JPH02253227A - 動的面出入り測定装置 - Google Patents
動的面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH02253227A JPH02253227A JP7402389A JP7402389A JPH02253227A JP H02253227 A JPH02253227 A JP H02253227A JP 7402389 A JP7402389 A JP 7402389A JP 7402389 A JP7402389 A JP 7402389A JP H02253227 A JPH02253227 A JP H02253227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exit
- entrance
- laser beam
- laser
- dynamic surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザプリンタ等に用いられるポリゴンミラ
ーを使ったレーザスキャニング装置の評価装置に関する
ものである。
ーを使ったレーザスキャニング装置の評価装置に関する
ものである。
（従来の技術）
レーザプリンタでは、高解像度、高印字品質などの性能
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも、レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの精度で加工組み立てを行ない
、ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証し
なければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがス
ピンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキ
ャナの寸法、面出入り等の加工精度などの光学特性を静
的に測定する方法は実用化されている。しかし、スキャ
ナが高速に回転している状態での動的な面の出入り（軸
ぶれを含む）を実測する有効な手段がなく、装置に実装
のうえ印字の結果からその良否を判定する方法を採用す
るしかなかった。
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも、レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの精度で加工組み立てを行ない
、ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証し
なければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがス
ピンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキ
ャナの寸法、面出入り等の加工精度などの光学特性を静
的に測定する方法は実用化されている。しかし、スキャ
ナが高速に回転している状態での動的な面の出入り（軸
ぶれを含む）を実測する有効な手段がなく、装置に実装
のうえ印字の結果からその良否を判定する方法を採用す
るしかなかった。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来の方法では、作業効率が低く生産性の向上が期
待出来ず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が要望されていた。
待出来ず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が要望されていた。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明に
よる動的面出入り測定装置は、レーザ光源２から出射さ
れたレーザビームＬ１を、ビームエキスパンダ３を通過
させ１通過後のレーザビームＬ２を、ポリゴンミラー１
のミラー面Ａに平行になるように入射・し、前記レーザ
ビームＬ２が前記ミラー面Ａによりけられたレーザビー
ムＬ３を高速レーザパワー検出器４に入射するようにし
たものである。
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明に
よる動的面出入り測定装置は、レーザ光源２から出射さ
れたレーザビームＬ１を、ビームエキスパンダ３を通過
させ１通過後のレーザビームＬ２を、ポリゴンミラー１
のミラー面Ａに平行になるように入射・し、前記レーザ
ビームＬ２が前記ミラー面Ａによりけられたレーザビー
ムＬ３を高速レーザパワー検出器４に入射するようにし
たものである。
（作用）
本発明によれば、レーザビームＬ２光をポリゴンミラー
１のミラー面Ａに平行に入射するため、スキャナモータ
が回転しているときの回転ジッタの影響を受けずに回転
している動的な面出入りが測定できる。
１のミラー面Ａに平行に入射するため、スキャナモータ
が回転しているときの回転ジッタの影響を受けずに回転
している動的な面出入りが測定できる。
（実施例）
第１図は１本発明の一実施例を説明する図であって、レ
ーザ光源２から出射されたレーザビームＬ１は所定のレ
ーザビーム径Ｗになるようにビームエキスパンダ３でビ
ーム径を大きくする。このレーザビームＬ２は、同図の
ように、ポリゴンミラー１が回転してきて図のような状
態になった時、つまりポリゴンミラー面Ａとレーザビー
ムＬ２が平行になった時、高速レーザパワー検出器４に
入射する。
ーザ光源２から出射されたレーザビームＬ１は所定のレ
ーザビーム径Ｗになるようにビームエキスパンダ３でビ
ーム径を大きくする。このレーザビームＬ２は、同図の
ように、ポリゴンミラー１が回転してきて図のような状
態になった時、つまりポリゴンミラー面Ａとレーザビー
ムＬ２が平行になった時、高速レーザパワー検出器４に
入射する。
第３図はポリゴンミラーの面出入り測定原理を説明する
図であって、ポリゴンミラー１のミラー面がＡの状態の
とき、前記ビーム径ＷなるレーザビームＬ２をけって、
ビーム径ＷＡなるレーザビームＬ３になる。ここでポリ
ゴンミラー１に動的面出入りが発生し、ミラー面が同図
Ｂのようになった時、前記レーザビームＬ２をける量が
変わり、レーザビームＬ３はビームＷＢになる。
図であって、ポリゴンミラー１のミラー面がＡの状態の
とき、前記ビーム径ＷなるレーザビームＬ２をけって、
ビーム径ＷＡなるレーザビームＬ３になる。ここでポリ
ゴンミラー１に動的面出入りが発生し、ミラー面が同図
Ｂのようになった時、前記レーザビームＬ２をける量が
変わり、レーザビームＬ３はビームＷＢになる。
この様に動的面出入り時、高速レーザパワー検出器４の
出力波形を第２図に示す。
出力波形を第２図に示す。
面出入りがＡ又はＢの状態のとき、出力波形は夫々Ａ、
Ｂとなり、そのピーク値の差ｋｄ （ｋは比例定数）が
動的面出入りに比例する量となり、ポリゴンミラー１が
回転中に発生する動的面出入りを測定することが出来る
。
Ｂとなり、そのピーク値の差ｋｄ （ｋは比例定数）が
動的面出入りに比例する量となり、ポリゴンミラー１が
回転中に発生する動的面出入りを測定することが出来る
。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように本発明によれば、レーザ光
をポリゴンミラーのミラー面に平行に入射することによ
り、スキャナモータが回転しているときの回転ジッダの
影響を受けずに回転している動的な面の出入りが測定で
きる。
をポリゴンミラーのミラー面に平行に入射することによ
り、スキャナモータが回転しているときの回転ジッダの
影響を受けずに回転している動的な面の出入りが測定で
きる。
従って、スキャナの回転時の特性を定量化できるパラメ
ータが一つ増えることになり、スキャナの評価・解析に
有効な測定装置を与えるという利点を有する。
ータが一つ増えることになり、スキャナの評価・解析に
有効な測定装置を与えるという利点を有する。
第１図は本発明の一実施例を示すスキャナの動的面出入
り測定装置の構成図、第２図は動的面出入りによる。検
出されるレーザパワーの出力波形の説明図、第３図は本
実施例の動作原理を説明する図である。 １・・・・・・ポリゴンミラー ２・・・・・・レーザ光源 ３・・・・・・ビームエキスパンダ ４・・・・・・高速レーザパワー検出器第１図 特許出願人 コバル電子株式会社
り測定装置の構成図、第２図は動的面出入りによる。検
出されるレーザパワーの出力波形の説明図、第３図は本
実施例の動作原理を説明する図である。 １・・・・・・ポリゴンミラー ２・・・・・・レーザ光源 ３・・・・・・ビームエキスパンダ ４・・・・・・高速レーザパワー検出器第１図 特許出願人 コバル電子株式会社
Claims (1)
- レーザ光源２から出射されたレーザビームＬ１を、ビー
ムエキスパンダ３を通過させ、通過後のレーザビームＬ
２を、ポリゴンミラー１のミラー面Ａに平行になるよう
に入射し、前記レーザビームＬ２が前記ミラー面Ａによ
りけられたレーザビームＬ３を高速レーザパワー検出器
４に入射するようにした動的面出入り測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7402389A JPH02253227A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 動的面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7402389A JPH02253227A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 動的面出入り測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253227A true JPH02253227A (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=13535110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7402389A Pending JPH02253227A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 動的面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253227A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータの偏心測定装置 |
| CN105444674A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-03-30 | 广东长盈精密技术有限公司 | 产品检测装置 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7402389A patent/JPH02253227A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータの偏心測定装置 |
| CN105444674A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-03-30 | 广东长盈精密技术有限公司 | 产品检测装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6313910B1 (en) | Apparatus for measurement of optical beams | |
| JPH02253227A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| JPH02204713A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| US7460249B2 (en) | Measuring instrument of polygon-mirror motor | |
| JPS59155825A (ja) | 走査装置 | |
| JPH01232226A (ja) | スキャナの動的面出入り測定装置 | |
| JPH0758167B2 (ja) | レ−ザによるピンの外径測定方法 | |
| JPH0278936A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3009070B2 (ja) | 光走査測定装置並びに測定方法 | |
| JPH02216117A (ja) | 光偏向器の動的面出入り測定装置 | |
| JPS59203904A (ja) | 非接触断面寸法測定法 | |
| JPH03167439A (ja) | ポリゴンスキャナ測定装置 | |
| JPH1048228A (ja) | 弾丸回転速度計測方法及び装置 | |
| JP3462177B2 (ja) | 回転対象物の位置を検出する装置 | |
| US6154304A (en) | Monitoring distortion of a spinning mirror | |
| JPH03167438A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| JPH077004B2 (ja) | 回転ムラ測定装置の精度測定方法 | |
| JPH02166416A (ja) | ポリゴンミラー面倒れ測定方式 | |
| JP2577008B2 (ja) | 屈折角測定装置 | |
| JP2005043203A (ja) | 回転軸の回転精度測定装置 | |
| SU757898A1 (ru) | СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ И УСТРОЙСТВО для ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1 | |
| JPH11142289A (ja) | 走査ビームの光量ムラ測定評価方法及び測定評価装置 | |
| JPH07318454A (ja) | レーザ光走査精度の測定方法及び測定装置 | |
| JPH02272516A (ja) | 走査光学装置 | |
| Zhang et al. | Optical measurement method of necking process in the material tensile test |