JPH0225743B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0225743B2
JPH0225743B2 JP60018338A JP1833885A JPH0225743B2 JP H0225743 B2 JPH0225743 B2 JP H0225743B2 JP 60018338 A JP60018338 A JP 60018338A JP 1833885 A JP1833885 A JP 1833885A JP H0225743 B2 JPH0225743 B2 JP H0225743B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
workpiece
deposits
sludge
unnecessary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP60018338A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61178170A (ja
Inventor
Shintaro Karaki
Giichi Kodo
Masaaki Okane
Yukio Tanaka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP60018338A priority Critical patent/JPS61178170A/ja
Priority to US06/823,587 priority patent/US4795496A/en
Publication of JPS61178170A publication Critical patent/JPS61178170A/ja
Publication of JPH0225743B2 publication Critical patent/JPH0225743B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B31/00Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
    • B24B31/02Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving rotary barrels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は金属不要付着物の除去方法に関し、
特に金属やセラミツクなどのワークピースの処理
過程でその表面に付着した金属粉やスラジを除去
するのに用いられる、金属不要付着物の除去方法
に関する。
(従来技術) 第2図は不要付着物の付着したワークピースの
斜視図である。焼成済のセラミツクや金属や半導
体素子や混成集積回路などのワークピース1の処
理過程においては、金属性酸化物,炭化物等のス
ラジ(金属性不要付着物)2がその表面に付着す
る。そこで、ワークピース1の表面に付着したス
ラジ2を除去する必要がある。その除去方法とし
て、従来では次の2つの方法が知られている。
第1の方法は、スラジ2の融点が300℃以下の
低融点金属の場合に用いられる方法であつて、油
を融点以上(たとえば330℃)に加熱しておき、
その中へワークピース1を浸漬して揺動させる方
法である。この方法は、高温の油中に漬けられた
ワークピース1の表面のスラジ2が油の温度によ
つて溶けることを利用する。
第2の除去方法は、スラジ2の融点が300℃を
越える高融点のものに用いられる方法であつて、
サンドブラスト法によりスラジ2を除去したり、
サンドペーパや刃物などで削り取る方法である。
(発明が解決しようとする問題点) 従来の第1の除去方法は、スラジ2を除去した
後、ワークピース1に付着した油を必ず洗浄する
必要があり、油除去のための別の工程が必要とな
る問題点があつた。
従来の第2の除去方法は、ワークピース1の表
面に大きな傷を付けやすいので、局所的欠陥を生
じる問題点がある。また、ワークピース1を治具
などで固定した状態でスラジ2を削り取らなけれ
ばならないため、量産性に欠ける問題点もある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、金属性
の不要付着物を簡単な工程で、しかもワークピー
スの表面に局所的欠陥を生じさせることなく除去
できるようにした、金属不要付着物の除去方法を
提供することである。
(問題点を解決するための手段) この発明は、簡単にいえば、ワークピースの表
面に付着した所定の融点を有する金属性の不要付
着物を除去する方法であつて、不要付着物が付着
したワークピースと耐熱性の無機物からなる粒体
とを一緒に容器に入れ、少なくとも容器の中を、
不要付着物の融点またはその近傍の温度にするよ
うに加熱し、容器の中においてワークピースが移
動するように容器に外力を加え、所定時間の後、
容器からワークピースおよびその表面に不要付着
物が付着した無機物の粒体を取り出すようにし
た、金属不要付着物の除去方法である。
(作 用) ワークピースに付着した不要付着物は、容器内
で加熱されると溶けてワークピース表面から離れ
易くなる。そして、容器に外力が加えられると、
粒体がワークピース表面を摺接するので、不要付
着物がワークピースからきれいに除去される。
(発明の効果) この発明によれば、ワークピースに付着した不
要付着物が容易にかつ確実に除去できる。そし
て、従来の第1の方法に比べて油を除去するため
の別工程を必要とせず、従来の第2の方法に比べ
てワークピースの表面に大きな傷を付けることな
く、ワークピースに局所的欠陥が生じるのを防止
できる。さらに、金属性の不要付着物の融点の高
低に拘わらず使用できる。
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴お
よび利点は、図面を参照して行なう以下の実施例
の詳細な説明から一層明らかとなろう。
(実施例) 第1図はこの発明の金属不要付着物の除去方法
を示す図である。まず、金属製または機械的強度
の強いセラミツク製の容器(バレル)12が準備
される。この容器12の中には、ワークピースと
しての焼成済セラミツク小片1と不要付着物除去
材としての砂14とが体積比でたとえば1:1な
いし2程度入れられる。このセラミツク小片とし
ては、両端部に電極が付与された電子部品等を例
示することができる。砂14は、その材質として
有害物を含まないもの(セラミツク小片がセラミ
ツク電子部品の場合特にこのようなものが好まし
い)、たとえばSiO2,ZrO2などが用いられ、その
粒度分布は、好ましくはワークピース1よりも小
さいもので洗浄後に篩などで簡単に分離できるも
のに選ばれる。たとえばワークピース1の欠けや
傷を防ぐために、粒径が2mm以下のものが好まし
く、実験的に用いた砂14の平均粒径は0.05〜
1.0mmであつた。
そして、容器12は、外力を加えるために、連
結用軸16を介してモータ18に連結される。こ
の容器12は、少なくともその内部温度がスラジ
2の融点または融点近傍の温度となるように加熱
するために、高温槽20内に入れられる。高温槽
20内の温度、すなわち容器12の雰囲気温度
は、ワークピース1に悪影響を与えないかぎり高
い方が除去効率を高めることができる。
このように、容器12を高温槽20内で加熱し
た状態において、容器12がモータ18の回転力
で回転駆動され、それによつてワークピース1が
容器12内で移動するように外力が加えられる。
その場合の回転数は、30〜100rpmに選ばれるが、
60rpm程度が好ましい。これは余り回転数を多く
すると、ワークピースも一緒に回転してしまうた
めである。容器12を加熱しかつ外力を加える時
間は、容器12や砂14およびワークピース1の
熱容量によつて左右されるが、雰囲気温度に達し
てから1〜10分位で十分である。ワークピース1
がセラミツク材料を含む電子部品の場合に、実験
では5分程度でスラジ2をきれいに除去できた。
そして電子部品自体には、何らの悪影響を与えて
いないことが確認された。
前述のように容器12を高温槽20内で加熱す
ると、ワークピース1の表面に付着したスラジ2
が溶融してワークピース1から離れ易くなる。そ
の上に、容器12に外力を加えるため、ワークピ
ース1が容器内で移動し、そのときその表面に砂
14が摺接されるので、スラジ2がワークピース
1から容易に除去される。また、ワークピース1
どうしがスラジ2を介して付着している場合も、
スラジ2の溶融により各ワークピース1が離れ易
くなり、スラジ2の除去に何らの支障を与えな
い。
なお、加熱およびワークピースの移動時におい
て、ワークピース1の酸化を防止するために、容
器12内へN2またはCO2ガスを注入してもよい。
前述のようにしてスラジ2を除去した後は、容
器12からワークピース1および砂14を取り出
し、それを篩などで分離すればよい。なお、さら
に微粉の砂がワークピース1の表面に付着してい
る場合は、水中で洗浄(たとえば超音波洗浄)す
れば容易に除去できる。
ところで、上述の実施例では、容器12に外力
を加える手段として、モータ18を用いて容器1
2を回転させることによつて行なう場合を述べた
が、その他の手段として容器12を振動させた
り、揺動させてもよい。また上述の実施例ではワ
ークピースを粒体とともに直接容器に入れたもの
を示したが、ワークピースのみをたとえば別の網
カゴに入れて容器に入れるようなことも可能であ
る。この場合の網カゴは粒体が出入りするような
ものでなければならないことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の金属不要付着物
の除去方法を示す図である。第2図は金属不要付
着物が付着したワークピースの斜視図である。 図において、1はワークピース、2はスラジ
(不要付着物)、12は容器、14は砂、18はモ
ータ、20は高温槽を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ワークピースの表面に付着した所定の融点を
    有する金属性の不要付着物を除去する方法であつ
    て、 前記不要付着物が付着した前記ワークピースと
    耐熱性の無機物からなる粒体とを一緒に容器に入
    れ、 少なくとも前記容器の中を、前記不要付着物の
    前記融点またはその近傍の温度にするように加熱
    し、 前記容器の中において前記ワークピースが移動
    するように前記容器に外力を加え、 所定時間の後、前記容器から前記ワークピース
    およびその表面に前記不要付着物が付着した前記
    無機物の粒体を取り出すようにした、金属不要付
    着物の除去方法。 2 前記容器に外力を加えるために、前記容器を
    回転させるようにした、特許請求の範囲第1項記
    載の金属不要付着物の除去方法。
JP60018338A 1985-01-31 1985-01-31 金属不要付着物の除去方法 Granted JPS61178170A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60018338A JPS61178170A (ja) 1985-01-31 1985-01-31 金属不要付着物の除去方法
US06/823,587 US4795496A (en) 1985-01-31 1986-01-29 Method of removing adherent foreign matter from work pieces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60018338A JPS61178170A (ja) 1985-01-31 1985-01-31 金属不要付着物の除去方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61178170A JPS61178170A (ja) 1986-08-09
JPH0225743B2 true JPH0225743B2 (ja) 1990-06-05

Family

ID=11968862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60018338A Granted JPS61178170A (ja) 1985-01-31 1985-01-31 金属不要付着物の除去方法

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US (1) US4795496A (ja)
JP (1) JPS61178170A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS61178170A (ja) 1986-08-09
US4795496A (en) 1989-01-03

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