JPH02268258A - ハードディスク表面検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、ハードディスクの表面、特にその外周欠陥
の有無を光学手段により検査するハードディスク表面検
査方法に関する。

（従来の技術） 従来のハードディスク表面検査方法としては、“例えば
第３図に示すような検査装置を用いて行うようにしたも
のがある。同図中、４１は被検査対象であるハードディ
スク、４２はその駆動装置、４３は検出ヘッド、４４は
信号処理装置、４５はマイコン、４６は電源装置である
。

そして、検出ヘッド４３内の高電圧ユニット４７でレー
ザ光源４８が駆動され、レーザ光４９狐 が聞射される。レーザ光４９は、ポリゴンミラー５１で
扇状に走査されたのち、レンズ５２で平行走査光とされ
、投受光器５３からハードディスク４１上に照射される
。次いで、その反射光が投受光器５３で受光され、レン
ズ５４及びミラー５５を介して光量変換器５６へ集光さ
れるようになっている。

光電変換器５６で変換された電気信号は、信号処理装置
４４に伝送されて所定の閾値、即ちスライスレベル信号
と比較され、２値化信号とされる。

２値化信号は、さらにマイコン４５へ伝送され、後述す
るように、この２値化信号からハードディスク４１の一
面分の配列データファイルが作成され、ファイルデータ
をソフト処理することにより、ハードディスク４１の表
面欠陥の有無が検査されて、その−面の良否が判定され
るようになっている。

（発明が解決しようとする課題） ところで、ハードディスク４１の外周部には、第４図の
（ａ）、（ｂ）中に示すように、チャック跡である帯状
変色部５８ａ、５８ｂが存在するものが多い。この帯状
変色部５８ａ、５８ｂは、その円周方向の長さ及び幅で
規定される形状と個数は固定されているが、この部分か
ら検出された電気信号はスライスレベルを超えてしまう
。しかし、この帯状変色部５８ａ、５８ｂ自体は欠陥で
はないので、良否判定等のための検査対象外としなけれ
ばならない。

つまり、第４図（ｂ）示す正常部であるＥ点、非欠陥で
ある帯状変色部のＦ点、及び欠陥５９の存在するＧ点か
らは、それぞれ第５図の（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）に示す
ような電気信号が得られ、これらがスライスレベル信号
ＳＬと比較されてスライスレベル以上の部分が“１”と
なる２値化信号がｉすられる。そして、“１゛信号の部
分が黒画像となって第４図（Ｃ）に示すような配列デー
タファイル６ｏが作成される。この図示例のデータファ
イル６０は、ハードディスク４１の半径方向が行方向で
円周方向が列方向になっている。

しかし、ハードディスク４１の円周方向の検査スタート
位置は限定できず、データファイル６０上からは外周部
の帯状変色部５８ａ、５８ｂと欠陥５９との判別がつか
ない。このため、ハードディスク４１の外周部６１につ
いては検査装置による自動検査の検査対象領域外とし、
外周部６１を除いた領域の欠陥個数のカウント等のみで
、ハードディスクの良否判定を行い、外周部６１につい
ては１」視検査に頼っていた。したがって外周部６１に
不良と判定されるような欠陥が存在していても、良と誤
判定してしまうおそれがあり、この誤判定を避けるため
に外周部６１についても自動検査が可能な実用性の高い
検査方法が望まれていた。

そこで、この発明は外周部の欠陥検出を的確に行うこと
ができて実用性を向上させることのできるハードディス
ク表面検査方法を提供することを［１的とする。

［発明の構成］ （課題を角ｑ決するための手段） この発明は上記課題を解決するために、被検査対象であ
るハードディスクに光ビームを走査し、所定の閾値以上
の反射光のレベル変化から欠陥を検出するとともに前記
ハードディスクの外周部には反射光のレベルが前記閾値
以上に変化する固定形状の非欠陥部が存在するハードデ
ィスク表面検査方法であって、前記ハードディスクの外
周部については、前記非欠陥部のプロフィルデータを比
較用プロフィルデータとして予め求め、検査に際して前
記反射光のレベル変化に基づいて求められたプロフィル
データが前記比較用プロフィルデータと非対応のとき欠
陥ありと判定することを要旨とする。

（作用） 検査に際して、反射光のレベル変化に基づいて求められ
たプロフィルデータが、予め求められた比較用プロフィ
ルデータと比較され、両者が非対応のときは欠陥ありと
判定される。したがってハードディスクの外周部につい
ても、自動検査により欠陥検出が的確に行われて実用性
が向上する。

（実施例） 以下、この発明の実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。

第１図（ａ）は、被検査対象であるハードディスク１を
示しており、同図の例のハードディスク１には、その外
周部に同じ長さと幅、即ち固定形状の非欠陥部としての
帯状変色部２が４個存在し、また、帯状変色部２の間に
は欠陥３が生じている場合を示している。同図中、Ｒは
半径方向、Ｓは円周方向である。

このようなハードディスク１に対し、前記第３図に示し
たものとほぼ同様の検査装置により、第１図（ｂ）に示
すような、その−面分の配列データファイル４が作成さ
れマイコン内に貯えられる。同図の例の配列データファ
イル４には、半径方向Ｒに６４個（０〜６３）の配列デ
ータを有し、円周方向Ｓには３６０個（０〜３５９）の
配列データを有している。以後、半径方向Ｒ及び円周方
向Ｓを含めて配列データｘ（６４，３６０）という。

なお、円周方向の０番目と３５９番「Ｉのデータは、ハ
ードディスク上では連続している。また、第１図（ｂ）
の配列データファイル４中の半径方向Ｃ〜６３の領域は
、帯状変色部２のプロフィルデータが存在する外周部領
域を示している。第１図の（Ｃ）、（ｄ）は、それぞれ
この外周部領域における円周方向プロフィルデータ及び
半径方向プロフィルデータを示している。

表面検査は、上述のような配列データファイル４にソフ
ト処理が施されて欠陥の有無が判定され、これに基づい
てハードディスク１の良否が判定される。以下、第２図
のフローチャー１・を用いてこの実施例のハードディス
ク表面検査方法を説明する。

まず、円周方向配列データのデータ番号ＪがＪ−〇から
３５９までインクリメントされ（ステップ１１）、また
半径方向配列データのデータ番号ＩがＩ−Ｃから６３ま
でインクリメントされつつ（ステップ１３）、ステップ
１１ないしステップ１５の実行により、帯状変色部２の
長さの許容範囲をデータ個数に変換した値り、〜Ｌ２対
して、配列データＸ（６４，３６０）から半径方向Ｃ〜
６３のプロフィルデータＹ　（３６０）が求められ（第
１図（ｄ））、マイコン内のメモリに格納される。

ここで、上記のＬｌは帯状変色部最小長変換値、Ｌ２は
帯状変色部最小長変換値を示している。

次いで、ステップ１６で個数クリアが行われたのち、デ
ータ番号ＫがＫ　−０から３５９までインクリメントさ
れつつ、ステップ１７ないしステップ２６の実行により
、半径方向Ｃ〜６３までのプロフィルデータＹ　（３６
０）における０でないデータの連続する長さＷとその個
数ＩＣＮが求められる。

次に、データＹ（０）とＹ　（３５９）　、つまり円周
方向のθ番目と３５９番目のデータは、前述したように
連続しているので、この両データＹ（０）とＹ（３５９
）がともに０でないときは（ステップ２７．２８のＮｏ
）、これを１個の帯状変色部とみる必要があるので、両
データ長さを足して（ステップ２９）、個数ＩＣＮが１
個減らされる（ステップ３０）。このようにして比較用
プロフィルデータが整えられる。

そして、０でないデータ連続部の個数と帯状変色部２の
個数Ｎ（第１図（ａ）の例ではＮ−４）とが等しく　（
ステップ３１のＹｅｓ）、且つその各ブタ連続部の長さ
ＷがＬ１〜Ｌ２の間に入っていれば（ステップ３２．３
３．３４のＹｅｓ）ハードディスクの外周部には欠陥な
しとされて判定は“ＯＫ”となり（ステップ３５）、上
記以外の場合の判定は“ＮＧ”となる（ステップ３６）
。

なお、第１図（ａ）のハードディスク１の場合は、外周
部に欠陥３が生じている場合を示しているので、０でな
いデータ連続部の個数と帯状変色部の個数Ｎとは等しく
なく欠陥ありとされて“ＮＧ”と判定される。

上述のように、この実施例のハードディスク表面検査方
法によれば、外周部についても、自動検査による欠陥検
出が的確に行われて、ハードディスク全体の良否の判定
が正確になされる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、ハードディス
クの外周部については、検査に際し反射光のレベル変化
に基づいて求めたプロフィルデータを、予め求めた非欠
陥部の比較用プロフィルデータと比較し、両データが非
対応のときは欠陥ありと判定するようにしたため、ハー
ドディスクの外周部についても自動検査による欠陥検出
を的確に行うことができて実用性を向上させることがで
きるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るハードディスクの表面検査方法
の実施例におけるハードディスク及び配列データファイ
ル等を示す図、第２図はこの発明の詳細な説明するため
のフローチャー１・、第３図は従来のハードディスク表
面検査装置を示す構成図、第４図は同上装置によるハー
ドディスク表面検査方法におけるハードディスク及び配
列ブタファイルを示す図、第５図は第４図に示すハトデ
ィスクの外周部からの反射光の変換により求められた電
気信号を示す信号波形図である。 １ニハードデイスク、 ２　、４ｊｌ状変色部（非欠陥部）、 ３：欠陥。 代理人ヂ１ノ、ＩＬ：　巳　好）す和 第２図 （ｂ） 第２図（ｃ） 第 図 ８ｂ 第 図（Ｃ） 箒５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査対象であるハードディスクに光ビームを走査し、
   所定の閾値以上の反射光のレベル変化から欠陥を検出す
   るとともに前記ハードディスクの外周部には反射光のレ
   ベルが前記閾値以上に変化する固定形状の非欠陥部が存
   在するハードディスク表面検査方法であって、 前記ハードディスクの外周部については、前記非欠陥部
   のプロフィルデータを比較用プロフィルデータとして予
   め求め、検査に際して前記反射光のレベル変化に基づい
   て求められたプロフィルデータが前記比較用プロフィル
   データと非対応のとき欠陥ありと判定することを特徴と
   するハードディスク表面検査方法。