JPH02268259A

JPH02268259A - ディスク媒体表面検査方法

Info

Publication number: JPH02268259A
Application number: JP8801489A
Authority: JP
Inventors: Masamitsu Nishikawa; 政光西川
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-04-10
Filing date: 1989-04-10
Publication date: 1990-11-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、例えばハードディスク等のディスク媒体の
表面、特にその内、外周部の欠陥の有無を光学手段によ
り検査するディスク媒体表面検査方法に関する。

（従来の技術）従来のハードディスクの表面検査方法としては、例えば
第３図及び第４図に示す検査装置を用いて行うようにし
たものがある。第３図中、１は被検査対象であるハード
ディスク、２はその駆動装置、３は検出ヘッド、４は信
号処理装置、５はマイコン、６は電源装置である。

検出ヘッド３内では、レーザ光源８が高電圧ユ獣ニット７で駆動されてレーザビーム９がぼ射され、その
レーザビーム９は、ポリゴンミラー１１で扇状に走査さ
れたのち、レンズ１２で平行走査光とされ投受光器１３
からハードディスク１上に照射される。次いで、その反
射光が投受光器１３で受光され、レンズ１４及びミラー
１５を介して光電変換器１６へ集光される。そして、光
電変換器１６で光電変換されたプリ検出信号が信号処理
装置４へ伝送されるようになっている。

第４図は、この信号処理装置４の内部構成を示している
。同図中、１７はブリ検出信号を微分する微分器、１８
は微分器１７で微分された微分信号から（＋）方向の高
段基準値（以下、（＋）高基中値のようにいう）ＨＦ　
（＋）Ｈを超えた比較検出信号を取出す第１の比較器、
１９は（＋）低基準値ＨＦ　（＋）Ｌを超えた比較検出
信号を取出す第２の比較器、２０は（＝）高基準値ＨＦ
　（−）Ｈを超えた比較検出信号を取出す第３の比較器
、２１は（＝）低基準値ＨＦ　（−）Ｌを超えた比較検
出信号を取出す第４の比較器である。

また、２２はハードディスク１上の検査領域を限定する
ための検査領域信号Ｔ４を出力するタイミング信号発生
回路であり、この検査領域信号Ｔ４でスイッチ２３．２
４．２５．２６がＯＮ。

ＯＦＦ制御されて、第１〜第４の比較器１８〜２１から
限定された検査領域についての比較検出信号が取出され
るようになっている。２７はマイコン５とのデータ出ツ
ノインターフェースである。

第５図は、信号処理装置４における各信号のタイミング
チャートを示している。同図（ａ）は微分器１７に人力
するプリ検出信号であり、この図の例のものは、ハード
ディスク１の内周部から外周部の間の一走査分について
検出され、欠陥による信、号のレベル変化は生じていな
いものが示されている。同図（ｂ）は、そのプリ検出信
号を微分器１７で微分した微分信号を示しており、プリ
検出信号におけるハードディスク内周エツジによる信号
立上り部とその外周エツジによる信号立下り部のみにつ
いて微分信号が生じている。このハードディスク１の内
周エツジ及び外周エツジの部分で生じる微分信号は、表
面欠陥で生じた微分信号ではないので検査対象外としな
ければならない。このため、同図（Ｃ）に示す検査領域
信号Ｔ４により、プリ検出信号における信号立上り部と
信号立下り部は検査対象外として除外され、ハードディ
スク１の内周部と外周部を除いた領域が検査装置による
自動検査の検査対象領域とされている。

そして、第１〜第４の比較器１８〜２１において各基準
値と比較されて取出された比較検出信号（２値化信号）
のうち、上述の検査対象領域内のみの信号が、インター
フェース２７を介してマイコン５へ伝送される。マイコ
ン５では、この２値化信号によるハードディスク１の一
面分の欠陥データを配列データファイルとして貯え、こ
れをソフト処理することによりハードディスク１の良否
を判定するようになっている。

（発明が解決しようとする課題）従来の検査方法では、検査領域信号Ｔ４により、ハード
ディスクの内周部と外周部を除いた領域を自動検査の検
査対象領域として限定していた。。

このため、例えば第５図の（ｄ）、（ｅ）に示すように
、外周部領域１ｂに不良と判定されるような欠陥が存在
し、第５図（ｄ）のプリ検査信号にその欠陥による信号
レベルの変化が生じ、この信号レベルの変化が、第５図
（ｅ）に示すように、微分信号として検出されても検査
対象から外されてしまい、ハードディスクを良と誤判定
してしまう場合がある。この誤判定を避けるためには、
検査対象から除外する内周部領域１ａ及び外周部領域１
ｂを小さくすることが考えられが、被検査対象であるハ
ードディスクの大きさの変化及び検査装置への装行時の
ハンドリングのふらつき等により限界がある。このため
、内周部領域１８及び外周部領域１ｂについても自動検
査が可能な実用性の高い検査方法が望まれていた。

そこで、この発明は、内周部及び外周部の欠陥検出を的
確に行うことができて実用性を向上させることのできる
ディスク媒体表面検査方法を提供することを目的とする
。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）この発明は上記課題を解決するために、被検査対象であ
るディスク媒体に光ビームを走査しその反射光の光量変
化から検出した検出信号により欠陥の有無を検査するデ
ィスク媒体表面検査方法において、前記ディスク媒体の
内周部又は外周部については、前記光ビームの一走査に
おける前記検出信号の信号数が２以上のとき欠陥有りと
判定することを要旨とする。

（作用）被検査対象であるディスク媒体に光ビームか走査され、
その反射光の光量変化が検出されて検出信号が取出され
る。

ディスク媒体の内周部又は外周部については、内周エツ
ジ及び外周エツジによる反射光の光量変化によりそれぞ
れ１個の検出信号が生じる。このため、内周部又は外周
部については、光ビームの一走査における検出信号の信
号数が２以上のときを欠陥有りと判定することにより、
ディスク媒体の内周部及び外周部についても、自動検査
により欠陥検出が的確に行われて実用性が向上する。

（実施例）以下、この発明の実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。

被検査対象であるディスク媒体としてのハードディスク
の表面検査装置としては、次に述べるように、信号処理
装置の内部構成に一部回路が付加されるだけで、全体構
成としては前記第３図に示したものとほぼ同様のものが
用いられる。

まず、この信号処理装置の内部構成を第２図を用いて説
明する。なお、第２図中、前記第４図における機器等と
同一ないし均等のものは、前記と同一符号を以って示し
、重複した説明を省略する。。

第２図中、３０は前記第４図に示した第１〜第４の比較
器と同様の構成部分である。この実施例に適用される信
号処理装置は、上記構成部分３０に、さらに以下のよう
なエツジ疵検出回路が付加されている。

即ち、第２図中、３１は（−）高基準値ＨＦ（−）Ｈを
超えた外周部の比較検出信号を取出す第５の比較器、３
２は（−）低基準値ＨＦ　（−）Ｌを超えた外周部の比
較検出信号を取出す第６の比較器である。第５の比較器
３１及び第６の比較器３２の出力線路には、それぞれス
イッチ３３．３４が接続され、タイミング信号発生回路
２２からの検査領域信号Ｔ２でそのスイッチ３３．３４
がＯＮ、ＯＦＦ制御されて、第５、第６の比較器３１．
３２から外周部領域についての比較検出信号が取出され
るようになっている。

３５は光ビームの一走査時にＨＦ　（−）Ｈ比較検出信
号を２パルス以上カウントしたとき、外周部紙（欠陥）
有りの判定信号を出力する第１のカウンタ判別回路、３
６は光ビームの一走査時にＨＦ　（−）Ｌ比較検出信号
を２パルス以上カウントしたとき、外周部疵有りの判定
信号を出力する第２のカウンタ判別回路である。第１、
第２のカウンタ判別回路３５．３６には、タイミング信
号発生回路２２から、前回−走査の判定をリセットする
判定リセット信号Ｔ３の信号線がそれぞれ接続されてい
る。

次に、上述のような表面検査装置を用いたこの実施例の
表面検査方法を第１図の各信号のタイミングチャートを
用いて説明する。

第１図（ａ）は検出ヘッド内の光電変換器で光電変換さ
れた一走査分のプリ検出信号であり、外周部領域に欠陥
による信号レベルの変化が生じている。

第１図（ｂ）は、このプリ検出信号を微分器１７で微分
した微分信号であり、外周部領域には、欠陥による信号
レベル変化部と外周エツジによる信号立下り部とで生じ
た２つの微分信号が現われている。。

この２つの微分信号は第５、第６の比較器３１．３２で
、（−）高基準値ＩＦ　（−）Ｈ及び（＝）低基準値Ｈ
Ｆ’（−）Ｌとそれぞれ比較され、その２つの微分信号
が（−）低基準値ＨＦ　（−）Ｌを超えたことにより、
第６の比較器３２から２個の比較検出信号が連続して取
出される。

そして、この外周部領域から生じる微分信号と各基■値
の比較動作タイミングで、タイミング信号発生回路２２
から検査領域信号Ｔ２が発生しく第１図（ｄ））、スイ
ッチ３４がＯＮ制御されて２個の比較検出信号が第２の
カウンタ判別回路３６に人力する（第１図（ｅ））。こ
の結果、第２のカウンタ判別回路３６では、光ビームの
一走査時に比較検出信号が２パルスカウントされて、外
周部疵有りの判定信号が出力される（第１図（ｆ））。

このようにして信号処理装置からは、前述した第１〜第
４の比較器から取出された比較検出信号とともに、上述
の外周部領域の検査に基づく外周部疵有り等の判定信号
が出力され、これらがインターフェース２７を介してマ
イコンへ伝送される。

マイコンでは、これらの信号によるハードディスクの一
面分の欠陥データが配列データとして貯えられ、これを
ソフト処理することによりハードディスクの良否が正確
に判定される。

なお、上述の実施例では、信号処理装置には外周部に対
する疵検出回路を付加して外周部についての欠陥検出方
法を説明したが、内周部に対しても、上記と類似の疵検
出回路を付加することにより、はぼ同様の方法によって
内周部についての欠陥検出も行うことができる。

また、上述の実施例は、光ビームの一走査において、内
周部又は外周部の比較検出信号が２パルス以上のとき、
内周部又は外周部に疵有りの判定信号を出力するように
したが、光ビームの走査数Ｎに対して内周部又は外周部
の比較検出信号がＭ以上のとき（Ｎ＜Ｍ）に疵有りの判
定信号を出力するようにしてもよい。この場合はａ＝（
Ｍ−Ｎ・）のａの値の大きさにより、内周部又は外周部
の疵の大きさの限定が可能となる。

［発明の効果］以上説明したように、この発明によれば、ディスク媒体
の内周部又は外周部については、光ビムの一走査におい
て内周エツジ又は外周エツジによる反射光の光量変化に
よりそれぞれ１個の検出信号が生じるので検出信号の信
号数が２以上のとき欠陥有りと判定することにより、デ
ィスク媒体の内周部及び外周部についても自動検査によ
り欠陥検出を的確に行うことができてディスク媒体の良
否の判定を正確に行うことができ、実用性を顕著に向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るディスク媒体表面検査方法の実
施例を説明するための各信号のタイミングチャート、第
２図は同上実施例を実現するための信号処理装置の構成
を示すブロック図、第３図は従来のハードディスク表面
検査装置を示すブロック構成図、第４図は同上検査装置
における信号処理装置の内部構成を示すブロック図、第
５図は同上信号処理装置の作用を説明するための各信号
のタイミングチャートである。１ニハードデイスク（ディスク媒体）、３１．３２：外
周部の比較検出信号を取出す第５、第６の比較器、３５．３６　：比較検出信号を２パルス以上カウントしたとき外周部欠陥有りの判定信号を出力する第１、第２のカウンタ判別回路。

Claims

【特許請求の範囲】被検査対象であるディスク媒体に光ビームを走査しその
反射光の光量変化から検出した検出信号により欠陥の有
無を検査するディスク媒体表面検査方法において、前記ディスク媒体の内周部又は外周部については、前記
光ビームの一走査における前記検出信号の信号数が２以
上のとき欠陥有りと判定することを特徴とするディスク
媒体表面検査方法。