JPH02267298A - 薄膜の形成方法および液晶装置用カラーフィルターおよび液晶装置 - Google Patents

薄膜の形成方法および液晶装置用カラーフィルターおよび液晶装置

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JPH02267298A
JPH02267298A JP1085930A JP8593089A JPH02267298A JP H02267298 A JPH02267298 A JP H02267298A JP 1085930 A JP1085930 A JP 1085930A JP 8593089 A JP8593089 A JP 8593089A JP H02267298 A JPH02267298 A JP H02267298A
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thin film
micelles
film
forming
electrolysis
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Fumiaki Matsushima
文明 松島
Yoshihiro Ono
大野 好弘
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野1 本発明は電気化学的方法により水に難溶性あるいは不溶
性の材料の薄膜を形成するものであり、エレクトロニク
スデバイス、バイオデバイスなど幅広い利用分野が期待
できる。
〔従来の技術〕
電気化学的方法で水に不溶性の物質の薄膜を形成する方
法として佐治等(J、Am、Chem。
Soc、、109.5881  (1987)など)に
よりミセル電解法が紹介されて以来、我々によってもこ
の方法を発展させて様々な水に難溶、不溶の物質の成膜
が可能であることが見い出されている。
中でも有機色素については多くの材料について成膜可能
であることを見い出し、その応用の一つとして、表示体
用カラーフィルターの新しい作成方法を考案した(特願
昭63−175610)。
このカラーフィルターはITOなどの透明電極上に有機
色素膜を形成したものであるが、液晶表示体用として用
いる場合には1色素膜形成に用いた透明電極をそのまま
液晶駆動電極として用いると極めてメリットが高い、し
かしながら、この場合には、電極と液晶間に抵抗率の高
い色素膜が介在することにより、印加電圧のロスを生じ
、液晶駆動性を低下させてしまうという問題があり、電
解に使用した透明電極をそのまま液晶駆動に用いるとい
うメリットを十分に生かすことができなかった。
〔発明が解決しようとする課題j 上述のようにミセル電解法を用いた従来の技術では、形
成する膿に導電性がない場合も多く、応用にあたっては
、十分にメリットが生かしきれない場合もあった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、絶縁物あるいは抵抗率の
高い材料と導電性材料を共析させ絶縁物あるいは抵抗率
の高い材料からなる膜に導電性を付与する薄膜の形成方
法を堤供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
水に難溶性あるいは不溶性の微粒子材料を電解で少なく
とも酸化可能な界面活性剤のミセル水溶液に可溶化もし
くはミセルに取り囲まれた状態でのコロイド分散化を行
なった後、該水溶液中で電解を行なうことにより、ミセ
ルの酸化による破壊を行ない、可溶化もしくはコロイド
分散化していた微粒子材料をアノード電極に析出させる
にあたり、微粒子材料として絶縁物あるいは抵抗率の高
い材料を用いる場合、導電性材料も合わせて電解液中に
コロイド分散し、共析させることを特徴とする。
導電性材料としては、特に制約はないが、5nOs、Z
nO1Inn Os 、ITO,カーボンなどの微粉末
が容易に入手できる8本法ではこれらを用いるにあたり
、酸化物の場合はあらかじめ表面を疎水化する必要があ
る。
[実施例1] 導電性を有する赤色の色素膜を形成する目的で赤色の有
機色素としては、チバガイギー社製りロモフクールA 
s B (ジアンスラキノニルレッド)を用いた。また
導電性材料としては、Sn0w粉末を疎水化処理して用
いた。ai水化処理は5nO8粉末をアミノシラン(東
し製5H6020)の5%イソプロピルアルコール溶液
に超音波を用いて分散した後、イソプロピルアルコール
を揮発させ、残った固形分を120℃で焼成し、Sn0
2表面にアミノ基をもった有機鎖を導入することで行な
った。焼成後はサンドミルで粉砕し粒子径を0.2μm
以下とした。
これらを用いて次の組成で電解液を調整した。
1、電解で少なくとも酸化できる界面活性剤フェロセニ
ルPEG (同口化学製)3g2、支持電解質 LiBr           5.24g3、赤色の
有機色素 クロモフクールA38       5g4、疎水化処
理したSnow微粒子   5gこれらをlI2の純水
中に入れ超音波ホモジナイザーにより3.4の成膜材料
微粒子を分散した。
この分散液は2時間静置しその上澄み液を分散して電解
に用いた。
成膜基板としてITOを0、lumno!厚で形成した
ガラス基板を用いた。このガラス基板をアノードとし、
カリードとしてプラチナ板を用い+0.4V (vs、
S、C,E)で30分間電解を行なった。
この操作により赤色色素と5nOtの微粒子が共析した
薄膜が1.5amの膜厚で得られた。
抵抗率を測定したところI X 10’Ωcmであった
比較サンプルとして5nO−を含まない前記と同様の組
成の電解液を作り30分間同条件で電解したところ1.
0μmの赤色色素のみの薄膜が得られた。抵抗率を測定
したところlXl0”ΩCmであった。
すなわち、本発明によりほぼ絶縁体である色素に10’
倍の導電性が付与されたことになる。
さらに本実施例の色素+5nOz膿を用い液晶セルを作
製し、液晶の駆動性を確認したところ、電極上に色素膜
が全く形成されていない場合とほぼ同様の液晶駆動性を
示した また。5nOzを共析しても色素膜の色調は大きく変化
せず液晶表示体用のカラーフィルターとして十分用いら
れることが確認できた。
〔実施例21 実施例1と同様にして、ITO微粒子と赤色色素の共析
膜を1.4gm得た。抵抗率は1×10@Ωcmであり
、本発明の効果が確認できた。
[実施例31 実施例1と同様にして、NnO微粒子と赤色色素の共析
膜を1.7μm得た。ただし、ZnOはフッ素系界面活
性剤により表面の疎水化処理を行なったものを用いた。
得られた薄膜の抵抗率はI X 10’Ωcmであり1
本発明の効果が確認できた。
[発明の効果] 以上のように本発明により、絶縁体あるいは抵抗率の高
い材料からなる薄膜に容易に導電性を付与することが可
能になった。
この発明は特に液晶表示体用のカラーフィルターの作製
に用いることにより極めてコストパフォーマンスの高い
カラーフィルターの提供を可能にした。
以上 出願人 セイコーエプソン株式会社

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)水に難溶性あるいは不溶性の微粒子材料を電解で
    少なくとも酸化可能な界面活性剤のミセル水溶液に可溶
    化もしくは、ミセルに取り囲まれた状態でコロイド分散
    化した後該水溶液中で電解を行なうことにより、ミセル
    の酸化による破壊を行ない、可溶化物もしくは、ミセル
    に取り囲まれた状態でコロイド分散している材料をアノ
    ード電極上に析出、成膜する薄膜形成法において絶縁物
    もしくは、抵抗率の高い材料と導電性材料を共析させる
    ことを特徴とする薄膜の形成方法。
  2. (2)絶縁物もしくは抵抗率の高い材料が有機色素であ
    り、導電性材料が無機酸化物あるいは炭素であることを
    特徴とする請求項1記載の薄膜の形成方法。
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