JPH02260211A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、この軟磁
性薄膜を支持する基板からなる磁気ヘッドの製造方法に
関するものである。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録の高密度化の要求により、メタルテープ
等の高保磁力媒体が用いられるようになり、これに伴い
、高飽和磁束密度および軟磁気特性に優れたＦ　ｅ−３
ｉ　−Ａｊ！　（センダスト合金）等の金属磁性材料等
からなるコア材料が磁気ヘッドに用いられるようになっ
ている。

上記のセンダスト合金等を用いると共に、耐摩耗性や量
産性を向上させた磁気ヘッドとして、従来より、第９図
に示すように、ギャップ対向面が山型に形成された一対
の感光性結晶化ガラス１１・１１と、各山型部１１ａの
一方の側壁部に形成されたセンダスト合金等の軟磁性薄
膜１２とを備えてなる磁気ヘッドが知られている。かか
る磁気ヘッドは、上記一対の感光性結晶化ガラス１１・
１１の間にギャップ１３を挟んだ状態で低融点ガラス１
４・・・にて接着されたものである。

このような磁気ヘッドを製造するには、第５図（ａ）に
示すように、感光性結晶化ガラスからなる基板Ｂｌｌの
表面に、最終的な磁気ヘッドの厚さ、および切り代等を
考慮したピッチＡで略■字状の溝１５を例えばダイシン
グによって連続して形成する。谷溝１５の少なくとも一
方の側壁（前記山型部の側壁でもある）１５ａと、基板
Ｂｌｌの加工前表面の法線Ｈとのなす角ｅは、最終的な
磁気ヘッド形態でのアジマス角にほぼ等しいことが望ま
しい。

次に、同図（ｂ）に示すように、側壁１５ａ・・・に真
空蒸着法、或いは、スパッタ法などの薄膜形成技術によ
って所定の膜厚、つまり磁気ヘッドのトラック幅にほぼ
相当する膜厚となるようにセンダスト合金からなる軟磁
性薄膜１２を形成する。

その後、同図（Ｃ）に示すように、同一径を有する低融
点のガラス棒Ｓ１４・・・を用意してこれらを上記軟磁
性薄膜１２の形成された複数の溝１５・・・に配置した
後、加熱によりガラス棒３１４・・・を溶かしてガラス
による被覆を行う。或いは、第８図に示すように、低融
点のガラス板Ｂ１４を用意してこれを基板Ｂｌｌ上に配
置した後、加熱によりガラス板Ｂ１４を溶かすことによ
りガラスによる被覆を行う。

ガラス棒３１４・・・或いはガラス板Ｂ１４の溶融が行
われると、第５図（ｄ）に示すように、ガラス１４の盛
り上がりが生じるので、同図（ｅ）に示すように、ガラ
ス１４の盛り上がった部分に対し研削を行って平坦化す
る。次いで、同図（ｆ）に示すように、基板Ｂｌｌに対
し、磁気ヘッドの高さに相当するピッチＥで切断を行う
。

そして、切り出された基板Ｂｌｌ・・・に対し、−般の
ＶＴＲ用フェライトヘッドと同様に、コイル巻線溝の加
工や軟磁性薄膜におけるギャップ面の形成加工を施した
後、同図（ｇ）に示すように、一対の基板Ｂｌｌ・Ｂｌ
ｌにおけるギャップ形成面１７・１７が互いに対向する
ように位置合わせを行って加圧固定した後、低融点のガ
ラス１４が接着力を持つような温度まで昇温し、ガラス
溶着を行って接合し、磁気ヘッドブロックＢ１８を得る
。

次に、磁気ヘッドブロック８１Ｂを所定ピッチで切り出
すことにより、第９図の磁気ヘッド１８（未だ巻線の施
されていない段階）を得、この磁気ヘッド１８を図示し
ないヘッドベースに接着すると共にコイル巻線溝への巻
線等を施すことにより磁気ヘッド１８が完成することに
なる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、一般に、金属とガラスとの間の濡れ性は良好
でなく、センダスト合金からなる軟磁性薄膜１２と前記
のガラス１４との関係も例外でうまない。このため、前
述のごとく、同一径のガラス棒Ｓ１４・・・を谷溝１５
に配置したり、若しくは、ガラス板Ｂ１４を用いたりし
て、ガラス１４の被覆を行った場合、第６図に示すよう
に、溶融したガラス１４がその表面張力で縮み、基板Ｂ
ｌｌの中央部で玉状に固着して全体が被覆されないとい
う不具合が生じがちである。また、基板Ｂｌｌの全体を
被覆すべく、ガラス棒Ｓ１４・・・やガラス板Ｂ１４を
多量に用いることが考えられるが、これでは、第７図に
示すように、ガラス１４が基板Ｂ１１から溢れたり、或
いはガラスの厚みが厚くなるため、次工程の研削作業が
手間取るという問題を招来することになる。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上記の課題を解
決するために、基板のギャップ対向面上にほぼＶ字形状
の複数の溝を連続的に形成し、谷溝の一方の溝壁面に所
定の膜厚で軟磁性薄膜を形成する工程と、この工程の後
に上記ギャップ対向面上にガラスを被覆する工程とを有
する磁気ヘッドの製造方法において、上記のガラスとし
て直径の異なる２種類以上の柱状のガラスを用意してこ
れらを上記軟磁性薄膜の形成された複数の溝に適当に配
置した後、上記ガラスを溶融してギャップ対向面上を被
覆することを特徴としている。

〔作　用〕

上記の構成によれば、温度上昇に伴って柱状のガラスの
溶融が始まり、直径の小さいガラスが先に溶融を完了す
ることになる。このとき、隣接するガラス同士が溶融し
、その表面張力により縮んで一塊になろうとするが、直
径の大きいガラスの芯部分が未だ溶融せずに残っている
ことから、上記ガラスはあまり縮まずに基板全体を薄く
覆うことになる。そして、溶融したガラスと軟磁性薄膜
とが密着したころに直径の大きいガラスも全て溶融して
適切なガラス被覆が行われる。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。

本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法により製造される
磁気ヘッドは、例えば、第４図に示すように、ギャップ
対向面が山型に形成された一対の感光性結晶化ガラスト
１と、各山型部ＩＣの一方の側壁部に形成されたＦｅ−
３ｉ　−Ａｊ！　（センダスト）合金等の軟磁性薄膜２
とを備えてなるものである。そして、かかる磁気ヘッド
は、上記−対の感光性結晶化ガラスト１の間にギャップ
３を挟んだ状態で鉛径の低融点ガラス４・・・にて接着
されたものである。また、各感光性結晶化ガラス１には
外部巻線溝１ａおよび内部巻線溝１ｂが各々形成されて
おり、この溝１ａ・１ｂによす図示しない巻線が施され
るようになっている。

上記磁気ヘッドを製造するには、第１図（ａ）に示すよ
うに、感光性結晶化ガラスからなる基板Ｂ１の表面に、
最終的な磁気ヘッドの厚さ、および切り代等を考慮した
ピッチＡ１で略Ｖ字状の溝５・・・を例えばダイシング
によって連続して形成する。谷溝５の少なくとも一方の
側壁（前記山型部の側壁でもある）５ａと、基板Ｂ１の
加工前表面の法線Ｈ０とのなす角θ、は、最終的な磁気
ヘッド形態でのアジマス角にほぼ等しいことが望ましい
。

次に、同図（ｂ）に示すように、側壁５ａ・・・に真空
蒸着法、或いは、スパッタ法などの薄膜形成技術によっ
て所定の膜厚、つまり磁気ヘッドのトラック幅にほぼ相
当する膜厚となるようにセンダスト合金からなる軟磁性
薄膜２を形成する。

その後、同図（Ｃ）および第２図に示すように、直径の
異なる２種類の円柱状のガラス棒Ｓ４ａ・・・Ｓ４ｂ・
・・を用意してこれらを上記軟磁性薄膜２の形成された
複数の溝５・・・に配置する。径の大きいガラス棒Ｓ４
ａ・・・はその直径が１　ｍｍに設定されており、溝訃
・・の４本につき１本の割りで配置される一方、径の小
さいガラス棒Ｓ４ｂ・・・はその直径が０．４〜０．５
ｍｍに設定されており、溝５・・・の４本につき３本の
割りで配置されている。そして、このようにガラス棒Ｓ
４ａ・・・、Ｓ４ｂ・・・を配置した後、例えば電気炉
により、窒素雰囲気中において５００°Ｃで３０分の加
熱を行い、ガラス棒Ｓ４ａ・・・、Ｓ４ｂ・・・を溶か
してガラスによる被覆を行う。

上記ガラス棒Ｓ４ａ・・・、Ｓ４ｂ・・・の溶融が行わ
れると、第１図（ｄ）および第３図に示すように、ガラ
ス４に薄い盛り上がりが生じるので、第１図（ｅ）に示
すように、ガラス４の盛り上がった部分に対し研削を行
って平坦化する。次いで、同図（ｆ）に示すように、基
板Ｂ１に対し、磁気ヘッド高さに相当するピッチＥ１で
切断を行う。

そして、上記の切り出された基板Ｂｌに対し、同図（ｇ
）に示すように、一般のＶＴＲ用フェライトヘッドと同
様に、コイル巻線溝８１ａ−Ｂｌｂの加工や軟磁性薄膜
２におけるギャップ面７の加工を施す。次に、同図（ｈ
）に示すように、ギャップ面７が互いに対向するように
、一対の基板Ｂ１・Ｂ１に位置合わせを行ってこれらを
加圧固定した後、低融点のガラス４が接着力を持つよう
な温度まで昇温し、ガラス溶着を行って接合し、磁気ヘ
ッドブロックＢ８を得る。

次に、磁気ヘッドブロックＢ８を所定ピッチで切り出す
ことにより、第４図の磁気ヘッド８（未だ巻線の施され
ていない段階）を得、この磁気ヘッド８を図示しないヘ
ッドベースに接着すると共に巻線溝１ａ・１ｂへの巻線
等を施すことにより磁気ヘッドが完成することになる。

上記の構成によれば、温度上昇に伴ってガラス棒Ｓ４ａ
・・・、Ｓ４ｂ・・・の溶融が始をり、直径の小さいガ
ラス棒Ｓ４ｂ・・・が先に溶融を完了することになる。

このとき、隣接するガラス棒同士が溶融し、その表面張
力により縮んで一塊になろうとするが、直径の大きいガ
ラス棒Ｓ４ａ・・・の芯部分が未だ熔融せずに残ってい
ることから、上記ガラス４はあまり縮まずに基板Ｂ１全
体を薄く覆うことになる。そして、溶融したガラス４と
軟磁性薄膜２とが密着したころに直径の大きいガラス棒
Ｓ４ａ・・・も全て溶融して適切なガラス被覆が行われ
ることになる。従って、溶融したガラス４が縮んで一塊
になって基板Ｂ１全体をガラス被覆することができなか
ったり、溶融ガラス４が多すぎて基板Ｂ１から溢れたり
若しくは厚みが厚くなり過ぎるといった不具合を解消し
て適切なガラス被覆を行うことができる。

なお、本実施例では、柱状のガラスとして円柱状のガラ
ス棒を用いたが、これに限らず、略角柱状であっても良
く、また、２種類のガラス棒Ｓ４ａ・・・、Ｓ４ｂ・・
・を用いたが、このように２種類に限るものではなく、
それ以上の種類を用意してもよいものである。即ち、全
てのガラス棒が同時に溶融を完了することのないように
構成されいれば良いものである。また、ガラス棒Ｓ４ａ
・・・、Ｓ４ｂ・・・の前記溝５・・・への配置も本実
施例のものに限定されることばなく、溶融後のガラス４
の厚みに偏り等が生じないような配置であれば良いもの
である。

〔発明の効果〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以上のように、
基板のギャップ対向面上にほぼＶ字形状の複数の溝を連
続的に形成し、谷溝の一方の溝壁面に所定の膜厚で軟磁
性薄膜を形成する工程と、この工程の後に上記ギャップ
対向面上にガラスを被覆する工程とを有する磁気ヘッド
の製造方法において、上記のガラスとして直径の異なる
２種類以上の柱状のガラスを用意してこれらを上記軟磁
性薄膜の形成された複数の溝に適当に配置した後、上記
ガラスを溶融してギャップ対向面上を被覆する構成であ
る。

これにより、溶融したガラスが縮んで一塊になって基板
全体をガラス被覆することができなかったり、溶融ガラ
スが多すぎて基板から溢れたり若しくは厚みが厚くなり
過ぎるといった不具合を解消して適切なガラス被覆を行
うことができる。その上、ガラスとして直径の異なる２
種類以上の柱状のガラスを用意することが付加されるだ
けなので、磁気ヘッドの製造工程が複雑になることはな
いという効果も併せて奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示すものであ
る。 第１図（ａ）は■溝加工の施された基板の断面図、同図
（ｂ）は■溝に軟磁性薄膜が形成された基板の断面図、
同図（Ｃ）は■溝に２種類のガラス棒が配置された状態
を示す基板の断面図、同図（ｄ）はガラスが溶融した状
態を示す基板の断面図、同図（ｅ）はガラスを切削した
状態を示す基板の断面図、同図（ｆ）は所定ピッチＥ、
での切断前の基板を示す斜視図、同図（ｇ）は切断され
さらに外部巻線溝等の形成された基板の斜視図、同図（
ｈ）は一対の基板よりなる磁気ヘッドブロックの斜視図
である。 第２図はＶ溝に２種類のガラス棒が配置された状態を示
す基板の斜視図である。 第３図はガラスが溶融した状態を示す基板の斜視図であ
る。 第４図は磁気ヘッドの斜視図である。 第５図ないし第７図は従来例を示すものである。 第５図（ａ）は■溝加工の施された基板の断面図、同図
（ｂ）はＶ溝に軟磁性薄膜が形成された基板の断面図、
同図（Ｃ）は■溝に１種類のガラス棒が配置された状態
を示す基板の断面図、同図（ｄ）はガラスが溶融した状
態を示す基板の断面図、同図（ｅ）はガラスを切削した
状態を示す基板の断面図、同図（ｆ）は所定ピッチＥで
の切断前の基板を示す斜視図、同図（ｇ）は磁気ヘッド
ブロックの斜視図である。 第６図は基板上で溶融ガラスが縮んで一塊となった状態
を示す基板の斜視図である。 第７図は基板上で熔融ガラスが溢れている状態を示す基
板の斜視図である。 第８図は他の従来例を示すものであって、ギャツブ対向
面上にガラス板が配置された状態を示す基板の断面図で
ある。 第９図は一般的な磁気ヘッドを示す斜視図である。 １は感光性結晶化ガラス、Ｂ１は基板、２磁性薄膜、３
はギャップ、４はガラス、８４大径のガラス棒、Ｓ４ｂ
は小径のガラス棒、溝、８は磁気ヘッド、Ｂ８は磁気へ
ッドブロである。 は軟 ａは ５は ツク

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板のギャップ対向面上にほぼＶ字形状の複数の溝
   を連続的に形成し、各溝の一方の溝壁面に所定の膜厚で
   軟磁性薄膜を形成する工程と、この工程の後に上記ギャ
   ップ対向面上にガラスを被覆する工程とを有する、磁気
   ヘッドの製造方法において、 上記のガラスとして直径の異なる２種類以上の柱状のガ
   ラスを用意してこれらを上記軟磁性薄膜の形成された複
   数の溝に適当に配置した後、上記ガラスを溶融してギャ
   ップ対向面上を被覆することを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。