JPH02275377A - 半導体装置の測定用治具 - Google Patents
半導体装置の測定用治具Info
- Publication number
- JPH02275377A JPH02275377A JP9800389A JP9800389A JPH02275377A JP H02275377 A JPH02275377 A JP H02275377A JP 9800389 A JP9800389 A JP 9800389A JP 9800389 A JP9800389 A JP 9800389A JP H02275377 A JPH02275377 A JP H02275377A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test board
- automatic
- semiconductor device
- manual
- jig
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 abstract 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の測定用治具に関し、特に多数の半
導体装置を自動的に測定する事のできる自動測定装置の
自動テストボードにさし込むだけで手動的に測定できる
半導体装置の測定用治具に関する。
導体装置を自動的に測定する事のできる自動測定装置の
自動テストボードにさし込むだけで手動的に測定できる
半導体装置の測定用治具に関する。
従来′、この種の半導体装置の電気的特性測定用治具（
以下テストボードと称す、）は、第６図に示す様な、自
動テストボード４と第８図に示す様な手動テストボード
７がある。
以下テストボードと称す、）は、第６図に示す様な、自
動テストボード４と第８図に示す様な手動テストボード
７がある。
自動テストボードは、第７図（ａ）、（ｂ）に示す様に
自動テストボード４に自動測定治具６をさし込んで測定
を行っていた。
自動テストボード４に自動測定治具６をさし込んで測定
を行っていた。
上述した従来のテストボードは、自動テストボードと手
動テストボードが２枚必要であり、それぞれ、測定する
特性に応じて、使い分けなければならないという欠点が
ある。
動テストボードが２枚必要であり、それぞれ、測定する
特性に応じて、使い分けなければならないという欠点が
ある。
本発明の目的は、自動測定と手動測定のそれぞれに対応
できる半導体装置のテストボードを提供することにある
。
できる半導体装置のテストボードを提供することにある
。
本発明の半導体装置の測定用治具は、半導体装置の電気
的特性を測定する際に前記半導体装置を自動的に測定す
る事のできる自動測定装置の自動テストボートにさし込
むだけで手動的に測定する治具として使用できる。
的特性を測定する際に前記半導体装置を自動的に測定す
る事のできる自動測定装置の自動テストボートにさし込
むだけで手動的に測定する治具として使用できる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の第１の実施例の正面図、第２図は第１
図の手動測定治具を従来の自動テストボードにさしこん
だ場合の正面図、第３図は第１図の側面図、第４図は第
３図の一部切欠き側面図である。
図の手動測定治具を従来の自動テストボードにさしこん
だ場合の正面図、第３図は第１図の側面図、第４図は第
３図の一部切欠き側面図である。
第１の実施例は、第１図〜第４図に示すような半導体装
置の手動測定治具９を自動テストボード４にさし込むこ
とによって手動テストボードとして使用することが可能
となる。
置の手動測定治具９を自動テストボード４にさし込むこ
とによって手動テストボードとして使用することが可能
となる。
第５図は本発明の第２の実施例の一部切欠き側面図であ
る。
る。
第２の実施例は、第５図に示すように、構造は第４図の
リード線３の配線を替えであるだけである。
リード線３の配線を替えであるだけである。
この実施例では、第１の実施例とさし込み口の構造は同
じであるため、リード線の配線を替えることによって、
違う品種の半導体装置を測定できる利点がある。
じであるため、リード線の配線を替えることによって、
違う品種の半導体装置を測定できる利点がある。
以上説明したように本発明は、自動テストボードにさし
込むことにより、手動テストボードとして使用すること
ができ、自動テストボードにて、自動と手動の測定に対
応できる効果がある。
込むことにより、手動テストボードとして使用すること
ができ、自動テストボードにて、自動と手動の測定に対
応できる効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の正面図、第２図は第１
図の手動測定治具を従来の自動テストボードにさし込ん
だ場合の正面図、第３図は第１図の側面図、第４図は第
３図の一部切欠き側面図、第５図は本発明の第２の実施
例の一部切欠き側面図、第６図は半導体装置を自動測定
する場合の斜視図、第７図（ａ＞、（ｂ）は自動テスト
ボードに従来の自動測定治具をさし込んで測定する場合
の一例の断面図及び側面図、第８図は半導体装置を手動
テストボードにさし込んで測定する場合の一例の斜視図
である。
図の手動測定治具を従来の自動テストボードにさし込ん
だ場合の正面図、第３図は第１図の側面図、第４図は第
３図の一部切欠き側面図、第５図は本発明の第２の実施
例の一部切欠き側面図、第６図は半導体装置を自動測定
する場合の斜視図、第７図（ａ＞、（ｂ）は自動テスト
ボードに従来の自動測定治具をさし込んで測定する場合
の一例の断面図及び側面図、第８図は半導体装置を手動
テストボードにさし込んで測定する場合の一例の斜視図
である。
Claims (1)
- 半導体装置の電気的特性を測定する際に前記半導体装置
を自動的に測定する事のできる自動測定装置の自動テス
トボートにさし込むだけで手動的に測定する治具として
使用できることを特徴とする半導体装置の測定用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9800389A JPH02275377A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 半導体装置の測定用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9800389A JPH02275377A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 半導体装置の測定用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275377A true JPH02275377A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14207514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9800389A Pending JPH02275377A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 半導体装置の測定用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02275377A (ja) |
-
1989
- 1989-04-17 JP JP9800389A patent/JPH02275377A/ja active Pending
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