JPH02274462A - 研削盤等のスピンドル軸傾斜調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、各種の研削盤、ブライディング盤。

ラップ盤、ポリッシュ盤等の本体とスピンドル軸の傾斜
角度を調整する装置である。

〔従来技術とその問題点〕

従来、研削盤等のこの種の装置においては、モーターか
らの駆動源を得て回転及び昇降するスピンドル軸の下端
へスピンドルヘッドを備え、該スピンドルヘッドの下方
の本体の基台へ設けたロータリーテーブルのチャック上
面へ半導体ウェハ等の被加工物を磁気的手段又はバキュ
ーム的手段によって保持させて自回転させると共に、前
記スピンドルヘッドの下面の加工面で被加工物の上面を
加工しているが、加工面と被加工物の上面とが真平行に
なると、加工する条件によっては加工時の抵抗が大きく
なり被加工物の被加工面にダメージを与えたり、加工中
に加工作業による切削塵等の微粒塵がスピンドルヘッド
の加工面と被加工物との間に残り被加工物の加工面に微
細な傷が入ったりするため、若干の角度を保って加工す
る必要があった。

その為に、研削盤等の本体側壁と平行状に並設したスピ
ンドル軸側壁面との間へスタッドボルト等を立設させて
弛めたり締めたりし、或いは、楔状のものを噛して傾斜
角度を調整していたが、その傾斜角度が大き過ぎると被
加工物の平坦精度が低下してしまい、被加工物の上面の
被加工面とスピンドルヘッド下面の加工面とを理想とす
る若干の非平行状態に設定し、且つ、保持するのに手間
用のかトる作業と成っており問題点を有していた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は前記問題点に鑑みて、半導体ウェハ等の
被加工物を加工する場合に、任意の傾斜角度をスピンド
ル軸に与えて、スピンドルヘッドと被加工物との間へ適
宜な非平行状態を容易に設定でき、且つ、その状態で保
持させて、被加工物へのダメージ或いは傷が入るのを防
止して高精度の加工精度を得るべく開発したものである
。

〔発明の構成〕

本発明の構成は、本体側壁面とスピンドル軸側壁面との
間へ空隙部を有し１本体側壁面へ支点と成る頭部を形成
した支点部材を立設し、支点部材の両側へは調整用ボル
ト用螺孔と下方辺へは荷重支持ボルト用螺孔を形成し、
スピンドル軸側壁面の下方辺へ荷重支持ボルト用貫通孔
と下方辺へは調整用ボルト用貫通孔を夫々穿設し凹溝を
形成すると共に、ジヨイントバーは平坦面と湾曲面とを
有し、平坦面へ左右支点用孔を穿設し両側辺へ遊動孔を
夫々穿設し、凹溝と湾曲面とを合着させると共に左右支
点用孔へ支点部材の頭部を挿入し、夫々の調整用ボルト
を調整用ボルト用貫通孔゛とジヨイントバーの遊動孔と
へ貫通させて調整用ボルト用螺孔と螺合させ、荷重支持
具を周設した荷重支持ボルトを荷重支持ボルト廟貫通孔
へ貫通させて荷重支持ボルト用螺孔へ螺合させた構成で
ある。

〔実施例〕

次いで１本発明を図面によって説明する。

第１図は本発明の実施例の平面研削盤の側面説明図であ
り、第２図は要部の断面説明図であり、第３図はジヨイ
ントバーの斜視図であり、第４図は左右調整の支点と成
る要部拡大説明図であり、第５図は調整ボルト部の拡大
説明図ある。

本発明に係る平面研削盤は本体Ａの基台のロータリーテ
ーブルに備えたチャック機構へ被加工物である半導体ウ
ェハ等を磁気的或いはバキューム的手段によって保持さ
せて、該チャック機構を回転させると共に、上方に組設
されたモーターＭによってスピンドル軸Ｂへ回転力を与
え、該スピンドル軸Ｂの下端のスピンドルヘッドへ回転
力を伝え、被加工物の上方よりスピンドル軸Ｂを降下さ
せてスピンドルヘッドの下面に具えた研削砥石等の加工
面で被加工物の上面を研削加工をするものである。

本発明は前記研削盤等本体Ａの平行状態の空隙部３を有
して並設された研削盤等のスピンドル軸Ｂの傾斜角度を
微調整する装置であり、つまり、垂直なスピンドル軸Ｂ
の下面へ直角方向の水平に設けられたスピンドルヘッド
の加工面とロータリーテーブルのチャック機構上に水平
に保持された被加工物の上面とを若干の非平行状態に保
持する装置であって２本体側壁面１とスピンドル軸側壁
面２との間へ平行状態の空隙部３を有して形設した研削
！ＩＩＡ等のスピンドル軸Ｂの傾斜調整装置であって、
前記本体側壁面１の下方辺の中央位置へ左右傾斜調整の
支点と成る頭部４ａを短円柱状に形成した支点部材４を
立設し、前記支点部材４の両側へは調整用ボルト用螺孔
１ａ、ｌａと上方辺へは荷重支持ボルト用螺孔１ｂを夫
々形成し、前記スピンドル軸側壁面２の上方辺へは荷重
支持具５ａを周設した荷重支持ボルト５を挿通させる荷
重支持ボルト用貫通孔２ａと下方辺へは夫々の調整用ボ
ルト６．６を貫通させる調整用ボルト用貫通孔２ｂ、２
ｂを夫々穿設し前後傾斜調整の支点と成る樋状の凹溝２
Ｃを水平方向に形成すると共に、長さを有するジヨイン
トパー７は平坦面７ａと断面弧状の湾曲面７ｂとを有す
る略半円柱状に形成し、該平坦面７ａの中央へ前記支点
部材４をの頭部を回動可能に嵌入させる支点用孔７Ｃを
穿設し長さ方向の両側辺へ調整用ボルト６．６を遊動可
能に貫通させる遊動孔７ｄ、７ｄを夫々穿設し、前記凹
溝２Ｃとジヨイントパー７の湾曲面７ｂとを合着させる
と共に前記支点用孔７Ｃへ支点部材４の頭部４ａを挿入
し、夫々の調整用ボルト６．６を夫々の調整用ボルト用
貫通孔２ｂ、２ｂとジヨイントパー７の夫々の遊動孔７
ｄ、７ｄとへ夫々貫通させての調整用ボルト用螺孔１ａ
、１ａと夫々螺合させ、荷重支持具５ａを周設した荷重
支持ボルト５を荷重支持ボルト用貫通孔２ａへ貫通させ
て荷重支持ボルト用螺孔１ａへ螺合させ、前記荷重支持
ボルト５へ荷重支持具５ａを介してスピンドル軸Ｂの荷
重を支持させると共に夫々の調整用ボルト６．６を締緩
させてスピンドル軸Ｂの傾斜を調整するものである。

即ち、本発明は研削盤Ａ等の本体側壁面１と、上方にモ
ーターＭを組設したスピンドル軸Ｂの下方を除いて囲っ
た状態のケーシング側壁であるスピンドル軸側壁面２と
の両側壁面１．２を略同面積の矩形状とし１間へは垂直
方向に平行状態の僅かな空隙部３を有して形設したもの
である。

前記研削盤Ａ等の本体側壁面１へは第４図図示の如く、
下方辺の中央位置へ支点部材孔を形成し、該支点部材孔
へ左右傾斜調整の支点と成る頭部４ａを短円柱状に形成
した支点部材４を本体側壁面１より突出させて立設し、
該支点部材４を挾んでの水平方向の両側へは等間隔を有
して第５図図示の如く、調整用ボルト６．６を螺合させ
る調整用ボルト用螺孔１ａ、ｌａを夫々形成し、更に、
上方辺へは荷重支持ボルト５を螺合させる荷重支持ボル
ト用螺孔１ｂを形成するものである。

前記スピンドル軸側壁面２へは本体側壁面１に形成した
夫々の螺孔１ａ、ｌａ、ｌｂと合致する位置へ、つまり
、上方辺に荷重支持具５ａを周設した荷重支持ボルト５
を貫通させる荷重支持ボルト用貫通孔２ａと、下方辺に
夫々の調整用ボルト６．６を回動可能に貫通させる調整
用ボルト用貫通孔２ｂ、２ｂを穿設し１前後傾斜調整の
支点と成る樋状の凹溝２ｃを水平方向に形成するもので
ある。

第３図図示の左右傾斜調整と前後傾斜調整との夫々の他
方の支点と成るジヨイントバー７は長さを有し平坦面７
ａと断面弧状の湾曲面７ｂとの略半円柱状に形成したも
ので、該平坦面７ａの中央へ前記支点部材１ａの短円柱
状の頭部を微回動可能に嵌入させる左右支点用孔７Ｃを
形成し、長さ方向の両側辺へ前記調整用ボルト６．６を
遊動可能に貫通させる遊動孔７ｄ、７ｄを夫々穿設した
ものである。

前記荷重支持ボルト５はナツト状の頭部より膨出させた
胴部を有した荷重支持具５ａを周設した荷重支持ボルト
用貫通孔２ａの内周と密着状態で挿設するものであり、
該荷重支持具５ａは本体側側壁面１へ球面座金５ｂを配
設し、中間部材５ｃは胴周に螺条を形成し、該螺条はス
ピンドル軸側壁面２へ穿設した荷重支持ボルト用貫通孔
２ａの内周へ予め形成した螺条に螺合させるものであり
。

更に、スピンドル軸Ｂ側へは前記荷重支持ボルト用貫通
孔２ａの外周より膨出させたナツト状部を延設した頭部
部材５ｄを突出させたものであり、中間部材５ｐと頭部
部材５ｄとの接着面には相互が合着する凹凸部を夫々形
成したものであり、荷重支持ボルト５のを荷重支持ボル
ト用螺孔１ｂへ螺合することによって、荷重支持具５ａ
を介してスピンドル軸Ｂの荷重の殆んどは荷重支持ボル
ト５が担うものである。

前記スピンドル軸側壁面２に水平方向に形成した樋状の
凹溝２Ｃヘジヨイントパー７の湾曲面７ｂを密着させて
嵌入させ、前記左右支点用孔７Ｃへ支点部材４の短円柱
状の頭部４ａを挿通させて微回動可能として左右傾斜の
調整をするものであり、夫々の調整用ボルト６．６を前
記スピンドル軸側壁面２の下方辺の夫々の調整用ボルト
用貫通孔２ｂ、２ｂとジヨイントパー７の夫々の遊動孔
７ｄ、７ｄとへ夫々挿通させて本体側壁面１の調整用ボ
ルト用螺孔１ａ、ｌａと夫々螺合させ、荷重支持具５ａ
を周設した荷重支持ボルト５を上方辺の荷重支持ボルト
用貫通孔２ａ、２ａへ挿通させて荷重支持ボルト用螺孔
１ｂへ螺合させ、前記荷重支持ボルト５ヘスピンドル軸
Ｂの荷重を支持させるものである。

本発明は前記スピンドル軸Ｂの荷重を荷重支持具５ａを
介設した荷重支持ボルト５へ担げ、僅かな空隙部３とジ
ヨイントパー７とによって、夫々の調整用ボルト６．６
を締めたり緩めたりさせることによって、ジヨイントパ
ー７の左右支点用孔７ｃと支点部材４の頭部４ａとが支
点と成り微回動可能であり左右方向の傾斜が調整ができ
、ジヨイントパー７の湾曲面７ｂとスピンドル軸側壁面
２の樋状の凹溝２ｃとが前後方向の支点と成り前後方向
のスンドル軸Ｂの傾斜が調整をできるものであり、その
状態を経時に亘って保持できるものである。

本発明の実施例は平面研削盤を例として前述したが同様
なスピンドル軸を有した構造のラップ盤。

ポリッシング盤又はファイングライディング盤等への応
用も可能なものである。

〔発明の効果〕

本発明の効果はスパナ等の工具で、各ボルトの頭部を各
々回動させて弛めたり締めたりすることによって、容易
にスピンドル軸を本体に対して傾斜させることができ、
傾斜させることによってスピンドルヘッドの下面の加工
面と被加工物の上面の被加工面が若干の非平行状態を任
意に設定でき。

加工時の抵抗による被加工物へのダメージ、又は、微細
な傷を防止することができるものあり、又。

完全な平行状態へも容易に調整可能となるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の平面研削盤の側面説明図であ
る。第２図は要部の説明断面図である。 第３図はジヨイントパーの斜視図であり、第４図は左右
調整の支点と成る要部拡大説明図であり、第５図は調整
ボルト部の拡大説明図ある。 八−研削盤及び本体、Ｂ−スピンドル軸、Ｍ−モーター １−本体側壁面、１ａ−調整用ボルト用螺孔、１ｂ−荷
重支持ボルト用螺孔、２−スピンドル軸側壁面、２ａ−
荷重支持ボルト用貫通孔、２ｂ−調整用ボルト用貫通孔
、２ｃ−凹溝、３−空隙部、４−支点部材、４ａ−頭部
、５−荷重支持ボルト、５ａ−荷重支持具、５ｂ−球面
座金、５Ｃ−中間部材、５ｄ−頭部部材、６−調整用ボ
ルト、７−ジヨイントパー　７ａ−平坦面、７ｂ−湾曲
面、７ｃ−左右支点用孔、７ｄ−遊動孔。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 本体側壁面とスピンドル軸側壁面との間へ平行状態の空
   隙部を有して形設した研削盤等のスピンドル軸の傾斜調
   整装置であって、 前記本体側壁面の下方辺の中央位置へ左右傾斜調整の支
   点と成る頭部を短円柱状に形成した支点部材を立設し、
   前記支点部材の両側へは調整用ボルト用螺孔と上方辺へ
   は荷重支持ボルト用螺孔を夫々形成し、前記スピンドル
   軸側壁面の上方辺へは荷重支持具を周設した荷重支持ボ
   ルトを挿通させる荷重支持ボルト用貫通孔と下方辺へは
   夫々の調整用ボルトを貫通させる調整用ボルト用貫通孔
   を夫々穿設し前後傾斜調整の支点と成る樋状の凹溝を水
   平方向に形成すると共に、長さを有するジョイントバー
   は平坦面と断面弧状の湾曲面とを有する略半円柱状に形
   成し、該平坦面の中央へ前記支点部材の頭部を回動可能
   に挿入させる左右支点用孔を穿設し長さ方向の両側辺へ
   調整用ボルトを遊動可能に貫通させる遊動孔を夫々穿設
   し、前記凹溝とジヨイントバーの湾曲面とを合着させる
   と共に前記左右支点用孔へ支点部材の頭部を挿入し、夫
   々の調整用ボルトを夫々の調整用ボルト用貫通孔とジヨ
   イントバーの夫々の遊動孔とへ夫々貫通させて調整用ボ
   ルト用螺孔と夫々螺合させ、荷重支持具を周設した荷重
   支持ボルトを荷重支持ボルト用貫通孔へ貫通させて荷重
   支持ボルト用螺孔へ螺合させ、前記荷重支持ボルトへ荷
   重支持具を介してスピンドル軸の荷重を支持させると共
   に夫々の調整用ボルトを締緩させてスピンドル軸の傾斜
   を調整することを特徴とする研削盤等のスピンドル軸傾
   斜調整装置。