JPH0227622A - 超電導線条体の製造方法 - Google Patents
超電導線条体の製造方法Info
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- JPH0227622A JPH0227622A JP17842988A JP17842988A JPH0227622A JP H0227622 A JPH0227622 A JP H0227622A JP 17842988 A JP17842988 A JP 17842988A JP 17842988 A JP17842988 A JP 17842988A JP H0227622 A JPH0227622 A JP H0227622A
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- metal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はセラミック系超電導線条体の製造方法に関する
ものであり、特に加工性に乏しい酸化物等の化合物系超
電導線板条体(以下線条体と略す)の製造方法に関する
ものである。
ものであり、特に加工性に乏しい酸化物等の化合物系超
電導線板条体(以下線条体と略す)の製造方法に関する
ものである。
(従来技術)
最近、NbTi、NbZr、Nb、Pb等の合金及びN
b5Sn、Nb5AI2゜ Nb 、(AI2Ge)等の金属間化合物などよりも高
い臨界温度を発揮している。酸化物等のセラミック超電
導体が工業的に注目されている。これらの代表的なもの
として次のようなものがある。
b5Sn、Nb5AI2゜ Nb 、(AI2Ge)等の金属間化合物などよりも高
い臨界温度を発揮している。酸化物等のセラミック超電
導体が工業的に注目されている。これらの代表的なもの
として次のようなものがある。
■ (LaBa)zcuoa。
(LaSr)xcuOa等の
La、CuO,系。
■ LnBa*Cu5Oy (式中LnはCe。
Tb等を除く希土類)。
■ B 1−5r−Ca−Cu−0系、例えばBa5r
CaCuaOx、 Bi zsracaxcu冨0x (x=8)BizS
rzCaxCusOx (x=IO)■ T El −
B a −Ca −Cu−0系、例えばTl2iBai
CaCutOa Tn z Ba x Ca x Cu 30+。
CaCuaOx、 Bi zsracaxcu冨0x (x=8)BizS
rzCaxCusOx (x=IO)■ T El −
B a −Ca −Cu−0系、例えばTl2iBai
CaCutOa Tn z Ba x Ca x Cu 30+。
前記■〜■の中、■は臨界電流温度Tc30〜50にで
あるが■、■、■はより高いTc、特に液体窒素温度以
上が可能である。これらは第2種超電導体でありlO〜
200Tの大きな上部臨界磁場を有しているので、高磁
界マグネット等の用途に期待されている。
あるが■、■、■はより高いTc、特に液体窒素温度以
上が可能である。これらは第2種超電導体でありlO〜
200Tの大きな上部臨界磁場を有しているので、高磁
界マグネット等の用途に期待されている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら前記酸化物等のセラミック超電導体は加工
性に乏しく、電線、ケーブル、マグネットコイル導体や
永久磁石、シールド板等に必要な板状や線条体に成形す
ることが著しく困難である、これらの物質を蒸着、スパ
ッタリングなどのPVD法により線条基体上に析出させ
る方法が一部で試みられているが、この方法でも生産性
に乏しく、未だ有効な方法が見出されていな′い。
性に乏しく、電線、ケーブル、マグネットコイル導体や
永久磁石、シールド板等に必要な板状や線条体に成形す
ることが著しく困難である、これらの物質を蒸着、スパ
ッタリングなどのPVD法により線条基体上に析出させ
る方法が一部で試みられているが、この方法でも生産性
に乏しく、未だ有効な方法が見出されていな′い。
(発明の目的)
本発明の目的は以下の点にある。
■ セラミック超電導体の本来有する特性Tc、Hc+
Hcx等を有用に具現できる線条体の製造方法を実現す
ること。
Hcx等を有用に具現できる線条体の製造方法を実現す
ること。
■ 脆性なセラミック体を所望形状の長尺な線条体に加
工する方法を実現すること。
工する方法を実現すること。
■ 超電導電流を可及的に高い臨界電流密度(Jc)ま
で流すことができる線条体の製造方法を実現すること。
で流すことができる線条体の製造方法を実現すること。
■ 上記の超電導電流が「クエンチ」現象を起こすこと
なく実用上安定化される線条体の製造方法を実現するこ
と。
なく実用上安定化される線条体の製造方法を実現するこ
と。
■ 実用的な強度や変形歪にたいする耐性を有する線条
体の製造方法を実現すること。
体の製造方法を実現すること。
■ 製造加工や保管中、また機器に組み込まれた実用期
間に亙り、外部環境の水分、ガス、薬剤等と超電導物質
との反応変質が起こらず、長期間寿命が保証される線条
体の製造方法を実現すること。
間に亙り、外部環境の水分、ガス、薬剤等と超電導物質
との反応変質が起こらず、長期間寿命が保証される線条
体の製造方法を実現すること。
■ 上記の諸口的が工業的に経済的に実現できること。
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記の各種目的を実現するため以下のような構
成にしである。
成にしである。
請求項第1の超電導線条体の製造方法は、金属容器に超
電導体またはその原料混合物を充填してから、融点下3
00℃以内の温度にて一方向性加圧処理し1次いで伸延
加工を行なってから加熱処理するものである。
電導体またはその原料混合物を充填してから、融点下3
00℃以内の温度にて一方向性加圧処理し1次いで伸延
加工を行なってから加熱処理するものである。
請求項第2の超電導線条体の製造方法は、請求項1の加
圧処理し、伸延加工を施した成形品に加熱処理に先立っ
てスリット加工して細巾に切り取るようにしたものであ
る。
圧処理し、伸延加工を施した成形品に加熱処理に先立っ
てスリット加工して細巾に切り取るようにしたものであ
る。
請求項第3の超電導線条体の製造方法は、請求項1の方
法により伸延加工された線条体を、更に金属管体に充填
して再び伸延加工することを1回以上繰り返すようにし
たものである。
法により伸延加工された線条体を、更に金属管体に充填
して再び伸延加工することを1回以上繰り返すようにし
たものである。
本発明における超電導体は前記Cu複合酸化物等のセラ
ミック系超電導化合物、またはこれらの化合物の元素の
酸化物の混合物でもよい、この混合物としては1例えば
、YBaxCuzOyではYxOs、BaO1CuOの
量論比混合物である、これらは粉末のままでも、予め圧
縮成型加工し、焼結処理したものでもよい。
ミック系超電導化合物、またはこれらの化合物の元素の
酸化物の混合物でもよい、この混合物としては1例えば
、YBaxCuzOyではYxOs、BaO1CuOの
量論比混合物である、これらは粉末のままでも、予め圧
縮成型加工し、焼結処理したものでもよい。
本発明における金属容器lはAg、Pt、Au、Cu、
Ni、Fe、Mo、Ta等の金属か、これらの合金、例
えば、SUS、Fe−Ni、Cu−Niなどの容器であ
り、例えば、第1図aのような金属管体とか、第2図a
−dのような金属ブロック3に1または2以上の穴4
を開けたものである。
Ni、Fe、Mo、Ta等の金属か、これらの合金、例
えば、SUS、Fe−Ni、Cu−Niなどの容器であ
り、例えば、第1図aのような金属管体とか、第2図a
−dのような金属ブロック3に1または2以上の穴4
を開けたものである。
第2図の金属容器lは断面形状が横長形で、その長芋方
向に複数個の断面正方形の穴4が開けられたものである
。
向に複数個の断面正方形の穴4が開けられたものである
。
第2図すの金属容器lは正方形に近い金属ブロック3に
長平方向に複数個の断面正方形の穴4を多重に開けたも
のである。この場合は上下方向と左右方向にわけて複数
回の加圧処理を行なうことも有用である。
長平方向に複数個の断面正方形の穴4を多重に開けたも
のである。この場合は上下方向と左右方向にわけて複数
回の加圧処理を行なうことも有用である。
第2図Cの金属容器lは円形の金属ブロック3に長手方
向に複数個の断面円形の穴4を開けたものであり、第2
図dの金属容器1は円形の金属ブロック3に複数個の断
面亀甲形の穴4を開けたもことを、必要に応じて繰り返
して所望の寸法に仕のである。
向に複数個の断面円形の穴4を開けたものであり、第2
図dの金属容器1は円形の金属ブロック3に複数個の断
面亀甲形の穴4を開けたもことを、必要に応じて繰り返
して所望の寸法に仕のである。
第1図aに示す金属容器lは矩形断面の金属管体であり
、この金属容器lの場合は内部に上記のセラミック超電
導体またはその原料混合物2を入れ、必要に応じて開口
部を封してから高温加熱し、上下方向に加圧処理を加え
て同図すのように薄肉化する。この処理はホットフォー
ジングなどのプレスによっておこなわれるのが普通であ
る。加工率は5%以上5通常は10〜70%位である。
、この金属容器lの場合は内部に上記のセラミック超電
導体またはその原料混合物2を入れ、必要に応じて開口
部を封してから高温加熱し、上下方向に加圧処理を加え
て同図すのように薄肉化する。この処理はホットフォー
ジングなどのプレスによっておこなわれるのが普通であ
る。加工率は5%以上5通常は10〜70%位である。
加圧加工を複数回繰り返して行なうことも出来る。特に
、加圧方向を上下と左右に1回以上繰り返して行なうこ
とも有効である。
、加圧方向を上下と左右に1回以上繰り返して行なうこ
とも有効である。
本発明では上記のように加圧処理した後に1例えば第1
図Cのように、それらを更に薄肉化または細径化する方
向に伸延加工する。伸延加工としては圧延、押出し、引
き抜き、伸線、スェージングなどの方法が可能である。
図Cのように、それらを更に薄肉化または細径化する方
向に伸延加工する。伸延加工としては圧延、押出し、引
き抜き、伸線、スェージングなどの方法が可能である。
伸延加工時に、金属部に加工歪が蓄積して加工困難とな
った場合は、途中で低温焼鈍を行なってから再び伸延を
進める上げる。
った場合は、途中で低温焼鈍を行なってから再び伸延を
進める上げる。
次に、高温加熱処理により焼結反応を進行させ、セラミ
ックス、超電導体粒子間を接続する。この場合、融点に
近い高温まで短時間に焼結出来るし、また部分的に融解
が起きることも十分可能である。
ックス、超電導体粒子間を接続する。この場合、融点に
近い高温まで短時間に焼結出来るし、また部分的に融解
が起きることも十分可能である。
上記の焼結処理に先立って第1図dのごとく巾Wで縦方
向にスリット加工して細く切り分けることが多(の場合
有用である。切り分けられた細巾!I5の断面拡大図は
第1図eのようになる。
向にスリット加工して細く切り分けることが多(の場合
有用である。切り分けられた細巾!I5の断面拡大図は
第1図eのようになる。
第3図は第2図すの金属ブロック3の穴にセラミック超
電導体またはその原料混合物2を入れ、それを加圧処理
して薄クシたものである。
電導体またはその原料混合物2を入れ、それを加圧処理
して薄クシたものである。
第4図a、bは第3図の金属ブロック3をスリットして
細く切り分けた細巾線5の断面であり、いずれも超電導
体2の一部が表面に露出する。
細く切り分けた細巾線5の断面であり、いずれも超電導
体2の一部が表面に露出する。
スリット加工には通常の回転刃物などの外、レーザー等
を適用することもできる。
を適用することもできる。
焼結後は必要に応じて任意の処理を付加することができ
る0例えば前記の酸化物超電導体の多くは焼結温度より
低い温度に変態点があるので02存在下で低温の熱処理
が有効な場合が多い。
る0例えば前記の酸化物超電導体の多くは焼結温度より
低い温度に変態点があるので02存在下で低温の熱処理
が有効な場合が多い。
焼結後、金属などの導体やプラスチックなどの絶縁体で
被覆処理することも行なわれる。
被覆処理することも行なわれる。
(作用)
本発明における高温加圧処理の過程で臂開面またはせん
断面にそって変形し、結晶方位が配向される。この処理
は融点下300℃以内の高温範囲内において有効である
。これ以下の低温では配向効果が減じる。
断面にそって変形し、結晶方位が配向される。この処理
は融点下300℃以内の高温範囲内において有効である
。これ以下の低温では配向効果が減じる。
セラミック超電導体の多くは層状構造を有するので、加
圧方向が層と垂直なC軸と一致する傾向にある− YB
atCuzOyを例にとると、y>6.5で斜方晶、y
=s〜6.5で正方品で、超電導には前者、特にy四6
.8〜7.0が有用である。a、b面に平行なCu−0
面を超電導電流が流れる。実温によるとa、b面と平行
な方向が、垂直方向、即ちC軸方向のlO〜100倍程
度超電導電流を流し易い。
圧方向が層と垂直なC軸と一致する傾向にある− YB
atCuzOyを例にとると、y>6.5で斜方晶、y
=s〜6.5で正方品で、超電導には前者、特にy四6
.8〜7.0が有用である。a、b面に平行なCu−0
面を超電導電流が流れる。実温によるとa、b面と平行
な方向が、垂直方向、即ちC軸方向のlO〜100倍程
度超電導電流を流し易い。
上記の加圧処理により微密化され且つ配向化された後、
伸延工程においてこの傾向は更に進行される。臂開面を
中心に超電導体は微粉化され密度集合体となるので1次
の焼結工程で迅速な焼結反応が進み、且つ線条体の長手
方向にa、b面が配向して組織が得られる。
伸延工程においてこの傾向は更に進行される。臂開面を
中心に超電導体は微粉化され密度集合体となるので1次
の焼結工程で迅速な焼結反応が進み、且つ線条体の長手
方向にa、b面が配向して組織が得られる。
焼結温度は通常は750℃〜980℃である。
600℃前後以上の高温でYBatCuzOyは正方品
系に転移するので、焼結により酸素は欠乏する。低温処
理において(又は焼結工程の冷却時に1M素を吸収して
変態を起す0本発明では前記スリット加工により超電導
体の端部な表面に露出させるので、酸素の迅速な吸収が
可能になる。
系に転移するので、焼結により酸素は欠乏する。低温処
理において(又は焼結工程の冷却時に1M素を吸収して
変態を起す0本発明では前記スリット加工により超電導
体の端部な表面に露出させるので、酸素の迅速な吸収が
可能になる。
スリット加工すれば細線を大量に能率良く生産出来るば
かりでなく、セラミック超電導体に本質的な多くの効果
がもたらされる0例えば、超電導体2の一部を露出させ
てから焼結加熱処理することになるので、酸化物超電導
体の多(に不可欠な酸素lを最大限付加できる。 Y
B a z C11s Oyの例ではy≧6.8におい
てTc−90℃が可能である、又、超電導体2と金属ブ
ロック3の金属部6との熱膨張のマツチングが可能にな
る。
かりでなく、セラミック超電導体に本質的な多くの効果
がもたらされる0例えば、超電導体2の一部を露出させ
てから焼結加熱処理することになるので、酸化物超電導
体の多(に不可欠な酸素lを最大限付加できる。 Y
B a z C11s Oyの例ではy≧6.8におい
てTc−90℃が可能である、又、超電導体2と金属ブ
ロック3の金属部6との熱膨張のマツチングが可能にな
る。
スリット加工を行なわず全面が金属で被覆されている場
合は、金属ブロック3として、予めAg等の02透過性
の金属を用いる必要がある。Agは高価であるばかりで
なく機械的強度や融点に欠陥を有し、超電導体2と金属
ブロック3の金属部6との熱膨張のマツチングもできな
いという難点がある。
合は、金属ブロック3として、予めAg等の02透過性
の金属を用いる必要がある。Agは高価であるばかりで
なく機械的強度や融点に欠陥を有し、超電導体2と金属
ブロック3の金属部6との熱膨張のマツチングもできな
いという難点がある。
従来方法では0□透過性のあるAgを用いることが不可
欠であり、しかもAgは貴金属で高価であるばかりでな
く、i械的強度に乏しく、また融点が低いことも不利で
ある。しかし本発明ではより強い卑金属Cu−Ni等の
Cu合金、SO5等のFe合金、Fe−NiなどのNi
合金、Ta。
欠であり、しかもAgは貴金属で高価であるばかりでな
く、i械的強度に乏しく、また融点が低いことも不利で
ある。しかし本発明ではより強い卑金属Cu−Ni等の
Cu合金、SO5等のFe合金、Fe−NiなどのNi
合金、Ta。
Mo等を用いることができるので、そのような問題もな
い。
い。
Y系酸化物超電導体の例によるとAgは約2倍の熱膨張
率を有し、焼結加熱後の冷却において大きな歪を発生し
、脆弱なY系酸化物超電導体にクラッキングを起し易い
という問題もある。
率を有し、焼結加熱後の冷却において大きな歪を発生し
、脆弱なY系酸化物超電導体にクラッキングを起し易い
という問題もある。
本発明において酸化反応が問題となる場合はAg、Pt
、Pd、Auまたはこれらの合金を、穴4の内面にバリ
ヤー層として用いることもできる。
、Pd、Auまたはこれらの合金を、穴4の内面にバリ
ヤー層として用いることもできる。
本発明では金属容器1を用いることにより、金属部にお
いて発展した加工技術を適用できるばかりでな(、同容
器lは機械的な補強となり、且つ外部環境の遮蔽効果に
も有効である。
いて発展した加工技術を適用できるばかりでな(、同容
器lは機械的な補強となり、且つ外部環境の遮蔽効果に
も有効である。
(実施例1)
第1図aの金属管体1 (Ag−10%pd製、板厚さ
1.0mm、管部厚さ6 m m 、同幅25mm)に
、DyBazCusOy扮末2 (y〜6.9、粒径12u乎均)を充填率60%充填し
てから脱気し密封した。830℃で117cm”のプレ
ス加圧を行ない、3hr保持したところ、管厚が2.9
mmとなった。
1.0mm、管部厚さ6 m m 、同幅25mm)に
、DyBazCusOy扮末2 (y〜6.9、粒径12u乎均)を充填率60%充填し
てから脱気し密封した。830℃で117cm”のプレ
ス加圧を行ない、3hr保持したところ、管厚が2.9
mmとなった。
水晶の一部を取り出し、X線回折したところ。
Σ(OOR)/Σ(n、m、ε)=62%であった。
上記扮宋充填体のΣ(00g)/Σ(n、m。
R)=19%に比べ、C軸配向が進行した。
次に1本品を圧延加工して厚さ0.3mmまで仕上げ、
次に02気流中で860℃X6hrの加熱処理を行ない
、3℃/minで冷却した。
次に02気流中で860℃X6hrの加熱処理を行ない
、3℃/minで冷却した。
(実施例2)
上記実施例1において、圧延後、中2mmにスリット加
工して細片5を取り出し、それを同様に処理した。
工して細片5を取り出し、それを同様に処理した。
(比較例1)
上記実施例1において、加圧処理を行なうことなく、そ
のまま圧延以下の処理を行なった。
のまま圧延以下の処理を行なった。
(実施例3)
第2図すの金属ブロック3 (68x68mm。
Cu−3ONi製、穴4:lO10X10、金属部6
: 3mm、穴4の内面に20μのAgメツキ)の穴部
4に、Yo、s Ho、s Ba x Cu 3 Dy
(y〜6.8)の境結体(Σ(OOI2)/Σ(n。
: 3mm、穴4の内面に20μのAgメツキ)の穴部
4に、Yo、s Ho、s Ba x Cu 3 Dy
(y〜6.8)の境結体(Σ(OOI2)/Σ(n。
m、Q)=18%、密度81%)を挿入して脱気、封止
した6本品を810℃で37/cm”の加圧で上下左右
方向に各々1回ずつ、3hr処理し、48X48mmと
した(Σ(OOR)/Σ(n、m、 O2)=71%)
0本品を圧延加工し、途中で590℃X15分の加熱処
理を3回施して。
した6本品を810℃で37/cm”の加圧で上下左右
方向に各々1回ずつ、3hr処理し、48X48mmと
した(Σ(OOR)/Σ(n、m、 O2)=71%)
0本品を圧延加工し、途中で590℃X15分の加熱処
理を3回施して。
0.6mm厚さに仕上げた1両サイドを6mm。
中央を9mm巾にスリット加工して細片5とし、それを
02気流中、910℃で6hrs処理してから550℃
で3hr処理した。
02気流中、910℃で6hrs処理してから550℃
で3hr処理した。
(比較例2)
上記実施例3において、加圧加工を行なうことなく、か
つスリット加工せずにそのまま加熱処理した。
つスリット加工せずにそのまま加熱処理した。
(比較例3)
上記実施例3において、加圧加工を600℃で行なった
。超電導体の融点は950℃であり350℃低温である
。51X51mmにとどまり、Σ(OOI2)/Σ(n
、m、 O2)=33%であった、同様に加工処理した
。但し、スリット加工は両サイド6mm、中央9.7m
mとした。
。超電導体の融点は950℃であり350℃低温である
。51X51mmにとどまり、Σ(OOI2)/Σ(n
、m、 O2)=33%であった、同様に加工処理した
。但し、スリット加工は両サイド6mm、中央9.7m
mとした。
以上の線状体につき、常法によりTc及び77°にのJ
cを測定し、その結果を表1に示した。
cを測定し、その結果を表1に示した。
表−1
Tc (K) Jc (A/am”)実施例
1 92 11000比較例 1 91
12002 <4.2 0 表−1から明らかな通り1本発明の実施例品はいずれも
高い特性を示している。
1 92 11000比較例 1 91
12002 <4.2 0 表−1から明らかな通り1本発明の実施例品はいずれも
高い特性を示している。
加圧処理を施さない比較例1は実施例1に比べて、約1
/I OのJcにとどまった。
/I OのJcにとどまった。
実施例2が実施例1より高いJc、Tcを示したことは
、02の吸収がより充分に起こったためであった。
、02の吸収がより充分に起こったためであった。
実施例3に比べて比較例2は全く超電導性を示さなかっ
た。
た。
又、比較のため実施例3のスリット加工しない巾広材を
そのまま熱処理してもTc<4.2にであり、超電導性
を示さなかった。その理由は用いたCu−3ONiは0
□を不透過のため酸素が不足したためである。
そのまま熱処理してもTc<4.2にであり、超電導性
を示さなかった。その理由は用いたCu−3ONiは0
□を不透過のため酸素が不足したためである。
又、比較例3の加圧処理温度が不足した場合も配向が不
充分で、Jcに劣る。
充分で、Jcに劣る。
(発明の効果)
本発明の超電導線条体の製造方法によれば、加工性に乏
しいセラミックス系の超電導体でも能率的に線状化する
ことが出来、しかも得られる線状体は超電導性に優れて
いて、電線ケーブル、マグネットコイル導体等広範囲に
利用することが可能である。
しいセラミックス系の超電導体でも能率的に線状化する
ことが出来、しかも得られる線状体は超電導性に優れて
いて、電線ケーブル、マグネットコイル導体等広範囲に
利用することが可能である。
本発明の製造方法は特に最近注目されているセラミック
ス超電導体の線状化に極めて有益な方法であり、その工
業的価値は大きい。
ス超電導体の線状化に極めて有益な方法であり、その工
業的価値は大きい。
第1図a ”−eは本発明の製造工程例を示す断面図、
第2図a −dは本発明における異なる金属ブロックの
断面図、第3図は第2図すの金属ブロックを伸延加工し
た断面図、第4図a−bは第3図の金属ブロックをスリ
ット加工して得られる線状体の断面図である。 1は金属容器 2は超電導体またはその原料混合物 3は金属ブロック 4は穴 5は細片 6は金属部
第2図a −dは本発明における異なる金属ブロックの
断面図、第3図は第2図すの金属ブロックを伸延加工し
た断面図、第4図a−bは第3図の金属ブロックをスリ
ット加工して得られる線状体の断面図である。 1は金属容器 2は超電導体またはその原料混合物 3は金属ブロック 4は穴 5は細片 6は金属部
Claims (3)
- (1)金属容器に超電導体またはその原料混合物を充填
してから、融点下300℃以内の温度にて一方向性加圧
処理し、次いで伸延加工を行なってから加熱処理するこ
とを特徴とする超電導線条体の製造方法。 - (2)加熱処理に先立って加圧処理し、伸延加工を施し
た成形品をスリット加工して細巾に切り取るようにした
ことを特徴とする請求項第1の超電導線条体の製造方法
。 - (3)伸延加工された線条体を金属管体に充填して、再
び伸延加工することを1回以上繰り返すことを特徴とす
る請求項第1、第2の超電導線条体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17842988A JPH0227622A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 超電導線条体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17842988A JPH0227622A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 超電導線条体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227622A true JPH0227622A (ja) | 1990-01-30 |
Family
ID=16048355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17842988A Pending JPH0227622A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 超電導線条体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227622A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11004627B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-05-11 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
| US11862415B2 (en) | 2013-05-14 | 2024-01-02 | Fujitsu Component Limited | Keyswitch device and keyboard |
-
1988
- 1988-07-18 JP JP17842988A patent/JPH0227622A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11862415B2 (en) | 2013-05-14 | 2024-01-02 | Fujitsu Component Limited | Keyswitch device and keyboard |
| US11004627B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-05-11 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
| US11355293B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-06-07 | Fujitsu Component Limited | Reaction force generating member and key switch device |
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