JPH022546Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH022546Y2 JPH022546Y2 JP1984096374U JP9637484U JPH022546Y2 JP H022546 Y2 JPH022546 Y2 JP H022546Y2 JP 1984096374 U JP1984096374 U JP 1984096374U JP 9637484 U JP9637484 U JP 9637484U JP H022546 Y2 JPH022546 Y2 JP H022546Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive paste
- paste
- pellet
- syringe
- cylindrical body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案はシリンジを使つたデイスペンサ方式
の導電ペースト供給装置に関する。
の導電ペースト供給装置に関する。
従来の技術
ハイブリツドIC基板やリードフレーム上への
半導体ペレツトの固着には半田が一般に使用され
るが、特にMOS・ICなどの小電力用半導体ペレ
ツトのマウントには導電ペーストが最近賞用され
ている。この導電ペーストは金や銀等の金属粉末
とエポキシ樹脂等の溶剤とを混練してペースト状
にしたもので、これのハイブリツドIC基板等の
ペレツトマウント部上への定量供給方式はスタン
ピング方式とデイスペンサ方式に大別される。
半導体ペレツトの固着には半田が一般に使用され
るが、特にMOS・ICなどの小電力用半導体ペレ
ツトのマウントには導電ペーストが最近賞用され
ている。この導電ペーストは金や銀等の金属粉末
とエポキシ樹脂等の溶剤とを混練してペースト状
にしたもので、これのハイブリツドIC基板等の
ペレツトマウント部上への定量供給方式はスタン
ピング方式とデイスペンサ方式に大別される。
スタンピング方式は平担な台上に等厚に伸展せ
られた導電ペーストの一部を定面積のスタンプの
接触でスタンプに転写させ、スタンプに転写した
等厚定量の導電ペーストをペレツトマウント部上
に再度転写させ供給する方式である。
られた導電ペーストの一部を定面積のスタンプの
接触でスタンプに転写させ、スタンプに転写した
等厚定量の導電ペーストをペレツトマウント部上
に再度転写させ供給する方式である。
またデイスペンサ方式は多量の導電ペーストが
充填されたシリンジを用いる方式で、例えば、特
開昭57−192036号公報等に従来技術として紹介さ
れているが、この方式の導電ペースト供給装置を
第9図を参照し乍ら以下説明する。第9図におい
て、1はシリンジ、2はシリンジ1内に充填され
た導電ペースト、3はシリンジ1内の導電ペース
ト2に適宜所定の圧力を加えて導電ペースト2を
ノズル1′の下端のペースト吐出口4から定量ず
つ吐出させるペースト吐出量制御部である。5は
ハイブリツドIC基板の導電パターンやリードフ
レームなどのペレツトマウント部で、この上にペ
ースト吐出量制御部3でもつてノズル1′のペー
スト吐出口4から吐出された定量の導電ペースト
2′が押し付けられて供給される。
充填されたシリンジを用いる方式で、例えば、特
開昭57−192036号公報等に従来技術として紹介さ
れているが、この方式の導電ペースト供給装置を
第9図を参照し乍ら以下説明する。第9図におい
て、1はシリンジ、2はシリンジ1内に充填され
た導電ペースト、3はシリンジ1内の導電ペース
ト2に適宜所定の圧力を加えて導電ペースト2を
ノズル1′の下端のペースト吐出口4から定量ず
つ吐出させるペースト吐出量制御部である。5は
ハイブリツドIC基板の導電パターンやリードフ
レームなどのペレツトマウント部で、この上にペ
ースト吐出量制御部3でもつてノズル1′のペー
スト吐出口4から吐出された定量の導電ペースト
2′が押し付けられて供給される。
尚、このようにペレツトマウント部5上に定量
の導電ペースト2′が供給された後、例えば第1
0図に示すように真空吸着コレツト6で吸着され
た半導体ペレツト7が導電ペースト2′上に供給
されてペレツトマウントが行われる。
の導電ペースト2′が供給された後、例えば第1
0図に示すように真空吸着コレツト6で吸着され
た半導体ペレツト7が導電ペースト2′上に供給
されてペレツトマウントが行われる。
考案が解決しようとする問題点
ところで、上記スタンピング方式の導電ペース
ト供給装置はペレツトマウント部上に等厚で定量
の導電ペーストが供給できてペレツトマウントが
等厚の導電ペーストにて良好に行えるが、平担な
台上に導電ペーストを等厚に伸展させる等の装置
が必要で全体が機構的に大掛りとなり、またマウ
ントする半導体ペレツトのサイズが変ると、この
変更に応じたサイズのスタンプを切換え使用する
必要がある問題があつた。この問題は特にハイブ
リツドICのように1つの基板上にサイズの異な
る複数の半導体ペレツトや他の電子部品をマウン
トするものにおいて著しくて、ペレツトマウント
工数低減を図る上での障害となつていた。
ト供給装置はペレツトマウント部上に等厚で定量
の導電ペーストが供給できてペレツトマウントが
等厚の導電ペーストにて良好に行えるが、平担な
台上に導電ペーストを等厚に伸展させる等の装置
が必要で全体が機構的に大掛りとなり、またマウ
ントする半導体ペレツトのサイズが変ると、この
変更に応じたサイズのスタンプを切換え使用する
必要がある問題があつた。この問題は特にハイブ
リツドICのように1つの基板上にサイズの異な
る複数の半導体ペレツトや他の電子部品をマウン
トするものにおいて著しくて、ペレツトマウント
工数低減を図る上での障害となつていた。
また上記デイスペンサ方式の導電ペースト供給
装置は機械的に簡単であり、またノズルからのペ
ースト吐出量の制御でペレツトサイズの変更に十
分に対応できるが、ペレツトマウント部上に供給
された導電ペーストの形状が略半球状になりがち
なため次の問題があつた。
装置は機械的に簡単であり、またノズルからのペ
ースト吐出量の制御でペレツトサイズの変更に十
分に対応できるが、ペレツトマウント部上に供給
された導電ペーストの形状が略半球状になりがち
なため次の問題があつた。
即ち、第11図に示すように半導体ペレツト7
をペレツトマウント部5上の導電ペースト2′に
押し付けてマウントする場合、導電ペースト2′
が略半球状であると導電ペースト2′は半導体ペ
レツト7の裏面中央部から第11図の矢印に示す
ように周辺部へと放射状に広がるが、半導体ペレ
ツト7の中央部から最も離れた隅部の裏面まで
は、導電ペースト2′が十分に広がらないことが
あり、そのためマウント後の半導体ペレツト7の
マウント強度が弱くなつて後で剥離することや、
半導体ペレツト7の放熱性が悪くなることがあつ
た。この半導体ペレツト下での導電ペースト不足
上の問題は供給する導電ペースト量を多目にすれ
ば解決されるが、このようにすると半導体ペレツ
ト7から食み出す導電ペースト2′の量が多くな
つてペレツト上への乗り上げ等によるシヨート不
良や材料無駄を招き、且つ半導体ペレツト下の導
電ペースト厚が大きくバラツクことがあつて好ま
しくなかつた。
をペレツトマウント部5上の導電ペースト2′に
押し付けてマウントする場合、導電ペースト2′
が略半球状であると導電ペースト2′は半導体ペ
レツト7の裏面中央部から第11図の矢印に示す
ように周辺部へと放射状に広がるが、半導体ペレ
ツト7の中央部から最も離れた隅部の裏面まで
は、導電ペースト2′が十分に広がらないことが
あり、そのためマウント後の半導体ペレツト7の
マウント強度が弱くなつて後で剥離することや、
半導体ペレツト7の放熱性が悪くなることがあつ
た。この半導体ペレツト下での導電ペースト不足
上の問題は供給する導電ペースト量を多目にすれ
ば解決されるが、このようにすると半導体ペレツ
ト7から食み出す導電ペースト2′の量が多くな
つてペレツト上への乗り上げ等によるシヨート不
良や材料無駄を招き、且つ半導体ペレツト下の導
電ペースト厚が大きくバラツクことがあつて好ま
しくなかつた。
問題点を解決するための手段
本考案は上記デイスペンサ方式の導電ペースト
供給装置の問題点に鑑みてなされたもので、この
問題点を解決する本考案の技術的手段は、導電ペ
ーストを吐出するシリンジの下端部に、当該シリ
ンジ下端のペースト吐出口を中心にした下端面及
びこの下端面に前記ペースト吐出口を中心とした
星形で底が傾斜して延びるペーストガイド溝を有
する筒状体を取付けたことをである。
供給装置の問題点に鑑みてなされたもので、この
問題点を解決する本考案の技術的手段は、導電ペ
ーストを吐出するシリンジの下端部に、当該シリ
ンジ下端のペースト吐出口を中心にした下端面及
びこの下端面に前記ペースト吐出口を中心とした
星形で底が傾斜して延びるペーストガイド溝を有
する筒状体を取付けたことをである。
作 用
この技術的手段によると、上記シリンジ下端の
筒状体を、ペレツトマウント部に接触又は近接さ
せてシリンジ下端のペースト吐出口ノズルから導
電ペーストを吐出すると、吐出された導電ペース
トはペレツトマウント部上に筒状体のペーストガ
イド溝に入りペーストガイド溝の先端に向け広が
る。この導電ペーストの広がりの大きさは1回の
吐出量で決まるのでペレツトサイズの変更に対応
でき、また広がつた導電ペーストの厚さはペース
トガイド溝が一定の傾斜角をもつて形成されてい
るので広がる先の周辺部分ほど大きくなり、ペレ
ツトマウント時に導電ペーストの厚さの大きい部
分が半導体ペレツトの隅部近くで押圧されて広が
ることによつて、半導体ペレツト下の導電ペース
ト厚の均一化が実現できる。
筒状体を、ペレツトマウント部に接触又は近接さ
せてシリンジ下端のペースト吐出口ノズルから導
電ペーストを吐出すると、吐出された導電ペース
トはペレツトマウント部上に筒状体のペーストガ
イド溝に入りペーストガイド溝の先端に向け広が
る。この導電ペーストの広がりの大きさは1回の
吐出量で決まるのでペレツトサイズの変更に対応
でき、また広がつた導電ペーストの厚さはペース
トガイド溝が一定の傾斜角をもつて形成されてい
るので広がる先の周辺部分ほど大きくなり、ペレ
ツトマウント時に導電ペーストの厚さの大きい部
分が半導体ペレツトの隅部近くで押圧されて広が
ることによつて、半導体ペレツト下の導電ペース
ト厚の均一化が実現できる。
実施例
本考案の実施例を第1図乃至第5図を参照し乍
ら説明すると、第1図乃至第3図における第9図
の導電ペースト供給装置と同一のものには同一参
照符号を付して説明は省略する。この実施例の構
造上の特徴は、ノズル1′の下端部に次の導電ペ
ースト流出ガイド用筒状体8を嵌着固定すること
である。
ら説明すると、第1図乃至第3図における第9図
の導電ペースト供給装置と同一のものには同一参
照符号を付して説明は省略する。この実施例の構
造上の特徴は、ノズル1′の下端部に次の導電ペ
ースト流出ガイド用筒状体8を嵌着固定すること
である。
筒状体8はノズル1′の下端部に同軸状に挿通
されてネジ止め等の手段で着脱可能に固定された
導電ペースト2が付着しないステンレス製等の四
角筒状体で、下端面9に例えば略十字形のペース
トガイド溝10が形成される。下端面9はノズル
1′のペースト吐出口4を中心とした凹球面であ
り、ペーストガイド溝10は第4図に示すように
ペースト吐出口4から90゜間隔で下端面9の4隅
近くまで延び、この四方に延びる4つのペースト
ガイド溝10a〜10dは同一形状、深さのもの
で各々の底はペースト吐出口4から上昇角が傾斜
をもつて延びる。また筒状体8の下面9はマウン
トする半導体ペレツトの最大サイズ程度に設定さ
れる。
されてネジ止め等の手段で着脱可能に固定された
導電ペースト2が付着しないステンレス製等の四
角筒状体で、下端面9に例えば略十字形のペース
トガイド溝10が形成される。下端面9はノズル
1′のペースト吐出口4を中心とした凹球面であ
り、ペーストガイド溝10は第4図に示すように
ペースト吐出口4から90゜間隔で下端面9の4隅
近くまで延び、この四方に延びる4つのペースト
ガイド溝10a〜10dは同一形状、深さのもの
で各々の底はペースト吐出口4から上昇角が傾斜
をもつて延びる。また筒状体8の下面9はマウン
トする半導体ペレツトの最大サイズ程度に設定さ
れる。
次に上記実施例による導電ペースト供給動作を
後の半導体ペレツトマウント動作と共に説明す
る。
後の半導体ペレツトマウント動作と共に説明す
る。
筒状体8を装着したノズル1′を下降させて、
第5図に示すようにペレツトマウント部5上に筒
状体8を接触させ、この状態でペースト吐出量制
御部3でもつてノズル1′内の導電ペースト2を
ペースト吐出口4から定量吐出させる。すると吐
出した導電ペースト2′は先ずペレツトマウント
部5上に当つてから4つのペーストガイド溝4a
〜4d内へ流入して吐出量に応じたところまで広
がり、ペレツトマウント部5上上に付着する。そ
してノズル1′、筒状体8の一体物を引き上げる
とペレツトマウント部5上には第6図及び第7図
に示すように略十字形の導電ペースト2′が残る。
この導電ペースト2′は、ペーストガイド溝10
の底の傾斜により中央部が薄く4つの周辺端部が
厚く形成される。
第5図に示すようにペレツトマウント部5上に筒
状体8を接触させ、この状態でペースト吐出量制
御部3でもつてノズル1′内の導電ペースト2を
ペースト吐出口4から定量吐出させる。すると吐
出した導電ペースト2′は先ずペレツトマウント
部5上に当つてから4つのペーストガイド溝4a
〜4d内へ流入して吐出量に応じたところまで広
がり、ペレツトマウント部5上上に付着する。そ
してノズル1′、筒状体8の一体物を引き上げる
とペレツトマウント部5上には第6図及び第7図
に示すように略十字形の導電ペースト2′が残る。
この導電ペースト2′は、ペーストガイド溝10
の底の傾斜により中央部が薄く4つの周辺端部が
厚く形成される。
このように導電ペースト供給の後、第8図に示
すようにペレツトマウント部5上の導電ペースト
2′上に半導体ペレツト7をその4隅が導電ペー
スト2′の4つの周辺端部に最も近付く方向で押
し付けマウントする。この時、半導体ペレツト7
の押し付けで導電ペースト2′は肉厚大の周辺部
が第8図の矢印に示す方向に広がり、これにより
半導体ペレツト7の4隅裏面にも十分に導電ペー
スト2′が付着し、且つ半導体ペレツト下の導電
ペースト厚が均一となる。
すようにペレツトマウント部5上の導電ペースト
2′上に半導体ペレツト7をその4隅が導電ペー
スト2′の4つの周辺端部に最も近付く方向で押
し付けマウントする。この時、半導体ペレツト7
の押し付けで導電ペースト2′は肉厚大の周辺部
が第8図の矢印に示す方向に広がり、これにより
半導体ペレツト7の4隅裏面にも十分に導電ペー
スト2′が付着し、且つ半導体ペレツト下の導電
ペースト厚が均一となる。
また半導体ペレツト7のサイズが変更、例えば
大きくなつた場合はこの変更に応じシリンジ1か
らの導電ペースト吐出量を増やす。すると第6図
及び第7図の鎖線で示す如くペレツトマウント部
5上に供給された導電ペースト2′の形状が大き
くなり、、ペレツトサイズの変更に十分対処でき
る。
大きくなつた場合はこの変更に応じシリンジ1か
らの導電ペースト吐出量を増やす。すると第6図
及び第7図の鎖線で示す如くペレツトマウント部
5上に供給された導電ペースト2′の形状が大き
くなり、、ペレツトサイズの変更に十分対処でき
る。
尚、本考案は上記実施例に限らず、特に筒状体
のペーストガイド溝の形状は種々変更が可能であ
る。
のペーストガイド溝の形状は種々変更が可能であ
る。
考案の効果
本考案によれば導電ペーストのシリンジからの
1回の吐出量に応じ、ペレツトマウント部上等に
供給される全体の量が変るので、半導体ペレツト
のサイズ変更に対する対応性が優れ、特にハイブ
リツドIC基板に異なるサイズの複数の半導体ペ
レツト等をマウントする際に使用する導電ペース
ト供給装置において効大なるものが提供できる。
またペレツトマウント部上等に供給された導電ペ
ーストは、厚さが中央部部で小さく周辺端部で大
きいため、半導体ペレツトマウント時に半導体ペ
レツト下全域に導電ペーストを等厚にすることが
容易となり、信頼性の良い半導体ペレツトマウン
トを可能にする。また従来のシリンジに筒状体を
取付けするだけで実施できるので、設備投資的に
有利で実施の容易なものが提供できる。
1回の吐出量に応じ、ペレツトマウント部上等に
供給される全体の量が変るので、半導体ペレツト
のサイズ変更に対する対応性が優れ、特にハイブ
リツドIC基板に異なるサイズの複数の半導体ペ
レツト等をマウントする際に使用する導電ペース
ト供給装置において効大なるものが提供できる。
またペレツトマウント部上等に供給された導電ペ
ーストは、厚さが中央部部で小さく周辺端部で大
きいため、半導体ペレツトマウント時に半導体ペ
レツト下全域に導電ペーストを等厚にすることが
容易となり、信頼性の良い半導体ペレツトマウン
トを可能にする。また従来のシリンジに筒状体を
取付けするだけで実施できるので、設備投資的に
有利で実施の容易なものが提供できる。
第1図及び第2図は本考案の一実施例を示す要
部側断面図及びA−A線に沿う断面図、第3図は
第2図のB−B線に沿う断面図、第4図は第1図
装置の筒状体部分拡大斜視図、第5図は第1図装
置の動作時の部分拡大断面図、第6図及び第7図
は第5図の状態で定量供給された導電ペーストの
平面図及びC−C線に沿う断面図、第8図は第6
図の導電ペーストへの半導体ペレツトマウント時
の平面図である。第9図は従来の導電ペースト供
給装置の要部側断面図、第10図及び第11図は
第9図装置で供給された導電ペーストへの半導体
ペレツトマウントを説明するための側断面図及び
半導体ペレツト平面図である。 1……シリンジ、1′……ノズル、2,2′,
2″……導電ペースト、4……ペースト吐出口、
8……筒状体、9……下端面、10……ペースト
ガイド溝。
部側断面図及びA−A線に沿う断面図、第3図は
第2図のB−B線に沿う断面図、第4図は第1図
装置の筒状体部分拡大斜視図、第5図は第1図装
置の動作時の部分拡大断面図、第6図及び第7図
は第5図の状態で定量供給された導電ペーストの
平面図及びC−C線に沿う断面図、第8図は第6
図の導電ペーストへの半導体ペレツトマウント時
の平面図である。第9図は従来の導電ペースト供
給装置の要部側断面図、第10図及び第11図は
第9図装置で供給された導電ペーストへの半導体
ペレツトマウントを説明するための側断面図及び
半導体ペレツト平面図である。 1……シリンジ、1′……ノズル、2,2′,
2″……導電ペースト、4……ペースト吐出口、
8……筒状体、9……下端面、10……ペースト
ガイド溝。
Claims (1)
- 導電ペーストを吐出するシリンジの下端部に、
当該シリンジ下端のペースト吐出口を中心にした
下端面及びこの下端面に前記ペースト吐出口を中
心とした星形で底が傾斜して延びるペーストガイ
ド溝を有する筒状体を取付けたことを特徴とする
導電ペースト供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984096374U JPS6112569U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 導電ペ−スト供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984096374U JPS6112569U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 導電ペ−スト供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112569U JPS6112569U (ja) | 1986-01-24 |
| JPH022546Y2 true JPH022546Y2 (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=30655819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984096374U Granted JPS6112569U (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 導電ペ−スト供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112569U (ja) |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP1984096374U patent/JPS6112569U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6112569U (ja) | 1986-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5373984A (en) | Reflow process for mixed technology on a printed wiring board | |
| US5829668A (en) | Method for forming solder bumps on bond pads | |
| US5676305A (en) | Method to achieve regulated force contact in pin transfer deposition of liquidus substances | |
| JPH022546Y2 (ja) | ||
| JPH0419908B2 (ja) | ||
| JP3496642B2 (ja) | ボンディングペーストの転写装置および転写ピンならびにボンディングペーストの転写方法 | |
| JPH06168982A (ja) | フリップチップ実装構造 | |
| JPH027466Y2 (ja) | ||
| JPS61268372A (ja) | 塗布剤移載供給装置 | |
| US20040123750A1 (en) | Sonic screen printing | |
| JPH063833B2 (ja) | 自動フイン付け装置 | |
| JPH0123779Y2 (ja) | ||
| JP2882091B2 (ja) | チップの樹脂封止装置 | |
| JP2551053B2 (ja) | 半田供給用フィルムおよびその製造方法 | |
| JPS58143865A (ja) | 塗布装置 | |
| KR100197858B1 (ko) | 리드 프레임에 스크린 프린트 기법을 이용한 개선된 칩 부착방법 | |
| JPH03238834A (ja) | ペースト塗布方法およびその装置 | |
| JP2001250845A (ja) | 半導体チップ実装方法及び実装装置 | |
| JP2000101223A (ja) | フラックス転写装置 | |
| KR100235494B1 (ko) | 접착제 분사장치 및 다이픽업 장치를 구비하는 다이본딩 시스템 | |
| JPH06154679A (ja) | 接着剤の転写方法及び該方法に使用する転写装置 | |
| JPS6342527Y2 (ja) | ||
| JPH02181448A (ja) | ダイボンディング装置 | |
| JPS61268375A (ja) | 接着剤塗布装置 | |
| JPH07115173B2 (ja) | クリ−ム半田塗布器 |