JPH02276074A - ヘッドスライダ - Google Patents
ヘッドスライダInfo
- Publication number
- JPH02276074A JPH02276074A JP9779489A JP9779489A JPH02276074A JP H02276074 A JPH02276074 A JP H02276074A JP 9779489 A JP9779489 A JP 9779489A JP 9779489 A JP9779489 A JP 9779489A JP H02276074 A JPH02276074 A JP H02276074A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- stop
- head slider
- contact start
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は記録媒体に対してコンタクトスタートストップ
を行ない、記録媒体の高速回転中は空気ベアリングの作
用で浮動するヘッドスライダに関する。
を行ない、記録媒体の高速回転中は空気ベアリングの作
用で浮動するヘッドスライダに関する。
ヘッドスライダとしては、■電磁変換特性が良好である
こと及び、■耐コンタクトスタートストップ（Ｃ８Ｓ）
特性が優れていることが望ましい。
こと及び、■耐コンタクトスタートストップ（Ｃ８Ｓ）
特性が優れていることが望ましい。
■のためには、ヘッドスライダの摺動向が基本的には鏡
面であり、浮上特性が安定している必要がある。
面であり、浮上特性が安定している必要がある。
■のためには、ヘッドスライダの摺動面が適当にあれで
いて、記録媒体に吸着しにくく耐摩耗性が良いことが必
要である。
いて、記録媒体に吸着しにくく耐摩耗性が良いことが必
要である。
従来の技術
従来の磁気へラドスライダが例えば特公昭６３−５５１
５７号に示されている。
５７号に示されている。
この磁気へラドスライダは、材質が酸化アルミニウム及
び炭化チタンを含むセラミック材料であり、滑空面に露
出しているチタン成分を反応性イオンエツチングにより
除去したものである。
び炭化チタンを含むセラミック材料であり、滑空面に露
出しているチタン成分を反応性イオンエツチングにより
除去したものである。
滑空面は、平坦な面に微小なビットが無数に形成された
面となっており、上記の■、■の要求を満足しているも
のと考えられる。
面となっており、上記の■、■の要求を満足しているも
のと考えられる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記の滑空面を形成するには、材質が上記のも
のに限定され、材料が異なれば形成が困難である。
のに限定され、材料が異なれば形成が困難である。
本発明は上記の課題を解決したヘッドスライダを提供す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、記録媒体に対してコンタクトスタートストッ
プを行ない、該記録媒体の高速回転中は空気ベアリング
の作用で浮動するヘッドスライダにおいて、 上記記録媒体に対向する摺接面を、鏡面仕上げした後に
逆スパッタリングを施して、深さが５０乃至１００人程
度のビットが無数に形成された面としてなる構成とした
ものである。
プを行ない、該記録媒体の高速回転中は空気ベアリング
の作用で浮動するヘッドスライダにおいて、 上記記録媒体に対向する摺接面を、鏡面仕上げした後に
逆スパッタリングを施して、深さが５０乃至１００人程
度のビットが無数に形成された面としてなる構成とした
ものである。
作用
ビットの大きさを深さが５０〜１００人程度のものとす
ることにより、電磁変換特性を損なわずに、耐コンタク
トスタートストップ特性を改善することが可能となる。
ることにより、電磁変換特性を損なわずに、耐コンタク
トスタートストップ特性を改善することが可能となる。
またビットを逆スパッタリングにより形成しているため
、ヘッドスライダの材質が何であっても適用することが
出来る。
、ヘッドスライダの材質が何であっても適用することが
出来る。
実施例
第１図は本発明の一実施例になるヘッドスライダ１を示
す。
す。
２は摺接面であり、記録媒体３（便宜上実際より小さく
示しである）に対向する。
示しである）に対向する。
記録媒体３の回転停止時には、摺接面２が記録媒体３に
接触しており、記録媒体３はこの状態で始動するコンタ
クトスタートストップを行う。記録媒体３の２．３６Ｏ
ｒｐｍでの高速回転中は、空気ベアリングの作用で浮動
する。１ ヘッドスライダ１はＭｎ −Ｚｎ−Ｆｅ製であり、ｉＩ
４．１１５ｍ、横３．２ｔｎｍで表面積が４．５１８９
．２である。記録媒体３に対する押圧力は９．５ｇであ
る。
接触しており、記録媒体３はこの状態で始動するコンタ
クトスタートストップを行う。記録媒体３の２．３６Ｏ
ｒｐｍでの高速回転中は、空気ベアリングの作用で浮動
する。１ ヘッドスライダ１はＭｎ −Ｚｎ−Ｆｅ製であり、ｉＩ
４．１１５ｍ、横３．２ｔｎｍで表面積が４．５１８９
．２である。記録媒体３に対する押圧力は９．５ｇであ
る。
記録媒体３は、アルミニウムを基盤として、Ｎ１−Ｐの
メツキ処理の後、Ｃｒをスパッタリングして、磁性体に
Ｃｏ −Ｎｉ−Ｃｒをスパッタリングし、保護層にア土
ルファスＣをスパッタリングし、最後に表面に潤滑剤と
して液状のフロロカーボンを塗布したものである。表面
のあらさ（ま、平均が約５２人、最大が約８９０人であ
る１゜第２図は第１図の摺接面２のうち点ａ−ｂ間の表
面あらさの状態を示す。図中下方への［！’Ｉがビット
である。
メツキ処理の後、Ｃｒをスパッタリングして、磁性体に
Ｃｏ −Ｎｉ−Ｃｒをスパッタリングし、保護層にア土
ルファスＣをスパッタリングし、最後に表面に潤滑剤と
して液状のフロロカーボンを塗布したものである。表面
のあらさ（ま、平均が約５２人、最大が約８９０人であ
る１゜第２図は第１図の摺接面２のうち点ａ−ｂ間の表
面あらさの状態を示す。図中下方への［！’Ｉがビット
である。
第３図は上記点ａ−ｂ部分の２．０００倍の電子顕微鏡
の写真を模写した図である。図中、黒い小さな点がビッ
ト６である。用紙の色と同一の部分は鏡面仕上げされた
ままの面である。
の写真を模写した図である。図中、黒い小さな点がビッ
ト６である。用紙の色と同一の部分は鏡面仕上げされた
ままの面である。
第２図中、例えばビット６−１は直径がＣ１が約８μ頂
で深さｄｌが約７０人である。ビット６−２は直径Ｃ２
が約４μｍで深さＣ２が約６０人である。ビット６−３
は直径Ｃ３が約１０μｍで深さＣ３が約１００人である
。ビット６−４は深さはビット６−２と略同じであり、
直径Ｃ４が約１μｍと小さい。
で深さｄｌが約７０人である。ビット６−２は直径Ｃ２
が約４μｍで深さＣ２が約６０人である。ビット６−３
は直径Ｃ３が約１０μｍで深さＣ３が約１００人である
。ビット６−４は深さはビット６−２と略同じであり、
直径Ｃ４が約１μｍと小さい。
ビット６は、直径が１μ−程度から１０μ田程度までで
あり、深さが５０〜１００人程度の大きさのものである
。
あり、深さが５０〜１００人程度の大きさのものである
。
ビット６は第３図に示すように分散しており、その数は
’Ｌ＋ｍ２当り約７万個〜２０万個である。
’Ｌ＋ｍ２当り約７万個〜２０万個である。
このビット６は一般的な逆スパッタリングにより形成し
たものである。
たものである。
ヘッドスライダ１の摺接面２は第４図に示すように、摺
接面を鏡面仕上げ工程Ｓ１によって鏡面に仕上げ、次い
で逆スパッタリング：［程Ｓ２’によってビットを形成
する工程を経て形成される。
接面を鏡面仕上げ工程Ｓ１によって鏡面に仕上げ、次い
で逆スパッタリング：［程Ｓ２’によってビットを形成
する工程を経て形成される。
逆スパッタリングは前記の反応性イオンエツチングに比
べて一般的な手法であり、管理すべき条件も少なく、量
産に適している。１ また上記の工程からも分かるように、及び第３図からも
明らかなように、摺接面２は、第５図に概略的に示すよ
うに、基本の面は鏡面７であり、ここにビット６が形成
された構成となる。
べて一般的な手法であり、管理すべき条件も少なく、量
産に適している。１ また上記の工程からも分かるように、及び第３図からも
明らかなように、摺接面２は、第５図に概略的に示すよ
うに、基本の面は鏡面７であり、ここにビット６が形成
された構成となる。
次に上記のへラドスライダ１の特性について説明する。
以下は実験の結果である。
（１）耐コンタクトスタートストップ特性について（第
６図参照）。
６図参照）。
この特性は、記録媒体３のシツピングゾーンにおいてコ
ンタクトスタートストップを何回も繰り返して行ない、
その後におけるヘッドスライダ１の記録媒体１に対する
静摩擦係数（μＳ）を測定することにより求めたもので
ある。なお、ヘッドスライダ１の記録媒体１に対する押
圧力は９．５０「である。
ンタクトスタートストップを何回も繰り返して行ない、
その後におけるヘッドスライダ１の記録媒体１に対する
静摩擦係数（μＳ）を測定することにより求めたもので
ある。なお、ヘッドスライダ１の記録媒体１に対する押
圧力は９．５０「である。
第６図に示すように、最初の静摩擦係数は約０．２であ
る。
る。
また、線８で示すように、コンタクトスタートストップ
を繰り返しても静摩擦係数は殆ど変化せず、コンタクト
スタートストップを１０万回繰り返しても最初の値と略
同じである。
を繰り返しても静摩擦係数は殆ど変化せず、コンタクト
スタートストップを１０万回繰り返しても最初の値と略
同じである。
このため、記録媒体３はコンタクトスタートストップを
１０万回繰り返した後においても最初のフンタクトスタ
ートストップ時と同様のスムーズさで回転を開始する。
１０万回繰り返した後においても最初のフンタクトスタ
ートストップ時と同様のスムーズさで回転を開始する。
従ってヘッドスライダ１が記録媒体３をこじるようなこ
とは起こらず、記録媒体３の表面は傷付かない。また記
録媒体３に吸着し、ディスク装置が起動しないことも起
こらない。
とは起こらず、記録媒体３の表面は傷付かない。また記
録媒体３に吸着し、ディスク装置が起動しないことも起
こらない。
■ 電磁変換特性について（第７図参照）。
第７図は、試験用であるＢ４Ｃ３のデジタル信号を記録
してこれを再生したときのピークシフトによるエラー率
が１０ のときの７エイズマージンを測定したときの値
を示す表である。。
してこれを再生したときのピークシフトによるエラー率
が１０ のときの７エイズマージンを測定したときの値
を示す表である。。
上段は、摺接面を鏡面仕上げしたままのへラドスライダ
の場合のフェイズマージンの−の測定値であり、２６．
４ｎｓである。
の場合のフェイズマージンの−の測定値であり、２６．
４ｎｓである。
下段は上記ヘッドスライダ−の場合のフェイズマージン
の−の測定値であり、２５．５ｎｓである。
の−の測定値であり、２５．５ｎｓである。
両者を比較するに、フェイズマージンには実質的な差異
がないことが分かる。
がないことが分かる。
このことより、本発明のヘッドスライダ−は、摺接面を
鏡面什十げしたままのへラドスライダと同程度に浮上特
性が安定しており且つ低浮上状態にあり、上記の程度の
大きさのピット６は電磁変換特性に影響を及ぼさないと
いうことができる。
鏡面什十げしたままのへラドスライダと同程度に浮上特
性が安定しており且つ低浮上状態にあり、上記の程度の
大きさのピット６は電磁変換特性に影響を及ぼさないと
いうことができる。
従って、上記実施例のヘッドスライダ−によれば、電磁
変換特性を良好に維持したまま、耐コンタクトスタート
ストップ特性を大幅に改善することが出来、記録媒体の
長寿命化を図ることが出来、例えば固定磁気ディスク装
置の信頼性の向上を図ることが出来る。
変換特性を良好に維持したまま、耐コンタクトスタート
ストップ特性を大幅に改善することが出来、記録媒体の
長寿命化を図ることが出来、例えば固定磁気ディスク装
置の信頼性の向上を図ることが出来る。
次に、本発明と比較する意味で、摺接面２のあらしの程
度と耐コンタクトスタートストップ特性との関係につい
て説明する。以下は共に実験の結果である。
度と耐コンタクトスタートストップ特性との関係につい
て説明する。以下は共に実験の結果である。
第８図は、鏡面仕上げしたままの摺接面のあらさの状態
を示す。
を示す。
第９図は、鏡面仕上げしたままの摺接面を有するヘッド
スライダの耐コンタクトスタートストップ特性を示す。
スライダの耐コンタクトスタートストップ特性を示す。
同図中、線１０で示すように、コンタクトスタートスト
ップを１万回程度以上繰り返すと、ヘッドスライダの記
録媒体に対する静摩擦係数が徐々に増加し、記録媒体が
回転を開始する際にヘッドスライダが記録媒体をこじり
、記録媒体を傷付けてしまったり、また完全に吸着し、
起動できなくなることもある。
ップを１万回程度以上繰り返すと、ヘッドスライダの記
録媒体に対する静摩擦係数が徐々に増加し、記録媒体が
回転を開始する際にヘッドスライダが記録媒体をこじり
、記録媒体を傷付けてしまったり、また完全に吸着し、
起動できなくなることもある。
第１０図は鏡面仕上げをして逆スパッタリングを多少行
った摺接面のあらさの状態を示す。摺接面に形成されて
いるピット２０の大きさは、直径が約１０μｍ以下で深
さｅは数１０人と極く浅い。
った摺接面のあらさの状態を示す。摺接面に形成されて
いるピット２０の大きさは、直径が約１０μｍ以下で深
さｅは数１０人と極く浅い。
第１１図はこのヘッドスライダの耐コンタクトスタート
ストップ特性を示す。
ストップ特性を示す。
上記の第９図に示すと略同様にヘッドスライダの記録媒
体に対するｉ９１摩擦係数は、線２１で示すように、コ
ンタクトスタートストップを１万回程度以上繰り返すと
、徐々に増加する。これにより、上記の場合と同様に記
録媒体が回転を開始するときに、ヘッドスライダが記録
媒体をこじって記録媒体を傷付けてしまったり、あるい
は記録媒体に吸着し、起動しなくなる、。
体に対するｉ９１摩擦係数は、線２１で示すように、コ
ンタクトスタートストップを１万回程度以上繰り返すと
、徐々に増加する。これにより、上記の場合と同様に記
録媒体が回転を開始するときに、ヘッドスライダが記録
媒体をこじって記録媒体を傷付けてしまったり、あるい
は記録媒体に吸着し、起動しなくなる、。
従って、第１０図に示す程度の表面あらさの程度では未
だ効果が得られないことが分かる、。
だ効果が得られないことが分かる、。
なお、本発明のへラドスライダは、磁気ディスク装置に
限らｆ光磁気ディスク装置等にも適用できる。
限らｆ光磁気ディスク装置等にも適用できる。
発明の詳細
な説明した様に、本発明によれば、電磁変換特性を良好
に維持しつつ耐摩耗性の向上と吸着力の軽減に効果が大
である、１その結果耐コンタクトスタートストップ特性
を向上させることが出来る。
に維持しつつ耐摩耗性の向上と吸着力の軽減に効果が大
である、１その結果耐コンタクトスタートストップ特性
を向上させることが出来る。
耐コンタクトスタートストップ特性が向上することによ
り、記録媒体の寿命を長くすることが出来る。
り、記録媒体の寿命を長くすることが出来る。
また、ビットは逆スパッタリングにより形成したもので
あるため、基本的にはへラドスライダの鏡面状態が保た
れているため低浮上化が可能となる。またへラドスライ
ダの材質が何であってもビットを形成することが出来、
ヘッドスライダは材質による制限を受けないという特長
を有する。
あるため、基本的にはへラドスライダの鏡面状態が保た
れているため低浮上化が可能となる。またへラドスライ
ダの材質が何であってもビットを形成することが出来、
ヘッドスライダは材質による制限を受けないという特長
を有する。
第１図は本発明のへラドスライダの一実施例の斜視図、
第２図は第１図中の摺接面のあらさを示す図、第３図は
第１図中の摺接面の電子顕微鏡写真を模写した図、第４
図は摺接面の形成［程を示す図、第５図は摺接面を概略
的に示す図、第６図は第１図のへラドスライダの耐コン
タクトスタートストップ特性を示す図、第７図は第１図
のへラドスライダを適用した磁気ヘッドを使用したとき
の７エイズシフトを摺接面を鏡面仕上げのままのヘッド
スライダを適用した磁気ヘッドを使用したときの７エイ
ズシ“ノドと比較して示す図、第８図は鏡面仕上げのま
まの摺接面のあらさを示す図、第９図は第８図に示すあ
らさの摺接面を有するヘッドスライダの耐コンタクトス
ター１〜ストツプ特性を示す図、第１０図は逆スパッタ
リングを多少行なったときの摺接面のあらさを示す図、
第１１図は、第１０図に示すあらさの摺接面を有するヘ
ッドスライダの耐コンタクトスタートストップ特性を示
す図である。。 １・・・ヘッドスライダ、２・・−摺接面、６．６−１
゜６、−２．６−３＋ ｓ−４・・・ビット、７・・・
鏡面。 特許出願人 ティアツク株式会社
第２図は第１図中の摺接面のあらさを示す図、第３図は
第１図中の摺接面の電子顕微鏡写真を模写した図、第４
図は摺接面の形成［程を示す図、第５図は摺接面を概略
的に示す図、第６図は第１図のへラドスライダの耐コン
タクトスタートストップ特性を示す図、第７図は第１図
のへラドスライダを適用した磁気ヘッドを使用したとき
の７エイズシフトを摺接面を鏡面仕上げのままのヘッド
スライダを適用した磁気ヘッドを使用したときの７エイ
ズシ“ノドと比較して示す図、第８図は鏡面仕上げのま
まの摺接面のあらさを示す図、第９図は第８図に示すあ
らさの摺接面を有するヘッドスライダの耐コンタクトス
ター１〜ストツプ特性を示す図、第１０図は逆スパッタ
リングを多少行なったときの摺接面のあらさを示す図、
第１１図は、第１０図に示すあらさの摺接面を有するヘ
ッドスライダの耐コンタクトスタートストップ特性を示
す図である。。 １・・・ヘッドスライダ、２・・−摺接面、６．６−１
゜６、−２．６−３＋ ｓ−４・・・ビット、７・・・
鏡面。 特許出願人 ティアツク株式会社
Claims (1)
- 記録媒体に対してコンタクトスタートストップを行ない
、該記録媒体の高速回転中は空気ベアリングの作用で浮
動するヘッドスライダにおいて、上記記録媒体に対向す
る摺接面を、鏡面仕上げした後に逆スパッタリングを施
して、深さが５０乃至１００Å程度のビットが無数に形
成された面としてなる構成のヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9779489A JPH02276074A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9779489A JPH02276074A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02276074A true JPH02276074A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14201716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9779489A Pending JPH02276074A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02276074A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833871A (en) * | 1994-07-21 | 1998-11-10 | Minebea Co., Ltd. | Method of finishing the surface of a floating type magnetic head |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114223A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of floating type thin film magnetic head |
| JPS61204384A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Nec Corp | 磁気ヘツドおよび加工方法 |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP9779489A patent/JPH02276074A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114223A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of floating type thin film magnetic head |
| JPS61204384A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Nec Corp | 磁気ヘツドおよび加工方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833871A (en) * | 1994-07-21 | 1998-11-10 | Minebea Co., Ltd. | Method of finishing the surface of a floating type magnetic head |
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