JPH02258671A - セラミック誘電体用組成物、これを用いて得られるセラミック誘電体及びその製造方法 - Google Patents
セラミック誘電体用組成物、これを用いて得られるセラミック誘電体及びその製造方法Info
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- JPH02258671A JPH02258671A JP1106490A JP10649089A JPH02258671A JP H02258671 A JPH02258671 A JP H02258671A JP 1106490 A JP1106490 A JP 1106490A JP 10649089 A JP10649089 A JP 10649089A JP H02258671 A JPH02258671 A JP H02258671A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
皮呈上少剋里分団
本発明は、セラミック誘電体用組成物、これを用いて得
られるセラミック誘電体及びその製造方法に関し、詳し
くは、−55〜+125℃の温度範囲にわたって、比誘
電率が高く、且つ、20℃の基準値における比誘電率の
変化率が±15%以下であるセラミック誘電体を製造す
るための組成物、かかる組成物を用いて得られるセラミ
ック誘電体、及びかかる誘電体の製造方法に関する。
られるセラミック誘電体及びその製造方法に関し、詳し
くは、−55〜+125℃の温度範囲にわたって、比誘
電率が高く、且つ、20℃の基準値における比誘電率の
変化率が±15%以下であるセラミック誘電体を製造す
るための組成物、かかる組成物を用いて得られるセラミ
ック誘電体、及びかかる誘電体の製造方法に関する。
従来■伎街
チタン酸バリウムを焼成して、セラミック誘電体を得る
ことはよく知られているが、このセラミック誘電体は、
比誘電率が温度によって大幅に変動する。そこで、ある
温度範囲にわたって、平坦な比誘電率特性を有せしめる
ために、主成分であるチタン酸バリウムに少量の酸化コ
バルトや酸化ニオブを加え、チタン酸バリウム中へのこ
れらの拡散を適度に制御しながら焼成して、セラミック
誘電体を得る方法も、例えば、「エレクトロコンポネン
ト・サイエンス・アンド・テクノロジー(Electr
ocomponent 5cience and Te
chnology)J1976年第2巻第241〜24
7頁に記載されているように、既に知られている。
ことはよく知られているが、このセラミック誘電体は、
比誘電率が温度によって大幅に変動する。そこで、ある
温度範囲にわたって、平坦な比誘電率特性を有せしめる
ために、主成分であるチタン酸バリウムに少量の酸化コ
バルトや酸化ニオブを加え、チタン酸バリウム中へのこ
れらの拡散を適度に制御しながら焼成して、セラミック
誘電体を得る方法も、例えば、「エレクトロコンポネン
ト・サイエンス・アンド・テクノロジー(Electr
ocomponent 5cience and Te
chnology)J1976年第2巻第241〜24
7頁に記載されているように、既に知られている。
しかしながら、かかるセラミック誘電体においても、特
に、100℃近傍での比誘電率の負変化率がなお大きく
、従って、例えば、−55〜+125℃の温度範囲にお
いて、25℃の基準値にて、比誘電率の変化率が±15
%以下である米国X7R規格や、−55〜+125℃の
温度範囲において、20℃の基準値にて、比誘電率の変
化率が±10%以下である我国B特性に適合する比誘電
率特性を有するセラミック誘電体を定常的に安定した品
質で工業的に得ることは、従来、困難であった。
に、100℃近傍での比誘電率の負変化率がなお大きく
、従って、例えば、−55〜+125℃の温度範囲にお
いて、25℃の基準値にて、比誘電率の変化率が±15
%以下である米国X7R規格や、−55〜+125℃の
温度範囲において、20℃の基準値にて、比誘電率の変
化率が±10%以下である我国B特性に適合する比誘電
率特性を有するセラミック誘電体を定常的に安定した品
質で工業的に得ることは、従来、困難であった。
日 く ” しよ゛と る量
本発明は、従来のチタン酸バリウムを主成分とするセラ
ミック誘電体における上記した問題を解決するためにな
されたものであって、特に、100℃近傍の比誘電率を
高めて、−55〜+125℃の温度範囲にわたって、2
0℃の基準値における比誘電率の変化率が極めて小さく
、しかも、比誘電率が高いセラミック誘電体を容易に且
つ安定して得ることができるセラミック誘電体用組成物
を提供することを目的とし、更に、かかるセラミック誘
電体及びその製造方法を提供することを目的とする。
ミック誘電体における上記した問題を解決するためにな
されたものであって、特に、100℃近傍の比誘電率を
高めて、−55〜+125℃の温度範囲にわたって、2
0℃の基準値における比誘電率の変化率が極めて小さく
、しかも、比誘電率が高いセラミック誘電体を容易に且
つ安定して得ることができるセラミック誘電体用組成物
を提供することを目的とし、更に、かかるセラミック誘
電体及びその製造方法を提供することを目的とする。
■ ゛ るための
本発明によるセラミック誘電体用セラミックは、平均粒
径0.1〜1.5μmのチタン酸バリウム98〜60モ
ル%と、平均粒径0.1〜1.5μmであって、且つ、
キュリー温度50〜115℃であるチタン酸バリウム系
ペロブスカイト固溶体2〜40モル%との合計量100
モル%に対して、A、酸化ニオブ及び酸化タンタルから
選ばれる少なくとも一種の酸化物0.3〜2モル%、及
びB、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マグネシウム
、酸化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選
ばれる少なくとも一種の酸化物0.1〜2モル% を含有することを特徴とする。
径0.1〜1.5μmのチタン酸バリウム98〜60モ
ル%と、平均粒径0.1〜1.5μmであって、且つ、
キュリー温度50〜115℃であるチタン酸バリウム系
ペロブスカイト固溶体2〜40モル%との合計量100
モル%に対して、A、酸化ニオブ及び酸化タンタルから
選ばれる少なくとも一種の酸化物0.3〜2モル%、及
びB、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マグネシウム
、酸化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選
ばれる少なくとも一種の酸化物0.1〜2モル% を含有することを特徴とする。
このように、本発明によれば、チタン酸バリウムと共に
100℃近傍にキュリー温度を有するチタン酸バリウム
系ペロブスカイト固溶体を用い、これを金属酸化物と共
に焼成することによって、得られるセラミック誘電体に
おいて、100℃近傍での比誘電率の温度に対する変化
率を著しく低減し、かくして、比誘電率の温度変化率の
極めて小さいセラミック誘電体を得ることができる。
100℃近傍にキュリー温度を有するチタン酸バリウム
系ペロブスカイト固溶体を用い、これを金属酸化物と共
に焼成することによって、得られるセラミック誘電体に
おいて、100℃近傍での比誘電率の温度に対する変化
率を著しく低減し、かくして、比誘電率の温度変化率の
極めて小さいセラミック誘電体を得ることができる。
本発明において用いるチタン酸バリウム系ペロブスカイ
ト固溶体は、そのキュリー温度が50〜115℃の範囲
であって、チタン酸バリウムの有するペロブスカイト型
構造において、バリウムやチタンに代わって、例えば、
ストロンチウムやジルコニウムやスズが固溶されている
固溶体を意味し、従って、本発明においてぼ、チタン酸
バリウム系ペロブスカイト固溶体として、例えば、チタ
ン酸ジルコン酸バリウム固溶体、チタン酸ストロンチウ
ムバリウム固溶体、チタン酸スズ酸バリウム固溶体、チ
タン酸ジルコン酸バリウムストロンチウム固溶体、チタ
ン酸ジルコン酸スズ酸バリウム固溶体等を挙げることが
できる。これらは単独にて、又は2種以上の混合物とし
て用いることができる。
ト固溶体は、そのキュリー温度が50〜115℃の範囲
であって、チタン酸バリウムの有するペロブスカイト型
構造において、バリウムやチタンに代わって、例えば、
ストロンチウムやジルコニウムやスズが固溶されている
固溶体を意味し、従って、本発明においてぼ、チタン酸
バリウム系ペロブスカイト固溶体として、例えば、チタ
ン酸ジルコン酸バリウム固溶体、チタン酸ストロンチウ
ムバリウム固溶体、チタン酸スズ酸バリウム固溶体、チ
タン酸ジルコン酸バリウムストロンチウム固溶体、チタ
ン酸ジルコン酸スズ酸バリウム固溶体等を挙げることが
できる。これらは単独にて、又は2種以上の混合物とし
て用いることができる。
また、本発明においては、得られるセラミック誘電体に
おいて、その比誘電率の温度特性や、その他の電気特性
を損なわない範囲において、チタン酸バリウム及びチタ
ン酸バリウム系ベロブスカイト固溶体には、これら以外
のペロブスカイト化合物が固溶されていてもよい。
おいて、その比誘電率の温度特性や、その他の電気特性
を損なわない範囲において、チタン酸バリウム及びチタ
ン酸バリウム系ベロブスカイト固溶体には、これら以外
のペロブスカイト化合物が固溶されていてもよい。
本発明において用いるチタン酸バリウム及びチタン酸バ
リウム系ペロブスカイト固溶体は、酸化ニオブ及び酸化
タンタルのこれら固溶体への拡散を抑制して、不均一な
拡散構造を形成させるために、その平均粒径が0.1〜
1.5μmの範囲にあることが必要である。平均粒径が
0.1μmよりも小さいときは、酸化ニオブ及び酸化タ
ンタルの拡散が進みすぎ、組成が均一化するために、平
坦な比誘電率温度特性を得ることができない。他方、平
均粒径が1.5μmを越えるときは、上記した酸化ニオ
ブ及び酸化タンタルの拡散を抑制することはできるもの
の、−次粒子内に残留する未拡散部分が多くなりすぎる
結果、焼結体全体に対するチタン酸バリウム系ペロブス
カイト固溶体の特性が優先して発現され、か(して、平
坦な比誘電率温度特性を有せしめることができない。
リウム系ペロブスカイト固溶体は、酸化ニオブ及び酸化
タンタルのこれら固溶体への拡散を抑制して、不均一な
拡散構造を形成させるために、その平均粒径が0.1〜
1.5μmの範囲にあることが必要である。平均粒径が
0.1μmよりも小さいときは、酸化ニオブ及び酸化タ
ンタルの拡散が進みすぎ、組成が均一化するために、平
坦な比誘電率温度特性を得ることができない。他方、平
均粒径が1.5μmを越えるときは、上記した酸化ニオ
ブ及び酸化タンタルの拡散を抑制することはできるもの
の、−次粒子内に残留する未拡散部分が多くなりすぎる
結果、焼結体全体に対するチタン酸バリウム系ペロブス
カイト固溶体の特性が優先して発現され、か(して、平
坦な比誘電率温度特性を有せしめることができない。
本発明においては、特に、チタン酸バリウムは、その平
均粒径が0.2〜1.0 p mの範囲にあることが好
ましい。尚、ここに、平均粒径とは、BET比面積面積
値w)から次式で計算される値(Ds)を意味する。但
し、ρは密度である。
均粒径が0.2〜1.0 p mの範囲にあることが好
ましい。尚、ここに、平均粒径とは、BET比面積面積
値w)から次式で計算される値(Ds)を意味する。但
し、ρは密度である。
Ds=6/ρS譬
本発明によるセラミック誘電体用組成物は、チタン酸バ
リウム98〜60モル%と共に、チタン酸バリウム系ペ
ロブスカイト固溶体2〜40モル%を含有する。
リウム98〜60モル%と共に、チタン酸バリウム系ペ
ロブスカイト固溶体2〜40モル%を含有する。
チタン酸バリウムとチタン酸バリウム系ペロブスカイト
固溶体の配合モル比を本発明に従って規定することによ
って、得られるセラミック誘電体に平坦な比誘電率温度
特性を有せしめることができると共に、誘電正接、焼結
密度、抵抗率等の電気特性についても最善の結果を得る
ことができる。
固溶体の配合モル比を本発明に従って規定することによ
って、得られるセラミック誘電体に平坦な比誘電率温度
特性を有せしめることができると共に、誘電正接、焼結
密度、抵抗率等の電気特性についても最善の結果を得る
ことができる。
チタン酸バリウムに対するチタン酸バリウム系ペロブス
カイト固溶体の配合量が上記範囲をはずれるときは、得
られるセラミック誘電体において、比誘電率の温度依存
性がなお大きく、前記温度範囲にわたって平坦な比誘電
率特性を有せしめることができず、更に、前記した誘電
正接や抵抗等の電気特性においても劣ることとなる。
カイト固溶体の配合量が上記範囲をはずれるときは、得
られるセラミック誘電体において、比誘電率の温度依存
性がなお大きく、前記温度範囲にわたって平坦な比誘電
率特性を有せしめることができず、更に、前記した誘電
正接や抵抗等の電気特性においても劣ることとなる。
特に、本発明においては、チタン酸バリウム系ペロブス
カイト固溶体として、例えば、(al 一般式(1) %式% (式中、Xは0.02≦x≦0.15を満たす数である
。) で表わされるチタン酸ジルコン酸バリゲム固溶体、又は (bl 一般式(If) Ba+−、Sr、Ti03 (式中、yは0.03≦y≦0.20を満たす数である
。) で表わされるチタン酸バリウムストロンチウム固溶体、
又は (C1一般式(]) %式% (式中、2は0.01≦2≦0.10を満たす数である
。) で表わされるチタン酸スズ酸バリウム固溶体、(dl
上記固溶体の少なくとも2種からなる複合固溶体、又
は (e) これらの混合物 が好ましく用いられる。
カイト固溶体として、例えば、(al 一般式(1) %式% (式中、Xは0.02≦x≦0.15を満たす数である
。) で表わされるチタン酸ジルコン酸バリゲム固溶体、又は (bl 一般式(If) Ba+−、Sr、Ti03 (式中、yは0.03≦y≦0.20を満たす数である
。) で表わされるチタン酸バリウムストロンチウム固溶体、
又は (C1一般式(]) %式% (式中、2は0.01≦2≦0.10を満たす数である
。) で表わされるチタン酸スズ酸バリウム固溶体、(dl
上記固溶体の少なくとも2種からなる複合固溶体、又
は (e) これらの混合物 が好ましく用いられる。
上記一般式(1)で表わされるチタン酸ジルコン酸バリ
ウム固溶体において、Xは、上記したように、0.03
から0.20の範囲の数であって、このXの値が上記範
囲をはずれるときは、得られるセラミック誘電体におい
て、比誘電率の温度依存性がなお大きく、前記温度範囲
にわたって平坦な比誘電率特性を有せしめることができ
ず、更に、前記した誘電正接や抵抗等の電気特性におい
ても劣ることとなる。
ウム固溶体において、Xは、上記したように、0.03
から0.20の範囲の数であって、このXの値が上記範
囲をはずれるときは、得られるセラミック誘電体におい
て、比誘電率の温度依存性がなお大きく、前記温度範囲
にわたって平坦な比誘電率特性を有せしめることができ
ず、更に、前記した誘電正接や抵抗等の電気特性におい
ても劣ることとなる。
同様に、前記一般式(n)及び(II[)で表わされる
チタン酸ジルコン酸バリウム固溶体及びチタン酸スズ酸
バリウム固溶体において、yは、上記したように、0.
03から0.20の範囲の数であり、2は、0.01か
ら0.10の範囲の数であって、それぞれが、上記範囲
をはずれるときは、得られるセラミック誘電体において
、比誘電率の温度依存性がなお大きく、前記温度範囲に
わたって平坦な比誘電率特性を有せしめることができず
、更に、前記した誘電正接や抵抗等の電気特性において
も劣ることとなる。
チタン酸ジルコン酸バリウム固溶体及びチタン酸スズ酸
バリウム固溶体において、yは、上記したように、0.
03から0.20の範囲の数であり、2は、0.01か
ら0.10の範囲の数であって、それぞれが、上記範囲
をはずれるときは、得られるセラミック誘電体において
、比誘電率の温度依存性がなお大きく、前記温度範囲に
わたって平坦な比誘電率特性を有せしめることができず
、更に、前記した誘電正接や抵抗等の電気特性において
も劣ることとなる。
複合固溶体とは、本発明においては、上記したチタン酸
ジルコン酸バリウム固溶体、チタン酸バリウムストロン
チウム固溶体及びチタン酸スズ酸バリウム固溶体からな
る群より選ばれる少なくとも2種を用いて得られる固溶
体を意味し、例えば、具体例として、チタン酸ジルコン
酸バリウムストロンチウム、チタン酸ジルコン酸スズ酸
バリウム等を挙げることができる。
ジルコン酸バリウム固溶体、チタン酸バリウムストロン
チウム固溶体及びチタン酸スズ酸バリウム固溶体からな
る群より選ばれる少なくとも2種を用いて得られる固溶
体を意味し、例えば、具体例として、チタン酸ジルコン
酸バリウムストロンチウム、チタン酸ジルコン酸スズ酸
バリウム等を挙げることができる。
本発明においては、チタン酸バリウム系ペロブスカイト
固溶体及び上記複合固溶体は、それぞれ単独にて、又は
それらの任意の2種以上の混合物として用いられる。
固溶体及び上記複合固溶体は、それぞれ単独にて、又は
それらの任意の2種以上の混合物として用いられる。
更に、本発明によるセラミック誘電体用組成物は、チタ
ン酸バリウムと上記したようなチタン酸バリウム系ペロ
ブスカイト固溶体の合計量100モル%に対して、酸化
ニオブ及び酸化タンクルから選ばれる少なくとも一種の
酸化物0.3〜2モル%、好ましくは0.3〜1.5モ
ル%を含有すると共に、酸化コバルト、酸化ニッケル、
酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化銅及び希土類元
素の酸化物から選ばれる少なくとも一種の酸化物0.1
〜2モル%、好ましくは0.3〜1.5モル%を含有す
る。
ン酸バリウムと上記したようなチタン酸バリウム系ペロ
ブスカイト固溶体の合計量100モル%に対して、酸化
ニオブ及び酸化タンクルから選ばれる少なくとも一種の
酸化物0.3〜2モル%、好ましくは0.3〜1.5モ
ル%を含有すると共に、酸化コバルト、酸化ニッケル、
酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化銅及び希土類元
素の酸化物から選ばれる少なくとも一種の酸化物0.1
〜2モル%、好ましくは0.3〜1.5モル%を含有す
る。
本発明においては、酸化ニオブ又は酸化クンクルは、上
記酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マグネシウム、酸
化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選ばれ
る少なくとも一種の酸化物の存在下に、制御されつつ、
拡散して、前記した不均一な拡散構造を形成する。即ち
、酸化ニオブ又は酸化タンタルは、上記酸化コバルト、
酸化ニッケル、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化
銅又は希土類元素の酸化物は、酸化ニオブ又は酸化タン
タルのチタン酸バリウム又はチタン酸バリウム系ペロブ
スカイト固溶体への拡散を抑制する。
記酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マグネシウム、酸
化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選ばれ
る少なくとも一種の酸化物の存在下に、制御されつつ、
拡散して、前記した不均一な拡散構造を形成する。即ち
、酸化ニオブ又は酸化タンタルは、上記酸化コバルト、
酸化ニッケル、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化
銅又は希土類元素の酸化物は、酸化ニオブ又は酸化タン
タルのチタン酸バリウム又はチタン酸バリウム系ペロブ
スカイト固溶体への拡散を抑制する。
上記希土類元素としては、例えば、イツトリウム、ラン
タン、セリウム等を挙げることができる。尚、本発明に
おいては、上記酸化物は、焼成することによって酸化物
となる化合物でもよく、従って、例えば、前記金属の水
酸化物、炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩等であってもよい
。
タン、セリウム等を挙げることができる。尚、本発明に
おいては、上記酸化物は、焼成することによって酸化物
となる化合物でもよく、従って、例えば、前記金属の水
酸化物、炭酸塩、炭酸水素塩、硝酸塩等であってもよい
。
このように、本発明によれば、チタン酸バリウム及びチ
タン酸バリウム系ペロブスカイト固溶体に対する酸化物
の配合量を規定することによって、得られるセラミック
誘電体に平坦な比誘電率特性を有せしめることができる
と共に、誘電正接、焼結密度、抵抗率等についても最善
の結果を得ることができる。酸化物の配合量が上記範囲
をはずれるときは、比誘電率の温度依存性がなお大きく
、平坦な特性を有せしめることができない。
タン酸バリウム系ペロブスカイト固溶体に対する酸化物
の配合量を規定することによって、得られるセラミック
誘電体に平坦な比誘電率特性を有せしめることができる
と共に、誘電正接、焼結密度、抵抗率等についても最善
の結果を得ることができる。酸化物の配合量が上記範囲
をはずれるときは、比誘電率の温度依存性がなお大きく
、平坦な特性を有せしめることができない。
更に、本発明による組成物は、焼成温度を低下させるこ
と等を目的として、他のペロブスカイト化合物、酸化ビ
スマス、シリカ、ケイ酸塩、ガラス組成物等を含有して
いてもよい。
と等を目的として、他のペロブスカイト化合物、酸化ビ
スマス、シリカ、ケイ酸塩、ガラス組成物等を含有して
いてもよい。
本発明によれば、例えば、かかる組成物をボールミル等
の適宜手段によって十分に混合した後、ポリビニルアル
コール等の水溶性重合体のような適宜のバインダーを併
用してグリーンベレットに成形し、次いで、このグリー
ンベレットを加熱して、バインダーを分解揮散させた後
、1000〜1400℃の温度にて、通常、数時間焼成
することによって、セラミック誘電体を得ることができ
る。また、有機バインダーと共にスリップを調製し、ド
クター・ブレード法等の適宜の方法によってグリーン・
シートを作製し、これに電極を印刷した後、積層し、焼
結して、所謂積層コンデンサーとすることもできる。
の適宜手段によって十分に混合した後、ポリビニルアル
コール等の水溶性重合体のような適宜のバインダーを併
用してグリーンベレットに成形し、次いで、このグリー
ンベレットを加熱して、バインダーを分解揮散させた後
、1000〜1400℃の温度にて、通常、数時間焼成
することによって、セラミック誘電体を得ることができ
る。また、有機バインダーと共にスリップを調製し、ド
クター・ブレード法等の適宜の方法によってグリーン・
シートを作製し、これに電極を印刷した後、積層し、焼
結して、所謂積層コンデンサーとすることもできる。
光匪■蓋果
以上のように、本発明の組成物によれば、これを100
0〜1400℃の温度で焼成することによって、100
℃近傍の比誘電率を高めて、−55〜+125℃の温度
範囲にわたって、20°Cの基阜値における比誘電率の
変化率が極めて小ざく、且つ、高い比誘電率を有するセ
ラミック誘電体を得ることができる。
0〜1400℃の温度で焼成することによって、100
℃近傍の比誘電率を高めて、−55〜+125℃の温度
範囲にわたって、20°Cの基阜値における比誘電率の
変化率が極めて小ざく、且つ、高い比誘電率を有するセ
ラミック誘電体を得ることができる。
従って、かかるセラミック誘電体は例えば、磁器コンデ
ンサーとして好適に用いることができる。
ンサーとして好適に用いることができる。
大詣拠
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこ
れら実施例により何ら限定されるものではない。
れら実施例により何ら限定されるものではない。
実施例A
(チタン酸ジルコン酸バリウム固溶体を用いる実施例)
実施例1
平均粒子径0.5μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOz) 、平均粒子径0.6μmの高純度チタン酸
ジルコン酸バリウム(BaTio、 qZro、 +0
3)固溶体、酸化コバルト(Cod)及び酸化ニオブ(
Nb20.)を第1表に示す組成にて、ジルコニア・ボ
ールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間湿式混合
した後、得られた混合物をボールミルから取出して、乾
燥した。
TiOz) 、平均粒子径0.6μmの高純度チタン酸
ジルコン酸バリウム(BaTio、 qZro、 +0
3)固溶体、酸化コバルト(Cod)及び酸化ニオブ(
Nb20.)を第1表に示す組成にて、ジルコニア・ボ
ールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間湿式混合
した後、得られた混合物をボールミルから取出して、乾
燥した。
次いで、バインダーとして8重量%ポリビニルアルコー
ル水溶液を上記混合物100重量部に対して10重量部
加え、顆粒に成形した後、35メツシユのふるいにて整
粒した。
ル水溶液を上記混合物100重量部に対して10重量部
加え、顆粒に成形した後、35メツシユのふるいにて整
粒した。
このようにして得た顆粒を金型と油圧プレスを用いて、
圧力1000 kg/cotで加圧成形して、直径20
mm、厚み約2m1のグリーンペレットに成形し、次い
で、このグリーンベレットを400°Cの温度で3時間
加熱して、ポリビニルアルコールを分解揮散させた後、
1300℃で3時間焼成して、セラミック誘電体を得た
。
圧力1000 kg/cotで加圧成形して、直径20
mm、厚み約2m1のグリーンペレットに成形し、次い
で、このグリーンベレットを400°Cの温度で3時間
加熱して、ポリビニルアルコールを分解揮散させた後、
1300℃で3時間焼成して、セラミック誘電体を得た
。
これらセラミック誘電体を厚みが11となるように両面
を研磨し、イオンコーターにて両面に銀電極を付設した
後、比誘電率、誘電正接、絶縁抵抗及び比誘電率の温度
変化率を測定した。
を研磨し、イオンコーターにて両面に銀電極を付設した
後、比誘電率、誘電正接、絶縁抵抗及び比誘電率の温度
変化率を測定した。
比誘電率と誘電正接は、横河ヒユーレット・パラカード
側製のL Fインピーダンス・アナライザーにて測定し
、絶縁抵抗は、横河ヒユーレット・パラカード側型のP
Aメーターにて測定した。また、20℃の比誘電率に対
する比誘電率の温度変化率は、恒温槽を用いて、−60
〜→−130°Cの温度範囲にわたって、IKIIzに
て測定した。以上の結果を第1表及び第1図に示す。ま
た、平均粒子径(比表面積)は、マイクロメリテイック
ス社製自動比表面積測定装置2200型を用いて測定し
た。
側製のL Fインピーダンス・アナライザーにて測定し
、絶縁抵抗は、横河ヒユーレット・パラカード側型のP
Aメーターにて測定した。また、20℃の比誘電率に対
する比誘電率の温度変化率は、恒温槽を用いて、−60
〜→−130°Cの温度範囲にわたって、IKIIzに
て測定した。以上の結果を第1表及び第1図に示す。ま
た、平均粒子径(比表面積)は、マイクロメリテイック
ス社製自動比表面積測定装置2200型を用いて測定し
た。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸ジルコン酸バリウムの
配合量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、10
0℃近傍における比誘電率の変化率が大きく、−55〜
+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有す
る誘電体を得ることができない。
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸ジルコン酸バリウムの
配合量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、10
0℃近傍における比誘電率の変化率が大きく、−55〜
+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有す
る誘電体を得ることができない。
実施例2
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TjOz) 85モル%と、平均粒子径0.7um、
Zr量が種々に異なる高純度チタン酸ジルコン酸バリウ
ム固溶体15モル%に第2表に示す量にて酸化コバルト
(Cod)と酸化タンタル(razos)とを加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、
絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果を
第2表及び第2図に示す。
TjOz) 85モル%と、平均粒子径0.7um、
Zr量が種々に異なる高純度チタン酸ジルコン酸バリウ
ム固溶体15モル%に第2表に示す量にて酸化コバルト
(Cod)と酸化タンタル(razos)とを加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、
絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果を
第2表及び第2図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性のいずれに
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸ジルコン酸バリウムにおけるZr量が本
発明で規定する範囲をはずれるときは、100 ’C近
傍における比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜
+125°Cの範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有
する誘電体を得ることができない。
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸ジルコン酸バリウムにおけるZr量が本
発明で規定する範囲をはずれるときは、100 ’C近
傍における比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜
+125°Cの範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有
する誘電体を得ることができない。
実施例3
平均粒子径0.6μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOz) 80モ°ル%と、平均粒子径0.6μm
の高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTia、
927、r6.。603)固溶体20モル%に第3表に
示す量にて酸化ニッケル(Nip)、酸化マグネシウム
(MgO)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、かか
る混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック
誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、絶
縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。
TiOz) 80モ°ル%と、平均粒子径0.6μm
の高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTia、
927、r6.。603)固溶体20モル%に第3表に
示す量にて酸化ニッケル(Nip)、酸化マグネシウム
(MgO)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、かか
る混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック
誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、絶
縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。
結果を第3表及び第3図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすくれ、
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例4
平均粒子径0,3μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiO:+) 80モル%と、平均粒子径0.3 p
mの高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTio
、 qZro、 +03)固溶体20モル%に第4表に
示す量にて酸化コパルh (Coo)、炭酸マンガン(
MnCOz)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、
絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果を
第4表及び第4図に示す。
TiO:+) 80モル%と、平均粒子径0.3 p
mの高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTio
、 qZro、 +03)固溶体20モル%に第4表に
示す量にて酸化コパルh (Coo)、炭酸マンガン(
MnCOz)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、比誘電率、誘電正接、
絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果を
第4表及び第4図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすくれ、
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例5
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOz) 80モル%と、平均粒子径0.8 p
mの高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTio、
qt−Zro、。、0.)固溶体20モル%に第5表
に示す量にて酸化コバルト(Coo)及び酸化ニオブ(
Nb*Os)を加え“、かかる混合物を用いて、実施例
1と同様にして、グリーンベレットに成形し、次いで、
このグリーンベレットを400℃の温度で3時間加熱し
て、ポリビニルアルコールを分解揮散させた後、125
0℃、1300℃又は1350℃にてそれぞれ3時間焼
成して、セラミック誘電体を得た。
TiOz) 80モル%と、平均粒子径0.8 p
mの高純度チタン酸ジルコン酸バリウム(BaTio、
qt−Zro、。、0.)固溶体20モル%に第5表
に示す量にて酸化コバルト(Coo)及び酸化ニオブ(
Nb*Os)を加え“、かかる混合物を用いて、実施例
1と同様にして、グリーンベレットに成形し、次いで、
このグリーンベレットを400℃の温度で3時間加熱し
て、ポリビニルアルコールを分解揮散させた後、125
0℃、1300℃又は1350℃にてそれぞれ3時間焼
成して、セラミック誘電体を得た。
これらセラミック誘電体について、比誘電率、誘電正接
、絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果
を第5表及び第5図に示す。
、絶縁抵抗及び比誘電率の温度変化率を測定した。結果
を第5表及び第5図に示す。
本発明による組成物は、いずれの焼結温度でも、焼結性
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
実施例B
(チタン酸バリウムストロンチウム又はチタン酸ジルコ
ン酸バリウムストロンチウムを用いる実施例) 実施例6 平均粒子径0.5μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs)、平均粒子径0.7μmの高純度チタン酸バ
リウムストロンチウム(Baa、 qsro、 4i0
s)固溶体、酸化コバルl−(Coo)及び酸化ニオブ
(NbtOs)を第6表に示す組成にて、ジルコニア・
ボールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間湿式混
合した後、得られた混合物をボールミルから取出して、
乾燥した。
ン酸バリウムストロンチウムを用いる実施例) 実施例6 平均粒子径0.5μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs)、平均粒子径0.7μmの高純度チタン酸バ
リウムストロンチウム(Baa、 qsro、 4i0
s)固溶体、酸化コバルl−(Coo)及び酸化ニオブ
(NbtOs)を第6表に示す組成にて、ジルコニア・
ボールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間湿式混
合した後、得られた混合物をボールミルから取出して、
乾燥した。
この混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を調製し、これについて、実施例1と同様にし
て、電気的性質を測定した。結果を第6表及び第6図に
示す。
ク誘電体を調製し、これについて、実施例1と同様にし
て、電気的性質を測定した。結果を第6表及び第6図に
示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸バリウムストロンチウ
ムの配合量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、
100℃近傍における比誘電率の変化率が大きく、−5
5〜+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を
有する誘電体を得ることができないし、また、20℃で
の比誘電率の低下を招く。
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸バリウムストロンチウ
ムの配合量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、
100℃近傍における比誘電率の変化率が大きく、−5
5〜+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を
有する誘電体を得ることができないし、また、20℃で
の比誘電率の低下を招く。
実施例7
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.6 tt
m、5rilが種々に異なる高純度チタン酸バリウム
ストロンチウム固溶体15モル%に第7表に示す量にて
酸化コバル) (Coo)と酸化タンタル(ta、O,
)とを加え、かかる混合物を用いて、実施例1と同様に
して、セラミック誘電体を得、これらについて、電気的
性質を測定した。結果を第7表及び第7図に示す。
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.6 tt
m、5rilが種々に異なる高純度チタン酸バリウム
ストロンチウム固溶体15モル%に第7表に示す量にて
酸化コバル) (Coo)と酸化タンタル(ta、O,
)とを加え、かかる混合物を用いて、実施例1と同様に
して、セラミック誘電体を得、これらについて、電気的
性質を測定した。結果を第7表及び第7図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性のいずれに
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸バリウムストロンチウムにおけるSr量
が本発明で規定する範囲をはずれるときは、100℃近
傍における比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜
+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有す
る誘電体を得ることができない。
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸バリウムストロンチウムにおけるSr量
が本発明で規定する範囲をはずれるときは、100℃近
傍における比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜
+125℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有す
る誘電体を得ることができない。
実施例8
平均粒子径0.6μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.6 p
mの高純度チタン酸バリウムストロンチウム(Bao、
qSro1TiO+)固溶体15モル%に第8表に示す
量にて酸化ニッケル(Nip)、酸化マグネシウム(M
gO)及び酸化ニオブ(Nb2O2)を加え、かかる混
合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック誘電
体を得、これらについて、電気的性質を測定した。
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.6 p
mの高純度チタン酸バリウムストロンチウム(Bao、
qSro1TiO+)固溶体15モル%に第8表に示す
量にて酸化ニッケル(Nip)、酸化マグネシウム(M
gO)及び酸化ニオブ(Nb2O2)を加え、かかる混
合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック誘電
体を得、これらについて、電気的性質を測定した。
結果を第8表及び第8図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例9
平均粒子径0.3μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
Ti03) 85モル%と、平均粒子径0.5μmの
高純度チタン酸バリウムストロンチウム(Bao、 q
−3ro、 lTi0:+)固溶体15モル%に第9表
に示す量にて酸化コバル) (Coo)、炭酸マンガン
(MnCO,)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、
かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミ
ック誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定し
た。
Ti03) 85モル%と、平均粒子径0.5μmの
高純度チタン酸バリウムストロンチウム(Bao、 q
−3ro、 lTi0:+)固溶体15モル%に第9表
に示す量にて酸化コバル) (Coo)、炭酸マンガン
(MnCO,)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、
かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミ
ック誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定し
た。
結果を第9表及び第9図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例10
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs) 80モル%と、平均粒子径0.8μmの
高純度チタン酸ジルコン酸バリウムストロンチウム(B
ao、 qtsro、 osTio、 9SZr6.
oses)固溶体20モル%に第10表に示す量にて酸
化コバル) (God)及び酸化ニオブ(Nb、0.)
を加え、かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして
、グリーンベレットに成形し、次いで、このグリーンベ
レットを400℃の温度で3時間加熱して、ポリビニル
アルコールを分解揮散させた後、1280℃、1330
℃又は1380℃にてそれぞれ3時間焼成して、セラミ
ック誘電体を得た。これらセラミック誘電体について、
電気的性質を測定した。結果を第10表及び第10図に
示す。
TiOs) 80モル%と、平均粒子径0.8μmの
高純度チタン酸ジルコン酸バリウムストロンチウム(B
ao、 qtsro、 osTio、 9SZr6.
oses)固溶体20モル%に第10表に示す量にて酸
化コバル) (God)及び酸化ニオブ(Nb、0.)
を加え、かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして
、グリーンベレットに成形し、次いで、このグリーンベ
レットを400℃の温度で3時間加熱して、ポリビニル
アルコールを分解揮散させた後、1280℃、1330
℃又は1380℃にてそれぞれ3時間焼成して、セラミ
ック誘電体を得た。これらセラミック誘電体について、
電気的性質を測定した。結果を第10表及び第10図に
示す。
本発明による組成物は、いずれの焼結温度でも、焼結性
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
実施例C
(チタン酸スズ酸バリウム固溶体又はチタン酸ジルコン
酸スズ酸バリウム固溶体を用いる実施例)実施例1工 平均粒子径0.5μmの高純度チタン酸バリウ゛ム(B
aTiOs) 、平均粒子径0.7μmの高純度チタン
酸スズ酸バリウム(BaTio、 qbsno、 +1
403)固溶体、酸化コバル) (Coo)及び酸化ニ
オブ(NbzOs)を第11表に示す組成にて、ジルコ
ニア・ボールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間
湿式混合した後、得られた混合物をボールミルから取出
して、乾燥した。
酸スズ酸バリウム固溶体を用いる実施例)実施例1工 平均粒子径0.5μmの高純度チタン酸バリウ゛ム(B
aTiOs) 、平均粒子径0.7μmの高純度チタン
酸スズ酸バリウム(BaTio、 qbsno、 +1
403)固溶体、酸化コバル) (Coo)及び酸化ニ
オブ(NbzOs)を第11表に示す組成にて、ジルコ
ニア・ボールを備えたナイロン製ボールミルにて3時間
湿式混合した後、得られた混合物をボールミルから取出
して、乾燥した。
この混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を調製し、これについて、実施例1と同様にし
て、電気的性質を測定した。結果を第11表及び第11
図に示す。
ク誘電体を調製し、これについて、実施例1と同様にし
て、電気的性質を測定した。結果を第11表及び第11
図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸スズ酸バリウムの配合
量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、100℃
近傍における比誘電率の変化率が大きく、−55〜+1
25℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有する誘
電体を得ることができないし、また、20℃での比誘電
率の低下を招く。
特に、比誘電率の温度変化率が極めて平坦であるセラミ
ック誘電体を与えることが示される。これに対して、チ
タン酸バリウムに対するチタン酸スズ酸バリウムの配合
量が本発明で規定する範囲をはずれるときは、100℃
近傍における比誘電率の変化率が大きく、−55〜+1
25℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有する誘
電体を得ることができないし、また、20℃での比誘電
率の低下を招く。
実施例12
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
Ti03) 80モル%と、平均粒子径0.7 p
m、Sn量が種々に異なる高純度チタン酸スズ酸バリウ
ム固溶体20モル%に第12表に示す量にて酸化コバル
ト(Cod)と酸化タンタル(Taxes)とを加え、
かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミ
ック誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定し
た。結果を第12表及び第12図に示す。
Ti03) 80モル%と、平均粒子径0.7 p
m、Sn量が種々に異なる高純度チタン酸スズ酸バリウ
ム固溶体20モル%に第12表に示す量にて酸化コバル
ト(Cod)と酸化タンタル(Taxes)とを加え、
かかる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミ
ック誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定し
た。結果を第12表及び第12図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性のいずれに
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸スズ酸バリウムにおけるSn量が本発明
で規定する範囲をはずれるときは、100℃近傍におけ
る比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜+125
℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有する誘電体
を得ることができないし、また、比誘電率の低下を招く
。
もすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であ
るセラミック誘電体を与えることが示される。これに対
して、チタン酸スズ酸バリウムにおけるSn量が本発明
で規定する範囲をはずれるときは、100℃近傍におけ
る比誘電率の変化率が非常に大きく、−55〜+125
℃の範囲にわたって平坦な比誘電率特性を有する誘電体
を得ることができないし、また、比誘電率の低下を招く
。
実施例13
平均粒子径0.6μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TtOz) 80モル%と、平均粒子径0.6umの
高純度チタン酸スズ酸バリウム(BaTio、 qss
no、 os−0、)固溶体20モル%に第13表に示
す量にて酸化ニッケル(NiO)、酸化マグネシウム(
MgO)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、かかる
混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック誘
電体を得、これらについて、電気的性質を測定した。結
果を第13表及び第13図に示す。
TtOz) 80モル%と、平均粒子径0.6umの
高純度チタン酸スズ酸バリウム(BaTio、 qss
no、 os−0、)固溶体20モル%に第13表に示
す量にて酸化ニッケル(NiO)、酸化マグネシウム(
MgO)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、かかる
混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミック誘
電体を得、これらについて、電気的性質を測定した。結
果を第13表及び第13図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度特性が掻めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が掻めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例14
平均粒子径0.3μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs) 80モル%と、平均粒子径0.4 p
mの高純度チタン酸スズ酸バリウム(BaTio、 q
bsno、。4=03)固溶体20モル%に第14表に
示す量にて酸化コバル) (Coo)、炭酸マンガン(
MnCOa)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定した
。結果を第14表及び第14図に示す。
TiOs) 80モル%と、平均粒子径0.4 p
mの高純度チタン酸スズ酸バリウム(BaTio、 q
bsno、。4=03)固溶体20モル%に第14表に
示す量にて酸化コバル) (Coo)、炭酸マンガン(
MnCOa)及び酸化ニオブ(NbzOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、セラミッ
ク誘電体を得、これらについて、電気的性質を測定した
。結果を第14表及び第14図に示す。
本発明による組成物は、焼結性及び電気特性にすぐれ、
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
特に、比誘電率の温度特性が極めて平坦であるセラミッ
ク誘電体を与えることが示されている。
実施例15
平均粒子径0.8μmの高純度チタン酸バリウム(Ba
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.8.17
mの高純度チタン酸ジルコン酸スズ酸バリウム(Ba
−Tio、 wasno、 a+Zro、 osoz)
固溶体15モル%に第15表に示す量にて酸化コバル)
(Cod)及び酸化ニオブ(NbgOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、グリーン
ベレットに成形し、次いで、このグリーンベレットを4
00℃の温度で3時間加熱して、ポリビニルアルコール
を分解揮散させた後、1280℃、1330℃又は13
80℃にてそれぞれ3時間焼成して、セラミック誘電体
を得た。これらセラミック誘電体について、電気的性質
を測定した。結果を第15表及び第15図に示す。
TiOs) 85モル%と、平均粒子径0.8.17
mの高純度チタン酸ジルコン酸スズ酸バリウム(Ba
−Tio、 wasno、 a+Zro、 osoz)
固溶体15モル%に第15表に示す量にて酸化コバル)
(Cod)及び酸化ニオブ(NbgOs)を加え、か
かる混合物を用いて、実施例1と同様にして、グリーン
ベレットに成形し、次いで、このグリーンベレットを4
00℃の温度で3時間加熱して、ポリビニルアルコール
を分解揮散させた後、1280℃、1330℃又は13
80℃にてそれぞれ3時間焼成して、セラミック誘電体
を得た。これらセラミック誘電体について、電気的性質
を測定した。結果を第15表及び第15図に示す。
本発明による組成物は、いずれの焼結温度でも、焼結性
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
及び電気特性にすぐれ、特に、比誘電率の温度特性が極
めて平坦であるセラミック誘電体を与えることが示され
ている。
第1図1よ、チタン酸ジルコン酸バリウムの配合量の異
なる組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率の
温度依存特性を示すグラフ、第2図は、Zr1lの異な
るチタン酸ジルコン酸バリウムを用いて得られるセラミ
ック誘電体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフであ
る。第3図から第5図は、それぞれ本発明による組成物
を用いて得たセラミック誘電体の比誘電率の慕度依存特
性を示すグラフである。 第6図は、チタン酸バリウムストロンチウムの配合量の
異なる組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率
の温度依存特性を示すグラフ、第7図は、Sr量の異な
るチタン酸バリウムストロンチウムを用いて得られるセ
ラミック誘電体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフ
である・第8図から第10図は、それぞれ本発明による
組成物を用いて得たセラミック誘電体の比誘電率の温度
依存特性を示すグラフである。 第1I図は、チタン酸スズ酸バリウムの配合量の異なる
組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率の温度
依存特性を示すグラフ、第12図は、Sn量の異なるチ
タン酸スズ酸バリウムを用いて得られるセラミック誘電
体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフである。第1
3図から第15図は、それぞれ本発明による組成物を用
いて得たセラミック誘電体の比誘電率の温度依存特性を
示すグラフである゛。 尚、図中、*印を付したものは比較例を示す。
なる組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率の
温度依存特性を示すグラフ、第2図は、Zr1lの異な
るチタン酸ジルコン酸バリウムを用いて得られるセラミ
ック誘電体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフであ
る。第3図から第5図は、それぞれ本発明による組成物
を用いて得たセラミック誘電体の比誘電率の慕度依存特
性を示すグラフである。 第6図は、チタン酸バリウムストロンチウムの配合量の
異なる組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率
の温度依存特性を示すグラフ、第7図は、Sr量の異な
るチタン酸バリウムストロンチウムを用いて得られるセ
ラミック誘電体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフ
である・第8図から第10図は、それぞれ本発明による
組成物を用いて得たセラミック誘電体の比誘電率の温度
依存特性を示すグラフである。 第1I図は、チタン酸スズ酸バリウムの配合量の異なる
組成物から得られたセラミック誘電体の比誘電率の温度
依存特性を示すグラフ、第12図は、Sn量の異なるチ
タン酸スズ酸バリウムを用いて得られるセラミック誘電
体の比誘電率の温度依存特性を示すグラフである。第1
3図から第15図は、それぞれ本発明による組成物を用
いて得たセラミック誘電体の比誘電率の温度依存特性を
示すグラフである゛。 尚、図中、*印を付したものは比較例を示す。
Claims (4)
- (1)平均粒径0.1〜1.5μmのチタン酸バリウム
98〜60モル%と、平均粒径0.1〜1.5μmであ
つて、且つ、キユリー温度50〜115℃であるチタン
酸バリウム系ペロブスカイト固溶体2〜40モル%との
合計量100モル%に対して、 A.酸化ニオブ及び酸化タンタルから選ばれる少なくと
も一種の酸化物0.3〜2モル%、及び B.酸化コバルト、酸化ニツケル、酸化マグネシウム、
酸化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選ば
れる少なくとも一種の酸化物0.1〜2モル% を含有することを特徴とするセラミツク誘電体用組成物
。 - (2)チタン酸バリウムストロンチウム固溶体が(a)
一般式( I ) BaTi_1_−_xZr_xO_3 (式中、xは0.02≦x≦0.15を満たす数である
。) で表わされるチタン酸ジルコン酸バリウム固溶体、又は (b)一般式(II) Ba_1_−_ySr_yTiO_3 (式中、yは0.03≦y≦0.20を満たす数である
。) で表わされるチタン酸バリウムストロンチウム固溶体、
又は (c)一般式(III) BaTi_1_−_zSn_zO_3 (式中、zは0.01≦z≦0.10を満たす数である
。) で表わされるチタン酸スズ酸バリウム固溶体、(d)上
記固溶体の少なくとも2種からなる複合固溶体、又は (e)これらの混合物 であることを特徴とする請求項第1項記載のセラミック
誘電体用組成物。 - (3)平均粒径0.1〜1.5μmのチタン酸バリウム
98〜60モル%と、平均粒径0.1〜1.5μmであ
り、且つ、 (a)一般式( I ) BaTi_1_−_xZr_xO_3 (式中、xは0.02≦x≦0.15を満たす数である
。) で表わされるチタン酸ジルコン酸バリウム固溶体、又は (b)一般式(II) Ba_1_−_ySr_yTiO_3 (式中、yは0.03≦y≦0.20を満たす数である
。) で表わされるチタン酸バリウムストロンチウム固溶体、
又は (c)一般式(III) BaTi_1_−_zSn_zO_3 (式中、2は0.01≦z≦0.10を満たす数である
。) で表わされるチタン酸スズ酸バリウム固溶体、(d)上
記固溶体の少なくとも2種からなる複合固溶体、又は (e)これらの混合物 2〜40モル%との合計量100モル%に対して、 A.酸化ニオブ及び酸化タンタルから選ばれる少なくと
も一種の酸化物0.3〜2モル%、及び B.酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マグネシウム、
酸化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選ば
れる少なくとも一種の酸化物0.1〜2モル% を含有する組成物を焼結してなることを特徴とするセラ
ミツク誘電体。 - (4)平均粒径0.1〜1.5μmのチタン酸バリウム
98〜60モル%と、平均粒径0.1〜1.5μmであ
り、且つ、 (a)一般式( I ) BaTi_1_−_xZr_xO_3 (式中、xは0.02≦x≦0.15を満たす数である
。) で表わされるチタン酸ジルコン酸バリウム固溶体、又は (b)一般式(II) Ba_1_−_ySr_yTiO_3 (式中、yは0.03≦y≦0.20を満たす数である
。) で表わされるチタン酸バリウムストロンチウム固溶体、
又は (c)一般式(III) BaTi_1_−_zSn_zO_3 (式中、zは0.01≦z≦0.10を満たす数である
。) で表わされるチタン酸スズ酸バリウム固溶体、(d)上
記固溶体の少なくとも2種からなる複合固溶体、又は (e)これらの混合物 2〜40モル%との合計量100モル%に対して、 A.酸化ニオブ及び酸化タンタルから選ばれる少なくと
も一種の酸化物0.3〜2モル%、及び B.酸化コバルト、酸化ニツケル、酸化マグネシウム、
酸化マンガン、酸化銅及び希土類元素の酸化物から選ば
れる少なくとも一種の酸化物0.1〜2モル% を含有する組成物を1000〜1400℃の温度で焼成
することを特徴とするセラミツク誘電体の製造方法。
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