JPH0226775B2 - - Google Patents

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JPH0226775B2
JPH0226775B2 JP57054813A JP5481382A JPH0226775B2 JP H0226775 B2 JPH0226775 B2 JP H0226775B2 JP 57054813 A JP57054813 A JP 57054813A JP 5481382 A JP5481382 A JP 5481382A JP H0226775 B2 JPH0226775 B2 JP H0226775B2
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ceramic
weight
ratio
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dielectric material
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Yon Yuu Chan
Purakashu Takiaa Hemu
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US Philips Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、コンデンサ用の高い実効誘電率を有
する多結晶セラミツクを含む粒間絶縁型の誘電体
に関するものであり、かつそのような誘電体の製
造方法に関するものである。大きな実効誘電率
は、従来のセラミツク半導体の粒界を、高誘電率
を有する材料によつて電気的に絶縁することによ
るこの型の構造において得られる。 これは、誘電体を絶縁材料で被覆し、次いでそ
れを加熱してこの絶縁材料を粒界に沿つて拡散さ
せることによつて得られる。 米国特許第3933668号は、大部分のSrTiO3と、
少量のNb2O5及び少量のTa2O5と、さらに、少量
のGeO2又はZrOとから成る粒間絶縁型セラミツ
ク組成物を開示する。このセラミツクは、セラミ
ツクの中にその粒界において拡散されたBi2O3
か、又は、Bi2O3、PbO及びB2O3の混合物かどち
らかを有する。第1の成分を混合し、円板に形成
し、さらに、還元性雰囲気で、例えば、1350℃〜
1480℃において焼成する。次いでこれらの焼成し
た円板をBi2O3単独で、又はPbO及びB2O3と共同
して被覆し、次いで例えば、1300℃において酸化
性雰囲気で約2時間焼結してこの被覆を粒界に拡
散させる。 本発明の目的は、非常に高い実効誘電率、低い
損率、及び広い温度範囲にわたる高い固有抵抗を
有する組成物を製造するため、セラミツク誘電体
の粒間絶縁に対して、新規な材料を提供すること
である。 本発明は、バリウム、ストロンチウム、及びカ
ルシウムのうちの1種又は2種以上から成るアル
カリ土金属のチタン酸塩、ジルコン酸塩、又はそ
れらの組合わせを含む多結晶セラミツクと、
Bi2O3及び1種又は2種以上のその他の金属酸化
物の組合わせを含むこのセラミツク体の粒界に位
置する電気絶縁性の誘電体層と、から成る粒間絶
縁型誘電体において、前記のその他の金属の酸化
物が、NiO、Al2O3及びCu2Oから選ばれ、かつこ
こで前記の全金属酸化物のBi2O3に対する比が1.5
重量%よりも小さいが0重量%よりも大きいこと
を特徴とする。 この場合、さらに、前記の全金属酸化物の
Bi2O3に対する比が0.5重量%よりも小さいことを
特徴とする。 電気絶縁性の誘電体層が単にBi2O3とCu2Oとか
ら成る場合には、Cu2OとBi2O3との比、すなわ
ち、Cu2O/Bi2O3が1.5重量%よりも小さいが0
重量%よりも大きい。Bi2O3とAl2O3との組合わ
せにおいては、Al2O3とBi2O3との比、すなわち、
Al2O3/Bi2O3が1.5重量%よりも小さいが0重量
%よりも大きく、又、Bi2O3とNiOとの組合わせ
においては、NiOとBi2O3との比、すなわち、
NiO/Bi2O3が1.5重量%よりも小さいが0重量%
よりも大きい。 本発明は又、上に記載されるように多結晶セラ
ミツク体から粒間絶縁型誘電体を製造する方法を
提供する。本発明の方法によれば、セラミツク体
の少なくとも一部の表面が、Bi2O3と、1種又は
2種以上のその他の、すなわちBi2O3以外の他
の、金属酸化物との組合わせによつて被覆され、
かつこの被覆が、前記セラミツク体の粒界に拡散
される。すなわち、本方法は、多結晶セラミツク
がアルカリ土金属のチタン酸塩、ジルコン酸塩、
又はそれらの組合わせを含み、かつ前記アルカリ
土金属がバリウム、ストロンチウム、及びカルシ
ウムのうちの1種又は2種以上から成り、前記セ
ラミツク体の少なくとも一部の表面が、Bi2O3
と、1種又は2種以上のその他の金属酸化物との
組合わせによつて被覆されかつこの被覆が前記セ
ラミツク体の粒界中に拡散される粒界を有する多
結晶セラミツク体からの粒間絶縁型誘電体の製造
方法において、前記のその他の金属酸化物が
NiO、Al2O3及びCu2Oから選ばれ、かつここで前
記の全金属酸化物のBi2O3に対する比が1.5重量%
よりも小さいが0重量%よりも大きく、さらに前
記の被覆が無定形フリツトであることを特徴とす
る。又、この場合に、拡散が空気中で被覆された
セラミツク体において行なわれ、被覆されたセラ
ミツク体が1100〜1150℃まで2.5時間加熱され、
さらには、被覆とセラミツク材料との数量比が10
重量%である。 以下本発明をさらに図面により実施例について
説明する。 本発明による粒間絶縁型誘電体は、多結晶セラ
ミツク体と、このセラミツクの粒界に位置する電
気絶縁性誘電体層とを含む。本発明の目的のた
め、好適のセラミツクは、アルカリ土金属のチタ
ン酸塩、ジルコン酸塩、又はそれらの組合わせを
含む。好適のアルカリ土金属は、バリウム、スト
ロンチウム及びカルシウムを含む。好適のセラミ
ツク材料は、しかしながら、チタン酸ストロンチ
ウム(SrTiO3)である。 好適のセラミツクはチタン酸ストロンチウム単
独から成るけれども、二酸化珪素(SiO2)及び
炭酸ストロンチウム(SrCO3)が、好ましくは、
このセラミツクの焼結挙動と、粒度及び粒度分布
とを左右するため添加される。好都合な効果を有
するこのセラミツクに対するその他の添加物は、
五酸化ニオブ(Nb2O5)及び五酸化タンタル
(Ta2O5)を含み、これらの五酸化物はn−型の
ドーパントすなわち不純物添加剤であり、このセ
ラミツクの導電率を増加させるのに役立つ。これ
らの後者の2つの添加剤は又、このセラミツクの
焼結挙動に影響を及ぼす。 本発明は上記のセラミツク材料のすべてに関し
て用いることができるけれども、次の例において
セラミツク材料はチタン酸ストロンチウム、炭酸
ストロンチウム、五酸化ニオブ、及び二酸化珪素
から成る。 さらに特に、次の例においてセラミツク材料
は、 1382g. SrTiO3(98.67重量%) 0.79g. SrCO3(0.056重量%) 15.14g. Nb2O5(1.081重量%) 2.71g. SiO2(0.193重量%) から作られた。このセラミツク材料は、これらの
化合物を完全によく混合して泥漿状にすることに
よつてこれらの化合物から調製された。この泥漿
からシートすなわち薄板を注型し、加圧して直径
10mm、厚さ0.64mmの円板に成形した。次いでこれ
らの円板を6%H2及び94%N2から成る還元性雰
囲気で1440℃において4時間焼結した。直径8.6
mm、厚さ0.55mmの円板を得た。 例 1 0%と20%との間のCu2O/Bi2O3の重量比を得
るため、種々の量(0〜4g)の酸化第一銅
(Cu2O)を20gの酸化蒼鉛(Bi2O3)と混合した。
これらの混合物を各々850℃にて2時間焼成した。
かくしてCu2O/Bi2O3の種々の比を有するフリツ
トを得た。 次いで、上記のセラミツク円板の一方の側面を
10重量%のCu2O−Bi2O3フリツトで被覆した。こ
のフリツト材料を円板全体にわたつて粒界に沿い
拡散させるため、前記の被覆した円板を1150℃で
空気中において2〜1/2時間加熱処理した。次い
で銀電極を円板の両側面に貼付けた。これらの円
板の誘電体の性質が表に示される。表、及び
表〜において、すべての測定数値は、直流に
よつて測定された固有抵抗に対するものを除き、
1KHzにおいて測定された。さらに、測定数値は
他に示されなかつた場合はすべて25℃において測
定された。
【表】 例 2 0%と1.5%との間のCu2O/Bi2O3の重量比を
有するフリツトを、例1におけると同様にして調
製した。上記の組成を有するセラミツク円板の片
側を、次いで10重量%のCu2O−Bi2O3フリツトで
被覆した。被覆したこれらの円板を1100℃におい
て空気中で2〜1/2時間加熱処理した。次いでこ
れらの円板の両側面に銀電極を貼付けた。これら
の円板の誘電体の性質が表に示される。
【表】 例 3 0%と6%との間のNiO/Bi2O3の重量比を得
るため、種々の量(0〜1.2g)の酸化ニツケル
(NiO)を、20gの酸化蒼鉛と混合した。これら
の混合物を850℃にて2時間焼成した。かくして
NiO/Bi2O3の種々の比を有するフリツトを得
た。 次いで、上記の組成を有するセラミツク円板の
一方の側面を10重量%のNiO−Bi2O3フリツトで
被覆した。被覆したこれらの円板を1150℃におい
て空気中で2〜1/2時間加熱処理した。これらの
円板の両面に次いで銀電極を貼付けた。これらの
円板の誘電体の性質が表に示される。
【表】 例 4 0%と3%との間のAl2O3/Bi2O3の重量比を
得るため、種々の量(0〜0.6g)のアルミナ
(Al2O3)を20gの酸化蒼鉛と混合した。次いで
これらの混合物を850℃において2時間焼成した。
かくしてAl2O3/Bi2O3の種々の比を有するフリ
ツトを得た。 次いで、上記の組成を有するセラミツク円板の
一方の側面を10重量%のAl2O3−Bi2O3フリツト
で被覆した。被覆したこれらの円板を1150℃にて
空気中で2〜1/2時間加熱処理した。次いでこれ
らの円板の両面に銀電極を貼付けた。得られた誘
電体の性質が表に示される。
【表】 例 5 0%と1.5%との間の(Al2O3+Cu2O+
NiO)/Bi2O3の重量比を得るため、種々の量の
Cu2O、Al2O3及びNiOを20gの酸化蒼鉛と混合し
た。これらの混合物を850℃において2時間焼成
してフリツトを得た。 上記の組成を有するセラミツク円板の一方の側
面を10重量%のフリツトで被覆した。被覆したこ
れらの円板を空気中で1150℃において2〜1/2時
間加熱処理した。次いでこれらの円板の両面に銀
電極を貼付けた。得られた誘電体の性質が表に
示される。
【表】 上の諸例において、Cu2O/Bi2O3の重量比が0
%と1.5%との間にあるCu2O−Bi2O3フリツトに
対し条件にかない受け入れられる結果が得られ
る。NiO−B2O3系及びAl2O3−Bi2O3系に対し、
好適の重量比は、それぞれ、0〜2重量%及び0
〜1.5重量%である。フリツトの混合物に対して
は、好適の重量比は0重量%と1.5重量%との間
である。 表は、試料No.6に対するキヤパシタンス及び
損率の双方の周波数依存性、すなわち依存の状態
を示す。これらの誘電体の性質が、周波数の変化
に関し非常に安定であることが明らかに示され
る。
【表】 第1図は、試料No.1、6、23、30、36及び43に
対し、温度(T)の関数としてのキヤパシタンス
の変化ΔC(%)のグラフである。このグラフの検
査によつて、試料No.6及び30がEIA(電子工業協
会)型、名称略号、(すなわちデジグネーシヨン
コード)Y7Rに合致するか、又は、より優れる
ことが明らかである。これらの試料のすべてが
EIA型名称略号Z5U及びY7Sより優れている。 第2図は、試料No.1、6、23、30、36及び43の
損率tgδの温度依存(T)を示すグラフである。
これらの試料のすべては、−55℃〜+125℃の全温
度範囲にわたつて受け入れられる程度に低い損失
を示す。 以上要するに本発明は粒間絶縁型誘電体、及び
その製造方法である。 高い実効誘電率を有する粒間絶縁型誘電体は、
アルカリ土金属のチタン酸塩、ジルコン酸塩、又
はそれらの組合わせの粒界に位置する電気絶縁性
誘電体層を含む。これらのアルカリ土金属はバリ
ウム、ストロンチウム及びカルシウムである。こ
の誘電体層は、酸化ニツケル(NiO)、アルミナ
(Al2O3)、及び酸化第一銅(Cu2O)から選ばれ
る1種又は2種以上の金属酸化物と、酸化蒼鉛
(Bi2O3)との混合物から作られ、かつ前記の全
金属酸化物のBi2O3に対する比が1.5重量%よりも
小さいが0重量%よりも大きくする。
【図面の簡単な説明】
第1図は、試料1、6、23、30、36及び43のキ
ヤパシタンスの変化を温度の関数として示すグラ
フであり、第2図は、試料1、6、23、30、36及
び43の損率を示すグラフである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 バリウム、ストロンチウム及びカルシウムの
    うちの1種又は2種以上から成るアルカリ土金属
    のチタン酸塩、ジルコン酸塩、又はそれらの組合
    わせを含む多結晶セラミツクと、Bi2O3及び1種
    又は2種以上のその他の金属の酸化物の組合わせ
    を含むこのセラミツクの粒界に位置する電気絶縁
    性の誘電体層と、から成る粒間絶縁型誘電体にお
    いて、 前記のその他の金属の酸化物がNiO、Al2O3
    びCu2Oから選ばれ、かつここで前記の全金属酸
    化物のBi2O3に対する比が1.5重量%よりも小さい
    が0重量%よりも大きいことを特徴とする粒間絶
    縁型誘電体。 2 前記の全金属酸化物のBi2O3に対する比が0.5
    重量%よりも小さいことを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の誘電体。 3 セラミツクがSrTiO3を含むことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項ないし第2項いずれかに
    記載の誘電体。 4 セラミツクがさらにNb2O5又はTa2O5を含む
    ことを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の誘
    電体。 5 セラミツクがさらにSiO2及びSrCO3を含むこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の誘電
    体。 6 多結晶セラミツクがアルカリ土金属のチタン
    酸塩、ジルコン酸塩、又はそれらの組合わせを含
    み、かつ前記アルカリ土金属がバリウム、ストロ
    ンチウム、及びカルシウムのうちの1種又は2種
    以上から成り、前記セラミツク体の少なくとも一
    部の表面が、Bi2O3と、1種又は2種以上のその
    他の金属酸化物との組合わせによつて被覆されか
    つこの被覆が前記セラミツク体の粒界中に拡散さ
    れる粒界を有する多結晶セラミツク体からの粒間
    絶縁型誘電体の製造方法において、 前記のその他の金属酸化物がNiO、Al2O3及び
    Cu2Oから選ばれ、かつここで前記の全金属酸化
    物のBi2O3に対する比が1.5重量%よりも小さいが
    0重量%よりも大きく、さらに前記の被覆が無定
    形フリツトであることを特徴とする粒間絶縁型誘
    電体の製造方法。 7 拡散が空気中で被覆されたセラミツク体にお
    いて行なわれることを特徴とする特許請求の範囲
    第6項記載の方法。 8 被覆されたセラツク体が1100〜1150℃まで
    2.5時間加熱されることを特徴とする特許請求の
    範囲第7項記載の方法。 9 被覆とセラミツク材料との数量比が10重量%
    であることを特徴とする特許請求の範囲第6項記
    載の方法。
JP57054813A 1981-04-06 1982-04-03 Interparticle insulation type dielectric element Granted JPS57188819A (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
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US (1) US4367265A (ja)
JP (1) JPS57188819A (ja)
DE (1) DE3212071A1 (ja)
FR (1) FR2508226B1 (ja)
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