JPH022948Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空ポンプ、特に回転式（スクリユ
ー式）の真空ポンプと往復動式の真空ポンプを直
列に接続して２段式にしたものの改良に関するも
のである。

（従来の技術） 真空ポンプには、高い真空度を得るために、真
空ポンプを２段式にしたものがある。その一つの
例として、一対のロータが協働して回転すること
により気体を吸引する回転式の真空ポンプに、往
復動式の真空ポンプを直列に接続したものがあ
る。この場合、第１段側の真空ポンプと第２段側
の真空ポンプとは同一の駆動源で駆動されること
になる。

（考案が解決しようとする問題点） このような構造の真空ポンプでは、二つの真空
ポンプの真空室を接続した通路に洩れが生ずる
と、その部分の圧力が上昇し、やがて大気圧以上
になることがある。このように大気圧以上になつ
ても駆動源（電動機）はそのまま作動を続けるの
で、過大な負荷がかかることになり、駆動源が故
障を生じたり、第２段側の往復動式の真空ポンプ
の各部材に大きな負担が加わり、これを破損する
ことになる問題がある。本考案はこの問題を解決
するためになされたものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記問題点を解決するための手段とし
て、一対のロータが協働して回転することにより
気体を吸引する回転式の真空ポンプと、該回転式
の真空ポンプと同一の駆動源によつて駆動される
往復動式の真空ポンプと、前記回転式の真空ポン
プと前記往復動式の真空ポンプの両駆動軸の間に
取付けられたクラツチと、両真空ポンプの真空室
間を連通する通路内の圧力を検出するセンサと、
該センサの出力によつて前記クラツチに結合解除
の指令を与える制御部と、を備えたものである。

（作 用） このような構成とすれば、二つの真空ポンプの
真空室を連通した部分の圧力が上昇したときに
は、クラツチによつて一方の真空ポンプの作動を
停止させ、駆動源の負担を軽減させることできる
ことになる。

（実施例） 次に、本考案の一実施例を図について説明す
る。１は第１段側の回転式の真空ポンプで、この
真空ポンプ１は、筒状のケーシング２の両端を吸
込側のカバー３と吐出側のカバー４で覆つた真空
室５の内部に、ベアリング６，７，８，９，１
６，１７で軸１０，１１の部分を回転自在に支持
された雌ロータ１２と雄ロータ１３で大略構成さ
れているものである。１４，１５はオイルシール
である。図示は省略するが真空室５は図の左側部
位において被真空体（真空にすべきもの）に接続
されるようになつている。

吐出側のカバー４には第２段側の往復動式の真
空ポンプ１８のケーシング１９が結合している。
このケーシング１９の他側はカバー２０で閉塞さ
れており、上部にはシリンダ２１が取付けられて
いる。このケーシング１９の内部には、カツプリ
ング２２により駆動軸２３に結合されたクランク
軸２４が貫通しており、カバー４の内部に設けら
れた電磁クラツチ２５を介して軸１１に結合して
いる。軸１１と軸１０とはギヤ２６，２７によつ
て結合している。２８，２９はベアリング、３０
はオイルシール、３１はバランスウエイトであ
る。クランク軸２４にはコンロツド３２を介して
ピストン３３が結合されており、真空室３４内の
気体を負圧にするようになつている。３５はシー
ル材である。

第１段側の真空ポンプ１と第２段側の真空ポン
プ１８の各真空室５，３４は、通路３６によつて
接続されている。これにより、真空室５に接続さ
れた被真空体は、二つの真空ポンプ１，１８で真
空にされることになる。通路３６には、通路３６
内の圧力を検出するセンサ３７が取付けられてい
る。このセンサ３７は制御部３８に出力信号を送
り、制御部３８は、あらかじめ設定された値とセ
ンサ３７からの信号との比較を行なつて、通路３
６内の圧力が高いとき、電線３９によつて電磁ク
ラツチ２５を切離するような指令を与えられるよ
うになつている。

このように構成されたこの装置は、次のように
作動する。まず、図示しない駆動源を作動させる
と、その回転力は、駆動軸２３からカツプリング
２２を介してクランク軸２４に伝達され、これを
回転させてピストン３３を昇降させる。これによ
り真空室３４内は真空状態になる。通常の状態で
は電磁クラツチ２５は結合しているから軸１１も
回転駆動され、この軸１１およびこの軸１１にギ
ヤ２６，２７を介して結合している軸１０も回転
する。これにより雄ロータ１３と雌ロータ１２が
回転するので真空室５の内部は結果的に二つの真
空ポンプ１，１８で真空引きされることになる。

洩れその他の理由によつて通路３６内の圧力、
すなわち真空室５，３４内の圧力が上昇すると、
この状態はセンサ３７によて検出され、制御部３
８に伝えられる。これにより電磁クラツチ２５は
切離するので、駆動力は第２段側の真空ポンプ１
８のみを駆動することになる。これにより駆動源
への負荷は著しく軽減する。この作動で圧力が低
下すれば電磁クラツチ２５は再度結合するので、
二つの真空ポンプ１，１８が直列に作動すること
になる。

以上説明した実施例は電磁クラツチ２５を使用
したので、その姿勢がどの向きであつても重力の
影響を受けずに確実に作動する効果がある。ま
た、通路３５内の圧力（中間圧）が大気圧以上か
ら以下に変化した場合、連結できる可逆性にでき
る効果もある。本考案としては電磁クラツチを使
用せず、これに代えてボールとバネとを用いたカ
ツプリングを用い、大気圧以上になるとその力で
カツプリング内のバネを押さえ付けてボールをは
ずし、これによつてクランク軸２４と軸１１との
結合を解くようにするものも考えることができ
る。

（考案の効果） 本考案は以上説明したような構成のものである
から、洩れなどの理由によつて中間圧が上昇した
とき、一つの真空ポンプのみを運転することにな
るので、駆動源に過大な負荷をかけなくて済むこ
とになる効果がある。駆動源に過大な負荷をかけ
ないので駆動源の寿命を延ばすことができること
になる。そして真空タンクで洩れが生じた場合に
は、駆動源（発動機）を停めずに補修することが
できる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の一実施例の断面図である。 １，１８……真空ポンプ、５，３４……真空
室、２５……電磁クラツチ、３７……センサ、３
８……制御部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一対のロータが協働して回転することにより気
   体を吸引する回転式の真空ポンプと、該回転式の
   真空ポンプと同一の駆動源によつて駆動される往
   復動式の真空ポンプと、前記回転式の真空ポンプ
   と前記往復動式の真空ポンプの両駆動軸の間に取
   付けられたクラツチと、両真空ポンプの真空室間
   を連通する通路内の圧力を検出するセンサと、該
   センサの出力によつて前記クラツチに結合解除の
   指令を与える制御部と、を備えたことを特徴とす
   る真空ポンプの保護装置。