JPH0229044Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、基板を炉内に搬送するのに用いら
れる両面焼成用メツシユベルトに関する。

〈従来の技術〉 従来、この種の両面焼成用メツシユベルトとし
ては第８図に示すようなものがある。この両面焼
成用メツシユベルトは、メツシユベルト１上に耐
熱ガラス製の半割れ形状からなる円筒治具２を複
数個搭載する一方、厚膜の集積回路を形成したセ
ラミツク製の基板４の両端面４ａ，４ａを円筒治
具２の内周面２ａに支持させて円筒治具２内に基
板４を固定する。そして、円筒治具２とともに基
板４を炉（図示せず）内に搬送して、炉内で基板
４の上面４ｂのみを焼成している。

ところが、上記従来の両面焼成用メツシユベル
トでは、メツシユベルト１上に基板４を搭載する
場合、まずメツシユベルト１上に円筒治具２を載
せてから円筒治具２内に基板４を固定するため、
基板４のメツシユベルト１への搭載に手間を要し
て時間が掛かる。また炉内で基板４を焼成する場
合、基板４と共に円筒治具２も熱しなければなら
ないが、円筒治具２は嵩が大きいため、円筒治具
２を熱するのにかなりの熱量を要して基板４を熱
する以外に余分な熱エネルギを消費するという問
題がある。また、上記円筒治具２はその形状が一
定の半割れ形状であるため、基板４のサイズが異
なれば円筒治具２を替えなければならず、汎用性
に乏しいという問題がある。また円筒治具２の形
状は半割れ形状で凸側を下にしてメツシユベルト
１上に円筒治具２を載せているため、安定性が悪
く基板４を安定して支持できず、基板４が傾いて
完全な焼成を行うことが難しいという問題があ
る。

〈考案の目的〉 そこで、この考案の目的は、メツシユベルトと
基板支持部材とを一体に設けることにより、基板
の基板支持部材上への安定した搭載および基板支
持部材からの積み卸しを迅速かつ簡単にでき、ま
た基板の両面を同時に焼成できて基板の高速処理
ができ、さらに基板のための特別の治具を不要に
できて電力消費を低減でき、加えて汎用性のある
両面焼成用メツシユベルトを提供することにあ
る。

〈考案の構成〉 上記目的を達成するために、この考案の両面焼
成用メツシユベルトは、進行方向に屈曲自在で上
記進行方向と直交する幅方向にピンが抜き差し自
在に挿通されるメツシユベルトと、下部が上記ピ
ンに挿通されてメツシユベルトのワイヤの網目に
係止される一方、上部に基板が搭載される肩部と
基板の端面に当接し得て基板を位置決めし得る段
部を有する基板支持部材とを備えたことを特徴と
している。

〈実施例〉 以下、この考案を図示の実施例により詳細に説
明する。

第１図はこの考案の一実施例を示す図であり、
１１は進行方向に沿つて屈曲自在になるようにワ
イヤ１１ａで編まれたメツシユベルト、１２，１
２…は進行方向と直交する幅方向に抜き差し自在
にメツシユベルト１１に挿通されたピン、１４，
１４…は上記ピン１２に挿通されてメツシユベル
ト１１のワイヤ１１ａの網目１１ｂに互いに一定
間隔をあけて複数個係止された基板支持部材であ
る。

上記ピン１２は、その一端部を軸方向に沿つて
180度反転させて屈曲させ、屈曲部１２ａと直線
部１２ｂとを形成している。一方、上記基板支持
部材１４は、第２，３図に示すような形状に一定
幅の板材を左右対称に屈曲させて形成されてい
る。すなわち、基板支持部材１４は、その上部１
４ａに肩部１５，１５とこれに上方に向けて連な
る段部１６，１６を左右にそれぞれ有する一方、
その下部１４ｂに水平部１８，１８とこれに下方
に向けて連なる垂直部１９，１９を左右にそれぞ
れ有する。上部１４ａと下部１４ｂとは図示する
ように滑らかに連なつている。上記肩部１５は外
方に向けてある角度で下方へ傾斜するように形成
される一方、段部１６は肩部１５に対して純角に
なるように傾斜を持たせて形成されている。上記
垂直部１９，１９にはピン１２が挿通する穴２
１，２１をそれぞれ設けている。

そして、第４図から第７図に示すように、上記
メツシユベルト１１の網目１１ｂに進行方向およ
び幅方向にそれぞれ沿つて互いに一定間隔をあけ
て規則正しく基板支持部材１４の下部１４ｂを挿
入した後、上記基板支持部材１４の下部１４ｂの
穴１８，１８にピン１２の直線部１２ｂを挿通し
てピン１２の屈曲部１２ａをメツシユベルト１１
のイヤ１１ａに係合させ基板支持部１４とピン１
２とを固定する。こうすると、基板支持部材１４
の水平部１８の背面１８ａがワイヤ１１ａ上に載
つて、基板支持部材１４は安定した状態で水平に
配置される。基板支持部材１４の肩部１５に基板
２２の端部２２ａを搭載すると段部１６により基
板支持部１４の位置決めができると共に基板２２
は水平に配置される。また肩部１５と段部１６と
はともに傾斜しているので基板２２の端部２２ａ
の背面２２ｃと肩部１５との接触は線接触となる
一方、基板２２の端面２２ｂは段部１６に接触し
ない。

したがつて、基板支持部１４の肩部１５に基板
２２を搭載して炉内で基板２２を焼成すると、ガ
スは水平に位置した基板２２の両面に均一に触れ
て基板２２の両面を同時に良好に焼成できて基板
２２の焼成工数を減らすことができ、高速処理が
可能となる。また基板２２の基板支持部１４への
搭載あるいは積み卸しは、基板支持部１４が規則
正しく配置されているので容易かつ簡単に行い得
る。また基板支持部１４の位置関係を自動制御装
置（図示せず）を用いて予め記憶させれば自動的
に基板２２の搭載あるいは積み卸しを行うことも
可能である。また基板支持部１４の相互の位置関
係はメツシユベルト１１のワイヤ１１ａの網目１
１ｂのピツチとピン１２を利用することにより容
易かつ簡単に変えられるので、基板２２のサイズ
に関係なく肩部１５に基板２２を搭載できて汎用
性に富む。また基板２２をメツシユベルト１１に
搭載する場合、治具を要しないので治具を加熱す
る必要もなく消費電力の節約となる。また基板２
２の背面２２ｃはメツシユベルト１１の上面から
浮かして基板支持部材１４の肩部１５に搭載して
いるので基板２２の背面２２ｃが汚れることはな
い。

〈考案の効果〉 以上の説明から明らかなように、この考案の両
面焼成用メツシユベルトは、進行方向に屈曲自在
で上記進行方向と直交する幅方向にピンが抜き差
し自在に挿通されるメツシユベルトと、下部が上
記ピンに挿通されてメツシユベルトのワイヤの網
目に係止される一方、上部に基板が搭載される肩
部と基板の端面に当接し得て基板を位置決めし得
る段部を有する基板支持部材とを備えたものであ
る。したがつて、この考案によれば、基板支持部
の相互の位置関係をメツシユベルトのワイヤの網
目とピンを利用することにより容易に変更できる
ので、基板のサイズに関係なく基板を基板支持部
の肩部に容易かつ簡単に搭載できる。またメツシ
ユベルトと基板支持部とを一体に設けたので基板
のための治具を必要とせず、消費電力を節減でき
る。また基板を基板支持部の肩部に搭載する際に
基板支持部の段部により基板の位置決めを行い得
るので搭載あるいは積み卸し作業を迅速かつ容易
にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す図、第２図
は上記実施例の基板支持部を示す図、第３図は第
２図の−線矢視図、第４図は基板支持部がメ
ツシユベルトにピンにより係止された状態図、第
５図は第４図の−線矢視図、第６図は基板支
持部がメツシユベルトに係止された全体図、第７
図は第６図の−線矢視図、第８図は従来例を
示す図である。 １１……メツシユベルト、１１ａ……ワイヤ、
１１ｂ……網目、１２……ピン、１４……基板支
持部材、１５……肩部、１６……段部、２２……
基板、２２ｂ……端面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 進行方向に屈曲自在で上記進行方向と直交する
   幅方向にピンが抜き差し自在に挿通されるメツシ
   ユベルトと、下部が上記ピンに挿通されてメツシ
   ユベルトのワイヤの網目に係止される一方、上部
   に基板が搭載される肩部と基板の端面に当接し得
   て基板を位置決めし得る段部を有する基板支持部
   材とを備えたことを特徴とする両面焼成用メツシ
   ユベルト。