JPH02280879A - 有機溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ交換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ
交換方法は、フロン等の有機溶剤を用いて各種物品の表
面に付着した油等の汚れを落とす洗浄装置に組み込んだ
フィルタを交換する場合に利用するもので、使用済みの
フィルタに有機溶剤が付着したままになるのを防止する
事により、有機溶剤が大気中に放散されるのを防止する
ものである。

（従来の技術） 金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表面に付着した油等の汚れを、フロン、トリ
クロルエチレン等の有機溶剤を洗浄液として使用する事
により洗浄する事が、般的に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄装置の１例に就いて、実願昭６３−
５４５９５号に示された装置を例にして説明する。

この洗浄装置は、第２図に示す様に、上方が開口した有
底円筒状で、上端開口を気密に塞ぐ事の出来るＭｌを有
する洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ
３を内蔵し、管５を通じて洗浄槽２の内部に有機溶剤の
蒸気を送り込む蒸気供給手段４と、洗浄槽２の内部に送
り込む為の洗浄用有機溶剤を貯溜した貯溜槽６と、この
貯溜槽６と洗浄槽２とを結ぶ２本の管７．８及び一方の
管８の途中に設けた送液ポンプ９から成り、両槽６．２
の間で液状の有機溶剤の給排を行なう給排手段２０と、
液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０と有機
溶剤の蒸気を凝縮させる為の冷却器１１とを組み合わせ
、凝縮した有機溶剤を上記貯溜槽６に送る蒸留器１２と
、洗浄槽２内に空気を送り込む吸気管１６と、途中に真
空ポンプ１３を設けた排出管１９の端部にそれぞれ接続
され、洗浄槽２から排出した有機溶剤蒸気を上記蒸留器
１２に送り込む排蒸管１４、及び洗浄槽２がら空気を排
出する排気管１５とから構成されている。

上述の様に構成される先発明の洗浄装置により３、被洗
浄物１７の洗浄を行なう場合、蓋１を開いて、この被洗
浄物１７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記蓋１を閉
じてから真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて
、この洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄槽２内の空気を排出した後、給排手段２０を構成す
る管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄槽２内に
送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう。この際、洗浄
槽２の底面に固定した超音波振動子１８．１８に通電す
る事により、洗浄槽２内の有機溶剤に超音波振動を加え
、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわれる様にする。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄槽２中の液状有機溶剤を、徐々に貯溜
槽６に戻しつつ、蒸気供給手段４から洗浄槽２中に有機
溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄［２中の被洗浄物１７は、その一部が液
状有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤
の蒸気が凝縮し、この凝縮分で被洗浄物１７の表面が洗
浄される、所謂蒸気洗浄が行なわれる。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄槽２中の液状有機溶剤を総
て貯溜［６に戻したならば、排出管１９の途中に設けた
真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留している有
機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器１２内に排
出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４とを通じて
蒸留器１２に排出された有機溶剤の蒸気は、この蒸留器
１２に設けた冷却器１１により凝縮液化されて回収され
る。冷却器１１により回収し切れなかつ゛た有機溶剤の
蒸気は、二次冷却器２１により回収され、更にこの二次
冷却器２１によっても回収出来なかった、微量の有機溶
剤蒸気は、活性炭フィルタ２２により捕集される。

真空ポンプ１３の運転に伴なって、洗浄槽２内が所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力が大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２のＭｌを開き、洗浄作業が完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

ところで、洗浄槽２内で被洗浄物１７を洗浄する為に供
された後、送液ポンプ９により貯溜槽６に向けて、或は
本発明の実施例を示した第１図に示す様に、蒸留器１２
に向けて送られる有機溶剤中には、被洗浄物１７に付着
していた汚れが混入する事が避けられない。

次の洗浄作業を行なう場合に、洗浄槽２内に送り込まれ
る有機溶剤中に汚れが混入しない様にする為（使用済み
の有機溶剤を貯溜槽６に送る場合）、或は蒸留器１２の
底部に次第に汚れが溜る事のない様にする為（使用済み
の有機溶剤を蒸留器１２に送る場合）、更には送液ポン
プ９の故障を防止する為には、管８の途中で、洗浄槽２
と送液ポンプ９との開位置にフィルタユニットを設け、
使用済みの有機溶剤中に混入した汚れを取り除く事が効
果がある。

この様なフィルタユニットとしては、例えば第３図に示
す様な、市販されているユニットを使用する。この第３
図に示したフィルタユニット２５は、有底円筒状の中空
ケース２６内に円筒状のフィルタ２７．２７を収納自在
とし、中空ケース２６の頂部開口を塞ぐ蓋体２８に送り
込み口２９と送り出し口３０とを設けたものである。

有機溶剤中に混入した汚れを濾過する場合には、送り込
み口２９から、中空ケース２６の内周面とフィルタ２７
．２７の外周面との間に存在する空間３１内に有機溶剤
を送り込み、フィルタ２７．２７の内側に存在する空間
３２内の有機溶剤を、送り出し口３０から取り出す。こ
の結果、有機溶剤中に混入した汚れは、各フィルタ２７
．２７に捕集される。使用を繰り返す事により、フィル
タ２７．２７が汚れた場合、蓋体２８を開き、古いフィ
ルタを取り出して、新しいフィルタと交換する。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の様に送液ポンプ９の前にフィルタユニ
ットを設ける事に伴ない、次に述べる様な不都合を生じ
る。

即ち、中空ケース２６内に収納したフィルタ２７．２７
は、多孔質材により造られている為、使用済みのフィル
タ２７．２７には、比較的多量の有機溶剤が含浸したま
まの状態となる。

この様に、多くの有機溶剤を含浸したフィルタ２７．２
７をそのまま取り出して廃棄した場合、フィルタ２７．
２７に付着した有機溶剤が蒸発して大気中に放散し、オ
ゾン層破壊等、環境破壊の原因となってしまう。

又、蒸留器１２内で空気中の水蒸気が凝縮する事で生じ
た水が洗浄槽２内に送り込まれない様にする為、蒸留器
１２と貯溜槽６との間に、シリカゲルやそりキュラシー
ブス等の、乾燥用フィルタを内蔵したフィルタユニット
を設ける事も考えられるが、この様な乾燥用フィルタを
交換する際にも、同様の問題が生じる。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ交換方
法は、上述の様な不都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ交換方
法は、被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
手段と、洗浄作業後に、上記洗浄槽から有機溶剤を排出
する為の排出手段と、送り込み口と送り出し口とを有す
る中空ケース内にフィルタを内蔵して成り、上記有機溶
剤が通過する管路の途中に設けたフィルタユニットと、
上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポンプと、
この真空ポンプから吐出される気体を送り込み、この気
体中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤回収手段
とから成る有機溶剤を、使用する洗浄装置の、フィルタ
を交換する場合に利用するものである。

この様な場合に利用する、本発明の交換方法に於いては
、フィルタユニットの中空ケース内から液状の有機溶剤
を排出した後、上記中空ケース内を上記真空ポンプの吸
入口にのみ通じさせた状態で、この真空ポンプを運転し
、中空ケース内のフィルタに付着した有機溶剤を蒸発さ
せてから上記溶剤回収手段に送り込み、その後、中空ケ
ース内に空気を吸入してからこの中空ケースを開いて、
フィルタ交換作業を行なう。

（作　用） 上述の様に構成される、本発明の有機溶剤を使用する洗
浄装置のフィルタ交換方法により、フィルタの交換作業
を行なうと、真空ポンプの運転に伴ない、中空ケース内
のフィルタに付着した有機溶剤が蒸発する為、多量の有
機溶剤が付着したままのフィルタを廃棄する事がなくな
る。

フィルタに付着した有機溶剤が蒸発する事で生じた、有
機溶剤蒸気は、真空ポンプを通じて溶剤回収手段に送り
込まれ、回収される為、フィルタに付着していた有機溶
剤が、大気中に放散される事はなくなる。

フィルタに付着していた有機溶剤を蒸発させた後、中空
ケース内に空気を吸入すれば、この中空ケース内の圧力
が大気圧になる為、従来と同様の作業により、この中空
ケースを開いて、フィルタ交換作業を行なう事が出来る
。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

第１図は、本発明の交換方法を実施する為の洗浄装置の
１実施例を示す、略縦断面図である。

前述した、先発明に係る洗浄装置と同等部分には同一符
合を付して、重複する説明を省略し、本発明の交換方法
を実施する場合に関係のある部分に就いて説明する。

洗浄作業に供される、フロン等、液状の有機溶剤は、貯
溜槽６から管７を通じて洗浄槽２内に送り込まれ、使用
済みの汚れた有機溶剤は、管８を通じて蒸留＠１２に送
られ、この蒸留器１２で再生されてから、上記貯溜槽２
に戻される様にしている。

使用済みの有機溶剤を、洗浄槽２から蒸留器１２に送る
為の管８の途中には、洗浄槽２の側から順に、電磁式に
開閉する弁２４と、フィルタユニット２５と、電磁式に
開閉する弁３３と、送液ポンプ９とを設けている。

又、洗浄槽２内に存在する気体を排出する為の排出管１
９及び排蒸管１４の途中には、やはり洗浄槽２の側から
順に、電磁式に開閉する弁３４と、真空ポンプ１３と、
電磁式に開閉する弁３５とを設けている。

上記管８の途中で、弁２４とフィルタユニット２５との
間部分と、排出管１９の途中で、弁３４と真空ポンプ１
３との間部分とは、途中に電磁式に開閉する弁３６を設
けた管３７により、互いに連通自在とされている。

一方、蒸気供給手段４と洗浄槽２とを結ぶ管５の途中で
、蒸気供給手段４と弁２３との間部分に一端を接続し、
途中に電磁式に開閉する弁３８を設けた管３９の他端は
、前記管８の途中で、弁２４とフィルタユニット２５と
の間部分に接続している。

上述の様に構成される有機溶剤を使用する洗浄装置によ
り、各種被洗浄物１７を洗浄する際の作用自体は、前述
した先発明の洗浄装置とほぼ同様であり、使用済みの有
機溶剤は、フィルタユニット２５、送液ポンプ９を通過
して蒸留器１２に送られ、この蒸留器１２で再生されて
から、貯溜槽６に戻される。

洗浄作業を繰り返し行なう事により汚れたフィルタ２７
を交換する場合、先ず、弁３３．３８を開き、蒸気供給
手段４から高温の有機溶剤蒸気をフィルタユニット２５
の中空ケース２６内に送り込む事で、この中空ケース２
６内に残留している液状の有機溶剤を、押し出す様にし
て排出すると同時に、中空ケース２６内に収納されたフ
ィルタ２７を加温する。この際、必要に応じて送液ポン
プ９を運転する。

中空ケース２６内からの液状の有機溶剤の排出と、フィ
ルタ２７の加温とを終了したならば、フィルタユニット
２５に通じる管の途中に設けた５個の弁の内、弁２４．
３３．３４．３８を閉じ、管３７の途中の弁３６を開い
て、真空ポンプ１３を運転する。

この結果、フィルタユニット２５を構成する中空ケース
２６内の圧力が低下し、この中空ケース２６に収納され
たフィルタ２７に付着した有機溶剤が蒸発する。

フィルタ２７に付着した有機溶剤が蒸発する事で発生し
、真空ポンプ１３を通過した有機溶剤蒸気は、溶剤回収
手段である蒸留器１２に送り込まれ、この蒸留器１２に
内蔵された冷却器１１により凝縮されて、回収される。

冷却器１１により回収し切れなかった有機溶剤の蒸気は
、二次冷却器２１により回収され、更にこの二次冷却器
２１によっても回収出来なかった、微量の有機溶剤蒸気
は、活性炭フィルタ２２により捕集される。

この様にして、使用済みのフィルタ２７に付着した有機
溶剤を、蒸発させた後凝縮する事により、回収したなら
ば、それ迄閉じていた弁２４を開き、吸気管１６、洗浄
槽２、管８を通じて中空ケース２６内に空気を吸入して
から、この中空ケース２６を開き、使用済みのフィルタ
２７を取り出して新しいフィルタ２７を装着する。

この様にしてフィルタ２７の交換作業を行なう結果、多
量の有機溶剤が付着したままのフィルタ２７を廃棄する
事がなくなる。

フィルタ２７に付着した有機溶剤が蒸発する事で生じた
、有機溶剤蒸気は、前述の様に真空ポンプ１３を通じて
溶剤回収手段である蒸留器１２に送り込まれ、回収され
る為、フィルタ２７に付着していた有機溶剤が、大気中
に放散される事はなくなる。

尚、フィルタユニット２５を設ける位置としては、上述
の様な排出用の管８の途中の他、送り込み用の管７の途
中、或は貯溜槽６に付属させた循環用管路（図示せず）
の途中に設ける事も出来る。更に、本発明の交換方法に
より、前述した様な乾燥用フィルタの交換作業を行なう
事も出来る。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ交換方
法は、以上に述べた通り構成され作用する為、フィルタ
を交換する際に、フィルタに付着したままとなる有機溶
剤の量を掻く少なくして、大気中に放散される有機溶剤
の量を減らす事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の交換方法を実施する為の洗浄装置の１
実施例を示す略縦断面図、第２図は本発明の対象となる
洗浄装置の１例を示す略縦断面図、第３図はフィルタユ
ニットの１例を切断した状態で示す、分解斜視図である
。 １：蓋、２：洗浄槽、３：ヒータ、４：蒸気供給手段、
５：管、６：貯溜槽、７．８：管、９：送液ポンプ、１
０：ヒータ、１１：冷却器、１２蒸留器、１３：真空ポ
ンプ、１４：排蒸管、１５：排気管、１６：吸気管、１
７：被洗浄物、１８：超音波振動子、１９：排出管、２
０：給排手段、２１：二次冷却器、２２：活性炭フィル
タ、２３．２４：弁、２５：フィルタユニット、２６：
中空ケース、２７：フィルタ、２８：蓋体、２９：送り
込み口、３０：送り出し口、３１．３２：空間、３３．
３４．３５．３６：弁、３７：管、３８：弁、３９：管
。 特許出願人　株式会社千代田製作所 代　　理　　人　小　山　欽　造（ばか１名）第 図 Ｃ：：？力で１１） ＋５１ｎＰ六Ｔ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
   この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
   手段と、洗浄作業後に、上記洗浄槽から有機溶剤を排出
   する為の排出手段と、送り込み口と送り出し口とを有す
   る中空ケース内にフィルタを内蔵して成り、上記有機溶
   剤が通過する管路の途中に設けたフィルタユニットと、
   上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポンプと、
   この真空ポンプから吐出される気体を送り込み、この気
   体中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤回収手段
   とから成る有機溶剤を使用する洗浄装置の、フィルタを
   交換する方法であって、フィルタユニットの中空ケース
   内から液状の有機溶剤を排出した後、上記中空ケース内
   を上記真空ポンプの吸入口にのみ通じさせた状態で、こ
   の真空ポンプを運転し、中空ケース内のフィルタに付着
   した有機溶剤を蒸発させてから上記溶剤回収手段に送り
   込み、その後、中空ケース内に空気を吸入してからこの
   中空ケースを開いて、フィルタ交換作業を行なう、有機
   溶剤を使用する洗浄装置のフィルタ交換方法。
2. （２）フィルタユニットの中空ケース内から液状の有機
   溶剤を排出する際、上記中空ケース内に高温の有機溶剤
   蒸気を送り込む事で、中空ケース内に存在する液状の有
   機溶剤を押し出すと共に、フィルタの温度を上昇させる
   、請求項１に記載の有機溶剤を使用する洗浄装置のフィ
   ルタ交換方法。