JPH01315904A - 誘電体磁器とその製造方法 - Google Patents
誘電体磁器とその製造方法Info
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- JPH01315904A JPH01315904A JP63146423A JP14642388A JPH01315904A JP H01315904 A JPH01315904 A JP H01315904A JP 63146423 A JP63146423 A JP 63146423A JP 14642388 A JP14642388 A JP 14642388A JP H01315904 A JPH01315904 A JP H01315904A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、誘電率の温度変化が小さ(、信号電圧特性の
良好な高誘電率系チタン酸バリウム磁器およびその製造
方法に関する。
良好な高誘電率系チタン酸バリウム磁器およびその製造
方法に関する。
従来の技術
従来より高誘電率系セラミックコンデンザ用の誘電体材
料としで、チタン酸バリウム系の磁器組成物が広く用い
られている。チタン酸バリウム系の磁器組成物のなかで
も誘電率の温度変化が小さい、すなわちJIS規格のY
B特性やEIA規格のX7R特性を満たす材料は、市場
規模も大きく、BaTiO3−ビスマス系、BaTiO
3−Mn02−Nb2O5系(特開昭51−76597
号公報)を初め、数多くの組成物が知られている。また
、近年のセラミック積層コンデンサに対する小型大容量
化の要求に応えるために誘電体材料の高誘電率化と誘電
体層の薄層化が急激な勢いて進んでいる。ゆえに、高誘
電率で、誘電率の温度変化が小さ(、かつ高い信号電圧
印加時の誘電損失の小さい誘電体材料に対する需要は太
き(なっている。
料としで、チタン酸バリウム系の磁器組成物が広く用い
られている。チタン酸バリウム系の磁器組成物のなかで
も誘電率の温度変化が小さい、すなわちJIS規格のY
B特性やEIA規格のX7R特性を満たす材料は、市場
規模も大きく、BaTiO3−ビスマス系、BaTiO
3−Mn02−Nb2O5系(特開昭51−76597
号公報)を初め、数多くの組成物が知られている。また
、近年のセラミック積層コンデンサに対する小型大容量
化の要求に応えるために誘電体材料の高誘電率化と誘電
体層の薄層化が急激な勢いて進んでいる。ゆえに、高誘
電率で、誘電率の温度変化が小さ(、かつ高い信号電圧
印加時の誘電損失の小さい誘電体材料に対する需要は太
き(なっている。
発明が解決しようとする課題
特に、BaT io3−MnO2−Nb2Os系の誘電
率の温度特性の良い磁器組成物を用いて2Oμm以下の
誘電体層を持つセラミック積層コンデンサを作製した場
合、M n O2の量により、]−k H2,1vの信
号電圧を印加した際に誘電損失が2.5%を越えてしま
□う、誘電体磁器の結晶粒内におけるNbイオンの分布
状態により、室温での誘電率が3000以下となる、ま
た、焼成時の粒成長の度合いにより、誘電率の温度特性
が悪化する等の問題が発生する 本発明は、誘電率が3000以上で、誘電率の温度変化
がJIS規格のYB特性およびEIA規格のX7R特性
を満たし、1kHz、50V/mmの交流電圧印加時に
、誘電損失が2.5%以下である誘電体磁器とその製造
方法を提供して上記課題を解決するものである。
率の温度特性の良い磁器組成物を用いて2Oμm以下の
誘電体層を持つセラミック積層コンデンサを作製した場
合、M n O2の量により、]−k H2,1vの信
号電圧を印加した際に誘電損失が2.5%を越えてしま
□う、誘電体磁器の結晶粒内におけるNbイオンの分布
状態により、室温での誘電率が3000以下となる、ま
た、焼成時の粒成長の度合いにより、誘電率の温度特性
が悪化する等の問題が発生する 本発明は、誘電率が3000以上で、誘電率の温度変化
がJIS規格のYB特性およびEIA規格のX7R特性
を満たし、1kHz、50V/mmの交流電圧印加時に
、誘電損失が2.5%以下である誘電体磁器とその製造
方法を提供して上記課題を解決するものである。
課題を解決するための手段
BaTiO3粉末に対して特定量のM n O2あるい
はM n O2の一部をCoo、Nip、ZnO1およ
びMgOで置換したもの、および特定量のNb 2O5
を含む焼結体においで、主相の結晶粒の中心部に固溶し
ているNbイオンの量が0.4モル%以下である誘電体
磁器とする。この時、二次相としてニオブの酸化物を主
成分とする相が存在するとよい。
はM n O2の一部をCoo、Nip、ZnO1およ
びMgOで置換したもの、および特定量のNb 2O5
を含む焼結体においで、主相の結晶粒の中心部に固溶し
ているNbイオンの量が0.4モル%以下である誘電体
磁器とする。この時、二次相としてニオブの酸化物を主
成分とする相が存在するとよい。
上記誘電体磁器の製造方法としで、一次粒径が0.1μ
m以下のBaTiO3#粉末に1000℃を越え、12
50℃以下で熱処理を行った粉末+B a T i O
3の出発原料として用いる。
m以下のBaTiO3#粉末に1000℃を越え、12
50℃以下で熱処理を行った粉末+B a T i O
3の出発原料として用いる。
作用
本発明の誘電体磁器によると、BaTiOs中にM n
O2が固溶しているため、信号電圧特性が向上し、主
相の結晶粒の中心部に固溶しているNbイオンの量が0
.4モル%以下であるため、高誘電率で誘電率の温度特
性が良好となる。また、ニオブの酸化物を主成分とする
二次相が残存していることは、Nbイオンがすべて主相
のBaTiO3結晶中に固溶したのちに発生ずる粒成長
が抑制され、粒界の移動にともなう組成の均一化、特に
Nbイオンの分布の均一化が発生しなかったことを意味
し、誘電率の温度特性向上に寄与している。
O2が固溶しているため、信号電圧特性が向上し、主
相の結晶粒の中心部に固溶しているNbイオンの量が0
.4モル%以下であるため、高誘電率で誘電率の温度特
性が良好となる。また、ニオブの酸化物を主成分とする
二次相が残存していることは、Nbイオンがすべて主相
のBaTiO3結晶中に固溶したのちに発生ずる粒成長
が抑制され、粒界の移動にともなう組成の均一化、特に
Nbイオンの分布の均一化が発生しなかったことを意味
し、誘電率の温度特性向上に寄与している。
本発明の誘電体磁器の製造方法においで、熱処理を行っ
たBaTiO3粉末を用いたのは、主相の結晶性を高め
、Nbイオンの主相の結晶中への拡散を抑制し、主相の
結晶粒の中心部に固溶するNbイオンの量を0.4モル
%以下とするためである。
たBaTiO3粉末を用いたのは、主相の結晶性を高め
、Nbイオンの主相の結晶中への拡散を抑制し、主相の
結晶粒の中心部に固溶するNbイオンの量を0.4モル
%以下とするためである。
実施例
実施例1
本実施例は特許請求の範囲第1.2、および3項記載の
発明に対応し、主相の結晶粒の中心部に固溶するNbイ
オンの量を0.4モル%以下とし、二次相としてニオブ
の酸化物を主成分とする相が存在することにより、課題
を解決したものである。
発明に対応し、主相の結晶粒の中心部に固溶するNbイ
オンの量を0.4モル%以下とし、二次相としてニオブ
の酸化物を主成分とする相が存在することにより、課題
を解決したものである。
BaTiO3粉末としで、水熱法により得た粒径0.0
5μm、純度99.99%以上のBaTiO3微粉末を
1050℃で粉体仮焼したものを用いた。比較例としで
、純度99.9%以上のBacOsとTi0zの混合物
を1050℃で仮焼して得たBaTiO3粉末(試料N
o、6)、および仮焼していないBaCO2とT i
O2の混合物を用いたく試料No、7)。上記BaTi
O3粉末100モル部に対しで、N b 2O sをN
bO5/2換算で2.45モル部、種々の量のMnO,
C。
5μm、純度99.99%以上のBaTiO3微粉末を
1050℃で粉体仮焼したものを用いた。比較例としで
、純度99.9%以上のBacOsとTi0zの混合物
を1050℃で仮焼して得たBaTiO3粉末(試料N
o、6)、および仮焼していないBaCO2とT i
O2の混合物を用いたく試料No、7)。上記BaTi
O3粉末100モル部に対しで、N b 2O sをN
bO5/2換算で2.45モル部、種々の量のMnO,
C。
O,Ni01ZnO1およびMgOを秤量し、直径7m
mのジルコニア製玉石によりボールミル17hr混合し
た。溶媒は純水を用いた。溶媒を乾燥させて得た粉末に
バインダーとして3 w t zのボリヒニルアルコー
ルを加え、32メツシユのナイロン製のふるいを通して
造粒し、1000kg/Cm2の圧力で、直径14mm
、厚さ1.2mmに加圧成形した。得られた円板を空気
中、700℃でlhr保持してバインダ成分をバーンア
ウトし、空気中1250〜1450℃で2hr焼成した
。得られた焼結体の密度が最大となる温度を最適焼成温
度とし、以下の電気特性の測定を行った。焼結体の両面
にCr−Auを蒸着して電極とした。誘電率、tanδ
を1kHz、IV/mmの交流電圧のもと、−60〜1
30℃の温度範囲で測定した。抵抗率は、1kV/mm
の電圧を印加して1分後の値から求めた。信号電圧特性
としで、1 k Hzの周波数の信号を、150V/m
mまて印加し、tanδが2.5%になる電圧(V2.
5〉を測定した。また、焼結体における結晶粒の中心部
のNbイオンの量を調べるため、焼結体をその平均粒径
より小さい厚さまでイオンミル法で研摩し、走査型透過
電子顕微鏡にエネルギー分散型の蛍光X線検出装置を組
み合わせた組成分析を行った。この分析法によるNbイ
オンの検出限界は0.4モル%であった。さらに、二次
層の有無を粉末X線回折法により調べた。
mのジルコニア製玉石によりボールミル17hr混合し
た。溶媒は純水を用いた。溶媒を乾燥させて得た粉末に
バインダーとして3 w t zのボリヒニルアルコー
ルを加え、32メツシユのナイロン製のふるいを通して
造粒し、1000kg/Cm2の圧力で、直径14mm
、厚さ1.2mmに加圧成形した。得られた円板を空気
中、700℃でlhr保持してバインダ成分をバーンア
ウトし、空気中1250〜1450℃で2hr焼成した
。得られた焼結体の密度が最大となる温度を最適焼成温
度とし、以下の電気特性の測定を行った。焼結体の両面
にCr−Auを蒸着して電極とした。誘電率、tanδ
を1kHz、IV/mmの交流電圧のもと、−60〜1
30℃の温度範囲で測定した。抵抗率は、1kV/mm
の電圧を印加して1分後の値から求めた。信号電圧特性
としで、1 k Hzの周波数の信号を、150V/m
mまて印加し、tanδが2.5%になる電圧(V2.
5〉を測定した。また、焼結体における結晶粒の中心部
のNbイオンの量を調べるため、焼結体をその平均粒径
より小さい厚さまでイオンミル法で研摩し、走査型透過
電子顕微鏡にエネルギー分散型の蛍光X線検出装置を組
み合わせた組成分析を行った。この分析法によるNbイ
オンの検出限界は0.4モル%であった。さらに、二次
層の有無を粉末X線回折法により調べた。
表1に結果を示す。Nbイオンの量の欄に一一一とある
のは、上記分析法の検出限界以下であることを示す。
のは、上記分析法の検出限界以下であることを示す。
(以下余白)
表1より明らかなように、N006の試料では、焼結体
における結晶粒の中心部にNbイオンが0.9モル%存
在し、室温での誘電率が2500以下となった。また、
N007の試料のように、二次相が存在しないと、誘電
率の温度変化が大きくなった。本発明の範囲であるN0
11〜5の試料のように結晶粒の中心部に固溶している
Nbイオンの量を用いた分析法の検出限界、すなわち0
.4モル%以下とし、二次相を存在させることにより、
室温での誘電率を3000以上に高め、誘電率の温度変
化をJIS規格のYB特性およびEIA規格のX7R特
性の範囲に入れるこさができた。
における結晶粒の中心部にNbイオンが0.9モル%存
在し、室温での誘電率が2500以下となった。また、
N007の試料のように、二次相が存在しないと、誘電
率の温度変化が大きくなった。本発明の範囲であるN0
11〜5の試料のように結晶粒の中心部に固溶している
Nbイオンの量を用いた分析法の検出限界、すなわち0
.4モル%以下とし、二次相を存在させることにより、
室温での誘電率を3000以上に高め、誘電率の温度変
化をJIS規格のYB特性およびEIA規格のX7R特
性の範囲に入れるこさができた。
第1図に、得られた誘電体磁器の微細構造を模式的に示
す。第1図の(a)は本発明が請求した範囲の誘電体磁
器である。図中、主相11の中心部をNbイオンの量の
測定点12としたところ、検出限界以下であった。主相
の粒界にNbの酸化物を主成分とする二次相13が存在
し、粒成長によるNbイオンの拡散が抑制され、かつ、
用いたBaTiO3の結晶性が良いため、主相の結晶粒
の中心部にNbイオンが測定の検出限界以下の量しか存
在しなかった。第1図の(b)は比較例であり、No、
6の試料に相当するものである。二次相13が存在し、
粒成長が抑制されているものの、用いたB a T i
Osの結晶性が悪いため、主相11の結晶粒の中心部
12までNbイオンが良く拡散し、誘電率が2500以
下となった。第1図の(c)は比較例であり、No、7
の試料に相当するものである。添加したNbイオンがす
べて主相11の結晶粒中に拡散してしまい、粒成長によ
り、Nbイオンが均一に分布した例である。いずれの試
料においても、結晶粒の周辺部においては、Nbイオン
の存在が確認できた。すなわち、本発明の範囲の磁器に
おいては、主相の結晶粒の中心部と周辺部のNbイオン
の拡散量に大きな差が生じている 実施例2 本実施例は特許請求の範囲第1および2項記載の発明に
対応し、添加物の量を限定することにより課題を解決し
たものである。
す。第1図の(a)は本発明が請求した範囲の誘電体磁
器である。図中、主相11の中心部をNbイオンの量の
測定点12としたところ、検出限界以下であった。主相
の粒界にNbの酸化物を主成分とする二次相13が存在
し、粒成長によるNbイオンの拡散が抑制され、かつ、
用いたBaTiO3の結晶性が良いため、主相の結晶粒
の中心部にNbイオンが測定の検出限界以下の量しか存
在しなかった。第1図の(b)は比較例であり、No、
6の試料に相当するものである。二次相13が存在し、
粒成長が抑制されているものの、用いたB a T i
Osの結晶性が悪いため、主相11の結晶粒の中心部
12までNbイオンが良く拡散し、誘電率が2500以
下となった。第1図の(c)は比較例であり、No、7
の試料に相当するものである。添加したNbイオンがす
べて主相11の結晶粒中に拡散してしまい、粒成長によ
り、Nbイオンが均一に分布した例である。いずれの試
料においても、結晶粒の周辺部においては、Nbイオン
の存在が確認できた。すなわち、本発明の範囲の磁器に
おいては、主相の結晶粒の中心部と周辺部のNbイオン
の拡散量に大きな差が生じている 実施例2 本実施例は特許請求の範囲第1および2項記載の発明に
対応し、添加物の量を限定することにより課題を解決し
たものである。
BaTiOs粉末としで、水熱法により得た粒径0.0
5μm、純度99.99%以上のBaTiO3微粉末を
1050℃で粉体仮焼したものを用いた。上記B a
T i O3粉末に対しで、種々の量のN b 2O5
、M n 02、Coo、NiO,ZnO1およびMg
Oを秤量し、以下実施例1と同様の手順により試料の作
成および評価を行った。
5μm、純度99.99%以上のBaTiO3微粉末を
1050℃で粉体仮焼したものを用いた。上記B a
T i O3粉末に対しで、種々の量のN b 2O5
、M n 02、Coo、NiO,ZnO1およびMg
Oを秤量し、以下実施例1と同様の手順により試料の作
成および評価を行った。
表2に結果を示す。また、第2、特許請求の範囲の添加
物の領域を斜線で示す。
物の領域を斜線で示す。
(以下余白)
第2表
#印を付した試料は請求範囲外の比較例第2表(つづき
) #印を付した試料は請求範囲外の比較例= 15− #印を付した試料は請求範囲外の比較例#印を付した試
料は請求範囲外の比較例このように、M n O2の量
が0.4モル%より少ないと、信号電圧が30. V
/、m m程度でtanδが2.5%を越え、M n
O2とCoo、NiO,ZnO1およびMgOのうちの
いずれか一種の合計が1.0モル%より多いと絶縁抵抗
値が低(なり、容量抵抗積として500以下となるため
、請求の範囲より除外した。また、第2図の直線BCの
外側の領域では、誘電率の温度変化が大きくなり、Nb
O5/2が1,8モル%より少ないと、容量抵抗積が低
くなったので、請求の範囲より除外した。
) #印を付した試料は請求範囲外の比較例= 15− #印を付した試料は請求範囲外の比較例#印を付した試
料は請求範囲外の比較例このように、M n O2の量
が0.4モル%より少ないと、信号電圧が30. V
/、m m程度でtanδが2.5%を越え、M n
O2とCoo、NiO,ZnO1およびMgOのうちの
いずれか一種の合計が1.0モル%より多いと絶縁抵抗
値が低(なり、容量抵抗積として500以下となるため
、請求の範囲より除外した。また、第2図の直線BCの
外側の領域では、誘電率の温度変化が大きくなり、Nb
O5/2が1,8モル%より少ないと、容量抵抗積が低
くなったので、請求の範囲より除外した。
実施例3
本実施例は、特許請求の範囲第4項記載の発明に対応し
、B a T jo 3微粉末を熱処理する温度を限定
することにより課題を解決したものである。
、B a T jo 3微粉末を熱処理する温度を限定
することにより課題を解決したものである。
B a T i O3粉末としで、水熱法により得た粒
径Q、05μm、純度99.99%以上のBaTiO3
微粉末を種々の温度で2hr仮焼したものを用いた。上
記BaTiO3粉末100モル部に対しで、N b 2
O5をNbO5/2換算で2.45モル部、MnOを0
.54モル部秤量し、以下実施例1と同様の手順により
試料の作成および評価を行った。
径Q、05μm、純度99.99%以上のBaTiO3
微粉末を種々の温度で2hr仮焼したものを用いた。上
記BaTiO3粉末100モル部に対しで、N b 2
O5をNbO5/2換算で2.45モル部、MnOを0
.54モル部秤量し、以下実施例1と同様の手順により
試料の作成および評価を行った。
表3に結果を示す。
第3表
このように、BaTiO3の仮焼温度が1000℃以下
では、BaTiOs粒子の結晶性が低いため、焼成の際
、粒内へのN b 2O5の拡散が促進され、結晶粒の
中心部にNbイオンが存在するようになり、誘電率が2
500以下となった。また、焼成の際の粒成長も著しく
、組成の均一化が促進され、誘電率の温度変化が太き(
なった。逆に、1250℃より大きいと、焼結温度が高
くなるため、N b p、 Or、の拡散が促進され、
同様の理由で、誘電率の温度変化が大きくなる。
では、BaTiOs粒子の結晶性が低いため、焼成の際
、粒内へのN b 2O5の拡散が促進され、結晶粒の
中心部にNbイオンが存在するようになり、誘電率が2
500以下となった。また、焼成の際の粒成長も著しく
、組成の均一化が促進され、誘電率の温度変化が太き(
なった。逆に、1250℃より大きいと、焼結温度が高
くなるため、N b p、 Or、の拡散が促進され、
同様の理由で、誘電率の温度変化が大きくなる。
発明の効果
本発明の誘電体磁器およびその製造方法によると、誘電
率の温度変化がJIS規格のYB特性およびEIA規格
のX7R特性を満たし、1kHz、50 V / m
mの信号電圧印加時に、誘電損失が2.5%以下となる
。また、抵抗率も高く、機械的強度も充分で、セラミッ
クコンデンサ用、特に、誘電体層の厚みが2Oμm以下
のセラミック積層コンデンザ用の誘電体材料として実用
化が可能である。
率の温度変化がJIS規格のYB特性およびEIA規格
のX7R特性を満たし、1kHz、50 V / m
mの信号電圧印加時に、誘電損失が2.5%以下となる
。また、抵抗率も高く、機械的強度も充分で、セラミッ
クコンデンサ用、特に、誘電体層の厚みが2Oμm以下
のセラミック積層コンデンザ用の誘電体材料として実用
化が可能である。
第1図は得られた誘電体磁器の微細構造を示す模式図、
第2図は100モル部のB a T i O3に添加す
るN b O5/2およびMnO2、あるいはMnO2
とCoo、NiO,ZnO1およびMgOのうちの少な
(とも一種の合計を示す図である。
第2図は100モル部のB a T i O3に添加す
るN b O5/2およびMnO2、あるいはMnO2
とCoo、NiO,ZnO1およびMgOのうちの少な
(とも一種の合計を示す図である。
Claims (4)
- (1)BaTiO_3100モル部に対し、Nb_2O
_5をNbO_5_/_2に換算してxモル%、MnO
_2をyモル%とするとき、xおよびyが下に示すA、
B、C、D、およびEで囲まれた範囲の量を含む焼結体
において、主相の結晶粒の中心部に固溶しているNbイ
オンの量が0.4モル%以下であることを特徴とする誘
電体磁器。 ▲数式、化学式、表等があります▼ - (2)BaTiO_3100モル部に対し、Nb_2O
_5をNbO_5_/_2に換算してxモル%、CoO
、NiO、ZnO、およびMgOのうちのすくなくとも
一種とMnO_2の合計をyモル%とするとき、xおよ
びyが下に示すA、B、C、D、およびEで囲まれた範
囲の量で、かつMnO_2を0.38モル%以上含む焼
結体において、主相の結晶粒の中心部に固溶しているN
bイオンの量が0.4モル%以下であることを特徴とす
る誘電体磁器。 ▲数式、化学式、表等があります▼ - (3)主相の結晶粒の中心部に固溶しているNbイオン
の量が0.4モル%以下で、かつ二次相としてニオブの
酸化物を主成分とする相が存在することを特徴とする特
許請求の範囲第1項または第2項記載の誘電体磁器。 - (4)一次粒径が0.1μm以下のBaTiO_3微粉
末に1000℃を越え、1250℃以下で熱処理を行っ
た粉末100モル部に対し、Nb_2O_5をNbO_
5_/_2に換算してxモル%、CoO、NiO、Zn
O、MgO、およびMnO_2のうちのすくなくとも一
種とMnO_2の合計をyモル%とするとき、xおよび
yが下に示すA、B、C、D、およびEで囲まれた範囲
の量を添加し、焼成することを特徴とする誘電体磁器の
製造方法。 ▲数式、化学式、表等があります▼
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146423A JPH01315904A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 誘電体磁器とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146423A JPH01315904A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 誘電体磁器とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01315904A true JPH01315904A (ja) | 1989-12-20 |
Family
ID=15407349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146423A Pending JPH01315904A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 誘電体磁器とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01315904A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190116109A (ko) * | 2019-06-13 | 2019-10-14 | 삼성전기주식회사 | 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 |
| KR20190116111A (ko) * | 2019-06-14 | 2019-10-14 | 삼성전기주식회사 | 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP63146423A patent/JPH01315904A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20190116111A (ko) * | 2019-06-14 | 2019-10-14 | 삼성전기주식회사 | 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 |
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