JPH0227600U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227600U JPH0227600U JP9432289U JP9432289U JPH0227600U JP H0227600 U JPH0227600 U JP H0227600U JP 9432289 U JP9432289 U JP 9432289U JP 9432289 U JP9432289 U JP 9432289U JP H0227600 U JPH0227600 U JP H0227600U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- displacement
- signals
- protrusions
- differential
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
図は本考案の一実施例による微小角度傾斜装置
の概略的な断面図である。 １……テーブル、２……基礎定盤、３……保持
部材、４，５，６，７……制御用静圧軸受の静圧
パツド、８，９……支持用静圧軸受の静圧パツド
、１０，１１……サーボ弁、１２，１３……固定
絞り、１４，１５……変位検出器、１６，１７…
…差動増巾器、１８，１９……補償回路、２０，
２１……サーボ増巾器、Ｐｓｕ１，Ｐｓｕ２，Ｐ
１，Ｐ２……供給圧力。
の概略的な断面図である。 １……テーブル、２……基礎定盤、３……保持
部材、４，５，６，７……制御用静圧軸受の静圧
パツド、８，９……支持用静圧軸受の静圧パツド
、１０，１１……サーボ弁、１２，１３……固定
絞り、１４，１５……変位検出器、１６，１７…
…差動増巾器、１８，１９……補償回路、２０，
２１……サーボ増巾器、Ｐｓｕ１，Ｐｓｕ２，Ｐ
１，Ｐ２……供給圧力。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内側に突出する対向配置された一対の突出部と
、該それぞれの突出部の先端部に設けられ、かつ
、互いの突出部に向かつて支持力を発生する一対
の支持用静圧軸受と、かつ前記それぞれの突出部
の上面部および下面部に配置された静圧パツドか
らなる一対の制御用静圧軸受とを有する保持部材
と、 前記それぞれの静圧軸受に対向し係合する係合
部を有するテーブルと、 前記一対の制御用静圧軸受にそれぞれ対応して
前記保持部材に固定され、前記テーブルと保持部
材との相対変位を検出する一対の変位検出器と、 前記テーブルの傾斜・変位を設定するコントロ
ーラと、 該コントローラの２つの指令信号と、その指令
信号にそれぞれ対応する前記変位検出器の変位信
号との差をそれぞれ増巾する一対の差動増巾器と
、 該一対の差動増巾器からの信号をそれぞれ増巾
する一対のサーボ増巾器と、 前記一対の制御用静圧軸受のそれぞれの軸受の
静圧パツドに連通し、前記一対のサーボ増巾器か
らのそれぞれの信号により作動流体をそれぞれ対
応する前記制御用静圧軸受に供給する一対のサー
ボ弁とを備え、 前記コントローラの指令信号に応じて、前記一
対の制御用静圧軸受の対向する静圧パツドへの供
給圧の差圧を制御することにより、前記テーブル
を傾斜・変位させ、前記テーブルの変位を前記変
位検出器により検出し、前記差動増巾器にフイー
ドバツクすることを特徴とする微小角度傾斜装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9432289U JPH039035Y2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9432289U JPH039035Y2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227600U true JPH0227600U (ja) | 1990-02-22 |
| JPH039035Y2 JPH039035Y2 (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=31318832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9432289U Expired JPH039035Y2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH039035Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-08-14 JP JP9432289U patent/JPH039035Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039035Y2 (ja) | 1991-03-06 |
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