JPH02271167A - 真空装置の回転軸シール構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えばオイルフリー真空ポンプなどの真空装置
の回転軸シール構造に関するものである。

〔従来の技術〕

例えば真空ポンプなどの真空装置においては、回転軸を
オイルシールやメカニカルシール等の回転軸シール部材
を用いてシールするのが一般的である。

第３図は従来の回転軸シール構造を示す断面図で、１は
内部に真空室２を有するハウジングである。回転軸３は
一端が前記真空室２内に臨み、他端が大気４中に突出し
ており、真空室２と大気４との間に介在している。５は
回転軸３をシールする例えばオイルシールやメカニカル
シール等の回転軸シール部材であり、大気４が真空室２
内へ侵入するのを防止している。６は回転軸シール部材
５を保持するシールケースであり、Ｏリングなどの固定
シール７を介してねじ等でハウジング１に取付けられて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このように回転軸シール部材のみでシールする
構造では、気体に対しては必ずしも確実なシールが行え
ず、大気が回転軸に沿って真空室へ侵入してしまうとい
う問題があった。また、このため、真空室内を高真空に
保持するのがきわめて困難となっていた。

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は、大気が真空室に侵入するのをより確実に防止する
ことができる真空装置の回転軸シール構造を提供するも
のである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る回転軸シール構造は、真空室の外側に回転
軸が挿通され低蒸気圧のオイルが封入されたシール室を
設け、このシール室の両側にシール室と回転軸との間を
シールする回転軸シール部材を設けたものである。

〔作用〕

本発明においては、大気が真空室に侵入するのはシール
室内のオイルで確実にシールされ、オイルは回転軸シー
ル部材でシール室から漏れるのが防止される。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により詳細に説明する。第
１図は本発明に係る真空装置の回転軸シール構造を示す
断面図で、同図において、■は内部に真空室２を有する
ハウジング、３は回転軸で一端が前記真空室２内に臨み
、他端が大気４中に突出しており、真空室２と大気４と
の間に介在している。

１１は略円筒状に形成され前記回転軸３に嵌装されたシ
ールケースであり、ハウジングｌ側に設けられたフラン
ジ１２を貫通するねじ等によって、回転軸３と同軸状に
ハウジング１の外側面に取付けられている。このシール
ケース１１の中央部には回転軸３が挿通されるシール室
１３が形成され、このシール室１３の内側および外側に
は凹陥部１４．１５が形成されている。前記シール室１
３にはふっ素糸オイルのような低蒸気圧のオイル１６が
封入されている。１７はシールケース１１に設けられシ
ール室１３にオイル１６を注入するための給油口であり
、注油時以外は栓１８で閉塞されている。

２１は前記凹陥部１４に装着された回転軸シール部材、
２２は凹陥部１５に装着された回転軸シール部材であり
、これらはオイルシールやメカニカルシールなどから構
成されており、前記シール室１３と回転軸３の外周面と
の間をシールし、オイル１６がシール室１３外に漏れる
のを防止している。２３は大気側の回転軸シール部材２
２を押さえるシール押さえであり、シールケース１１の
外側開口端縁にねじ等で取付けられている。２４および
２５はＯリングなどからなる固定シールであり、回転軸
シール部材２１とハウジング１との間、回転軸シール部
材２１とシールケース１１との間、および回転軸シール
部材２２とシール押さえ２３との間、回転軸シール部材
２２とシールケース１１との間をシールし、これら部材
の間隙から大気が真空室２内へ侵入するのを防止してい
る。

このように構成された真空装置の回転軸シール構造にお
いては、大気４と真空室２との間にシール室１３内に封
入されたオイル１６が介在するので、このオイル１６に
よって大気４が真空室２内に侵入するのを防止すること
ができる。そして、オイル１６がシール室１３から大気
４側あるいは真空室２側へ漏れるのは回転軸シール部材
２１゜２２によって防止することができる。ここで、回
転軸シール部材２１．２２のオイル１６に対するシール
効果は、気体のシールに比較して格段に高いために、オ
イル１６の漏れをきわめて微少にすることができ、−度
オイル１６を注入しておけば長期に渡ってシール効果の
高い気体シールを行うことができる。また、微少のオイ
ル１６が真空室２内に侵入したとしても、オイルｊ６は
低蒸気圧であり、気相に変化することがないので、真空
室２内を高真空、かつ清浄に保つことができる。

第２図は他の実施例を示す断面図であり、同図において
第１図に示すものと同一あるいは同等な部材には同一符
号を付し、その説明は省略する。

この実施例においては、シール効果をより高めるために
、シールケース１１とハウジング１との間に、シールケ
ース１１と軸線方向に並べて第２シールケース３１が介
装されている。この第２シールケース３１はシールケー
ス１１から外側の凹陥部１５をなくした形状に形成され
、外側にオイル１６が封入された第２シール室３２が形
成され、内側には回転軸シール部材３３が装着された凹
陥部３４が設けられており、フランジ３５でハウジング
１に取付けられている。３６はＯリングなどからなる固
定リングで、ハウジング１２回転軸シール部材３３．第
２シールケース３１間をシールしている。

このように構成された真空装置の回転軸シール構造にお
いては、オイル１６によるシール部分を２箇所に、回転
軸シール部材によるシール部分を３箇所に増やすことが
できるので、よりシール効果を高めることができる。

なお、より高いシール効果が要求される場合はオイル１
６によるシール部分および回転軸シール部材によるシー
ル部分をさらに多くすることができ、このようにシール
部分を増やすことによってよりシール効果を高めること
ができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、真空室の外側に回
転軸が挿通され低蒸気圧のオイルが封入されたシール室
を設け、このシール室の両側にシール室と回転軸との間
をシールする回転軸シール部材を設けたから、シール室
内のオイルで大気が真空室に侵入するのを防止できると
共に、このオ・イルがシール室から漏れるのを回転軸シ
ール部材で防止することができる。

したがって、気体を直接に回転軸シール部材でシールす
る従来の構造に比較して、気体のシール効果を高めるこ
とができ、大気が真空室に侵入するのをより確実に防止
することができる。さらに、低蒸気圧のオイルを使用し
ているから、オイルが真空室内へ微少量漏れたとしても
、真空室内を高真空、かつ清浄に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空装置の回転軸シール構造を示
す断面図、第２図は他の実施例を示す断面図、第３図は
従来の真空装置の回転軸シール構造を示す断面図である
。 ２・・・・真空室、３・・・・回転軸、４・・・・大気
、１３・・・・シール室、１６．・・・オイル、２１．
２２・。 ・・回転軸シール部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一端が真空室内に臨み他端が大気中に突設された回転軸
   を備えた真空装置において、真空室の外側に回転軸が挿
   通され低蒸気圧のオイルが封入されたシール室を設け、
   このシール室の両側にシール室と回転軸との間をシール
   する回転軸シール部材を設けたことを特徴とする真空装
   置の回転軸シール構造。