許
第4180325号に記載された装置がある。
この装置は、点光源からの光を被検レンズ近傍
に結像し、この光束のうち光軸と平行となる光線
を特殊なパターンを有する回転円板で選択し、そ
のときの回転円板の回転角から被検レンズの屈折
特性を測定するものである。しかし、この装置に
おいては、回転円板上のパターンは非常に複雑で
あり、かつその回転位置の検出が非常に重要な意
味を持ち、回転円板上のパターン精度及び回転位
置検出精度等、測定上及び製作上大きな問題を有
する。
本出願人は従来の装置における上述の欠点を解
決し、検出及びその後の演算が比較的簡単に行な
うことのできる新しい光学特性測定装置を、すで
に特願昭56−30222号(特開昭57−144434号公報
参照)、特願昭56−85490号(特開昭57−199933号
公報参照)で提案している。それらの発明は傾き
角θで、ピツチPの2組の平行直線開口によつて
できる平面光束をある光学系に通過させたとき、
その傾き角θとピツチPは変化しても、直線性自
身は変化しないという物理的原理を利用したもの
で、光源からの光束を平行光束とするコリメータ
手段と、このコリメーターレンズの後方に互いに
配列方向を異にする2組の平行直線群からなる開
口パターンを形成したマスク手段を配置し、この
マスク手段と前記コリメータ手段との間に被検レ
ンズを配置して、被検レンズの屈折特性によつて
偏向され、前記マスク手段によつて選択された光
束を、前記被検レンズの焦点距離内に配置した互
いに交差するリニアセンサーで検出し、マスク上
の直線開口パターンの投影像の変化から被検レン
ズの屈折特性を測定する装置であつた。
本発明は、この測定原理を利用した別の構成に
よる新規の光学系の光学特性測定装置を提供する
ことを第1の目的とする。
本発明の第2の目的は、前記原理を特に自動レ
ンズメーターに利用し、測定時間が短かく、しか
も測定精度の高い自動レンズメーターを提供する
ことにある。
本発明の第3の目的は、さらに、装置内部に機
械的に可動する部分を一切有せず、ために装置製
作上簡単でかつ精度調整を必要としない光学系の
光学特性測定装置、特に自動レンズメーターを提
供することにある。
すなわち本発明の構成上の特徴は、 被検光学系を保持する保持手段と、 該被検光学系に光束を投影する多数の発光単位
を実質的にもしくは仮想的に二次元平面内にも
ち、その内の一つの発光単位を選択的に発光させ
る光源と、 前記光源からの光束を選択する少なくとも2本
の平行な直線パターンからなる第1直線パターン
群と該第1直線パターン群とその配列方向を異に
する少なくとも2本の平行な直線パターンからな
る第2直線パターン群とを本質的に同一平面内に
有する光束制限手段を前記光源と前記被検光学系
との間に有し、 該第1及び第2直線パターン群で選択され前記
被検光学系によつて平行光線とされた光線のみを
開口手段に導びくための集光手段と、 前記開口手段を通過した光線を検知する検知手
段と、 前記検知手段が該光線を検知したときの前記光
源の発光単位の発光位置情報から前記第1及び第
2直線パターン群に対応する前記平面上で前記発
光単位が作る直線軌跡をもとにして前記被検光学
系の光学特性を演算する演算手段とから構成され
てなることを特徴とする光学系の光学特性測定装
置にある。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の原理を説
明する。
球面レンズ、円柱レンズ又は乱視レンズに平行
光線を入射させると光線はレンズの屈折特性に従
つて屈折される。ここに球面レンズとは2つの球
面よりなるレンズであり、円柱レンズとは、少な
くとも一面が円柱面よりなつているレンズであ
り、また乱視レンズとは少なくとも一面がトロイ
ダル面からなつているレンズであることはよく知
られている。さてトロイダル面とは、相直交する
最大の曲率半径をもつ主径線と、最小の曲率半径
をもつ主径線とよりなつている。球面はトロイダ
ル面における相直交する2つの主径線の曲率半径
が同一の場合と考えられ、また円柱面とは一方の
主径線の曲率半径が無限大の場合と考えられる。
従つてトロイダル面において特別な場合として、
球面、円柱面を考えることができる。以下、本発
明の原理の説明には、トロイダル面からなる乱視
レンズを例にとり、特別な場合として球面レン
ズ、円柱レンズを取扱うものとする。
乱視レンズである被検レンズに平行光線を入射
させ、その屈折後の光線を考える場合、入射光線
を円形光線束とすると、射出光線は楕円光線束と
なることが知られているが、入射光線を直線光線
束とする場合は、射出光線束は平面状光束(円柱
屈折力がある場合には、“ねじれた”平面状光束
となる)となり、その光束の進行方向及び傾きは
光学系の光学特性によつて変化するが、前記入射
平行光線に直角な面への投影像は常に直線である
という基本的な性質を有している。
また光線逆進の原理から前記投影像に対応する
場所に発散光束を射出する光源を考えると、この
光源から射出する光束の中には前記平面状光束が
たどつたと同じ経路を逆に進む光線がかならず存
在する。すなわち被検レンズからある所定距離後
方に平面を考え、その平面に発散光束を射出する
多数の発光点を考えると、この発光点からの光束
中のある光線は被検レンズ通過後、この被検レン
ズの光学特性によつて変化され、被検レンズ射出
後、被検レンズ光軸に対し平行光線となる。そし
て、このような光線は発する多数の発光点を結ん
で形成された幾何学的軌跡は、前記投影像と一致
し、かならず直線である。本発明は、かかる原理
を利用して被検光学系の光学特性を測定するもの
である。ここで屈折特性とは、被検レンズにおけ
るトロイダル面を形成している最大及び最小の曲
率半径を有する二つの主径線の屈折力と、この二
つの主径線のある予め定めた基準線からの傾き
角、及び被検レンズの幾何学中心と光学中心との
ズレ量もしくは被検レンズのセツテイングズレ量
を表わすプリズム量である。
しかしながら、被検レンズの直後にマスクを配
置して種々の発散光線束を被検レンズに入射さ
せ、その射出光線束を前記マスクで制限した光束
が平行光線束となるか否かをみる場合において
は、さらに他の屈折特性、すなわち両屈折方向の
2つのシエイプフアクターが追加される。
この新たな屈折特性の追加は、被検レンズの第
1面曲率半径、中心厚、屈折率の少なくともひと
つが異なることにより、入射光線束と、射出光線
束の関係が変化することを意味している。このシ
エイプフアクターは、本発明で測定しようとする
屈折特性の測定に対し不必要な不確定性をあたえ
るものである。このシエイプフアクターの追加は
被検レンズ通過前の光源からの発散光線束に対し
て制限を行なうということにより避することがで
きる。すなわち被検レンズには、一般的な発散光
線束をある種の開口パターンを通過させることに
より制限した状態で入射させ、被検レンズによ
り、その屈折特性に応じて屈折された被検レンズ
光軸に平行な光線束を検出することによりシエイ
プフアクターの関与しない屈折特性を知ることが
できる。このように、本発明においては、開口パ
ターンを有するマスク手段は、被検レンズ前方に
配する必要がある。
第1図に示すように、まず、x−y座標系内に
発散光束flを照射する多数の発光単位点S1,S2
S3…Soが稠密に分布されている光源面Sを考え
る。また、この光源面Sの後方(第1図の左側方
向)に、距離d離れたx0−y0座標系を考える。こ
のx0−y0座標系には、マスクMAがその中心を装
置光軸Oに合致させて配置されている。
このマスクMAには、ピツチPの少なくとも2
本の直線からなる平行直線群Lがx0軸に対し、傾
きmで交差するように開口として形成されてい
る。
また、マスクMAの後方には、距離△d離なし
て最小曲率半径を有する第1主径線R1と最大の
曲率半径を有する第2主径線R2とをもつ被検レ
ンズTが、その光軸O′を測定光軸Oから測定光
軸に垂直なX−Y平面上に、その平面内でY軸方
向にEv、X軸方向にEHだけずらし、かつ経線R2
がX軸とθ傾斜して配置されている。
さらに、被検レンズTの後方には、光軸O上に
位置するピンホールPHにその焦点位置をもつ集
光レンズCLが配置されており、かつピンホール
PHの後方には、このピンホールPHを通過する
光線を検知する光検知素子DTが配置されてい
る。光源面S上の多数の発光単位点S1,S2,S3
Soから射出した光束flに包含された多数の光線の
うちあるものは、マスクMAの直線開口パターン
Lを通過し、被検レンズTに入射される。この被
検レンズTに入射される光線のうちさらにあるも
のは、この被検レンズTの光学特性の作用を受
け、被検レンズを射出後、光軸Oに対し平行とな
る平行光線PLとなる。この平行光線PLは、そし
てそれのみが集光レンズCLによつてピンホール
PHを通過できるようになり、検知手段DTに検
知される。この平行光線PLは、被検レンズTの
第1主径線R1の焦線F1と第2主径線R2の焦線F2
から射出し、マスクMAの平行直線群Lを通過し
た光線と同一の光線となつている。この原理から
逆に光線PLを射出した発光点Siを光源面S上で
幾何学的に結んでできる直線軌跡群L′を知れば被
検レンズTの光学特性を知ることができる。そし
てこの直線軌跡L′は、そのピツチがP′に、またそ
のX軸からの傾きがMになつている。
ここでZ1をマスクMAから第1直線F1までの距
離、Z2を第2焦線F2までの距離とすると、その
傾きMは、次式で表わされる。
M=m{1−d(sin2θ/Z1+cos2θ/Z2)}
+d(1/Z2−1/Z1)sinθcosθ/md(1/Z2−1/
Z1)sinθcosθ−d(cos2θ/Z2+sin2θ/Z1)+1…
…(1) また、ピツチP′は として表される。
式(1)、(2)より、これら直線軌跡群の変化をその
傾きとピツチのみに着目して追跡してみると、そ
れらの変化に関係するのは、2つの経線の屈折力
と、その傾き角のみであり、ズレ量EH、EVに係
わるプリズム量は何ら関与しないことがわかる。
このことは、プリズム量の演算が、被検レンズの
屈折力とまつたく別の演算手段で演算処理できる
ことを示しており、演算処理の簡素化、演算時間
の短縮化を意味している。
実際の測定に際して、第(1)、(2)式により直線軌
跡群L′の平行直線群Lに対するその傾きとピツチ
の変化から被検レンズTの屈折特性を測定するに
は、第(1)、(2)式の未知数がZ1、Z2、θの3つであ
るため、1つの平行直線群の変化だけでは、第
(1)、(2)式の解は得られないことがわかる。このた
め、実際には、他の1つの平面直線群と合せ、2
つの平行直線群を通過し、被検レンズTにより光
軸Oと、平行になる光線PLを照射する発光単位
の直線軌跡群の傾きとピツチの変化を知る必要が
ある。この構成を第2図に示す。第2図のマスク
MAには、傾きm1、ピツチP1の2本の平行直線
群L1と、傾きm2、ピツチP2の2本の平行直線群
L2からなる開口パターンが形成されており、こ
の開口を通過し被検レンズ射出後、平行光線PL
を射出した発光単位が作る軌跡は光源面S上で傾
きm1′、ピツチP1′の2本の平行直線軌跡群L1′と
傾きm2′、ピツチP2′の2本の平行直線軌跡群
L2′を形成する。この2組の軌跡直線群から第(1)、
(2)式がそれぞれ2組、合計4式得られるため、第
(1)、(2)式の未知数θ、Z1、Z2を求めることができ
る。二次方程式第(1)、(2)式を解いてZ1、Z2、θを
求めることが演算処理上、複雑で処理機構のコス
トアツプ、処理時間の増大をまねくようであれ
ば、以下の中間的演算処理をほどこせばよい。
第3a図は第2図のマスクMAに形成されたパ
ターン開口L1,L2を示している。L1の傾きはm1
でピツチP1、L2の傾きはm2でピツチはP2である
ことは第2図と同様である。今、平行直線群L1
のうちの1本L11からピツチP1のe倍の距離eP1
へだてて平行線と、距離fP1の平行線を考
える。
また平行直線群L2のうちの1本L21から距離
gP2の平行線と距離hP2の平行線を考え
る。これら平行線,,,から仮想
平行四辺形UVWQが形成され、これら四頂点の
x0−y0座標系の仮想座標を、U(px1py1)、V(p
x2py2)、W(px3py3)、Q(px4py4)とする。
第3b図は、第3a図の開口パターンである平
行直線群L1,L2に対応した光源面における平行
直線軌跡群L1′,L2′を示す図で、このL1′は傾き
m′ピツチP1′に、L2′は傾きm2′、ピツチP2′に変化
していることは第2図と同様である。この直線軌
跡群が、x−y座標の原点O′からx軸方向にξ、
y軸方向にηだけ平行移動された点に原点O″を
有し交差角γで交差するx′−y′座標上に多数の発
光単位素子を直線状に配列してなるリニア発光素
子アレイS1,S2上の発光単位から検出されるもの
とすると、リニア発光素子アレイS1の発光単位点
イ,ロ,ハ,ニと、リニア発光素子アレイS2の発
光単位点ホ,ヘ,ト,チの各点を結んで平行直線
軌跡群を形成する。これは発光単位点ロ,ヘから
直線軌跡群のうちの1本L11′の方程式を演算し、
また発光単位点ハ,トからL21′の方程式を演算し
て求める。また同様に発光単位点イ,ホから直線
軌跡群のうちの他の1本L12′の、発光点ニ,チか
らL22′のそれぞれの方程式を演算して求め、これ
よりL11′、L12′のピツチP1′と、L21′、L22′のピツ
チP2′が演算できる。そしてL11′からピツチP1′に
第3a図でかけた倍率と同じ倍率eをかけて
eP1′のピツチの平行線′′を考えることができ、
同様にfP1′ピツチの平行線′′を、L21′から
gP2′ピツチの平行線′′をhP2′ピツチの平行線
U′Q′を考えることができ、これら平行線′′,
Q′W′,′′,′′から仮想平行四辺形
U′V′W′Q′をもとめることができる。この仮想平
行四辺形の四頂点のx−y座標系における仮想座
標をU′(x1、y1)、V′(x2、y2)、W′(x3、y3)、
Q′(x4、y4)とすると、第3a図の仮想平行四辺
形UVWQと第3b図の仮想平行四辺形
U′V′W′Q′は対応しており、この変化はまさに被
検レンズの屈折特性にかかわるものである。
さてここで仮想4点に対し以下の係数と式を定
義する。
Aij=(pxi−xi)−(pxj−xj) Aik=(pxi−xi)−(pxk−xk) Bij=(pyi−yi)−(pyj−yj) Bik=(pyi−yi)−(pyk−yk) Cijpxipyj Cikpxipyk Dijpyipyj Dikpyipyk (3a) ここにi、j、kはiを基準としてjもしくは
kをとるものとする。仮想4点より、12通りの組
合せが考えられる。
上記第(3a)式を用いれば、2つの主径線の
屈折力に関するZ1、Z2は以下の2次方程式で表示
できる。
(CikDij−CijDik)(d/z)2+(AijDik+BikCij−A
ikDij−BijCik)(d/z)+(AikBij−AijBik)=0
……(3b) ここで上記係数のカツコ式を以下のもので定義
する。
〔p、q〕≡pijqik−qijpik 〔p、q〕=−〔q、p〕 ここでp、qはそれぞれA、B、C、Dのいず
れかをとるものとすると、第(3b)式は 〔C,D〕(d/z)2+{〔B,C〕−〔A,D〕}
(d/z)+〔A,B〕=0……(3c) として表わされる。
dは第2図で示すように被検レンズTとマスク
MA間の距離、zはマスクMAと、その焦線まで
の距離をいう。
従つて、第2図のように2組の平行直線軌跡群
L1′、L2′のピツチP1′、P2′と傾きm1′、m2′を決定
し、第3b図のように仮想平行四辺形を作り、そ
の平行四辺形を形成する4頂点より、(3)式の二次
方程式を解くことにより、2根z1、z2を求めるこ
とができる。この2根z1、z2から被検レンズTの
第1主径線R1及び第2主径線R2の屈折力D1,D2
はそれぞれ D1=1/z1/△d/z1−1 D2=1/z2/△d/z2
1…(4) として求めることができる。
また円柱軸の角度(第1図の第1主径線R1
がx軸となす角度θとは=θ+90゜の関係があ
る。)は =1/2tan-1{〔B,D〕−〔A,C〕/〔A,D
〕+〔B,C〕}+90゜……(5) として求めることができる。
上述した第3a図、第3b図では、仮想平行四
辺形をもとめるのに、ピツチP1,P2,P1′及び
P2′に任意の倍率e、f、g、hをそれぞれ掛け
たが実際にはe=1、g=1として仮想平行四辺
形U0V0W0Q、及びU0′V0′W0′Q′を使つて演算し
た方が、処理はその分簡略化できる。
また、仮想平行四辺形の各頂点の座標をx0−y0
直交座標系、x−y直交座標系を使つて説明した
が、リニア発光素子アレイS1,S2の配置にそつて
斜交座標系x′−y′座標系を考えると、x−y直交
座標系とx′−y′斜交座標系間の座標変換は第4図
に示すようにx軸とx′軸が角度αで交差し、y軸
とy′軸が角度βで交差し、かつx′−y′座標系の原
点O″はx−y座標系の原点O′からx軸方向にξ、
y軸方向にηずれている。このときx′−y′座標系
からx−y座標系への座標変換は x=x′sinα+y′sinβ+ζ y=y′cosβ−x′cosα+η ……(6) 前記(3)式から Aij=(pxi−xi)−(pxj−xj) これに第(6)式を代入して Aij={(px′isinα+py′isinβ+ζ)−(x′isinα
+y′sinβ+ζ)}−{(px′ysinα +py′jsinβ+ζ)−(x′jsinα−y′jsinβ+ζ)
} =sinα{(pxi−x′i)−(px′j−x′j)}+sinβ
pyi−y′i)−(py′j−y′j)} =A′ijsinα+B′ijsinβ ……(7a) またBij=(pyi−yi)−(pyj−yi)で 上記同様の計算で Bij=cosβ{py′i−y′i)−(py′j−y′j)}−cos
α{(px′i−x′i)−(px′j−x′j)} =B′ijcosβ−A′ijcosα ……(7b) 以下同様に Cij=C′ijsinα+D′ijsinβ ……(7c) Dij=D′ijcosβ−Cijcosα ……(7d) となる。
ここで〔C,D〕、〔B,C〕、〔A,D〕、〔A,
B〕を求めると、第(7a)〜(7d)式から 〔C,D〕=CijDik−DijCik=(C′ijsinα+D′ijsin
β)(D′ikcosβ −C′ikcosα)−(D′ijcosβ−C′ijcosα)(C′i
k
sinα+D′iksinβ) =(sinαsinβ+cosαsinβ)〔C′,D′〕 同様に 〔B,C〕=(sinαsinβ+sinβcosα)〔A′,B′
〕 〔A,D〕=sinαcosβ〔A′,D′〕−sinαcosα〔
A′,C′〕+sinβcosβ〔B′,D′〕−sinβcosα〔B
′,C′〕 〔A,B〕=(sinαcosβ+cosαsinβ)〔A′,B′
〕 また 〔B,C〕−〔A,D〕=(sinαcosβ+cosαsinβ
){〔B′,C′〕−〔A′,D′〕} 従つて第(3c)式は sin(α+β)×{(C′,D′〕(d/z)2(〔
B′,C′〕−〔A′,D′〕) −(d/z)+〔A′,B′〕}=0……(8)
となり、{ }内は(3c)式と同一形式の二次方
程式となり、このことから(3c)式の二次方程式
は、座標系の取り方に無関係な不変方程式である
ことがわかる。このことは、光源としての2本の
リニア発光素子アレイの配置において、その配置
の自由度が非常に大きいことを示す。すなわち、
2本のリニア発光素子アレイをx−y座標系から
なる直交座標軸上におく必要はなく、斜交座標系
であるx′−y′座標系においてもよいことを意味す
るもので、リニア発光素子アレイの直交精度及び
光軸合せはまつたく考えなくとも、測定精度に無
関係にすることができる。そして測定に際しては
被検レンズを測定光学系に挿入しない状態での平
行直線群パターンL1,L2を通過する斜交座標系
x′−y′座標のx′軸、y′軸に配したリニア発光素子
アレイS1,S2上の発光点位置を検出しておき、こ
の検出からつくられる仮想平行四辺形UVWQを
基準仮想平行四辺形とし、つぎに測定したい被検
レンズを測定光学系に挿入し、このときの測定仮
想平行四辺形U′V′W′Q′をつくり、基準仮想平行
四辺形と測定仮想平行四辺形とから被検レンズの
屈折特性を求めるものである。そしてこのとき両
平行四辺形は任意に選択できる斜交座標系x′−
y′座標系に対してのみ座標系を考えていることと
なり、かつこの斜交座標系x′−y′は、上述したよ
うにその選択は被検レンズの屈折特性演算の内屈
折力計算のための二次方程式に対し、無関係な不
変式であり、本発明によればリニア発光素子アレ
イS1,S2の配置に対して、何ら組立上も、メンテ
ナンス上も調整を必要としないという非常に有効
な効果をもつ。
被検レンズの円柱軸方向は、第(5)式で与えられ
る。第(5)式は直交座標系時の式であるが、斜交座
標系x′−y′に発光素子アレイがある場合は、以下
の式を使つて、斜交座標系で求めた結果を直交座
標系を使用したときの円柱軸として計算すること
ができる。
θ=1/2tan-1×{cos2β〔B′,D′〕−cos(α−β
)・(〔A′,D′〕+〔B′,C′〕+cos2α〔A′,C′
〕/sin2α〔B′,D′〕+sin(α−β)(〔A′,D′
〕+〔B′,C′〕)−sin2α〔A′,C′〕} ……(9) 円柱軸は上記第(9)式のθより =θ+90゜ としてもとめられる。
次に、プリズム屈折力の測定原理を第5図をも
とに説明する。
x0−y0、x−y直交座標系によるプリズム値の
算定は、y0軸に対し、同じ角度γで対称に配置さ
れたピツチP1の平行直線群L1とピツチP2の平行
直線群L2のそれぞれいずれか1本の直線L11、L21
からe′P1にある直線、を、同様にf′P1
を、g′P2でを、n′P2で、を抜き、仮想平
行四辺形の四頂点がx0軸、y0軸に一致す
るようにとるとよい。すなわち測定光軸Oに対
し、仮想平行四辺形が対称になるように作れば、
この仮想平行四辺形の中心は、測定光軸Oと一致
している。次に、被検レンズを測定して、平行直
線軌跡群L′1,L′2を決定し、平行直線軌跡L11′か
らe′P′1にある直線′′を引く。同様にf′P′1

線′′、gP′2で′′、h′P′2で′′を引
き仮想平
行四辺形′′′′をつくる。この仮想平行四
辺形の四頂点は、x−y座標系で′(x1,y1)、
V′(x2,y2)、′(x3,y3)、′(x4,y4)と
なり、この四頂点の座標から水平プリズム量PH
及び垂直プリズム量PVは次式で表わされる。
ここで、dは被検レンズとマスク面との距離で
ある。
斜交座標系x′−y′で測定した場合は、直交座標
系の場合と同様に、対称性の原理から、初期仮想
点を(px1py1)(px2py2)(px3py3)、(px4p
y4
とおき px1px2px3px4=0p y1py2py3py4=0 ……(12) を満たすように仮想点を設定すればよい。そし
て、水平方向プリズム量PH、垂直方向プリズム
量PVは、それぞれ第(10)式で与えられるから第
(12)式を第(6)式により変換すれば、 となり、第(10)式を同様に第(6)式で変換すれば となる。プリズム量PH、PVは、被検レンズを入
れないときの初期仮想点(px1py1)の斜交座標
系での座標(px′1py′1)と、被検レンズを測定系
に挿入したときの測定座標の斜交座標系における
座標(x′1,y′1)との差であるから第(13)、(14)
式から次式が得られる。
この式がプリズム値を表わすものである。
以上のべたように本発明では、被検レンズの屈
折力測定には、座標系の取り方に無関係な不変方
程式で算出できるが、円柱軸、プリズム値におい
て斜交−直交座標変換が必要となり、(12)式、
(15)式の変換が必要であるが、演算機構上複雑
であれば、斜交座標系での測定座標(x′,y′)か
ら第(6)式で直交座標変換したのち、直交座標系に
よる算出式第(5)、(10)式を使つて乱視軸、プリズム
値を算出してもよい。
このように本発明では、被検レンズを測定光学
系に挿入しない状態でマスク上の平行直線群L1
L2から光軸Oに対し、対称な基準仮想平行四辺
形を作つておき、次に被検レンズを測定光学系に
挿入し、平行直線軌跡群から相似的な測定仮想平
行四辺形を作れば、プリズム量が算出でき、この
算出に際しては被検レンズの第1、第2主径線の
屈折力やその傾き角は何ら知らなくとも単独に測
定できることを意味している。これは、従来のレ
ンズメーターでは、プリズム値の算出は、まず、
その測定しようとする被検レンズの屈折特性を知
つた上でなければ算出できなかつた点を考えれば
非常に有利であり、被検レンズの屈折特性算出ス
テツプとプリズム値算出ステツプが独立に平行し
て進めることができるため演算時間を大幅に短縮
できる。
また、本発明は、眼鏡レンズを測定するいわゆ
るレンズメーターに限定されるものでなく、広く
光学系の光学特性を測定する装置に応用しうるも
のである。
また、仮想平行四辺形を作成するとき、直線
L11,L21にそれら直線の属する直線群のピツチを
n倍して、直線L11,L21の傾きに平行に仮想直線
を引くことにより仮想平行四辺形を作成したが、
仮想平行四辺形の作成方法はこれに限定されるも
のでなく、第3c図のように直線L11に対し、角
度βの傾きをもつ仮想直線l11を、また、直線L21
に対し角度αの傾きをもつ仮想直線l21を作り、
この作られた仮想直線l11,l21をもとにして仮想
平行四辺形uvwqを作成してもよいことは言うま
でもなく、これにより、本願の測定原理が変更を
うけるものではない。
以下に前述した測定原理に基づいた光学レンズ
の屈折測定装置の実施例を図に従つて詳細に説明
する。
第6図は本発明に係る装置の光学系配置を示す
図である。図において、リニア発光素子アレイ
2,3は、後述する駆動−演算回路1によりそれ
ぞれ交互に発光走査される。リニア発光素子アレ
イ2,3は、多数の微少な発光ダイオードを直線
状に配列してなるアレイ素子で、例えば幅が10〜
20μの発光ダイオードを1000〜2000素子直線状に
配列してなるものが使用される。リニア発光素子
アレイ2から射出した光束は、ハーフミラー5の
半透過半反射面5aでその一部が透過されマスク
4aに照射され、また残部が半透過半反射面5a
で反射されてマスク4bに照射される。
マスク4a,4bには、それぞれ第7a図、第
7b図に示すようなマスクパターンが形成されて
いる。すなわち、マスク4aには、傾きm2でピ
ツチpの複数の直線開口パターンからなる平行直
線群20が形成されており、その内の少なくとも
1本の直線パターン22は他の直線パターンと区
別するため、太い開口パターンとなつている。マ
スク4bには傾きm1でピツチpの複数の直線開
口パターンからなる平行直線群21がマスク4a
の直線群20と、その配列方向を角度θだけ傾け
て形成されており、その内の少なくとも1本の直
線パターン23はマスク4aと同様に他の直線パ
ターンと区別するために太い開口パターンとして
形成されている。他方、リニア発光素子アレイ3
から射出した光束も同様にその一部がハーフミラ
ー5の半透過半反射面5aで反射されてマスク4
aに、残部が半透過半反射面5aを透過してマス
ク4bに照射される。
マスク4aは、シヤツター17が開、シヤツタ
ー16が閉のときミラー6、ハーフミラー7を介
して、リレーレンズ8により、その光学的共役像
が仮想マスク面MAに結像されるようになつてい
る。また同様に、マク4bも、シヤツター16が
開、シヤツター17が閉のときミラー9ハーフミ
ラー7を介してリレーレンズ8により、その光学
的共役像が仮想マスク面MAに結像されるように
なつている。一方、リニア発光素子アレイ2,3
はこのリレーレンズ8により仮想光源面S上に、
その光学的共役像が互いに角度γで交差するよう
に結像されるようになつている。そして、これら
仮想マスク面MAと仮想光源面Sは第1図と同様
に装置光軸O上で距離dだけ離れている。仮想マ
スク面MAから距離△d後方に、被検レンズ10
が被検レンズ保持手段11により保持されてい
る。被検レンズ10の後方には、ミラー12と、
ピンホール14と、このピンホール14の位置に
その後側焦点を有する集光レンズ13が配置され
ている。ピンホール14の後方には、受光素子1
5が配置されている。
ここで受光素子15は例えば高感度のアバラン
シエフオトダイオードや光電子倍増管等からな
り、シヤツター16,17と共に駆動−演算回路
1に接続されている。まずシヤツター17が開、
16が閉の時リニア発光素子アレイ2を射出し、
ハーフミラー5を透過した光束は、マスク4a、
ミラー6、ハーフミラー7、リレーレンズ8、ミ
ラー19、被検レンズ10、ミラー12、集光レ
ンズ13およびピンホール14からなる第1光路
152の光路を通り、受光素子15で検知され
る。これにより発光素子アレイ2の発光単位点の
うち、マスク4aの開口パターン20で選択さ
れ、被検レンズ10の屈折特性により平行光線と
された光線を射出した発光単位点が検出される。
次に、リニア発光素子3を発光走査するとリニア
発光素子3を射出し、ハーフミラー5で反射され
た光束は、マスク4a、ミラー6、ハーフミラー
7、リレーレンズ8、ミラー19、被検レンズ1
0、ミラー12、集光レンズ13そしてピンホー
ル14を通り、受光素子15で検知さる。これに
よりマスク4aをリニア発光素子2,3で走査し
た事となる。次にシヤツター16を開、17を閉
とし第2光路153に対して同様にリニア発光素
子2,3を順次発光走査する事でマスク4bにつ
いての情報が検出素子15で検知される。
ここで、本実施例では基準直線パターン22,
23は太さに差をもたせることで他の直線パター
ンと区別させたが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、光の透過率や透過波長特性に差をもた
せることにより区別させてもよく、或いは直線群
はすべて同一とし、その特定箇所のピツチを変え
て基準直線の代りとしてもよい。
マスク4a,4bのそれぞれの平行直線群2
0,21は第6図のリレーレンズ8によるマスク
4a,4bの共通共役面MA上で互いの交差角が
θでかつ、その2等分線24がある基準軸25と
交わる角度がεとなるように構成されている。本
実施ではθ=90゜ ε=90゜にしてある。このよう
に多数の直線パターンを使つて平行直線群を形成
しているので、それぞれの直線パターンに対応す
る直線軌跡を多数得ることが出来、それぞれの直
線軌跡の方程式の傾きとピツチを平均化すること
により、より高精度な測定ができる。
また、基準直線パターン22,23を形成した
のは、発光単位点を結んで直線軌跡を作るとき、
どの発光単位点とどの発光単位点を結べばよいか
を知るための基準とするためである。
なお、平行直線群20,21のそれぞれのピツ
チを同じ値pに選んでいるが、これはマスク4
a,4bの製作を容易にするためだけであり、従
つて、互いに異なるピツチの平行直線群を使用し
てもよいし、また1つの平行直線群の各々の直線
パターンのピツチもそれぞれ同一にする必要はな
い。
また、角度θ及びεを任意に選択しうるもので
ある。
第8図は、発光素子アレイの発光走査により発
光する発光単位点からの発散光束のうち、マスク
の直線開口パターンで選択透過され、被検レンズ
により平行光線とされた光線、すなわち、受光素
子16で検知された光線を射出した発光単位点を
幾何学的に結んでできるマスクの直線開口パター
ンと被検レンズの屈折特性に応じて対応付けられ
る直線軌跡の関係を示す図である。
第8図に示すように、第6図のリニア発光素子
アレイ2,3はそれぞれリレーレンズ8により共
通の共役面すなわち仮想光源面S上で交差角γを
有するような関係で配置されている。
今、シヤツター17を開、シヤツター16を閉
とし、リニア発光素子アレイ2を発光走査すると
このリニアアレイ2の各発光点からの発散光束の
うち、ハーフミラー5の半透過半反射面5aを透
過した光はマスク4aの平行直線群20で選択透
過されたのちミラー6で反射され、ハーフミラー
7で反射されリレーレンズ8に入射する。このリ
レーレンズ8の作用により、リニア発光素子アレ
イ2は仮想光源面S上で仮想マスク面MAにてマ
スク4aを発光走査する。マスク4aを透過して
きた光束は、被検レンズ10に入射し、この被検
レンズの光学特性により、その光学の一部の光線
は装置光軸Oと平行な光線とされ、集光レンズ1
3の作用によりピンホール14を通過する。この
ピンホール通過光線は受光素子15で受光され
る。これにより、第8図に示すようにリニア発光
素子アレイ2の発光単位点のうちe11、e12、e13
e17の発光単位点が決定される。次に発光素子ア
レイ3を発光走査すると、マスク4aで選択され
た光線は光路152を通り、上記と同様に受光素
子15で検出され、リニア発光素子アレイ3の発
光素子の内f11、c12…f15、f19の発光単位点が決定
される。
次にシヤツタ16,17を切換え、上記と同様
にリニア発光素子アレイ2,3を順次発光走査す
る事によりe21、e22…e20の発光単位点及びf21
f22…f26の発光単位点がそれぞれ受光素子15に
よつて決定される。以上の操作によつて被検レン
ズ10の屈折特性情報を有するマスクの直線パタ
ーン20,21に対応した光源面上での直線軌跡
を得ることができる。すなわち図示するように、
発光単位点e11とf12からマスク4aの直線開口パ
ターン20の内の1本の直線パターンに対応した
直線軌跡20′bが、e12とf13とから直線軌跡2
0′cが求められる。また発光単位点f21ととe23
からマスク4bの直線開口パターン21の内の1
本の直線パターンに対応する直線軌跡21′cが、
f22とe24から直線軌跡21′dがそれぞれ求められ
る。以下同様に、直線軌跡20′d,20′e…2
2′…20′g及び23′,21′e…21′gがそ
れぞれもとめられる。
そのピツチがそれぞれp′、p″に変化し、また配
列方向の交差角はε′に変化している。
なお、実際の測定においては、例えばマスク4
aの直線パターン20dで選択され、受光素子で
検知される光線を射出する発光単位点は、リニア
発光素子アレイの配列方向に沿つてある幅内で連
続して複数個存在している。上記第8図における
発光単位点の位置eij,fij例えば、e13、f14とは、
この複数の発光単位点の中央に現実に位置する
か、あるいはこの複数の発光ダイオードの位置情
報からは計算上もとめる中央点位置を表わしてい
ることに注意されたい。
ゆえに上述の各直線軌跡も、このような発光単
位点eij,fijを結んで得られる、仮想的な軌跡で
あることに注意されたい。
次に第9図、第10図をもとに具体的に発光単
位点eij,fij及び直線軌跡の求め方を説明する。
第9図A〜Mは、リニア発光素子アレイを発光
走査したときの受光素子からの検知出力及びその
後の演算をタイミングチヤートで示した図であ
る。
第9図Aは、リニア発光素子アレイ2又は3の
発光走査駆動用及びこれに同期した受光素子15
の検知出力読み出し用のパルス列である。リニア
発光素子アレイにこのパルスが入力されると、そ
れにともなつてリニア発光素子アレイを構成する
発光ダイオードである各発光単位点は、順次発光
走査される。またこれに同期して受光素子の検知
出力がこのパルス列にしたがつて時系列的に読み
出される。
第9図B〜Eは、リニア発光素子アレイ2又は
3の発光走査により射出された光束がマスク4a
又は4bで選択され被検レンズ10で平行光線と
された光線を受光素子が検知したときの、受光素
子からの検知出力波形(包絡線)を示すもので、
Bは、リニア発光素子アレイ2が発光走査された
ときのマスク4aによる受光素子15の検知出力
波形を示すもので、発光単位点e11,e12…e17を有
する発光ダイオード群からの光線を受光したとき
の受光光量に応じた検知出力レベルの立上りを有
する出力波形となつている。同様に第9図cは、
リニア発光素子アレイ3の発光走査時の受光素子
15のマスク4aによる検知出力波形を、Dはリ
ニア発光素子アレイ2の発光走査時のマスク4b
による受光素子15の検知出力波形を、Eはリニ
ア発光素子アレイ3の発光走査時のマスク4bに
よる受光素子15の検知出力波形をそれぞれ示し
ている。
第9図F〜Iは、上述の検出出力波形B〜Eを
シユミツト・トリガー回路で矩形波に波形成形し
た矩形波出力波形であり、出力波形F〜Iはそれ
ぞれ出力波形B〜Eに対応している。つぎにこの
得られた矩形波出力波形F〜Iの各矩形波の中心
位置をもとめ、この中心位置をリニア発光素子ア
レイの発光ダイオード素子番号すなわち発光単位
点番号を目盛として位置付ける。
すなわち、第10図に示すようにE1、E2、…
EN-1、EN番までのN個の発光素子からなるリニ
ア発光素子アレイLNSの第Ep番からEp+o番号の
発光素子の発光により、矩形波出力eAが出力さ
れ、また第El番からEl+n番の発光素子により矩形
波出力eBが出力されているとき矩形波出力eAの幅
△Aは発光素子個数n個に、矩形波出力eBの幅△
Bは発光素子個数m個にそれぞれ対応しているの
で矩形波出力eAの中心位置O1はEp番素子からn/2
個づれたEp+n/2=Ec1番目の素子に対応している
ことがわかる。同様に矩形波出力eBの中心位置
O2はE1+n/2=EC2番目素子に対応している。又、
更に検出精度を上げる為には発光素子ピツチ間の
内挿が必要であるが、これは出力信号の立上り、
立下り部を正確に包絡線検波した後に適当なスラ
イスレベルで波形整形しリニア発光素子アレイを
駆動するパルス列より充分周波数の高いクロツク
パルスを用いて中心位置を検出する事によつて達
成される。
このように発光単位の発光位置は受光素子から
得られる発光素子アレイの発光走査に同期した矩
形波出力波形の中心位置をもとめることによりリ
ニア発光素子アレイの素子番号によつて位置付け
すなわちリニア発光素子アレイを座標軸とする座
標値として得られる。
第9図J〜Mは、上記の方法で各々の発光単位
点をリニア発光素子アレイ上の座標値として示し
た図であり、座標値e′11、e′12…e′17は発光単位点
e11,e1A2…e17にそれぞれ対応している。また以
下座標値f′11〜f′19は発光単位点f11〜f19に、座標
値e′21〜e′20は発光単位点e21〜e20に、座標値f′21
〜f′26は発光点f21〜f26にそれぞれ対応している。
また第10図に示したように矩形波出力eBを出
力するセンサ素子数mは他の矩形波出力eAを出力
するセンサ素子数nと異なつており、かつm>n
であることからこの矩形波出力eBが第7a図、第
7b図に示したような他の直線パターンより太い
直線パターン22,23からなる基準直線パター
ンに対応した受光素子からの検出出力であること
がわかる。本実施例においては第8図、第9図の
発光単位点e15,e16,e25,f23がそれぞれ基準直線
パターンに対応した基準発光点であり、e′15
f′16、e′25、f′23がそれぞれの基準座標値であるこ
とがわかる。
そして、基準座標値e′15、f′16から基準直線パタ
ーンに対応した直線軌跡22′の方程式が決定で
き、基準座標値e′25、f′23から基準直線パターンに
対応した直線軌跡23′の方程式が決定できる。
また基準座標値e′15、f′16、e′25、f′23を基準とし

順序づけられる各座標値から他の直線パターンに
対応した直線軌跡の方程式が決定できる。例えば
基準座標値e′15の次の座標値e′16と基準座標値f′16
の次の座標値f′17とから直線軌跡20′fの方程式
が決定できる。このように各々の座標値から多数
の直線軌跡の方程式が決定でき、かつこれら直線
軌跡は同じ平行直線群に属するものはその平行性
をくずすことはないので、これら多数の直線方程
式を平均化することにより、より正確な精密な検
出結果が得られる。また、求めた多数の方程式の
それぞれのピツチp′も多数の値を求めることがで
き、これらを平均化して正確な、精密なピツチ
p′を求めることができる。このことは、本発明の
大きな特徴である。
次に第11図から第13図までを参照しなが
ら、発光点座標より算出された直線軌跡の方程式
から仮想直線を生成し、この直線をもとに直線軌
跡を有する光源面と同一平面上に任意の4点を決
定し、この4点の変化から被検レンズの屈折特性
を測定する方法について述べる。第11図は、被
検レンズ8を測定光路に挿入しないときのリニア
発光素子アレイ2,3上に得られる直線軌跡の関
係を示している。このとき直線軌跡20″及び2
1″(第11図では、基準直線軌跡22″,23″
及び直線軌跡20″e,20″f,21″d,2
1″eのみを選択して示した)は、前述の方法に
よりその直線の方程式及びピツチPが決定され
る。そして次に例えば直線軌跡20″eを基準と
してexPだけ離れた位置に傾きfxm2の仮想直線
30を生成でき、又、その反対側にgxPだけ離れ
た位置に傾きfxm2の仮想直線31を生成するこ
とができる。同様な方法により、例えば直線軌跡
21″dを基準として、h×Pだけ離れた位置に
傾きfxm1の仮想直線32を、ixPだけ離れた位置
に傾きfxm1の仮想直線33をそれぞれ生成でき
る。ここで係数e,f,g,h,i、は任意に選
択できる係数であり、普通f=1すなわち直線軌
跡の方程式の傾きm1及びm2と同じ傾きの仮想直
線を生成させる。また、係数e,g,h,iは、
生成される仮想直線の交点36,37,38、及
び39がマスクの中心24に対し対称となるよう
に選ばれる。第11図は、このように仮想直線が
生成された状態を示している。このように仮想直
線を生成すると被検レンズのプリズム屈折力の算
出が容易になることは、すでに原理説明で述べた
通りである。
次に測定光路中に被検レンズを挿入し、その被
検レンズの屈折特性によつて変化された光線を受
光素子で検知したときの発光点座標から直線軌跡
を算出し、この直線軌跡から仮想直線をもとめる
方法を第12図に示す。
まず、被検レンズの屈折特性により、ピツチ
P′P″、傾きm1′、m2′にそれぞれ変化された直線
軌跡20′,21′を決定する。その方程式を算出
することは上述したとおりである。次に第11図
で基準とした直線軌跡20″eに対応する直線軌
跡20′eを基準として第11図で仮想直線30
を生成するために利用したと同じ量の係数eをも
つてexP″の位置に仮想直線30′を生成する。な
おこの仮想直線30′の傾きは第11図で仮想直
線30′の傾きfxm2の係数fをf=1とおいてい
るので仮想直線30′の傾きfxm2′の係数fも同
様にf=1としている。同様の方法で、直線軌跡
20′eを基準としてgxP″の位置に仮想直線3
1′を、直線軌跡21′dを基準としてhxP′の位
置に仮想直線32′を、ixP′の位置に仮想直線3
3′をそれぞれ生成する。そしてこれらの仮想直
線30′,31′,32′,33′から交点36′,
37′,38′,39′を得られるし、これら4交
点からその中心34′を得ることができる。
このようにして、もとめられた4点36′〜3
9′は、被検レンズ8を測定光路内に配置しない
時に得られる4点36〜39に対応する。この様
子を示すのが第13図である。そしてこの変位量
をもとに上述の第(3)〜(5)式によつて被検レンズの
屈折特性を算出することができる。本実施例のよ
うに被検レンズを測定光路内に挿入しないときの
仮想直線の4交点を基準点とし、被検レンズを測
定光路内に挿入したときの上記4交点の変位量を
もとめる方法を使用すると、上述の第(3)式は2本
のリニア発光素子アレイが作る座標系に対して全
く不変となる為、組立時にリニア発光素子アレイ
の交差角及び交差位置の管理を一切行なう必要が
なくなるという大きな利点がある。
第14図は、以上のごとき演算処理を行なう為
の第6図における駆動−演算回路1の一例をブロ
ツク図で示すものである。符号1000は、第6
図で示した光学系である。リニア発光素子アレイ
2及び3は、リニア発光素子アレイ駆動制御回路
100及び101にそれぞれ接続され、これら駆
動制御回路の発光走査駆動パルス102,103
で発光走査される。
まず、マイクロプロセツサ105から駆動制御
回路100に駆動開始パルス118が入力される
と、駆動制御回路100は、走査開始パルス10
6を出力するとともにリニア発光素子アレイ2の
発光走査を開始する。受光素子15からの検出出
力は増幅器104にて適当なレベルまで増幅され
たのちA/D変換器107に入力される様にする。
A/D変換器107は、第9図Aに示すようなリ
ニア発光素子アレイの発光走査駆動パルス102
に同期したパルスでリニア発光素子アレイの1発
光素子毎の発光に同期した受光素子15の検出出
力をアナログ−デジタル変換し、このようにして
変換されたデジタル値をマイクロプロセツサに供
給する。
ここでA/D変換器107は、8ビツト(1/256)
程度の分解能を有し、かつリニア発光素子アレイ
の走査周波数より速い変換時間を有するものが選
ばれる。マイクロプロセツサ105は、リニア発
光素子アレイの1発光素子毎に対応した受光素子
15からのデジタル値に変換された出力を読み込
み、RAM(ランダム・アクセス・メモリー)等
で構成されるデータメモリー109に逐次記憶す
る。
従つて、データメモリー109には、あらかじ
め定められた番地よりリニア発光素子アレイの最
初の発光素子に対応する受光素子15からの検出
出力が順次デジタル値として記憶される。例え
ば、リニア発光素子アレイが1728素子のものであ
れば、1728個のデータ取り込みが終了すると、マ
イクロプロセツサ105はそれ以上のデータ取り
込みをやめると同時にリニア発光素子アレイ2の
発光走査を停止させ、次に駆動開始パルス119
を駆動制御回路101に入力する。回路101
は、パルス119の入力を受けると、走査開始パ
ルス110を出力するとともに発光走査駆動パル
ス103によりリニア発光素子アレイ3を発光走
査する。この発光走査によるリニア発光素子アレ
イ3からの光は、再び受光素子15で検出され、
A/D変換器107でアナログ−デジタル変換さ
れたのち、マイクロプロセツサ105に取り込ま
れ、データメモリ109の別の番地に検出出力が
デジタル値として記憶される。次にマイクロプロ
セツサ105は図示しないシヤツターコントロー
ル回路によりシヤツターを切替え、リニア発光素
子アレイ2,3について同様の処理を行なう。こ
れによりすべてのデータの記憶が終了し、以後マ
イクロプロセツサ105内の演算回路112はデ
ータメモリ109に書き込まれたデータを基にし
て以下の処理を行なう。
(1) 光束制限マスクの直線開口パターンで選択さ
れ被検レンズで平行光線となり、各受光素子で
検出された検出出力波形の中心位置から、発光
点を求め、これがリニア発光素子アレイの素子
の何番目に位置するかを検出する。
(2) 2本のリニア発光素子アレイが作る座標系に
於いて、各直線軌跡を決定し、その方程式を求
める。
(3) すでに述べた方法により、第12図の30′
〜33′のごとき仮想直線の方程式を生成し、
それらの交点として、第13図に示す4点3
6′〜39′の座標位置を求め、それより、その
中心位置34′を求める。
(4) あらかじめ、被検レンズを挿入しない場合の
4点の基準位置、36〜39及びその中心34
の座標位置と前項(3)で求められた各点36′〜
39′及び34′の座標位置より前記(3)〜(5)式に
したがつて演算し被検レンズの球面度数S、円
柱度数C、乱視軸方向Ax及びプリズム屈折力
Px、Pyを求める。
以上の処理により求められた各値は、第14図
に示す表示器113、プリンター装置114に出
力される。以上の処理は、全てプログラムメモリ
ー115に記録されているプログラムに従つて行
なわれる。マイクロプロセツサによつて以上の様
な処理を行なう事は特殊なものでなく、関連する
技術分野に属する当業者にとつては容易に達成で
きるものである。
本発明は以上に説明した実施例に限定されるも
のでなく、種々の変形例を有するものである。以
下にその2、3の例を開示する。
第15図はリニア発光素子アレイの配置に関す
る別の実施例である。第6図の第1実施例におい
て、発光素子アレイ2,3はリレーレンズ8によ
る光学的に共役な仮想光源面S上で互いに交差す
るように配置したが、本発明はこれに限られるも
のではない。また、その交差もリニア発光素子ア
レイの延長線が仮想的に交差する配置でもよく、
さらに本発明の原理から理解出来るように、本発
明は、光束分割マスク上に形成された直線パター
ンに対応する直線軌跡の直線方程式を求めること
が測定の第1ステツプである。直線の方程式を求
めるには、直線の少なくとも2点を特定できれば
決定できるので、直線軌跡を作定するリニア発光
素子アレイの配置は、それが作定しようとする直
線軌跡と平行にならない限り自由に配置できる。
第15図はその一例を開示するもので仮想光源面
Sで2本のリニア発光素子アレイ160,161
が平行になるように配置した例である。より具体
的に言うならば、リニア発光素子アレイ160は
第6図の発光素子アレイ2が配置されている面内
に、リニア発光素子アレイ161は、第6図のリ
ニア発光素子アレイ3が配置されている面内にそ
れぞれ光源面S上で互いにこれら2本のリニア発
光素子アレイが平行になるように配置すればよ
い。
第16図は上述の2本の平行なリニア発光素子
アレイを使用するかわりに1本のリニア発光素子
アレイを使用し、これと像シフト用光学手段を組
み合せ、実質的に2本の平行なリニア発光素子ア
レイを使用したと同じ効果をもたせた実施例の開
示である。第16図においてリレーレンズ8より
前方の光学配置は第6図と同様の光学配置を有す
るものとして、図示を省略してある。また第6図
の第1実施例と同一もしくは均等な構成要素には
同一の符号を付して説明を省略する。1本のリニ
ア発光素子アレイ162の前方には、入射光軸に
垂直で、かつリニア発光素子アレイの発光素子の
配列方向と平行な軸を回動軸とするプレンパラレ
ル等の像フト光学手段170が配置されている。
プレンパラレル170はドライブ回路172によ
つて互いに同期して前記回転軸を軸として角度
だけ矢印173の方向に回動される。
今プレンパラレル170が実線で図示したよう
に出射光軸175に対し、垂直に位置していると
き、今第2測定光路のマスク4bを通過しハーフ
ミラー7の半透過半反射面7aを透過した光束は
出射光軸175と同軸の投影光軸176を有する
投影光束としてリレーレンズ8を介して被検レン
ズに投影される。次にドライバ回路172の駆動
により、プレンパラレル170を角度だけ回動
し、170′の位置に移動させると、投影光束は
プレンパラレルの屈折作用によりシフトされ、投
影光軸176から平行ズレした第2の投影光軸1
77を投影光軸とする投影光束として、リレーレ
ンズ8を介して被検レンズに投影される。なお第
1測定光路のマスク4aを通過した光束について
もハーフミラー7で反射後同様の作用をさせるこ
とは言うまでもない。なお第15図、16図のリ
ニア発光素子アレイのかわりに2次元発光素子ア
レイをもちいれば検出点数を増大できる。
以上の各実施例においては、投影光路を2つに
分割し、それぞれの投影光路に1枚づつ計2枚の
光束制限マスクを配した構成について説明した
が、以下第17図および第18図を参照して1枚
のマスクのみで測定を行なう装置についての実施
例を説明する。
第17図に本実施例の装置の光学系の配置例を
示すが前述の第6図の装置と同一もしくは均等な
構成要素には同一の符号を付して説明は省略す
る。
マスク500には、第18図に示すように平行
直線開口パターン群503と504が互いにその
配列方向を異にして形成されている。各平行直線
群503,504には、前述の実施例と同様それ
ぞれの直線群の他の直線パターンと左別するた
め、その太さが異なつた直線開口パターン50
1,502が形成されている。
第19図は、リニア発光素子アレイ2,3と発
光点及び直線軌跡の関係を示す概略図である。
今、リニア発光素子アレイ2の発光走査によりそ
の各発光ダイオードからの光は、ハーフミラー5
を通過し、リレーレンズ8、ミラー19を介して
仮想光源面Sで発光走査されるように作用し、そ
の光束は、マスク500で選択され、被検レンズ
の屈折作用を受け装置光軸Oと平行な光線が、ミ
ラー12、リレーレンズ13を介してピンホール
14に入射し、リレーレンズ18で受光素子15
で検出され増幅器104により検出出力が増幅さ
れる。以下、第14図とほぼ同様の駆動一演算回
路で処理される。そして発光点座標b,d,e,
gが決定される。次にリニア発光素子アレイ3を
発光走査し、ハーフミラー5で反射されたリニア
発光素子アレイ3からの光束は上述の光路をたど
つたのち再び受光素子15で検出され、発光点座
標a,c,f,hが決定される。そして発光点座
標a,bから直線軌跡511が、発光点座標c,
dから直線軌跡512が、発光点座標e,fから
直線軌跡521が、発光点座標g,hから直線軌
跡522がそれぞれ作定され、その方程式が算出
され、以下前述の実施例と同様の演算処理により
被検レンズ10の屈折特性が得られる。
第20図は、上述の多くの実施例が少なくとも
2本の固定的に配置されたリニア発光素子アレイ
を使用したのに対し、1本のリニア発光素子アレ
イを光源面内で移動させることによつて測定する
実施例を示す図である。尚、前述の実施例と同一
もしくは均等な構成要素には、同一の符号を附し
て説明を省略する。
リニア発光素子アレイ212は、リニア発光素
子アレイ回転角制御回路213の制御で回転する
パルスモータ214に取付けられており装置光軸
を回転軸として所定角回動される。今、図示する
ように第1光路152のシヤツター153bを光
路外に退避させ、第2光路153のシヤツター1
53aをその光路中に挿入した状態で、まずリニ
アアレイ212を第1の位置にセツトし、発光走
査する。リニアアレイ212から光束はハーフミ
ラー5を透過し、マスク4aで選択される。そし
て受光素子15の検出出力から第8図の発光点
e11,e12…e17が決定される。次に駆動し演算回路
1のマイクロプロセツサ105の制御のもとにリ
ニア発光素子アレイ回転制御回路213からのパ
ルス信号によりパルスモータ214を回転し、リ
ニア発光素子アレイ212を回転し、第8図のリ
ニア発光素子アレイ3の位置まで回転移動し、再
びこの位置で発光走査し、受光素子15の検出出
力からf11,f12…f19の発光点を決定する。次にシ
ヤツター153a,153bを切換えて第2光路
を開け、再びリニア発光素子アレイ212を発光
走査し、マスク4bで選択された光束から、発光
点f21,f22…f24を決定し、次にリニア発光素子ア
レイ212をパルスモータ214で回転し、再度
発光走査し、発光点e21,e22…e29,e20を決定す
る。そして以下決定されたこれら発光点からその
座標を決定し、直線軌跡を作定し、その方程式を
もとに被検レンズを屈折特性を算出する方法は前
述の実施例と同様である。
なお1本のラインセンサを回転するかわりに平
面内を連続的もしくは多段階的に平行移動させて
もよく、また1本のライン発光素子センサを固定
し、公知の光学的イメージローテーターを回転し
たり、プレンパラレルを連続回転することによつ
て投影光束を連続的もしくは多段階的に回転もし
くは平行移動させてもよい。この場合イメージロ
ーテーターやプレンパラレルはマスクとラインセ
ンサの間に配置すべきことは言うまでもない。
またラインセンサのかわりに2次元平面センサ
で検出してもよい。本実施例によれば前述の実施
例よりさらに多くの検出点が検出でき測定精度を
向上させることが出来る。
第21図、第22図は、本発明の第6、第7の
実施例を示す図で上述の実施例において複数の平
行な直線パターンからなる平行直線パターン群を
別々のマスク手段上か、あるいは1つのマスク手
段上に、その直線パターン群の配列方向が異なる
ようにしたが、そのかわりにただ1つの平行直線
パターン群を1つのマスク手段上に形成し、被検
レンズの前方に該マスク手段を配置し、マスクを
透過し、被検レンズに入射する光束の直線パター
ン群の配列方向がその被検レンズに対し相対的に
少なくとも1回異なるように構成し、前述の実施
例と同様の作用効果をもたせた実施例である。
第21図はリニアアレイ射出光束に対しマスク
手段を回動させることにより被検レンズに異なる
配列のマスクパターンからの光束を入射させる構
成とした実施例を示す図である。
第21図において、被検レンズ10に入射する
光束はリレーレンズ8を介してマスク手段から選
択射出される。ここでマスク手段は、例えば第7
a図に示すマスク4aのように複数の平行な直線
パターンがその配列方向を1方向のみ有している
マスクであり、このマスク4aを予め定めた配列
方向になるように光路中に配置させておく。そし
てこのマスク4aを射出してくる光束は、それぞ
れ前述の実施例同様ハーフミラー5を反射もしく
は透過してくるリニア発光素子アレイ2,3の発
光走査光束である。つぎにマスク4aをモータ駆
動制御器215によつて制御する。パルスモータ
216で所定角だけ測定光軸Oを軸として回転さ
せたのち、再びこのマスク4aにリニア発光素子
アレイからの光束を入射させ、以下同様に受光素
子15で検出させる。
第22図は、第21図の実施例が被検レンズ1
0に入射する光束をマスク手段の回動により変更
したのに対し、マスク手段を固定しておき逆に被
検レンズ入射光束自身を測定光軸Oを回動軸とし
て回動させるように構成した実施例である。その
ためには、マスク射出光束を公知のイメージロー
テーター220等の光束回動手段に入射させ、こ
のイメージローテーターを回転させればよい。被
検レンズ10に入射する光束はリレーレンズ8を
通過する前に予め定められた角度に配置されたイ
メージローテーターを通つて回転されており、す
なわち固定配置されているマスク4aを通過した
光束は所定角回転されている。以下前述の実施例
と同様にリニア発光素子アレイ2,3の発光走査
は受光素子15で検出される。つぎにイメージロ
ーテーターを所定角度だけ回転させ、再びマスク
通過光束を通過させ前回とは異なる角度に光束を
回転させて、被検レンズ10に入射させ、これを
受光素子15で検出させる。
前記各実施例においては、光源として、多数の
発光ダイオードを幾何学的に平面状もしくは直線
状に配列した平面型発光素子アレイや、リニア型
発光素子アレイをもちいたが、本発明はこれに限
定されるものではなく、実質的もしくは仮想的な
平面に発散光束を出す多数の発光単位を稠密的に
有し、これを時系列的に発光走査できるものであ
ればいかなるタイプのものであつても光源として
使用できる。その例を第23図に示す。この光源
はレーザ光源301と、それからのビーム307
を駆動制御回路302で駆動及び制御され、レー
ザ光源301からのビーム307を偏向する回転
多面鏡や、ガルバノメーター振動鏡、又は音響光
学素子等を利用したビームスキヤン装置303か
らなる。偏向されたビーム307は、入射側にコ
リメーターレンズ部304を射出側にビームを発
散光束化する拡散もしくは発散光学素子305a
をそれぞれ多数平面状もしくは直線状に配列した
拡散光学素子アレイ306に入射され、このアレ
イ306を射出した拡散光はスキヤン装置303
により順次時系列的にスキヤンされる。
またマスクMの直線パターンを光束を選択的に
反射する反射型の直線パターンとしても本発明が
成立することは当業者に説明するまでもないこと
であろう。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の原理を示す投影系
の斜視図、第3図a,b,cは本発明によつて光
学特性が測定できることを示す直線軌跡とリニア
アレイの関係を示す概略図、第4図は直交座標系
と斜交座標系の関係を示す図、第5図は直線軌跡
と仮想平行四辺形の関係を示す図、第6図は本発
明の一実施例を示す光学系の概略図、第7図a,
bはマスクパターンの一例を示す正面図、第8図
はリニアアレイ上の発光点の決定と直線軌跡の作
定関係を示す概略図、第9図A〜Mは受光素子に
よる検出出力及び座標値との関係を示すタイミン
グチヤート図、第10図はリニアアレイの発光点
から座標値を決定する方法を示すリニアアレイの
素子配列図、第11図、第12図及び第13図は
本発明の原理による測定を説明するための概略
図、第14図は演算回路の一例を示すブロツク
図、第15図は本発明の第2の実施例によるリニ
アアレイの配列を示す図、第16図は本発明の第
3の実施例を示す光学系の一部概略図、第17図
は本発明の第4の実施例を示す光学系の概略図、
第18図は第4の実施例のマスクパターンを示す
図、第19図は第4の実施例における発光点と直
線軌跡の作定方法を示す図、第20図は第5の実
施例を示す光学系の一部概略図、第21図は第6
の実施例を示す光学配置図、第22図は第7の実
施例を示す光学配置図、第23図は本発明の光源
の他の実施例を示す図。 1…駆動−演算回路、2,3…リニア発光素子
アレイ、4a,4b…マスク、8…リレーレン
ズ、10…被検レンズ、11…被検レンズ保持手
段、13…集光レンズ、15…受光素子、16,
17…シヤツター。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被検光学系を保持する保持手段と、 該被検光学系に光束を投影する多数の発光単位
    を実質的にもしくは仮想的に二次元平面内にも
    ち、その内の一つの発光単位を選択的に発光させ
    る光源と、 前記光源と前記被検光学系の間に配され、互い
    にその配列方向を異にしそれぞれ前記光源からの
    光束を選択する少なくとも2本の平行な直線パタ
    ーンからなる第1直線パターン群及び第2直線パ
    ターン群と 該第1及び第2直線パターン群で選択され前記
    被検光学系によつて平行光線とされた光線のみを
    開口手段に導くための集光手段と、 前記開口手段を通過した光線を検知する検知手
    段と、 該検知手段が該光線を検知したときの前記光源
    の発光単位の発光位置情報から前記第1及び第2
    直線パターン群に対応する前記平面上での前記発
    光単位が作る直線軌跡をもとにして前記被検光学
    系の光学特性を演算する演算手段とから構成され
    てなることを特徴とする光学系の光学特性測定装
    置。 2 前記第1及び第2直線パターン群は、前記光
    束を透過する透過型パターンであることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の光学系の光学特
    性測定装置。 3 前記第1及び第2直線パターン群は、1枚の
    マスク手段に形成されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項又は第2項記載の光学系の光
    学特性測定装置。 4 前記光源と前記被検光学系の間の光路を2分
    割し前記第1直線パターン群を一方の分割光路
    に、前記第2直線パターン群を他方の分割光路に
    配してなることを特徴とする特許請求の範囲第
    1、又は第2項記載の光学系の光学特性測定装
    置。 5 前記第1及び第2直線パターン群のそれぞれ
    には他の直線パターンとその太さ又は透過もしく
    は反射率を異にしてなる直線パターンを有してい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし
    第4項のいずれかに記載の光学系の光学特性測定
    装置。 6 前記第1及び第2直線パターン群双方もしく
    は一方の前方の光路を2分割し、それぞれの分割
    光路に前記光源を配してなることを特徴とする特
    許請求の範囲第2項ないし第5項のいずれかに記
    載の光学系の光学特性測定装置。 7 前記光源は、多数の発光単位を二次元平面内
    に配列し該発光単位を時系列的に発光走査する平
    面型発光素子アレイであることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに記載
    の光学系の光学特性測定装置。 8 前記光源は、多数の発光単位を直線状に配列
    し該発光単位を時系列的に発光走査するリニア発
    光素子アレイであることを特徴とする特許請求の
    範囲第2項ないし第6項のいずれかに記載の光学
    系の光学特性測定装置。 9 前記光源は、2本のリニア発光素子アレイで
    構成され、前記発光素子を順次発光走査し、かつ
    これらのリニア発光素子アレイが前記二次元平面
    内で仮想的に交差していることを特徴とする特許
    請求の範囲第8項記載の光学系の光学特性測定装
    置。 10 前記交差は、直交であることを特徴とする
    特許請求の範囲第9項記載の光学系の光学特性測
    定装置。 11 前記光源は、前記二次元平面内に平行に配
    列された少なくとも2本のリニア発光素子アレイ
    からなることを特徴とする特許請求の範囲第8項
    記載の光学系の光学特性測定装置。 12 前記光源は、前記二次元平面で回転する1
    本のリニア発光素子アレイからなることを特徴と
    する特許請求の範囲第8項記載の光学系の光学特
    性測定装置。 13 前記リニア発光素子アレイと、前記第1及
    び第2直線パターン群の双方もしくは一方との間
    に光束回転手段を配してなることを特徴とする特
    許請求の範囲第8項記載の光学系の光学特性測定
    装置。 14 前記リニア発光素子アレイと前記第1及び
    第2直線パターン群の双方もしくは一方との間に
    光束を装置光軸と垂直な方向にシフトする光束シ
    フト手段を有してなることを特徴とする特許請求
    の範囲第8項記載の光学系の光学特性測定装置。 15 前記演算手段は、前記平面上の直線軌跡の
    ピツチと傾きの変化から前記被検光学系の光学特
    性を演算するように構成されていることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項ないし第14項のいず
    れかに記載に光学系の光学特性測定装置。 16 前記演算手段は、少なくとも2つの前記発
    光位置情報をもとに前記直線パターンに対応した
    前記直線軌跡の方程式を作成し、該方程式をもと
    に前記直線軌跡のピツチと傾きの変化を求めるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第15項記載の光
    学系の光学特性測定装置。 17 前記演算装置は、前記直線軌跡の方程式か
    ら仮想平行四辺形を作り、前記被検光学系が装置
    光路内に存在する場合と存在しない場合の該仮想
    平行四辺形の変化から前記被検光学系の光学特性
    を測定することを特徴とする特許請求の範囲第1
    5項又は第16項記載の光学系の光学特性測定装
    置。 18 前記発光単位が、発光ダイオードであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第1
    7項のいずれかに記載の光学系の光学特性測定装
    置。 19 前記発光単位が、レーザからの光を拡散す
    る拡散光学素子であることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項ないし第17項のいずれかに記載の
    光学系の光学特性測定装置。
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