JPH02289426A - チタン酸バリウム系半導体磁器用粉未およびその製造法 - Google Patents

チタン酸バリウム系半導体磁器用粉未およびその製造法

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JPH02289426A
JPH02289426A JP1225061A JP22506189A JPH02289426A JP H02289426 A JPH02289426 A JP H02289426A JP 1225061 A JP1225061 A JP 1225061A JP 22506189 A JP22506189 A JP 22506189A JP H02289426 A JPH02289426 A JP H02289426A
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昇 村田
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洋史 上田
Naoki Okada
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、著しい正の温度特性を有し、しかも比抵抗が
十分に低いと同時に耐電圧、抵抗温度係数に優れたチタ
ン酸バリウム系半導体磁器組成物の原料となる粉末およ
びその製造法に関する。
[従来技術とその解決しようとする課題]従来、チタン
酸バリウム系半導体磁器はチタン酸バリウムを主成分と
し、これに半導化剤としてY、La、Ceなどの希土類
元素、Nb、Sbのうち少なくとも1種を微看含有させ
たもので、常温における比抵抗を低くし、抵抗急変点(
キュリー点)を越えると著しい正の抵抗温度特性を示す
という特徴を存している。
通常、チタン酸バリウム系半導体磁器はその主成分であ
るチタン酸バリウムの影響によりキュリー点はほぼ12
0℃付近にある。
かかるチタン酸バリウム系半導体磁器のキュリー点を高
温側に移行させるために、Baの一部をpbで置換する
ことが知られている。また、キュリー点を低温側に移行
させるためや電気的特性を改善するため、Baの一部を
SrまたはCaで置換したり、Tiの一部をZr、Sn
などで置換することも知られている。
さらに、チタン酸バリウム系半導体iff器にMnやシ
リカ、アルミナ、酸化銅等を添加することにより、キュ
リー点を越えた後の抵抗温度変化率を改善したり、半導
体磁器の特性を安定化させる等、種々の試みが行われて
いる。(特公昭53−29386、特公昭54−101
)0.特公昭63−28324等)そして、かかるチタ
ン酸バリウム系半導体磁器の特性を利用することにより
、定温度発熱用素子、電流制限用素子、温度制御用素子
などとして使用されている。
そして、上記のような用途において、チタン酸バリウム
系半導体Mi器ができる限り低比抵抗であることが求め
られる用途も多いが、従来のものにおいては比抵抗が低
くなるに従って、抵抗温度特性、および破壊電圧が極端
に劣化し、例えば比抵抗が5Ω・CI程度のものでは比
抵抗と抵抗温度特性の勾配α(Z/ ’C)が約7程度
しかなく、破壊電圧も約30V/mi前後と低い値に留
まり[西井基:エレクトロニク・セラミクス、885月
号(1988) pp22〜27]このような低比抵抗
値を有するチタン酸バリウム系半導体磁器は実際には実
用化されていないのが現状である。
[課題を解決するための手段] 本発明者らはこのような現状に鑑み、上記問題点を解決
するために鋭意検討を行った結果、チタン酸バリウム系
半導体磁器の原料として通常用いられる炭酸塩または酸
化物の代わりに、主成分として使用される BaTiO
3、SrTiO3、 CaTiO3、PbTiO3の内
、少なくともBaTi03とSrTiO3を特定の方法
によって製造した微細で均一な一次粒子を有し、平均粒
子径が大きいシュウ酸塩を仮焼した形骸二次粒子を用い
ることにより比抵抗が8Ω・cm以下と十分に低く、し
かも耐電圧、抵抗温度特性等の他の特性が非常に優れた
正抵抗温度特性を持つMi器が得られることを見いだし
、本発明に到達したものである。
すなわち本発明は、0.2μm以下の一次粒子が互に繋
がった開気孔を存する形骸二次粒子でその大きさが平均
150〜250μmであり、かつ50μm以下の形骸二
次粒子が5wt%以下であることを特徴とするチタン酸
バリウム粉末、およびBa/Ti(モル比)=1.02
〜1.05、BaCl2 : 10wt%以下の濃度の
四塩化チタンおよび塩化バリウムを含む水Neを、シュ
ウ酸水溶液に添加する際、シュウ酸パi(モル比)=2
.1〜2.3、生成するシュウ酸チタン酸バリウム4水
塩の濃度が10〜12wt%になるように設定し、添加
をシャワー状、4時間以上の時間で行いかつ攪拌周速2
.5m/see以上、添加中の液温を55〜75℃の温
度範囲で定温に維持して得たシュウ酸チタン酸バリウム
を700〜900℃で焼成することを特rBtきする上
記チタン酸バリウム粉末の製造法、次に0.1βm以下
の一次粒子が互に繋がった開気孔を有する形骸二次粒子
でその大きさが平均70〜180μmであり、かつその
BET比表面積が20〜30rrr/gであることを特
徴とするチタン酸ストロンチウム粉末、およびSr/T
i (−1: ル)−1,2以上、5rCI2 :15
wt%以下の四塩化チタンおよび塩化ストロンチウムを
含む水溶液を、シュウ酸の水溶液に添加する際、シュウ
酸/Ti= (モル比)・2.1〜2,3、生成するシ
ュウ酸チタン酸ストロンチウム5水塩の濃度力10.0
〜f4.owt%に設定し、添加をシャワー状、2時間
以上の時間で行いかつ撹拌周速3.Q■/see以上、
添加中の液温を60〜80℃以上の温度範囲で定温に維
持して得たシュウ酸チタン酸ストロンチウムを、700
〜900℃で焼成することを特徴とする上記チタン酸ス
トロンチウム粉末の製造法、さらに02μm以下の一次
粒子が互に繋がった開気孔を有する形骸二次粒子でその
大きさが平均50〜150μmであり、かつ20μm以
下の形骸二次粒子が5wt%以下であることを特徴とす
るチタン酸鉛粉末、および四塩化チタンをアンモニアに
より中和した後濾過洗浄し、シュウ酸に溶解したシュウ
酸/Ti(モル比)=2.1〜2.3、TiO2: 4
wt%以下の水溶液を硝酸鉛の水溶液に添加する際、P
b/T (モル比)=1.01〜1.03、生成するシ
ュウ酸チタン酸鉛4水塩の濃度10=18wt%になる
よう設定し、かつ添加をシャワー状、撹拌周速2.0m
/see、液温45〜55℃で一定温度に維持しながら
、1〜2時間で添加することにより得たシュウ酸チタン
酸鉛を、600〜800℃で焼成することを特徴とする
上記チタン酸鉛粉末の製造法、さらには前述の粉末を用
いた発明でBaTi03.SrTiO3 、CaTiO
3、PbTiO3の主成分の内、少な(ともBaTiO
3、SrTiO3が前述した粉末よりなり、 その主成分の組成がBaTiO3: 45〜85モル%
、SrTiO3  :1〜20モル%、 CaTiO3
:5〜20モル%、PbTiO3: 1〜20モル%で
あり前記主成分に対して半導化剤としてY、La、Ce
などの希土類元素、Nb、Sbのうち少なくとも1種が
0.1〜0.3モル%、 さらにMn : 0.006〜0.025モル%、Si
O2 : 0.1〜1モル%の組成範囲になることを特
徴とするチタン酸バリウム系半導体磁器組成物用原料粉
末、およびBaTiO3、SrTiO3、CaTiO3
、PbTiO3の主成分のうち、少なくともBaTiO
3、SrTiO3 、PbTi03が前述した粉末より
なり、同様の組成のチタン酸バリウム系半導体磁器組成
物用原料粉末を堤供するものである。
まず、本発明の基本的原料となる各種シュウ酸塩の製造
方法について述べるが、これらの方法において重要な事
項は、できるだけ純度の高いシュウ酸塩を得ること、シ
ュウ酸塩中のBa、Sr、Pb、CaとTiのモル比が
できるだけlに近くかつ各結晶間のばらつきの無いもの
を得ることである。そのため純度については原料となる
シュウ酸、四塩化チタンやBa、Sr、Pb、Caの塩
ができるだけ高純度であることは勿論、反応容器からの
混入をさけるため反応容器はテフロン等の耐酸性のプラ
スチック容器が好ましく、最終的に得られたシュウ酸塩
はアルカリ土類を除いた他の金属不純物濃度は数pμm
以下、トータルで100pp−以下が好ましい、またモ
ル比については結晶形状や粒子径が均一で、できるだけ
大きいものを得る必要があるが、それらは以下のような
製造法をとることによりうまく製造できることがわかっ
た。
初めにシュウ酸チタン酸バリウムの製造について述べる
と、反応はシュウ酸を溶解した水溶液に対し、四塩化チ
タンと塩化バリウムを溶解した溶液を添加することによ
り行うわけであるが、設定濃度としては生成するシュウ
酸チタン酸バリウム4水塩の濃度が10〜12wt%の
範囲内に入るように設定すればよい、従って、両液の水
バランスは設定濃度の範囲内であればどのような濃度で
もよいが、四塩化チタンと塩化バリウムの溶液で塩化バ
リウムが析出しないよう溶液中の塩化バリウムの濃度は
10wt%以下にする必要がある。
Ba/Ti(モル比)は8aが若干多口の1.02〜1
.05に設定する必要がある。 Ba/Ti(モル比)
力月、02より小さい場合は生成するシュウ酸塩のBa
/T i (モル比)が0.998より小さい値となり
好ましくなく、一方Ba/T i (モル比)が1.0
5より大きい場合は、生成するシュウ酸塩のBa/T 
i (モル比)は1.0付近で大きく変化しないが未反
応のBaが多くなるため経済的でない、シュう酸/Ti
(モル比)のモル比は、収量および経済性の・点から2
.1〜2.3の範囲に設定するのが好ましい、また、他
の塩の析出を抑えしかも経済的な濃度、および結晶の形
状等からみて、濃度が10〜12wt%の範囲が好まし
い。
さらに生成するシュウ酸チタン酸バリウム4水塩の結晶
の大きさ、形状、粒度分布に大きな影響を与えるのは添
加条件、攪拌状態、温度条件であり、添加はなるべく広
い範囲にシャワー状で添加するのがよく、添加時に十分
分散しないと微細な結晶が析出し、また4時間以上かけ
てゆっくり、少量づつ添加しないと同様の現象がおこり
、最終製品の物性が劣化する原因となる。撹拌状態につ
いても同様であり、容器のスケールや形状において若干
異なるが、少なくとも攪拌周速2.5膳/secで行う
必要がある。
次に温度条件であるが、晶析温度およびその温度の変動
は晶析に大きな影響を及ぼし微結晶の析出の大きな原因
となるので、55〜75℃の温度範囲で一定温度に保つ
必要があり、55℃より低い温度では結晶性の悪い結晶
が生成し、Ba/T i (モル比)が0.998より
小さい値となり、一方75℃より高い場合は晶出した結
晶が不安定で結晶中からBaが抜けやすく濾過までの時
間が長くなった場合、Ba/Ti(モル比)が0.99
8より低くなるため好ましくない。
このようにして析出したシュウ酸チタン酸バリウムの結
晶は、Ba/Ti (モル比)が0.998〜1.00
2の範囲内で、結晶内部も化学量論的に均一であり、結
晶粒径は平均100μm以上で揃っており、小さな結晶
の少ないものとなる。
次にシュウ酸チタン酸ストロンチウムの製造法であるが
、シュウ酸チタン酸バリウムに比較してSr/Ti (
モル比)が1より小さい値になり易いため仕込みのSr
/Ti(モル比)を1.2以上に設定する必要がある。
設定Sr/T L (モル比)が1.2より小さいと、
生成シュウ酸塩のSr/T i (モル比)が0.99
8より小さい値となり好ましくないが、余り大きすぎて
も経済的でなく、普通は1,2〜1.3の範囲で設定す
る。シュウ酸/Ti(モル比)のモル比は、収量および
経済性の点から2.1〜2.3の範囲に設定するのが好
ましい、また、他の塩の析出を抑えしかも経済的な濃度
、および結晶の形状等からみて、濃度は10〜14wt
%の範囲が好ましい。
さらに生成するシュウ酸チタン酸ストロンチウム5水塩
の結晶の大きさ、形状、粒度分布に大きな影響を与える
のは添加条件、攪拌状態、温度条件であり、添加はなる
べく広い範囲にシャワー状で添加するのがよく、添加時
に十分攪拌分散させないと微細な結晶が析出し、また2
時間以上かけてゆっくり、少量づつ添加しないと同様の
現象がおこり、結晶のSr/Ti (モル比)が0.9
98より小さくなり好ましくない、攪拌条件についても
同様であり、容器のスケールや形状において若干異なる
が、少なくとも攪拌周速3.01/secで行う必要が
ある。
次に温度条件であるが、晶析温度およびその温度の変動
は晶析に大きな影響を及ぼし微結晶の析出の大きな原因
となるので、60〜80℃とシ工つ酸チタン酸バリウム
に比較してより高い温度範囲で一定温度に保つ必要があ
り、シュウ酸チタン酸バリウムと同様の理由で、上記範
囲より高い場合も低い場合もSr/Ti (モル比)が
0.998より小さい値となり好ましくない。
このようにして析出したシュウ酸チタン酸ストロンチウ
ムの結晶も、Sr/Ti (モル比)が0.998〜1
.002の範囲内で、結晶内部も化学量論的に均一であ
り、結晶粒径は平均70μm以上で揃っており小さな結
晶の少ないものとなる。
シュウ酸チタン酸ストロンチウムの場合は、反応温度の
60〜80℃では収率が約80wt%と低いため反応後
に冷却することにより収率を90wt%以上に上げるこ
とができる。しかし、冷却速度によりその後析出するシ
ュウ酸塩のSr/Ti(モル比)が変わってくるためそ
の冷却速度は5℃/hr〜30℃/Hrの範囲内で行う
必要がある。
更に、シュウ酸チタン酸鉛の製造法であるが、この場合
四塩化チタンを使用すると鉛の塩を溶解させた場合、塩
化鉛の沈殿を生成するため、シュウ酸チタン酸バリウム
の場合のような方法は使えず、四塩化チタンを−Hアン
モニアにより中和して水酸化チタンのゲルを生成させ、
十分濾過洗浄を行った後シュウ酸に溶解すれば溶液状と
なるので、この溶液を使用することができる。シュウ酸
チタン酸鉛の場合、条件によってPb/Ti(モル比)
が変動するので種々の条件を一定にする必要があるが、
完全な溶液とするためおよび後のシュウ酸塩生成時の収
率等を考え、かつモル比が1に近い条件では、シュウ酸
/Ti(モル比)は2.1〜2.3、TiO2: 4w
t%以下とする必要がある。トータルの水バランスから
考えると、生成するシュウ酸チタン酸鉛の濃度が10〜
18wt%になるように設定すればよくその範囲内にな
るよう、Tiがシュウ酸に溶解した溶液と硝酸鉛の濃度
を設定すればよい。
また、シュウ酸チタン酸鉛の濃度が10〜18wt%に
設定した場合、粒径が大きくかつ均一な結晶を得ること
ができる。
Pb/T i (モル比)が1に近いシュウ酸塩を得る
ためには、設定Pb/Ti(モル比)は1.01〜1.
03にする必要があり、設定Pb/T i (モル比)
が1.01より低いとシュウ酸塩のPb/T i (モ
ル比)が0.99以下と下がり、一方設定Pb/T i
 (モル比)が1.03より大きい場合は、反対にシュ
ウ酸塩のモル比が1.01と大きすぎる債となる。設定
シュウ酸/Ti(モル比)についても同様である0反応
時の液温については、45〜55℃の範囲で行う必要が
あり、この範囲外ではいずれもモル比が0.99より低
くなり好ましくない。
シュウ酸チタン酸鉛を得る場合も、液中の拡散状態は結
晶状態に大きな影響を及ぼし、なるべく均一かつ早い拡
散が起こるよう、添加はシャワー状態で行い、攪拌周速
は2,0■/sec以上で行う必要がある。
このようにして析出したシュウ酸チタン酸鉛の結晶も、
Pb/Ti(モル比)が0.998〜1.002の範囲
内で、結晶内部も化学量論的に均一であり、結晶粒径は
平均50μm以上で揃っており、小さな結晶の少ないも
のとなる。
本発明の粉末組成物の一つであるチタン酸カルシウムに
ついても、チタン酸ストロンチウム等を製造するのと同
様に、Ca/Ti(モル比) 、CaCl2の濃度、シ
ュウ酸/Ti(モル比)、生成するシュウ酸塩の濃度、
液の温度、添加の方法、攪拌の条件等を設定することに
より、Ca/T i (モル比)が1に近く結晶粒径が
同様に大きく整ったシュウ酸チタン酸カルシウムを得る
ことができる。
前述の方法により得られたそれぞれのシュウ酸塩は、有
機酸のプロトンが金属または金属酸化物で置き換えられ
た形になっており、これを十分酸素の存在する雰囲気中
、普通の焼結を行う温度よりは若干低い温度で仮焼成す
ることにより有機物が酸化分解し、BaTiO3、Sr
TiO3、PbTiO3、CaTiO3のような形の酸
化物となるわけであるが、この際の分解前の有機物の結
晶状態が焼成後の酸化物の粒径、粒度分布、モル比等の
物性に大きな影響を与え、さらに上記物性が最終的な焼
結体の電気的性質にも大きく影響する。
本発明で得られたシュウ酸塩の仮焼体は、0.2μm程
度以下の均一で微細な粒子が軽く焼結してお互いに結合
力を持ち、分解前のシュウ酸塩の形を保持したいわゆる
形骸粒子の構造をとっておりしかもその粒子は原子分布
の片寄りがなく均一に分布しており、このような仮焼体
を使用して後述する混合、焼成工程により焼結体を得る
ことにより焼結体自体も均一な&1IIaを持ち、低比
抵抗で抵抗温度係数が高くかつ耐電圧の高い磁器となる
まずシュウ酸チタン酸バリウム、シュウ酸チタン酸スト
ロンチウム、シュウ酸チタン酸カルシウムの仮焼成につ
いて具体的に述べると、得られたそれぞれのシュウ酸塩
は、結晶水が飛散しない程度の温度で乾燥されており含
水塩となっているが、これを有g9QIJが炭化せずか
つ粒子が適当な大きさに留まる程度の温度で焼成する。
従って焼成時の炉内は酸素が十分供給される雰囲気中で
行う必要があるが、有機酸塩は急激な分解燃焼を起こす
場合があるので余り過剰な酸素は必要でなく、適度な酸
素雰囲気で行うことが好ましい。仮焼成温度は700〜
900℃が好ましく、700℃より低い場合は十分に酸
化分解が進行せず、炭素等が残留するため好ましくなく
、一方900″Cより高い場合、不均一な粒成長が起き
やすく、局所的な異常粒成長が認められる場合が多く好
ましくない。
このようにして得たシュウ酸塩の仮焼体は、チタン酸バ
リウム、チタン酸カルシウムについては0.2μm以下
の一次粒子が互に繋がった開気孔を有する形骸二次粒子
で、その大きさが平均粒径150〜250μmであり、
50μm以下の形骸二次粒子が5wt%以下、BET比
表面積が6〜1Onf/gの整った二次粒子径を有する
仮焼体となる。
またチタン酸ストロンチウム仮焼体については、0.1
)Im以下の一次粒子が互に繋がった開気孔を有する形
骸二次粒子でその大きさが平均70〜180μmである
が、この場合シュウ酸塩の製造方法により生成した仮焼
体のBET比表面積が太き(変化し、焼結磁器が優れた
特性を示す粉末はBET比表面積が20〜30rd/g
の範囲内である。
シュウ酸チタン酸鉛の場合、上記したシュウ酸塩に比べ
酸化分解の温度が低く、粒成長しゃすいため仮焼成は6
00〜800℃が好ましく 、600 ”Cより低い温
度では同様に十分に酸化分解が進行せず、炭素等が残留
するため好ましくなく、一方800″Cより高い場合、
不均一な粒成長が起きやすく、局所的な異常粒成長が認
められる場合が多く好ましくない、このようにして得た
シュウ酸チタン酸鉛の仮焼体も、0.2μm以下の一次
粒子が互に繋がった開気孔を有する形骸二次粒子で、そ
の大きさが平均50〜150μmであり、20μm以下
の形骸二次粒子が5wt%以下、BET比表面積が6〜
10m/gの整った二次粒子径を有する仮焼体となる。
以上のような方法で得られたシュウ酸塩仮焼体を原料し
て、後述する方法により混合、焼成を行うわけであるが
、この場合必ずしもすべてシュウ酸塩の仮焼体を使用す
る必要はなく、少なくともBaTiO3、SrTiO3
についてシュウ酸塩の仮焼体を使用すればい。
この場合、他のPbTiO3、CaTiO3は所謂普通
の固相法により製造して使用してもよく、普通はそれぞ
れの原料粉末、例えばPbTi0:+の場合はPb3O
4とTiO2を混合、焼成、粉砕することにより製造し
たPbTiO3と同様の方法で製造したCaTiO3を
シュウ酸塩仮焼体と混合して使用することになるが、シ
ュウ酸塩仮焼体と平均粒径、不純物濃度とも近似してい
る必要があり、平均粒径は2μm以下、アルカリ土類金
属を除いた他の金属不純物はIoo pμm以下である
必要がある。
次に本発明の組成について説明すると、本発明は上記主
成分としてのBaT i口3.SrTiO3 、CaT
i03PbTi03がBaTiO3: 45〜85モル
%、SrTiO3 :1〜20モル%、 CaTiO3
: 5〜20モル%、 PbT i03:1〜20モル
%からなり、これに対して半導化剤としてY、La、C
eなどの希土類元素、Nb 、 Sbのうち少なくとも
1種が0,1〜0.3モル%、さらにMn二0.006
〜0.025−モル%、SiO□:0.1〜1モル%が
添加されている組成である。
本発明の主成分のBaTiO3、SrTiO3 、Ca
TiO3、PbTiO3の4成分系の磁器は、チタン酸
バリウムのBaの一部をCa、Sr、Pbで同時に置換
したものである。 Pb、Srは単独ではキュリー点を
それぞれ高温側、低温側へ移行させるものであり、これ
らCa、Sr。
pbを共存状態で主成分に含有させることにより、耐電
圧値が高くなり、また突入大電流への耐久性が向上する
ことが知られているが、従来法においては比抵抗が8(
Ω・cm)以下で優れた耐電圧特性を有するものは得ら
れていない。
本発明の主成分は、BaTiO3: 45〜85モル%
、SrTiO3  :  1〜20モル%、 CaTi
O3: 5〜20モル%、PbTiO3: 1〜20モ
ル%よりなるが、上記範囲に主成分を限定したのは以下
の理由によるためである。
まず、BaTiO3が45%未満の場合、半導体化が困
難になり、比抵抗も高くなる。一方、85%を越えると
、電気的特性が劣化するため好ましくない。
SrT i03が1モル%未満では、焼結体の粒子が粗
大となってしまい、電気的特性改善の効果が現れず、2
0モル%を越えると、部分的粒成長が起こり電気的特性
が劣化してしまう。
CaTiO3が5モル%未満では、その耐電圧特性等が
優れず、20モル%を越えた場合、上記耐電圧特性が劣
化してしまう。
PbTiO3については、1モル%未満では電気的特性
が満足できるものではなり、20モル%を越えた場合、
焼成時にpbが飛散するため焼結しにくくまた半導体化
が困難になる。
なお、このとき主成分のBa 、 Sr 、 Ca 、
 Pbの合計とTiのモル比については、0.99〜l
、03の範囲内で調整すれば、製造された磁器の物性に
殆ど影響をおよぼさないものを製造できる。
チタン酸バリウム系半導体磁器を製造するためには、半
導体化剤を微量含有させる必要があり、半導体化剤とし
てY、La、Ceなどの希土類元素、Nb。
のうち少なくとも1種を0.1〜0,3モル%添加、含
有させればよい、添加量が0.1モル%より少ない場合
は、半導体化がうまくいかず、0.3モル%より多い場
合も逆に比抵抗は高くなり好ましくない、添加の際は、
シュウ酸塩か酸化物の形で添加するのが好ましい。
さらに、上記組成にMn、SiO2を添加することによ
り、抵抗温度特性を改善させることができる。
本発明においては、固相法に比較して微量のMn、Si
O□の添加で大きな特性の向上が図られているが、これ
もシュウ酸塩仮焼体を主原料として用いたため、添加剤
が非常に均一に分散し、上記効果を奏するものと考えら
れる。
この場合、Mnの添加量は、Mn + 0.006〜0
.025モル%で、これらの割合で磁器中に含ませる。
 Mnを添加することにより、キュリー点を越えた正の
抵抗温度特性において、その抵抗温度変化率を著しく増
大させることができる。
上記特性を表わすパラメーターとして、抵抗温度係数(
以下、α値と略す、)があるが、Mnが0.006モル
%より少ない場合、α値が小さくなり、耐電圧特性が劣
化する。一方、Mnが0.025モル%より多い場合は
、α値は上がるが室温での比抵抗が高くなり、低電圧で
使用する場合、作動しなくなるので好ましくない、Mn
の添加もシュウ酸塩か酸化物の形で添加すればよい。
次にSiO2の添加であるが、その量としては、SiO
2 : 0.1〜1モル%の範囲が好ましい。
SiO□の添加により、半導体化剤の添加のわずかな変
動によって生じる比抵抗の変化を抑制し、常温において
低い比抵抗値にしようとするものであり、SiO2が0
.1モル%より少ない場合、粒成長しやすく、耐電圧特
性が劣化し、α値が小さくなり、一方SiO□が1モル
%より多い場合、比抵抗が高くなり、好ましくない、 
 SiO2の添加は、なるべく粒子径の小さい酸化物を
使用すればよい。
上述のような割合で各原料粉末を秤量し、金属不純物の
混入しにくいプラスチック等のボールミル用ポットと密
度が高くしかも不純物として少量混入した場合も電気的
特性に影響を与えないジルコニア等のボールを使用して
混合、解砕を行う。
この場合、解砕効果を上げるために水、有a溶剤等の液
体を添加してもよい、この工程の後、液体を除去し、造
粒を行い、0.3〜1.Ot/cm3の圧力で成型を行
う、成型後は、5〜b を行い、1300〜1400℃で5分〜2時間焼成した
後に、昇温と同様の速度で降温し、本発明の磁器を得る
。成型圧力が所定より低すぎると比抵抗が上がり、一方
高すぎると比抵抗は下がるがα値が下がり好ましくない
、また、昇温速度が遅すぎると比抵抗が上がる、一方速
すぎる場合は比抵抗は下がるがα値も下がり好ましくな
い、焼成温度については、温度が低すぎても高すぎても
比抵抗が上がり好ましくない。
以上のような方法で製造した本発明の磁器は、密度が5
.2〜5.6 g/cra3、比抵抗値が8(Ω・cm
)以下、α値が9(!/”C)以上、耐電圧が60 (
V/am>以上という低比抵抗で耐電圧が高(、且つα
値も高い優れたチタン酸バリウム系半導体Mi器となる
このように、原料として主成分にシュウ酸塩から製造さ
れたものを用いたために優れた電気的特性を有するよう
になった理由としては、原料の純度がアルカリ土類元素
を除いたトータルの金属元素が100ρρ臆以下と非常
に高いため微量元素の添加により特性がコントロールし
やすくその特性改善の効果が大きいこと、磁器中の組織
がダレインサイズが10μm以下で平均サイズがおよそ
5μmに制御された整った粒径の焼結体からなる均一微
細組織となっているため耐電圧特性が向上したことが考
えられる。
さらに主成分のシュウ酸塩仮焼体が適当な強度を有する
微細で均一な一次粒子が結合した形骸粒子であるため混
合解砕時に形骸粒子が順次解砕されながら混合されるの
で非常に混合性がよく、そのため焼結時に均一に各原子
が固溶し、磁器とした場合原子の分布もより均一となり
、磁器中での局所的な特性の変化がなく、全体が均一な
特性を示すことなどが考えられるが、実際には本発明の
原料の選択および製造法、混合解砕方法、焼結方法等で
最も最適な条件になるよう種々の条件を検討した結果、
総合的な効果としてこのような格段の電気的特性を有す
る磁器を得ることができたものである。
これらは、定温度発熱用素子、電流制限用素子、温度制
御用素子等の用途として極めて有用である。
[実施例] 以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発
明は係る実施例に限定されるものではない。
実施例1 容量が5dのゴムライニング製タンクAに、Ti(DH
)4換算で27.6wt%のTiイオン、HCI換算で
32.8wt%のClイオンを含有するTi溶液650
 Kg、塩化バリウム2水塩389にgおよび純水29
80Kgをゆっくり混合して添加用の溶液とした。一方
容量が7dのゴムライニング製タンクBに、シュウ酸4
29 Kgを2055Kgの純水に溶解し、温度を60
℃まで昇温し、その温度に維持した。
この時のBa/Ti(モル比)=1.03、シュウ酸/
T1(モル比)=2.2 、BaCl2 :8.25 
wt%であった。
タンクAからタンクBへの溶液の添加はチャージポンプ
によって行い、添加方法はバイブの先端に約200個の
穴を設けて、シャワー状で液面に添加することにより行
った。
この際の攪拌は平板状の2枚の羽根を有する撹拌羽根を
50rμmで回転させることにより行い、この時の攪拌
周速は2.9m/secであった0反応中の溶液は60
℃に維持し、添加時間は4時間であった。
またこの時に生成するシュウ酸チタン酸バリウムの設定
濃度は1)wt%であった。
添加終了後、反応液は遠心分離機により濾過し洗浄した
後、50℃で乾燥することによりシュウ酸チタン酸バリ
ウムの結晶592Kgを得た。この時の収率は88.3
wt%で、そのBa/Ti (モル比)は0.999で
あった。
得られた粉末は磁器製のるつぼに入れ、空気中900″
Cl2hrで焼成してチタン酸バリウム仮焼粉末を得た
。得られた粉末は、アルカリ土類以外の金属不純物がい
ずれも10ρp1以下で、平均粒径が200μmで、5
0μm以下の粒子が約2wt%であった。この時得られ
た粉末の走査型電子顕微鏡写真(SEN写真)を第2図
に、さらに一部を採取して一次粒子の様子を観察した透
過型電子顕微鏡写真(TEM写真)を第3図に示す。
実施例2 容量が5rrrのゴムライニング製タンクAに、Ti(
OH)4換算で39.9社%のTiイオン、HCI換算
で31.9wt%のCIイオンを含有するTi溶液51
6 Kg、塩化ストロンチウム6水塩516Kg、純水
1590にgをゆっ(り混合して添加用の溶液とした。
一方容量が7dのゴムライニング製タンクBにシュウ酸
429 Kgを2147にgの純水に溶解し、温度を7
5℃まで昇温し、その温度に維持した。
この時のSr/Ti (モル比)=1.25、シュウ酸
/Ti(モル比)−2,2,5rC12=12.0 w
t%であった。
タンクAからタンクBへの溶液の添加はチャージポンプ
によって行い、添加方法はパイプの先端に約200個の
穴を設けて、シャワー状で液面に添加することにより行
った。
この際の攪拌は平板状の2枚の羽根を存する攪拌羽根を
用い、この時の攪拌周速は4.1■/secであった0
反応中の溶液は75℃に維持し、添加時間は2.5時間
であった。またこの時に生成するシュウ酸チタン酸スト
ロンチウムの設定濃度は12wt%であった。
添加終了後、反応液を20℃/hrの速度で室温まで冷
却した後、遠心分離機により濾過し洗浄し、さらに50
℃で乾燥することによりシュウ酸チタン酸ストロンチウ
ム5水塩の結晶600 Kgを得た。このシュウ酸塩の
Sr/T i (モル比)=0.999 、収率は93
豐t%であった。
得られた粉末は磁器製のるつぼに入れ、空気中900℃
、2hrで焼成してチタン酸ストロンチウム仮焼粉末を
得た。得られた粉末は、アルカリ土類以外の金属不純物
がいずれも10pμm以下で、二次粒子の平均粒子径が
150μm、50μm以下の二次粒子が2.5 wt%
、BET比表面積が26.On?/gであった。
実施例3 TiC14: 10wt%の溶液を40℃以下になるよ
う冷却しながら、アンモニウム水溶液でPH7になるま
で中和し、ゲル状の水酸化チタンを得た後、これを濾過
、純水により洗浄する。洗浄後のゲルは直ちにシュウ酸
により溶解し、Tiイオンの濃度を測定した後、純水お
よびシュウ酸によりTiイオンの濃度2.4 wt%、
シュウ酸バi(モル比);2゜15に調整し、この溶液
2378Kgを添加用溶液として容量7Mのゴムライニ
ング製タンクAに移液した。一方、容量が5fffのゴ
ムライニング製タンクBに硝酸鉛402 Kgと純水1
086Kgを入れ溶液とした。この時のPb/Ti(モ
ル比)=1.02、生成するシュウ酸チタン酸鉛の設定
濃度: 16.0wt%であった。
タンクAからタンクBへの溶液の添加はチャージポンプ
によって行い、添加方法はパイプの先端に約200個の
穴を設けて、シャワー状で液面に添加することにより行
った。
この際の攪拌は平板状の2枚の羽根を有する撹拌羽根を
用い、この時の攪拌周速は2.0■/secであった。
 反応中の溶液は50℃に維持し、添加時間は2.0時
間であった。
添加終了後、溶液を濾過洗浄し、さらに50℃で乾燥し
てシュウ酸チタン酸鉛4水塩を得た。収率は97.0w
t%、シュウ酸チタン酸鉛のPb/Ti(モル比)は0
.998であった。
得られた粉末は磁器製のるつぼに入れ、空気中600 
’Cl2hrで焼成してチタン酸鉛の仮焼粉末を得た。
得られた粉末は、アルカリ土類以外の金属不純物がいず
れも10pμm以下で、二次粒子の平均粒子径が140
μm150μm以下の二次粒子が3int%であった。
実施例4〜19 主成分原料として、BaTiO3、SrTiO3 、P
bTiO3は実施例1〜3により製造したシュウ酸塩仮
焼粉末を用い、CaTi0aとしてはCaCO3とTi
O2から固相法により製造した、アルカリ土類以外の金
属不純物がいずれもlopμm以下、平均粒径が0.5
μmの粉末を用いた。
次に、微量成分として酸化ランタン、シュウ酸マンガン
、無水ケイ酸を用いたが、酸化ランタンと無水ケイ酸に
ついては、10μm以下の粒径の粒子を用いた。これら
の各原料を第1表に示すような組成比になるように配合
し、バインダーを添加して50Ilのポリエチレン製の
ボールミル用ポットおよびジルコニア製ボールを使用し
、アルコール溶媒を添加し、24時時間式混合を行った
これを脱水乾燥し造粒した後、成形圧力1000kg/
−で円盤状に成形した。さらにこれを1350℃、2時
間焼成し、13■■φの直径で2.5@■の厚さの円盤
状焼結体を得た。 得られた半導体磁器につき両生表面
にIn−Ga合金の電極を付与し、これを試料とした。
 これらの試料につき、キュリー点、比抵抗値、α値、
耐電圧値を測定した。その結果を第1表に示す。
比較例1〜9 実施例1〜3のそれぞれの方法において、一つの条件だ
けを変化させてそれぞれシュウ酸塩を製造し、同様の方
法で仮焼し、その仮焼粉末を使用した他は、実施例4〜
19と全く同様の組成、方法で磁器を製造してその電気
的特性を測定した。
その時の条件および電気的特性を第2表に示す。
比較例1O〜24 原料の配合組成を第3表で示す割合に設定した他は、実
施例4〜19と同様の操作を行った。得られた磁器の物
性値を第3表に示す。
比較例25.26 原料として、その主成分にはBaCO3、CaCO3,
5rC03、Pb30 、、TiO2、半導体化剤とし
てはla203 、添加剤としてはMnCO3,SiO
2を第3表に示す磁器組成になるよう配合した後、実施
例4〜19と全く同じ操作を行った。
本比較例での各成分の組成、および得られた磁器の物性
値を第3表に示す。
上述の特性において、耐電圧については試料に電圧を印
加した後、徐々にその電圧を上昇させてゆき、試料の破
壊が生じる手前の最高印加電圧値を示したものである。
第1図は、実施例10、実施例18、実施例19で得ら
れた磁器の抵抗温度特性を図に示したものであるが、図
かられかるようにキュリー点を様々に設定できるととも
にそれらの抵抗温度特性をいずれも低比抵抗でかつ高い
α値にたもつことができる。
[発明の効果] 本発明の原料粉末は微細で粒子径の整った一次粒子より
なる独特の形状を有する二次粒子であり、この原料を使
用して焼結することにより得られたチタン酸バリウム系
半導体磁器組成物は、電流制限用素子、温度制御用素子
、定温度発熱用素子等の広範囲な用途が考えられると同
時に、比抵抗値が8(Ω・C■)以下、α値が9(χ/
’C)以上、耐電圧が60 (V/mm)以上という低
抵抗で耐電圧が高く、且つα値も高いという優れた電気
的特性を示すため、特に低電圧用の電流制限用素子とし
ての種々の用途へ、応用できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のチタン酸バリウム系半導体磁器組成
物の抵抗温度特性図であり、第2図は、シュウ酸チタン
酸バリウム仮焼体の粒子構造を示すSEN写真であり、
第3図は第2図と同様の粉末の粒子構造を示すTEN写
真である。 特許出願人  セントラル硝子株式会社手続補正書 1.事件の表示 2、発明の名称 3゜ 補正をする者 平成1年特許願第225061号 チタン酸バリウム系半導体磁器用粉末 およびその製造法 4、代理人 住所 東京都杉並区堀ノ内−丁目8番3−607号8、
補正の内容 (1)明細書の第31頁1行の「収率は88.3%で、
そのBa/Ti(モル比)は0.999 Jなる記載を
[収率は85,3%で、そのBa/Ti(モル比)は0
.999 Jに補正する。 偉)明細書の第31頁15行のr−一−4iWI液51
6 Kg、−m−」なる記載をr −−−−−Ti溶液
449 Kg、−一−」に補正する。 (3)明細書の第39頁の第2表を別紙の通り補正する

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)0.2μm以下の一次粒子が互に繋がった開気孔
    を有する形骸二次粒子でその大きさが平均粒径150〜
    250μmであり、かつ50μm以下の形骸二次粒子が
    5wt%以下であることを特徴とするチタン酸バリウム
    粉末。
  2. (2)Ba/Ti(モル比):1.02〜1.05、B
    aCl_2:10wt%以下の濃度の四塩化チタンおよ
    び塩化バリウムを含む水溶液を、シュウ酸水溶液に添加
    する際、シュウ酸/Ti(モル比)=2.1〜2.3、
    生成するシュウ酸チタン酸バリウム4水塩の濃度が10
    〜12wt%になるように設定し、添加をシャワー状、
    4時間以上の時間で行いかつ攪拌周速2.5m/sec
    以上、添加中の液温を55〜75℃の温度範囲で定温に
    維持して得たシュウ酸チタン酸バリウムを700〜90
    0℃で焼成することを特徴とする請求項(1)記載のチ
    タン酸バリウム粉末の製造法。
  3. (3)0.1μm以下の一次粒子が互に繋がった開気孔
    を有する形骸二次粒子でその大きさが平均粒径70〜1
    80μmであり、かつそのBET比表面積が20〜30
    m^2/gであることを特徴とするチタン酸ストロンチ
    ウム粉末。
  4. (4)Sr/Ti(モル)=1.2以上、SrCl_2
    :15wt%以下の四塩化チタンおよび塩化ストロンチ
    ウムを含む水溶液を、シュウ酸の水溶液に添加する際、
    シュウ酸/Ti:(モル比):2.1〜2.3、生成す
    るシュウ酸チタン酸ストロンチウム5水塩の濃度が10
    .0〜14.0wt%に設定し、添加をシャワー状、2
    時間以上の時間で行いかつ攪拌周速3.0m/sec以
    上、添加中の液温を60〜80℃の温度範囲で定温に維
    持して得たシュウ酸チタン酸ストロンチウムを、700
    〜900℃で焼成することを特徴とする請求項(3)記
    載のチタン酸ストロンチウム粉末の製造法。
  5. (5)0.2μm以下の一次粒子が互に繋がった開気孔
    を有する形骸二次粒子でその大きさが平均50〜150
    μmであり、かつ20μm以下の形骸二次粒子が5wt
    %以下であることを特徴とするチタン酸鉛粉末。
  6. (6)四塩化チタンをアンモニアにより中和した後濾過
    洗浄し、シュウ酸に溶解したシュウ酸Ti(モル比)=
    2.1〜2.3、TiO_2:4wt%以下の水溶液を
    硝酸鉛の水溶液に添加する際、Pb/Ti(モル比)=
    1.01〜1.03、生成するシュウ酸チタン酸鉛4水
    塩の濃度10〜18wt%になるよう設定し、かつ添加
    をシャワー状、攪拌周速2.0m/sec、液温45〜
    55℃で一定温度に維持しながら、1〜2時間で添加す
    ることにより得たシュウ酸チタン酸鉛を、600〜80
    0℃で焼成することを特徴とする請求項(5)記載のチ
    タン酸鉛粉末の製造法。
  7. (7)BaTiO_3、SrTiO_3、CaTiO_
    3、PbTiO_3の主成分の内、少なくともBaTi
    O_3が請求項(1)または(2)記載のチタン酸バリ
    ウム粉末、SrTiO_3が請求項(3)または(4)
    記載のチタン酸ストロンチウム粉末よりなり、 その主成分の組成がBaTiO_3:45〜85モル%
    、SrTiO_3:1〜20モル%、CaTiO_3:
    5〜20モル%、PbTiO_3:1〜20モル%であ
    り 前記主成分に対して半導化剤としてY,La,Ceなど
    の希土類元素、Nb,Sbのうち少なくとも1種が0.
    1〜0.3モル%、 さらにMn:0.006〜0.025モル%、SiO_
    2:0.1〜1モル%の組成範囲よりなることを特徴と
    するチタン酸バリウム系半導体磁器組成物用原料粉末。
  8. (8)BaTiO_3、SrTiO_3、CaTiO_
    3、PbTiO_3の主成分の内、少なくともBaTi
    O_3が請求項(1)または(2)記載のチタン酸バリ
    ウム粉末、SrTiO_3が請求項(3)または(4)
    記載のチタン酸ストロンチウム粉末、PbTiO_3が
    請求項(5)または(6)記載のチタン酸鉛よりなり、 その主成分の組成がBaTiO_3:45〜85モル%
    、SrTiO_3:1〜20モル%、CaTiO_3:
    5〜20モル%、PbTiO_3:1〜20モル%であ
    り 前記主成分に対して半導化剤としてY,La,Ceなど
    の希土類元素、Nb,Sbのうち少なくとも1種が0.
    1〜0.3モル%、 さらにMn:0.006〜0.025モル%、SiO_
    2:0.1〜1モル%の組成範囲よりなることを特徴と
    するチタン酸バリウム系半導体磁器組成物用原料粉末。
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