JPH02285506A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

Info

Publication number
JPH02285506A
JPH02285506A JP10670489A JP10670489A JPH02285506A JP H02285506 A JPH02285506 A JP H02285506A JP 10670489 A JP10670489 A JP 10670489A JP 10670489 A JP10670489 A JP 10670489A JP H02285506 A JPH02285506 A JP H02285506A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
film
magnetic recording
alloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10670489A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Ichikawa
耕司 市川
Shigeo Fujii
重男 藤井
Hajime Shinohara
篠原 肇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP10670489A priority Critical patent/JPH02285506A/en
Publication of JPH02285506A publication Critical patent/JPH02285506A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the magnetic recording medium excellent in corrosion resistance and with the bit-shift reduced and the residual magnetization increased by forming the magnetic film with a specified alloy. CONSTITUTION:The magnetic film of a magnetic material is provided on the surface of the substrate of a nonmagnetic material through the base film of a nonmagnetic material. The magnetic film is formed with an alloy contg., in an atomic ratio, 5.0-15.0% Cr, 1.0-8.0% Ta, 0.5-5.0% C and/or P and the balance Co. As a result, information can be recorded and reproduced between the medium and a magnetic head, for example, and a magnetic recording medium excellent in corrosion resistance and with the bit-shift reduced and the residual magnetization increased is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野〕 本発明は例えば磁気ヘッドとの間において情報の記録お
よび再生を行う磁気記録媒体に関するものであり、特に
ビットシフトおよび残留磁化を向上させ得る磁気記録媒
体に関するものである。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic recording medium for recording and reproducing information between, for example, a magnetic head. It is related to recording media.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来より磁気記録媒体上に情報を記録し、若しくは媒体
上に記録した情報を再生出力するために磁気ディスク装
置が使用されているか、上記の記録、再生を行う場合に
は磁気ヘットと磁気記録媒体とを例えば0.2〜0.3
μmの微小間隙に保持するのが通常である。従って磁気
ヘッドと磁気記録媒体との接触による摩擦、摩耗および
/または両者の衝突に伴う損傷を防止するため、浮動へ
ラドスライダを使用する。すなわち磁気へラドスライダ
が、磁気記録媒体の表面との相対速度により。
Conventionally, a magnetic disk device has been used to record information on a magnetic recording medium or reproduce and output information recorded on the medium, or when performing the above recording and reproduction, a magnetic head and a magnetic recording medium are used. For example, 0.2 to 0.3
It is normal to maintain a micro gap of μm. Therefore, in order to prevent friction and wear caused by contact between the magnetic head and the magnetic recording medium, and/or damage caused by collision between the two, a floating RAD slider is used. That is, due to the relative speed of the magnetic herad slider with the surface of the magnetic recording medium.

両者の間隙に発生する流体力学的浮上刃を利用して1両
者の微小間隙を保持するように構成している。一方近年
の磁気記録媒体に要求される仕様は次第に厳しくなって
きており1記録書度が高いことは勿論のこと、ピッ1〜
シフトが小であると共に残留磁化の大なる磁性膜が要求
される。
It is configured to maintain a minute gap between the two by utilizing a hydrodynamic floating blade generated in the gap between the two. On the other hand, the specifications required for magnetic recording media in recent years have become progressively stricter, and not only do they require a high degree of recording per record, but they also require
A magnetic film with a small shift and a large residual magnetization is required.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記磁性膜を形成する材料としては、  Co −Ni
Pt、Co  Ni  Cr等の合金が使用されている
が、前者は保磁力が大であるという利点を有する反面に
おいて、S/N比が低くノイズが大であると共に1合金
中に貴金属であるPtを含有するものであるため高価で
あるという欠点がある。
The material forming the magnetic film is Co-Ni.
Alloys such as Pt, Co Ni Cr, etc. are used, but while the former has the advantage of high coercive force, it has a low S/N ratio and high noise, and also contains Pt, a noble metal, in one alloy. It has the disadvantage of being expensive because it contains

一方後者は前者よりもコストが低く、ノイズを減少する
ことができるが、耐食性、すなわち環境の変化による飽
和磁化の減少率が大であり、信頼性の点で不充分である
という欠点がある。また近年の高密度記録を行う場合に
おいては ビットシフトが大であるためエラーが多く9
例えば10−9のエラーレートにおいて28 ns程度
であり、信頼性に乏しい。更に所定の保磁力を確保する
ためには下地膜として基板上に被着ずべきCr膜の厚さ
を大にする必要があり、所定膜厚に形成するための時間
が長く、生産性の低下を招来づるという問題点がある。
On the other hand, the latter is lower in cost than the former and can reduce noise, but has the disadvantage of being insufficient in terms of corrosion resistance, that is, a large rate of decrease in saturation magnetization due to environmental changes, and reliability. Furthermore, in recent years when performing high-density recording, there are many errors due to large bit shifts9.
For example, at an error rate of 10-9, it is about 28 ns, which is poor reliability. Furthermore, in order to ensure a predetermined coercive force, it is necessary to increase the thickness of the Cr film that is to be deposited on the substrate as an underlayer, which takes a long time to form to a predetermined thickness and reduces productivity. There is a problem in that it invites

本発明は、上記従来技術に存在する問題点を解決し、特
に耐食性に優れると共に、ピッ1−シフトおよび残留磁
化特性を向上させ得る磁気記録媒体を提供するごとを目
的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems existing in the prior art described above, and to provide a magnetic recording medium that is particularly excellent in corrosion resistance and can improve pitch 1-shift and residual magnetization characteristics.

(課題を解決するだめの手段〕 上記目的を達成するために1本発明においては非磁性材
料からなる基板の表面に非磁性材料からなる下地膜を介
して磁性材料からなる磁性膜を設けてなる磁気記録媒体
において、磁性膜を原子%でCr 5.0〜15.0%
 Ta 1.0〜8.0% Cおよび/またはPO15
〜5.0%、残部Coからなる合金によって形成する。
(Means for solving the problem) In order to achieve the above object, in the present invention, a magnetic film made of a magnetic material is provided on the surface of a substrate made of a non-magnetic material with a base film made of a non-magnetic material interposed therebetween. In magnetic recording media, the magnetic film contains 5.0 to 15.0% Cr in atomic %.
Ta 1.0-8.0% C and/or PO15
It is formed of an alloy consisting of ~5.0% Co and the balance Co.

という技術的手段を採用した。A technical method was adopted.

本発明において、Crが5.0原子%未満では耐食性が
低下、すなわち環境の変化による飽和磁化の減少率が大
であると共に、S/N比を低下さ・lるため不都合であ
る。一方Crが15.0原子%を超えると、残留磁化の
減少により出力の低下を招くと共に、S/N比も低下す
るため好ましくない。
In the present invention, if the Cr content is less than 5.0 at %, the corrosion resistance decreases, that is, the rate of decrease in saturation magnetization due to changes in the environment is large, and the S/N ratio decreases, which is disadvantageous. On the other hand, if Cr exceeds 15.0 atomic %, this is not preferable because the residual magnetization decreases, leading to a decrease in output, and the S/N ratio also decreases.

次にTaはS/N比の向上に寄与するが、1.0原子%
未満ではその作用が期待できず、一方8.0原子%を超
えると再びS/N比の低下を招来すると共に、残留磁化
の減少となり出力を低下させるため好ましくない。
Next, Ta contributes to improving the S/N ratio, but 1.0 at%
If the content is less than 8.0 atomic %, the effect cannot be expected, whereas if it exceeds 8.0 at %, the S/N ratio will decrease again, and the residual magnetization will also decrease, resulting in a decrease in output, which is not preferable.

更にCおよび/またはPを適量含有させることにより、
ピントシフトを改善する作用がある。しかし0.5原子
%未満ではビットシフ1〜改善の作用が不充分であり、
一方5.0原子%を超えて含有させると、ビットシフト
を再び増大させるのみならず、耐食性も低下させると共
に残留磁化の減少により出力を低下させるため好ましく
ない。
Furthermore, by containing an appropriate amount of C and/or P,
It has the effect of improving focus shift. However, if it is less than 0.5 at%, the effect of bit shift 1~improvement is insufficient;
On the other hand, if the content exceeds 5.0 at %, it is not preferable because it not only increases the bit shift again but also reduces corrosion resistance and reduces the output due to a decrease in residual magnetization.

なお下地膜をCr若しくはCr合金によって形成するこ
とが好ましい。この場合においてCr合金としてはCr
 −Mo 、Cr−V、Cr−Mn等の合金を使用する
ことができる。
Note that the base film is preferably formed of Cr or a Cr alloy. In this case, the Cr alloy is Cr
-Mo, Cr-V, Cr-Mn, and other alloys can be used.

また基板をアルミニウム若しくはアルミニウム基合金で
形成すると好ましい。
Further, it is preferable that the substrate be formed of aluminum or an aluminum-based alloy.

〔作 用〕[For production]

上記の構成により3例えば磁気ヘットとの間において情
報の記録および再生を行うことができ耐食性に優れると
共に、ヒントシフトおよび残留磁化性能の大なる磁気記
録媒体とすることができる。
With the above configuration, information can be recorded and reproduced with, for example, a magnetic head, and a magnetic recording medium with excellent corrosion resistance and excellent tip shift and residual magnetization performance can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

マグネシウムを4重量%含有するアルミニウム合金から
なる基板の表面を旋削加工により平滑に形成し、外径9
5mm、内径25mm、厚さ1.27mmの基板とした
。次にこの基板の表面にNi   P合金からなるメツ
キ膜を5〜15 μmの厚さに形成し、磁気記録媒体の
起動時および停止時における磁気へンF若しくはスライ
ダとの接触摺動(Contact 5tart and
 3top、以下CSSと記ず)特性を確保する。上記
のようにして被着したメ・ノキ膜の表面を平滑に研磨す
ると共に、磁気ヘット若しくはスライダとの吸着を防止
するためのデクスチャー加工を施す。次に基板を洗浄後
2例えばDCマグネトロンスパッタ装置により、Crか
らなる下地膜と、  Co −Cr−1’a合金からな
る磁性膜と、Cからなる保護膜とを順次積層して成膜す
る。この場合下地膜の成膜には、スパッタ室内をI X
l0−5Torr以下に排気後、基板を200°Cにお
いて30分間加熱し、Arガスを導入してスパッタ室内
を5 mTorrに保持し、投入電力2000 W成膜
速度400人/分の条件により、膜厚1000人に成膜
した。次にこの下地膜の上に後記の表に示すCおよび/
またはPを含有する co 、、、Cr、、、5Ta3(数字は何れも原子%
を示す。以下同じ)合金からなる磁性膜を上記同様にし
て、投入電力2000 W、成膜速度1000人/分の
条件で600人の膜厚に成膜した。この場合Cおよび/
またはPの含有量を変化させるには、当該含有量のC8
−Cr−Ta系ターゲント材を使用してもよいが、co
−c、−’P、系ターケント表面に当該含有量の面積比
のCおよび/またはI)ターゲットを埋設してもよい。
The surface of the substrate made of aluminum alloy containing 4% by weight of magnesium was formed smooth by turning, and the outer diameter was 9.
The substrate had a diameter of 5 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 1.27 mm. Next, a plating film made of NiP alloy is formed on the surface of this substrate to a thickness of 5 to 15 μm, and the plated film is formed to have a thickness of 5 to 15 μm. and
3top (hereinafter referred to as CSS) characteristics. The surface of the metal wood film deposited as described above is polished to a smooth surface, and is also textured to prevent adhesion to the magnetic head or slider. Next, after cleaning the substrate, a base film made of Cr, a magnetic film made of Co-Cr-1'a alloy, and a protective film made of C are sequentially laminated using, for example, a DC magnetron sputtering device. In this case, to form the base film, the sputtering chamber is
After evacuation to below 10-5 Torr, the substrate was heated at 200°C for 30 minutes, Ar gas was introduced to maintain the sputtering chamber at 5 mTorr, and the film was deposited under the following conditions: input power: 2000 W, deposition rate: 400 people/min. A film was formed to a thickness of 1000. Next, on this base film, apply C and/or as shown in the table below.
or co containing P, Cr, 5Ta3 (all numbers are atomic %
shows. A magnetic film made of an alloy (the same applies hereinafter) was formed to a thickness of 600 people in the same manner as described above under the conditions of input power of 2000 W and film formation rate of 1000 people/min. In this case C and /
Or to change the content of P, the content of C8
-Cr-Ta based target material may be used, but co
-c, -'P, C and/or I) targets having the area ratio of the content may be embedded in the target surface of the system.

なお保護膜は投入電力1000 W、成膜速度80人/
分の条件で、前記磁性膜上に膜厚300人で成膜した。
The protective film was manufactured using an input power of 1000 W and a film formation rate of 80 people/
A film was formed on the magnetic film to a thickness of 300 ml under conditions of 300 min.

上記のようにして作製した磁気記録媒体の表面に液体潤
滑剤を塗布し、 3.5 inφディスクドライブに装
着してピントシフトおよび残留磁化の測定を行った結果
を表に併記する。な′!f3測定に際して使用した磁気
ヘッドは、Mn −Zn ミニモノシリツク型(I・ラ
ンク幅20 μm)であり、スライダ幅61[171m
、 シンバルばね圧9.5 gf 、半径24mmの部
位における浮上量0.2μm、磁気記録媒体の回転数2
400 r、p、mの条件で測定した。
A liquid lubricant was applied to the surface of the magnetic recording medium produced as described above, and the medium was mounted in a 3.5 inφ disk drive and the focus shift and residual magnetization were measured. The results are also shown in the table. Na'! The magnetic head used for the f3 measurement was an Mn-Zn mini monolithic type (I rank width 20 μm), and the slider width was 61 [171 m].
, cymbal spring pressure 9.5 gf, flying height at a radius of 24 mm 0.2 μm, rotation speed of magnetic recording medium 2
Measured under the conditions of 400 r, p, m.

(以 下 余 白) 表から明らかなようにCおよび/またはPの含有により
、ピントシフトが小になることが認められる。すなわち
No、1.2,8. 14においてはCおよび/または
Pの含有量がO若しくは少量であるため、従来材と同様
の値であり、ビットシフトの改善が認められない。一方
No、 7、1318においてはCおよび/またはPの
含有量が多すぎるため、却ってビットシフトの値が犬と
なるのみならず、残留磁化の値が減少し、出力の低下を
招来する結果を示している。これに対してNo、 3〜
6No、9〜12およびNo、 15〜17においては
ビットシフト 化の値も所定の値を維持していることが認められる。
(Margin below) As is clear from the table, it is recognized that the inclusion of C and/or P reduces the focus shift. That is, No, 1.2, 8. In No. 14, the content of C and/or P is O or a small amount, so the value is similar to that of the conventional material, and no improvement in bit shift is observed. On the other hand, in No. 7, 1318, the content of C and/or P is too high, which not only results in a negative bit shift value, but also reduces the residual magnetization value, resulting in a decrease in output. It shows. On the other hand, No, 3~
It can be seen that in Nos. 6, 9 to 12 and Nos. 15 to 17, the bit shifting values also maintain predetermined values.

本実施例においては,磁性膜を形成する材料としてCr
 12.5%および′Fa3.0%を含有するCOCr
−Ta合金を使用した場合について記述したが,これに
限定せずCr 5〜15%,Ta  1〜8%,Coい
、を茫木組成とする合金を使用しても作用は同一である
。また下地膜を形成する材料としでは、Crのみでなく
、  Cr −Mo 、  CrV、Cr−Mn等のC
r合金であってもよい。更に基板を形成する材料として
はマグネシウムを含むアルミニウム基合金のみに限らず
、アルミニウム若しくは他の金属材料または非金属材料
を使用してもよい。また更に基板の加工手段は旋削のみ
に限らず、研削その他によってもよい。なおスパッタ室
内のArガス圧力は2〜30 mTorrの範囲で任意
に選定できる。
In this example, Cr is used as the material for forming the magnetic film.
COCr containing 12.5% and 3.0% 'Fa
Although the case where a -Ta alloy is used has been described, the present invention is not limited thereto, and the same effect can be obtained even if an alloy having an Itogi composition of 5 to 15% Cr, 1 to 8% Ta, and Co is used. In addition, as a material for forming the base film, not only Cr but also Cr such as Cr-Mo, CrV, Cr-Mn, etc.
It may be an r alloy. Furthermore, the material for forming the substrate is not limited to an aluminum-based alloy containing magnesium, but may also be aluminum, other metal materials, or non-metal materials. Furthermore, the means for processing the substrate is not limited to only turning, but may also be other methods such as grinding. Note that the Ar gas pressure in the sputtering chamber can be arbitrarily selected within the range of 2 to 30 mTorr.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
耐食性に優れると共に、ビットシフトが小であり、かつ
残留磁化の大なる磁気記録媒体を得ることができるとい
う効果がある。
Since the present invention has the structure and operation as described above,
This has the advantage that it is possible to obtain a magnetic recording medium that has excellent corrosion resistance, small bit shift, and large residual magnetization.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性材料からなる基板の表面に非磁性材料から
なる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を設けてな
る磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でCr5.0
〜15.0%、Ta1.0〜8.0%、Cおよび/また
はP0.5〜5.0%、残部Coからなる合金によって
形成したことを特徴とする磁気記録媒体。
(1) In a magnetic recording medium in which a magnetic film made of a magnetic material is provided on the surface of a substrate made of a non-magnetic material with an underlying film made of a non-magnetic material interposed therebetween, the magnetic film has a Cr5.
15.0% of Ta, 1.0 to 8.0% of Ta, 0.5 to 5.0% of C and/or P, and the balance Co.
(2)下地膜をCr若しくはCr合金によって形成した
請求項(1)記載の磁気記録媒体。
(2) The magnetic recording medium according to claim (1), wherein the base film is formed of Cr or a Cr alloy.
(3)基板をアルミニウム若しくはアルミニウム基合金
によって形成した請求項(1)若しくは(2)記載の磁
気記録媒体。
(3) The magnetic recording medium according to claim (1) or (2), wherein the substrate is formed of aluminum or an aluminum-based alloy.
JP10670489A 1989-04-26 1989-04-26 Magnetic recording medium Pending JPH02285506A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10670489A JPH02285506A (en) 1989-04-26 1989-04-26 Magnetic recording medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10670489A JPH02285506A (en) 1989-04-26 1989-04-26 Magnetic recording medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02285506A true JPH02285506A (en) 1990-11-22

Family

ID=14440383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10670489A Pending JPH02285506A (en) 1989-04-26 1989-04-26 Magnetic recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02285506A (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243929A (en) * 1985-04-22 1986-10-30 インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション Magentic recording disc
JPS63231718A (en) * 1987-03-20 1988-09-27 Ube Ind Ltd perpendicular magnetic recording medium

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243929A (en) * 1985-04-22 1986-10-30 インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション Magentic recording disc
JPS63231718A (en) * 1987-03-20 1988-09-27 Ube Ind Ltd perpendicular magnetic recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2513893B2 (en) Magnetic recording media
US5122423A (en) Magnetic recording medium comprising a chromium underlayer deposited directly on an electrolytic abrasive polished high purity aluminum alloy substrate
US6129981A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording disk device
JPH0750008A (en) Magnetic recording medium
JPS62103823A (en) Magnetic disk
JPS62157323A (en) Magnetic recording medium
JPH02285507A (en) Magnetic recording medium
JPH03102615A (en) Magnetic recording medium
JPH0770037B2 (en) Metal thin film magnetic recording medium for in-plane magnetization recording
JPH03102616A (en) Magnetic recording medium
JPH0750009A (en) Magnetic recording medium
JPS63102014A (en) Magnetic recording medium
JPS63102017A (en) Magnetic recording medium
JPH0684168A (en) Magnetic recording medium
JPS62209719A (en) Magnetic recording medium
JP2990975B2 (en) Magnetic recording media
JPH0268712A (en) Thin film magnetic recording medium
JPH02292715A (en) Magnetic recording medium and its production
JPS62287415A (en) Magnetic recording medium
JPH05101933A (en) Magnetic recording medium
JPH0312813A (en) Metal thin film magnetic recording media
JPH0460916A (en) Metal thin film magnetic recording media
JP2000268342A (en) Magnetic recording media
JPS61206919A (en) Magnetic disk
JPS6182320A (en) Magnetic recording medium