JPH02274193A - マイクロビーム像モニタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はマイクロビーム像モニタ装置に関する。

（従来の技術） イオンビームを直径数ミクロンオーダに集束するマイク
ロビーム装置においては、そのビーム像をモニタしなが
らビームを集束することが行なわれる。そのモニタのた
めにテレビカメラを使用し。

これによって撮影されたビーム像をテレビモニタによっ
てａｍするようにしている。

第２図は従来のマイクロビーム像モニタ装置を示し、１
はマイクロビーム発生装置からのマイクロビームで、こ
れが蛍光板２に当たって光の像に変換されるにの像は接
写レンズ３を備えたテレビカメラ４によって撮影される
。

これらは真空槽６内に設置されてあり、テレビカメラ４
からの映像信号は、ハーメチックシール５を貫通する線
路を経て、真空槽６外にあるテレビモニタ　（ＣＲＴ）
７に送られ、ここで可視像として写し出される。

（発明が解決しようとする課題） このような構成によると、接写レンズ３を装着したテレ
ビカメラ４を真空槽６内に設置するようにしているため
、その設置に先だってその焦点を蛍光板２に合わしてお
く必要がある。

そしていったん真空槽６内に密封して設置してしまった
ときは、以後その真空槽６を開放しなし１限り、焦点の
調整は不可能である。そのためその焦点の調整は極めて
面倒であった。

また前記のようにテレビカメラ４を真空槽６内に設置す
る必要があるため、その真空槽６としてこれらを収納す
るに足る十分な大きさのものが必要となり、必然的に大
型のものを使用しなければならない不便があった。

この発明はテレビモニタによってマイクロビーム像をモ
ニタするにあたり、その焦点の調整を容易とするととも
に、真空槽の小型化を図ることを目的とする。

（課題を解決するための手段） この発明は遠距離顕微鏡を使用し、これを蛍光板が収納
されている真空槽の外部に設置するとともに、その焦点
を真空槽の観察用窓を介して蛍光板上の像に合せるよう
にし、前記遠距離顕微鏡によって観察される像をテレビ
カメラによって撮像し、その像をテレビモニタに写し出
すことによって、前記蛍光板上のマイクロビームの像を
観察するよう゛にしたことを特徴とする。

（作用） 遠距離顕微鏡を使用することによって、真空槽内の蛍光
板上の像を真空槽の外部からａｍできるようになる。そ
のためテレビカメラを遠距離顕微鏡とともに、真空槽の
外部に配置することができるようになる。

これにより真空槽の真空を破ることなく、焦点の調整が
可能となり、また真空槽もテレビカメラ系を収納する必
要がないため、小型のものが使用できるようになる。

（実施例） この発明の実施例を第１図によって説明する。

なお第２図と同じ符号を付した部分は、同一または対応
する部分を示す。この発明にしたがい、遠距離顕微＠９
が使用される。これは焦点位置と対物レンズとの間の距
離が、たとえば５００ＩＩＩＩ１１程度のものが使用さ
れる。

遠距離顕微鏡９は真空槽６の外部に設置される。

そして真空槽６に設けられた観察用窓８を介して。

蛍光板２上の像に焦点が合せられる。

なお蛍光板２としては、たとえば放射線計測用の無機結
晶シンチレータ、たとえばＣ５Ｉ（Ｔ　Ｑ　）、　Ｚｎ
Ｓ（Ａｇ）などを使用するとよい。

これによると、従来より一般に使用されていた。

水晶板よりなる蛍光板よりも発光効率がよいので。

水晶板では約５０ｐＡのビーム電流が検出限度であった
のに対し、前記のように無機結晶シンチレータを使用す
れば、ビーム電流が１ρＡ以下まで検出が可能となるこ
とが確かめられている。

遠距離顕微鏡９によってｗｌ察される像は、テレビカメ
ラ４によって撮像される。この場合直接撮像するのに代
えて、イメージインテンシファイア１０を使用して、遠
距離顕微鏡９による像の光強度を増幅し、その像をテレ
ビカメラ４によって撮像するようにしてもよい。

このようなイメージインテンシファイア１０を使用する
と、その増幅度が約５，５　Ｘ　１０’の場合、装置系
の光感度がほぼ３０μｌｕｘにまで向上させることがで
きた。

テレビカメラ４によって撮像された像は、テレビモニタ
７に写し出され、ここで蛍光板２上のマイクロビームの
像が観察される。これは第２図の構成と同じである。

（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、遠距離顕微鏡を
使用し、これをマイクロビームが照射される蛍光板を収
納する真空槽の外部に設置し、これによって蛍光板上の
像を１１１！察するようにしたので、従来のようにテレ
ビカメラ系を真空槽の内部に設置する必要はなくなり、
したがって真空槽の小型化が可能となるとともに、焦点
の調整が従来のように真空槽の真空を破ることなく可能
となり。

その調整を極めて容易とすることができるといった効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １・・・マイクロビーム、２・・・蛍光板、４・・・テ
レビカメラ、６・・・真空槽、７・・・テレビモニタ、
８・・・観察用窓、 ９・・・遠距離顕微鏡、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 遠距離顕微鏡を、マイクロビームが照射される蛍光板を
   収納する真空槽の外部に設置するとともに、前記遠距離
   顕微鏡の焦点を、前記真空槽の観察用窓を介して前記蛍
   光板上の像に合せるようにしてなり、更に前記遠距離顕
   微鏡によって観察される前記蛍光板上の像を撮像するテ
   レビカメラと、前記テレビカメラによって撮像された像
   を写し出すテレビモニタとを備えてなるマイクロビーム
   像モニタ装置。