JPH02252113A - 磁気ヘッドの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、磁気ディススフ装置における磁気ヘッドの
主要構造寸法であるリードライトギャップとイレーズギ
ャップのギャップ長、ギャップ深さ等を計測する磁気ヘ
ッドの検査方法に関するものである。

［従来の技術］ 第７図は従来のギャップ長を測定する方法を示す一部断
面正面図、第８図は従来のギャップ深さを計算する方法
を示す正断面図で、図において、（１）は磁気ヘッドの
コア部、（２）　、　（３）　、　（４）はそれぞれコ
ア部（１）を構成するリードライトコア、センターコア
及びイレーズコア、（５）はリードライトコア（２）と
センターコア（３）間に形成されるリードライトギャッ
プ、（６）はイレーズコア（４）とセンターコア（３）
間に形成されるイレーズギャップ、（７）はリードライ
トギャップ（５）上方に設置された測一 走用顕微鏡、（８）はコア部（１）の側面に接着された
ホルダー１、（９）はその反対側の側面に接着されたホ
ルダー２、寸法Ｄ１はチップ段階で測定されたチップギ
ャップ深さ、寸法Ｄ２は磁気ヘッド製造段階で研磨され
た厚さである。

次にそのギャップの測定動作について説明する。

まず、ギャップ（５）の上方に設置されである測定用顕
微鏡（７）で目視によってギャップ長ＧＬを測定する。

次に、ギャップ深さＧＤを測定するには、まず、チップ
段階でチップギャップ深さＤｌを測定し記録する。次に
、ホルダー１（８）とホルダー２（９）とをコア部（１
）の両側に上面が面一となるように接着し、上面より研
磨していき、その研磨された厚さ寸法Ｄ２を測定する。

ここでギャップ深さＧＤは、ＧＤ＝Ｄ１−Ｄ２の計算に
より算出される。なお、この研磨は普通複数の工程より
成り立っている・ ［発明が解決しようとする課題］ 従来のギャップ長、ギャップ深さ検査方法は、以上のよ
うにしてなされるので、ギャップ長とギャップ深さを別
々に測定せねばならない。また、ギャップ深さの測定に
際しては、チップ段階でのギャップ深さを各チップ毎に
記録しておかなければならず、さらに研磨寸法について
は、複数の研磨工程を経るため、その計算方法が複雑と
なり、その結果精度に誤差を生じやすくなるという問題
点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ギャップ長とギャップ深さを同時に測定で
き、ギャップ深さ測定時には前工程のデータを必要とせ
ず、簡単でかつ精度の高い検査方法を得ることを目的と
する。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る磁気ヘッド検査方法は、リードライトコ
アまたはイレーズコアの脚部に探査コイルを挿入し、複
数の異なる周波数にてインダクタンスを測定し、この値
を演算することにより上記リードライトギャップまたは
イレーズギャップのギャップ長及びギャップ深さを算出
するようにしたものである。

また、検査に際しては、周波数Ｆ１及びＦ２（Ｆ。

＜Ｆ２）にて測定したインダクタンスがＬｌ及びり。

である時のギャップ長ＧＬ及びギャップ深さＧＤを、ｋ
□、ｋ、を実験式より求まる係数、ｍ１、ｍ２を実験式
より求まる定数として、次式 ＧＬ＝（ｋｉ”Ｌｚ＋ｍ１．）”（Ｆ２・Ｌ１／（Ｌｚ
−Ｌｔ）＋ｍ４）２ＧＤ＝（ｋ□・Ｌ２＋ｍ□）・ＧＬ にて算出するようにした。

さらに、ギャップ長が安定してばらつきが少なくギャッ
プ深さのみ測定すればよい場合は、所定周波数Ｆ３にて
測定したインダクタンスがＦ３である時のギャップ深さ
ＧＤを、Ｆ３を実験式より求まる係数、ｍ３を実験式よ
り求まる定数として、次式 ％式％ にて算出するようにした。

［作　用］ この発明における検査方法は、コア部のインダクタンス
が、それのギャップ長、ギャップ深さと深い関係があり
、その関係式が実験により求まることに着目し、このコ
ア部のインダクタンスを測定し、この測定したインダク
タンス値から実験式によりコア部のギャップ長、ギャッ
プ深さを算出するようにしたので、磁気ヘッド製作工程
中における複雑な機械的測定を必要とせずに、高精度な
磁気ヘッドの検査が可能となる。

［実施例］ 以下この発明の一実施例を図について説明する。

第１図〜第３図はこの実施例により検査される磁気ヘッ
ドを示し、第１図（ａ）は正断面図、（ｂ）は側面図、
（ｃ）は下面図、第２図は拡大上面図、第３図はギャッ
プ部を拡大して示した斜視図、第４図はこの実施例によ
る検査方法を示す正断面図で、図において、（１）は磁
気ヘッドのコア部、（２）はリードライトコア、（３）
はセンターコア、（４）はイレーズコア、（５）はリー
ドライトギャップ、（６）はイレーズギャップ、（８）
はホルダー１、（９）はホルダー２、ＧＬはギャップ長
、ＧＤはギャップ深さ、ＴＶはトラック幅、（１０）は
探査コイル、（１１）はボビン部、（１２）はコイル部
、（１３）はコイル部（１２）より引き出されたリード
端子である。

次にこの実施例による検査方法について説明する。まず
、第４図に示すように、リードライ１へコア（２）の脚
部に探査コイル（１０）を挿入し、コイル部（１２）よ
り引き出されたリード端子（１３）をインダクタンスメ
ータ（図示せず）に接続し、インダクタンスを測定する
。この時インダクタンスの値は、磁束密度が大きくなる
リードライトギャップ部（５）の形状に大きく依存する
。第３図に示すようにギヤツブ部形状は、ギャップ長Ｇ
　Ｌ、ギャップ深さＧＤ、トラック幅ＴＷにて表わされ
るが、トラック幅ＴＷは通常工程能力があるため寸法の
変動が少ない。そこで、インダクタンスの値の主要変動
要素としては、ギャップ長ＧＬとギャップ深さＧＤにな
る。

さてここで、ギャップ長ＧＬ、ギャップ深さＧＤとイン
ダクタンスとの関係を求める実験を行ないグラフ化した
結果、第５図、第６図に示すグラフが得られた。いま、
ギャップ長をＧＬ、ギャップ深さをＧＤ、周波数Ｆ□（
例えば１ｋＨｚ）の信号にて測定したインダクタンスを
Ｌ□、周波数Ｆ２（例えば１ｏｋＨｚ）にて測定したイ
ンダクタンスをＬ２（ここでＦ２＞Ｆｌとする）、ｋ□
、ｋ２を実験式より求まる係数、ｍ１、ｍ２を実験式よ
り求まる定数とすると、第５図のグラフより次の実験式
が成り立つ。

ＧＤ／ＧＬ＝に□−Ｌ２＋ｍ□ 同様に第６図のグラフより次の実験式が成り立つ。

ＧＬ／／″ＧＤ＝（ｋｚ・Ｌ１／（Ｌ２　　Ｌｌ）＋ｍ
２）上記の２つの式よりＧＬ、ＧＤを求めると次のよう
になる。

ＧＬ＝（ｋ、ｉ”Ｌ２＋ｒｎｔ）’（ｋ２’Ｌｉ／（Ｌ
２−Ｌｘ）＋ｒｒ＋２）２ＧＤ＝（ｋ、・Ｌ、＋ｍ□）
ＧＬ このようにして、複数（例えば２個）の異なる周波数に
て測定したインダクタンスの値と、あらかじめ実験式よ
り求めておいた係数、定数の値を演算することによりギ
ャップ長とギャップ深さを算出することができる。

なお上記実施例では、リードライトコア（２）の脚部に
探査コイル（１０）を挿入し、リードライトのギャップ
長、ギャップ深さを算出したが同様の方法にてイレーズ
コア（４）の脚部に探査コイル（１０）を挿入すること
によりイレーズのギャップ長、ギャップ深さを算出する
こともできる。

また上記実施例では、ギャップ長とギャップ深さの両方
を算出する方法を示したが、ギャップ長が安定してばら
つきが少ない場合には、所定の周波数Ｆ３において測定
したインダクタンスをＬ３とし、次の実験式によりギャ
ップ深さが算出できる。

ＧＤ＝に３・Ｌ３＋ｍ３ に３、ｍ３はそれぞれ実験式より求める係数、定数であ
る。

［発明の効果］ 以上のようにこの発明によれば、磁気ヘッドをスライダ
ーの段階で探査コイルを挿入し、複数の異なる周波数に
てインダクタンスを測定することにより、ギャップ長、
ギャップ深さを算出するようにしたので、磁気ヘッド製
作工程中における複雑な機械的測定を必要とせずに、ギ
ャップ長、ギャップ深さを簡単に精度高く計算すること
ができ、磁気ヘッドの完成品になる前に良否を判定でき
るという効果がある。

また、ギャップ長が安定してばらつきが少ない場合には
、一つの周波数のインダクタンスの値よりギャップ深さ
が算出できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図はこの発明の一実施例により検査される
磁気ヘッドを示し、第１図（ａ）は正断面図、（ｂ）は
側面図、（ｃ）は下面図、第２図は拡大上面図、第３図
はギャップ部を拡大して示した斜視図、第４図はこの実
施例による検査方法を示す正断面図、第５図、第６図は
この実施例における検査方法の基となる実験結果を示す
グラフ、第７図は従来のギャップ長を測定する方法を示
す一部断面正面図、第８図は従来のギャップ深さを計算
する方法を示す正断面図である。 図において、（１）は磁気ヘッドのコア部、（２）はリ
ードライトコア、（３）はセンターコア、（４）はイレ
ーズコア、（５）はリードライトギャップ、（６）はイ
レーズギャップ、（８）はホルダー１、（９）はホルダ
ー２、ＧＬはギャップ長、ＧＤはギャップ深さ、ＴＷは
トラック幅、（１０）は探査コイル、（１１）はボビン
部、（１２）はコイル部、（１３）はコイル部（１２）
より引き出されたリード端子である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）脚部を有するリードライトコアとイレーズコアと
   をセンターコアを介して配置し、これらリードライトコ
   アとセンターコア間及びイレーズコアとセンターコア間
   にリードライトギャップとイレーズギャップを形成させ
   た磁気ヘッドの上記両ギャップのギャップ長及びギャッ
   プ深さを測定する磁気ヘッドの検査方法において、上記
   リードライトコアまたはイレーズコアの脚部に探査コイ
   ルを挿入し、複数の異なる周波数にてインダクタンスを
   測定し、この値を演算することにより上記リードライト
   ギャップまたはイレーズギャップのギャップ長及びギャ
   ップ深さを算出することを特徴とする磁気ヘッドの検査
   方法。
2. （２）リードライトコアまたはイレーズコアの脚部に探
   査コイルを挿入して周波数Ｆ＿１及びＦ＿２（Ｆ＿１＜
   Ｆ＿２）にて測定したインダクタンスがＬ＿１及びＬ＿
   ２である時のギャップ長ＧＬ及びギャップ深さＧＤを、
   ｋ＿１、ｋ＿２を実験式より求まる係数、ｍ＿１、ｍ＿
   ２を実験式より求まる定数として、次式 ＧＬ＝（ｋ＿１・Ｌ＿２＋ｍ＿１）・｛ｋ＿２・Ｌ＿１
   ／（Ｌ＿２−Ｌ＿１）＋ｍ＿２｝＾２ＧＤ＝（ｋ＿１・
   Ｌ＿２＋ｍ＿１）・ＧＬ にて算出することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の磁気ヘッドの検査方法。
3. （３）脚部を有するリードライトコアとイレーズコアと
   をセンターコアを介して配置し、これらリードライトコ
   アとセンターコア間及びイレーズコアとセンターコア間
   にリードライトギャップとイレーズギャップを形成させ
   た磁気ヘッドの上記両ギャップのギャップ深さを測定す
   る磁気ヘッドの検査方法において、上記リードライトコ
   アまたはイレーズコアの脚部に探査コイルを挿入して所
   定周波数Ｆ＿３にて測定したインダクタンスがＬ＿３で
   ある時のギャップ深さＧＤを、ｋ＿３を実験式より求ま
   る係数、ｍ＿３を実験式より求まる定数として、次式 ＧＤ＝ｋ＿３・Ｌ＿３＋ｍ＿３ にて算出することを特徴とする磁気ヘッドの検査方法。