JPH0225838U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0225838U JPH0225838U JP10359888U JP10359888U JPH0225838U JP H0225838 U JPH0225838 U JP H0225838U JP 10359888 U JP10359888 U JP 10359888U JP 10359888 U JP10359888 U JP 10359888U JP H0225838 U JPH0225838 U JP H0225838U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ellipsometer
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- moving
- measures
- Prior art date
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案一実施例の概略構成図、第２図
は試料台の移動の例を示す図、第３図は試料の測
定点を示す図である。 １…Ｈｅ―Ｎｅレーザ、２…チヨツパ、３…ポ
ラライザ、４…λ／４板、５…アナライザ、６…
デイテクタ、７…試料台、８…試料、９…ステー
ジ駆動装置。
は試料台の移動の例を示す図、第３図は試料の測
定点を示す図である。 １…Ｈｅ―Ｎｅレーザ、２…チヨツパ、３…ポ
ラライザ、４…λ／４板、５…アナライザ、６…
デイテクタ、７…試料台、８…試料、９…ステー
ジ駆動装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 偏光を試料面に入射し、その反射光の偏光状態
を測定するエリプソメータにおいて、 試料を載置する試料台をその載置面と平行に移
動させる試料台移動手段を備えることを特徴とす
るエリプソメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10359888U JPH0225838U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10359888U JPH0225838U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225838U true JPH0225838U (ja) | 1990-02-20 |
Family
ID=31334578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10359888U Pending JPH0225838U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225838U (ja) |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP10359888U patent/JPH0225838U/ja active Pending
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