JPH02280801A - 有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生
回収装置は、フロン等の有機溶剤を用いて各種物品の表
面に付着した油等の汚れを落とす洗浄器に組み込み、有
機溶剤蒸気が大気中に放散される事の防止を図ると同時
に、この有機溶剤が劣化する事の防止を図れる様にする
ものである。

（従来の技術） 金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表面に付着した油等の汚れを、フロン、トリ
クロルエチレン等の有機溶剤を洗浄液として使用する事
により洗浄する事が、殻的に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄器の１例に就いて、実願昭６３−５
４５９５号に示された装置を例にして説明する。

この洗浄器は、第２図に示す様に、上方が開口した有底
円筒状で、上端開口を気密に塞ぐ事の出来るＭｌを有す
る洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ３
を内蔵し、管５を通じて洗浄４ｇ２の内部に比較的温度
の高い有機溶剤の蒸気を送り込む蒸気供給手段４と、洗
浄槽２の内部に送り込む為の洗浄用有機溶削を貯溜した
貯溜槽６と、この貯溜槽６と洗浄イａ２とを結ぶ管７と
、Ｑ夜状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０と
有機溶剤の蒸気を凝縮させる為の冷却器１１とを組み合
わせる事で構成され、凝縮した有機溶剤を上記貯溜４Ｑ
　ｅに送る蒸留器１２と、この蒸留器１２と上記貯溜槽
６とを結ぶ管８と、この管８の途中に設けた送液ポンプ
９を上記両管７．８に組み合わせ、洗浄槽２と貯溜槽６
或は蒸留器１２との間で液状の有ｍ溶剤の給排を０行な
う給排手段２０と、洗浄槽２内に空気を送り込む吸気管
１６と、途中に真空ポンプ１３を設けた排出管１９の端
部にそれぞれ接続され、洗浄槽２から排出した有機溶剤
蒸気を、上記蒸留器１２に送り込む排蒸管１４及び洗浄
槽２がら空気を排出する排気管１５とから構成されてい
る。

上述の様に構成される先発明の洗浄器により、被洗浄物
１７の洗浄を行なう場合、Ｍｌを開いてこの被洗浄物１
７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記蓋１を閉じてか
ら真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて、この
洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄４ｆｆ　２内の空気を排出した後、給排手段２０を
構成する管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄イ
＃！２内に送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう。こ
の際、洗浄４ｉ！２の底面に固定した超音波振動子１８
．１８に通電する事により、洗浄槽２内の有機溶剤に超
音波振動を加え、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわ
れる様にする。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄槽２中の液状有機溶剤を、徐々に蒸留
器１２に送り込みつつ、蒸気供給手段４から洗浄槽２中
に有機溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄槽２中の被洗浄物１７は、その一部が液
状有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤
の蒸気が凝縮し、この凝縮分で被洗浄物１７の表面が洗
浄される、所謂蒸気洗浄が行なわれる。又、蒸留器１２
内に送り込まれた使用済みの汚れた有機溶剤は、この蒸
留器１２に設けたヒータ１０により加熱され、蒸発して
から、再び冷却器１１により凝縮液化される事によって
再生され、前記貯溜槽６に戻される。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄槽２中の液状有機溶剤を総
て蒸留器１２に送り込んだならば、排出管１９の途中に
設けた真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留して
いる有機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器１２
内に排出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４とを
通じて蒸留器１２内に排出された有機溶剤の蒸気は、こ
の蒸留器１２に設けた冷却器１１により凝縮液化されて
回収される。冷却器１１により回収し切れなかった有ｍ
溶剤の蒸気は、二次冷却器２１により回収され、更にこ
の二次冷却器２１によっても回収出来なかった、＠量の
有機溶剤蒸気は、活性炭フィルタ２２により捕集される
。

真空ポンプ１３の運転に伴なって、洗浄槽２内が所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力が大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２の蓋１を開き、洗浄作業が完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の様に構成され作用する、従来からの、
或は先発明に係る洗浄器に組み込まれた、溶剤の再生回
収装置である蒸留器１２に於いては、次に述べる様な不
都合を生じる。

即ち、洗浄工程の終了に伴なって、洗浄槽２から蒸留器
１２に送り込まれた有機溶剤がヒータ１０により加熱蒸
発した後、冷却器１１で凝縮された場合、蒸留器１２内
の圧力が低下する。

この様に蒸留器１２内の圧力が低下した場合、この蒸留
器１２内には、管２５を通じて外気が吸引されるが、こ
の外気中に含まれる水蒸気が、二次冷却器２１を通過す
る間に、或は蒸留器１２内の冷却器１１に触れる事で凝
縮し、水滴となる。

この様にして発生した水滴は、冷却器１１或は二次冷却
器２１により凝縮された有機溶剤に混入し、そのまま貯
溜槽６に送り込まれる為、この貯溜４ｉ！６内に溜めら
れ、洗浄作業時に洗浄槽２内に送り込まれる有機溶剤が
、水の混入により、次第に劣化してしまう。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装
置は、上述の様な不都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の有ａｍ剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装
置は、何れも、被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗
浄槽と、この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自
在な供給手段と、上記洗浄槽内に存在する気体を排出す
る真空ポンプとから成る、有機溶剤を使用する洗浄器に
組み込み、洗浄槽から排出された使用済みの有機溶剤を
送り込み再生すると共に、上記真空ポンプから吐出され
る気体を送り込む事により、この気体中に存在する有機
溶剤の蒸気を回収する為に利用する溶剤の再生回収装置
であって、液状の溶剤を貯溜する為の貯溜部と、この貯
溜部の底部に設けられ、貯溜部内に存在する液状の有機
溶剤を加熱蒸発させる為のヒータと、貯溜部の上方に設
けられた密閉空間内に配設され、有機溶剤を凝縮液化す
る冷却器と、この冷却器により凝縮した有機溶剤を受け
て、貯溜槽に送り出す受部とから構成されている。

そして、請求項１に記載された、有機溶剤を使用する洗
浄器用溶剤の再生回収装置の場合、内部に液状の有機溶
剤を貯溜した密閉容器と、この密閉容器内の有機溶剤を
、氷点下に冷却する冷却手段と、一端を大気に開放し、
他端を密閉容器内の有機溶剤中に開口させた吸入管と、
一端を密閉容器の上部空間に開口させ、他端を上記密閉
空間に開口させた連通管と、この連通管の途中に設けら
れ、密閉容器から密閉空間に向けてのみ気体を通過させ
る第一の逆止弁と、上記密閉容器から吐出された、有機
溶剤蒸気を含む気体を冷却し、この気体中の有機溶剤蒸
気を凝縮して、有機溶剤を回収する二次冷却器と、この
二次冷却器設置部分と外部空間とを連通する通路の途中
に設けられ、二次冷却器から外部空間に向けてのみ気体
を通過させる第二の逆止弁とを設けている。

更に、請求項３に記載された、有機溶剤を使用する洗浄
器用溶剤の再生回収装置の場合、内部に液状の有機溶剤
を貯溜した第一の密閉容器と、この第一の密閉容器内の
有機溶剤を、氷点下に冷却する第一の冷却手段と、一端
を大気に開放し、他端を第一の密閉容器内の有機溶剤中
に開口させた吸入管と、一端を第一の密閉容器の上部空
間に開口させ、他端を上記密閉空間に開口させた、第一
の連通管と、この第一の連通管の途中に設けられ、第一
の密閉容器から密閉空間に向けてのみ気体を通過させる
、第一の逆止弁と、内部に液状の有機溶剤を貯溜した第
二の密閉容器と、この第二の密閉容器内の有機溶剤を、
氷点下に冷却する第二の冷却手段と、一端を大気に開放
し、他端を第二の密閉容器内の上部空間に開口させた吐
出管と、一端を第二の密閉容器内の有機溶剤中に開口さ
せ、他端を上記密閉空間に開口させた、第二の連通管と
、この第二の連通管の途中に設けられ、密閉空間から第
二の密閉容器に向けてのみ気体を通過させる、第二の逆
止弁とを設けている。

（作　用） 上述の様に構成される、本発明の有機溶剤を使用する洗
浄器用溶剤の再生回収装置により、使用済みの有機溶剤
を再生したり、或は有機溶剤蒸気を回収したりする場合
の作用自体は、前述した従来の、或は先発明の洗浄器に
組み込まれた蒸留器と同様である。

但し、本発明の有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生
回収装置の場合、密閉空間内に存在する有機溶剤蒸気が
冷却器により凝縮液化する事で、上記密閉空間内の圧力
が低下した場合、外気が、吸入管と、（第一の）ｖｊ閉
容器内に貯溜され、（第一の）冷却手段により氷点下に
冷却された有機溶剤中と、途中に第一の逆止弁を設けた
（第一の）連通管とを通過して、上記密閉空間内に吸引
される。

この間に外気は、氷点下（例えば−２０’Ｃ程度）に冷
却された有機溶剤中を通過する事で十分に冷却され、こ
の外気中に含まれる水蒸気が凍結する。

この結果、（第一の）連通管を通じて密閉空間に送り込
まれ、この密閉空間の圧力を上昇させる空気は、水蒸気
を除かれた、乾燥したものとなる。

従って、密閉空間に吸引された空気中の水蒸気が冷却器
により凝縮する事がなくなり、受部に流下する有機溶剤
中に水が混入する事がなくなる為、洗浄用の有機溶剤が
、水の混入により劣化する事がなくなる。

使用済みの有機溶剤を貯溜部に送り込んだり、或は洗浄
槽内に存在する有機溶剤蒸気を密閉空間に送り込む事に
より、この密閉空間の圧力が上昇した場合には、密閉空
間内に存在する気体を外部に排出する事で、上記密閉空
間内の圧力を低下させるが、上記気体中に含まれる有機
溶剤蒸気は、密閉空間内に配置された冷却器により凝縮
する事で捕集され、この冷却器により捕集し切れなかっ
たものは、二次冷却器（請求項１の場合）、或は第二の
密閉容器内に存在する、氷点下に冷却された有機溶剤（
請求項３の場合）中を通過する間に凝縮液化して、回収
される。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

第１図は本発明の第一実施例として、請求項１に記載さ
れた発明の実施例を示している。

第１図に於いて２６は、回収再生装置の主体となる蒸留
器１２の一部を成し、フロン等の液状の有機溶剤を貯溜
する貯溜部で、この貯溜部２６の底部にはヒータ１０を
設けて、この貯溜部２６内に存在する液状の有機溶剤を
、加熱蒸発自在としている。

一方、貯溜部２６の上方に設けられた密閉空間２７内に
は、冷凍機のエバポレータの如く、有機溶剤を凝縮液化
する為の冷却器１１を設けている。冷却パイプをコイル
状に巻回する事で構成された冷却器１１の下方には、受
部２８を設ける事で、上記冷却器１１により凝縮液化さ
れて下方に滴下する有機溶剤を、捕集出来る様にしてい
る。

この受部２８と貯溜槽６（第３図）とは、戻し管２９に
より連通させて、蒸留器１２で再生、回収された有機溶
剤を貯溜槽６に戻せる様にしている。

３０は密閉容器で、この密閉容器３０の内部には、洗浄
作業に使用するのと同種の液状の有機溶剤３１を貯溜し
ている。上記密閉容器３０の底部には、冷却手段である
、冷凍機３２の一部を成すエバポレータ３３を配設する
事で、この密閉容器３０内の有機溶剤３１を、−２０℃
程度と、水を極短時間で凍らせる事の出来る程度に低い
、氷点下の温度に冷却している。

３４は吸入管で、この吸入管３４の一端は大気に開放し
ており、他端は密閉容器３０内の有機溶剤３１中に浸漬
した多孔部材３５（多孔管、或は多孔部材）に接続して
いる。

又、３６は連通管で、この連通管３６の一端は上記密閉
容器３０の上部空間３７に開口しており、他端は前記蒸
留器１２上部の密閉空間２７に開口している。この連通
管３６の途中には、密閉容器３０から蒸留器１２上部の
密閉空間２７に向けてのみ気体を通過させる第一の逆止
弁３８を設けている。

更に、３９は、上記密閉空間２７内の圧力が上昇した場
合に、この密閉空間２７内に存在する気体の一部を外部
に逃がす為の排出管で、この排出管３９の途中には、密
閉空間２７側の一端から順に、有機溶剤蒸気を含む気体
を冷却し、この気体中の有機溶剤蒸気を凝縮して、有機
溶剤を回収する二次冷却器２１と、二次冷却器２１から
外部空間に向けてのみ気体を通過させる第二の逆止弁４
０とを設けている。尚、上記排出管３９の他端は、第１
図に示す様に、そのまま大気中に開放しても、或は第３
図に示す様に、活性炭フィルタ２２を介して、大気中に
開放しても良い。

上述の様に構成される、本発明の有機溶剤を使用する洗
浄器用溶剤の再生回収装置により、使用済みの有機溶剤
を再生したり、或は有機溶剤蒸気を回収したりする場合
の作用自体は、前述した従来の、或は先発明の洗浄器に
組み込まれた蒸留器１２と同様である。

即ち、洗浄作業に使用した後で、被洗浄物に付着した汚
れを含んだ有機溶剤は、管８を通じて貯溜部２６内に送
り込まれ、ヒータｌＯによる加熱蒸発、冷却器１１によ
る凝縮液化を経て、汚れを取り除かれ、再生される。

又、洗浄槽２内に残留し、真空ポンプ１３を通じて蒸留
器１２内に送り込まれる有機溶剤蒸気は、排蒸管１４、
管８を介して密閉空間２７内に送り込まれ、この密閉空
間２７内に配設された冷却器１１により凝縮されて、回
収される。

但し、本発明の有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生
回収装置の場合、密閉空間内に存在する有機溶剤蒸気が
冷却器により凝縮液化する事で、上記密閉空間２７内の
圧力が低下した場合、外気が、吸入管３４から密閉空間
２７に向けて吸い込まれる。この様に、吸入管３４から
密閉空間３４に向けて吸い込まれる外気は、先ず吸入管
３４の端部に接続した多孔部材３５から、密閉容器３０
内に貯溜された有機溶剤３１中に、細かい気泡となって
送り込まれる。

この有機溶剤３１は、冷凍機３２の一部を成すエバポレ
ータ３３により、−２０℃程度と、十分に低い氷点下の
温度に冷却されている為、細かい気泡となって送り込ま
れた外気は、有機溶剤３１中を通過する事で十分に冷却
され、この外気中に含まれる水蒸気が凍結する。そして
この凍結により生じた氷は、そのまま密閉容器３０内に
留まる。

この結果、密閉容器３０の上部空間３７に存在する空気
は、水蒸気の含有量が極少ない、乾燥したものとなる。

この上部空間３７内に存在する空気は、更に、途中に第
一の逆止弁３８を設けた連通管３６を通じて、蒸留器１
２上部の密閉空間２７に送り込まれ、この密閉空間２７
の圧力を上昇させる（大気圧に戻す）。

上述の様に、蒸留器１２上部の密閉空間２７内に送り込
まれる空気は、水蒸気を除かれた、乾燥したものとなる
為、密閉空間２７に吸引された空気中の水蒸気が冷却器
１１により凝縮する事がなくなり、上記冷却器１１から
受部２８に流下する有機溶剤中に水が混入する事がなく
なる為、洗浄用の有機溶剤が、水の混入により劣化する
事がなくなる。

又、使用済みの有機溶剤を貯溜部２６に送り込んだり、
或は洗浄槽２内に存在する有機溶剤蒸気を密閉空間２７
に送り込む事により、この密閉空間２７の圧力が上昇し
た場合には、排出管３９を通じ、密閉空間２７内に存在
する気体を外部に排出する事で、上記密閉空間２７内の
圧力を低下させる（大気圧に迄下げる）。

この様に密閉空間２７内の圧力を低下させる際、上記気
体中に含まれる有機溶剤蒸気は、密閉空間２７内に配置
された冷却器１１により凝縮する事で捕集され、多量の
有機溶剤蒸気が、上記排出管３９を通じて外部に放散さ
れる事はない。但し、上記冷却器１１により捕集し切れ
なかったものは、二次冷却器２１を通過する間に凝縮液
化して、回収される。

但し、密閉空間２７内に配設した冷却器１１の能力が十
分であれば、二次冷却器２１は省略しても良い。

次に、第２図は本発明の第二実施例として、請求項３に
記載された発明の実施例を示している。

本実施例の場合、密閉空間２７内の圧力が低下した場合
に、低温の有機溶剤を介して外気を吸い込むだけでなく
、上昇した場合にも、低温の有機溶剤を介して、気体を
排出する様にしている。

即ち、本実施例の場合、内部に液状の有機溶剤３１を貯
溜した第一の密閉容器４１内の有機溶剤３１を、第一の
冷却手段である、冷凍機３２を構成するエバポレータ３
３により、−２０℃程度の、十分に低い氷点下の温度に
冷却自在とすると共に、一端を大気に開放した吸入管３
４の他端を、上記有機溶剤３１中に浸漬した多孔部材３
５に接続している。又、一端を第一の密閉容器４１の上
部空間３７に開口させ、他端を上記密閉空間２７に開口
させた、第一の連通管４２の途中に、第一の密閉容器４
１から密閉空間２７に向けてのみ気体を通過させる、第
一の逆止弁３８を設けている。

上記構成は、前述した第一実施例の場合と同じであるが
、本実施例の場合は、第一実施例に於ける二次冷却器２
１に代えて、内部に液状の有機溶剤３１を貯溜した第二
の密閉容器４３を設けている。

この第二の密閉容器４３内の有機溶剤３１は、第二の冷
却手段である、冷凍機４４のエバポレータ４５により、
やはり−２０℃程度の、十分に低い氷点下の温度に冷却
自在としている。

上記第二の密閉容器４３の上部空間４６には、一端を大
気に開放した吐出管４７の他端を開口させており、第二
の密閉容器４３内の有機溶剤３１中に浸漬した多孔部材
４８に一端を接続した、第二の連通管４９の他端を、蒸
留器１２上部の密閉空間２７に開口させている。

上記第二の連通管４９の途中には、密閉空間２７から第
二の密閉容器４３に向けてのみ気体を通過させる、第二
の逆止弁５０を設けている。

上述の様に構成される、第二実施例の、有機溶剤を使用
する洗浄器用溶剤の再生回収装置により、使用済みの有
機溶剤を再生したり、或は有機溶剤蒸気を回収したりす
る場合の作用自体は、前述した従来の、或は先発明の洗
浄器に組み込まれた蒸留器１２と同様であり、密閉空間
２７内に存在する有機溶剤蒸気が冷却器１１により凝縮
液化する事で、上記密閉空間２７内の圧力が低下した場
合に、蒸留器１２上部の密閉空間２７内に送り込まれる
空気を、水蒸気を除かれた、乾燥したものとし、密閉空
間２７に吸引された空気中の水蒸気が冷却器１１により
凝縮する事をなくして、洗浄用の有機溶剤が、水の混入
により劣化する事がなくす事は、前述した第一実施例の
場合と同様である。

但し、本実施例の場合、使用済みの有機溶剤を貯溜部２
６に送り込んだり、或は洗浄槽２内に存在する有機溶剤
蒸気を密閉空間２７に送り込む事により、この密閉空間
２７の圧力が上昇した場合には、第二の連通管４９、第
二の密閉容器４３、吐出管４７を通じて、密閉空間２７
内に存在する気体を外部に排出する事で、上記密閉空間
２７内の圧力を低下させる。

この様に密閉空間２７内の圧力を低下させる際、上記気
体中に含まれる有機溶剤蒸気は、密閉空間２７内に配置
された冷却器１１により凝縮する事で捕集され、多くの
有機溶剤蒸気が、上記吐出管４７を通じて外部に放散さ
れる事はないが、上記冷却器１１により捕集し切れなか
またものは、第二の密閉容器４３内に貯溜された低温の
有機溶剤３１を通過する間に凝縮液化して、この第二の
密閉容器４３内に捕集される。

尚、密閉容器３０、第一　第二の密閉容器４１．４３内
に貯溜された有機溶剤３１は、それぞれ−２０℃程度と
、相当に低い温度に冷却されている為、殆ど蒸発する事
はなく、各密閉容器３０．４１．４３内の有機溶剤３１
が大気中に放牧される事は、殆どない。

又、第一の密閉容器４１と第二の密閉容器４３、及び冷
凍機３２．４４、エバポレータ３３．４５は、それぞれ
独立に設けなくても、単一の密閉容器に、第一、第二の
連通管４２．４９と吸入管３４及び吐出管４７とを設け
る事も出来る。但し、この場合は、単一の密閉容器の上
部に隔壁を設ける事で、この単一の密閉容器の上部空間
を二つの室に仕切り、一方の室に吸入管３４を、他方の
室に吐出管４７を、それぞれ開口させる。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装
置は、以上に述べた通り構成され作用する為、大気中に
放散される有機溶剤の量を減らすと共に、有機溶剤中に
水が混入して、この有ｍ溶剤が劣化する事を、有効に防
止する事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の再生回収装置の第一実施例を示す略縦
断面図、第２図は同第二実施例を示す略縦断面図、第３
図は洗浄器の１例を示す略縦断面図である。 １：Ｍ、２：洗浄槽、３：ヒータ、４：蒸気供給手段、
５：管、６：貯溜槽、７．８；管、９：送液ポンプ、１
０：ヒータ、１１：冷却器、１２：蒸留器、１３：真空
ポンプ、１４；排蒸管、１５：排気管、工６：吸気管、
１７：被洗浄物、１８：超音波振動子、１９：排出管、
２０：給排手段、２１；二次冷却器、２２：活性炭フィ
ルタ、２３．２４：弁、２５：管、２６：貯溜部、２７
：密閉空間、２８：受部、２９：戻し管、３０：密閉容
器、３１：有機溶剤、３２：冷凍機、３３：エバポレー
タ、３４：吸入管、３５：多孔部材、３６：連通管、３
７：上部空間、３８：第一の逆止弁、３９；排出管、４
０：第二の逆止弁、４１：第一の密閉容器、４２．第一
の連通管、４３：第二の密閉容器、４４：冷凍機、４５
：エバポレータ、４６：上部空間、４７：吐出管、４８
多孔部材、４９：第二の連通管、５０：第二の逆止弁。 特 許 出 願 人 株式会社千代田製作所 代 理 人 小 山 欽 造 （ばか１名） シ５ 第 図 （【郭９ＦＩＩｌｌ） 第 図 （＠ｒＴ々葵Ｉり ！コ（ＵＰ六７）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
   この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
   手段と、上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポ
   ンプとから成る、有機溶剤を使用する洗浄器に組み込み
   、洗浄槽から排出された使用済みの有機溶剤を送り込み
   再生すると共に、上記真空ポンプから吐出される気体を
   送り込む事により、この気体中に存在する有機溶剤の蒸
   気を回収する溶剤の再生回収装置であつて、液状の有機
   溶剤を貯溜する為の貯溜部と、この貯溜部の底部に設け
   られ、貯溜部内に存在する液状の有機溶剤を加熱蒸発さ
   せる為のヒータと、貯溜部の上方に設けられた密閉空間
   内に配設され、有機溶剤を凝縮液化する冷却器と、この
   冷却器により凝縮した有機溶剤を受けて、貯溜槽に送り
   出す受部と、内部に液状の有機溶剤を貯溜した密閉容器
   と、この密閉容器内の有機溶剤を、氷点下に冷却する冷
   却手段と、一端を大気に開放し、他端を密閉容器内の有
   機溶剤中に開口させた吸入管と、一端を密閉容器の上部
   空間に開口させ、他端を上記密閉空間に開口させた連通
   管と、この連通管の途中に設けられ、密閉容器から密閉
   空間に向けてのみ気体を通過させる第一の逆止弁と、上
   記密閉空間から吐出された、有機溶剤蒸気を含む気体を
   冷却し、この気体中の有機溶剤蒸気を凝縮して、有機溶
   剤を回収する二次冷却器と、この二次冷却器設置部分と
   外部空間とを連通する通路の途中に設けられ、二次冷却
   器から外部空間に向けてのみ気体を通過させる第二の逆
   止弁とから成る、有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再
   生回収装置。
2. （２）二次冷却器を省略した、請求項１に記載の有機溶
   剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装置。
3. （３）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
   この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
   手段と、上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポ
   ンプとから成る、有機溶剤を使用する洗浄器に組み込み
   、洗浄槽から排出された使用済みの有機溶剤を送り込み
   再生すると共に、上記真空ポンプから吐出される気体を
   送り込む事により、この気体中に存在する有機溶剤の蒸
   気を回収する溶剤の再生回収装置であって、液状の有機
   溶剤を貯溜する為の貯溜部と、この貯溜部の底部に設け
   られ、貯溜部内に存在する液状の有機溶剤を加熱蒸発さ
   せる為のヒータと、貯溜部の上方に設けられた密閉空間
   内に配設され、有機溶剤を凝縮液化する冷却器と、この
   冷却器により凝縮した有機溶剤を受けて、貯溜槽に送り
   出す受部と、内部に液状の有機溶剤を貯溜した第一の密
   閉容器と、この第一の密閉容器内の有機溶剤を、氷点下
   に冷却する第一の冷却手段と、一端を大気に開放し、他
   端を第一の密閉容器内の有機溶剤中に開口させた吸入管
   と、一端を第一の密閉容器の上部空間に開口させ、他端
   を上記密閉空間に開口させた、第一の連通管と、この第
   一の連通管の途中に設けられ、第一の密閉容器から密閉
   空間に向けてのみ気体を通過させる、第一の逆止弁と、
   内部に液状の有機溶剤を貯溜した第二の密閉容器と、こ
   の第二の密閉容器内の有機溶剤を、氷点下に冷却する第
   二の冷却手段と、一端を大気に開放し、他端を第二の密
   閉容器内の上部空間に開口させた吐出管と、一端を第二
   の密閉容器内の有機溶剤中に開口させ、他端を上記密閉
   空間に開口させた、第二の連通管と、この第二の連通管
   の途中に設けられ、密閉空間から第二の密閉容器に向け
   てのみ気体を通過させる、第二の逆止弁とから成る、有
   機溶剤を使用する洗浄器用溶剤の再生回収装置。
4. （４）第一の密閉容器と第二の密閉容器とが同一の容器
   であり、第一の冷却手段と第二の冷却手段とが同一の冷
   却手段であり、単一の密閉容器の上部空間に、吸入管の
   開口部と吐出管の開口部とを隔てる隔壁が設けられてい
   る、請求項３に記載の有機溶剤を使用する洗浄器用溶剤
   の再生回収装置。