JPH0229633B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

（技術分野） 本発明は、セラミツクス・タービンロータおよ
びその製造法に係り、特にセラミツクス成形体か
ら成る一体成形の翼部と翼支持部とが、セラミツ
クスペースト等の接合材料を介することなく一体
に接合されてなるセラミツクス・タービンロータ
およびその製造法に関するものである。 （従来技術） 窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等のシリコン
セラミツクスは、金属よりも高温で安定であり、
酸化腐食やクリープ変形を受け難いところから、
近年、それをエンジン部品として利用する研究が
活発に行なわれている。とりわけ、これらセラミ
ツクス材料からなるラジアル型タービンロータ
は、金属製ロータに比べて、軽量でエンジンの作
動温度を高めることができ、熱効率に優れている
ために、自動車用ターボチヤージヤーロータ或い
はガスタービンロータ等として注目を集めてい
る。 而して、かかるタービンロータは、複雑な三次
元形状を成す翼部を有しているため、焼結された
単純な形状の、例えば緻密な窒化珪素、炭化珪素
焼結体等の棒状或いは角状素材を研削加工によつ
て所望の形状に仕上げることは、不可能に近いも
のであることは勿論、単に１回の成形操作にて、
そのような複雑な形状の成形体を得ることは極め
て困難であり、またロータの外部において要求さ
れる強度等の性能も異なることが、そのような手
法による製造を困難としているのである。 このため、従来から、最終製品たるタービンロ
ータを与えるセラミツクス成形品を、複雑な形状
の翼部と棒状の翼支持部とに分割して成形し、そ
れらを接合せしめて、一つの製品を形成する方法
が検討されてきている。例えば、本願出願人が先
に出願した特開昭57−88201号公報には、セラミ
ツクス成形体から成る翼部とセラミツクス成形体
から成る翼支持部とを、セラミツクスペーストを
介して嵌め合わせ、焼結により一体に接合するロ
ータの製法であつて、該ロータの中心軸と翼部の
背面が構成する平面との交点と、ブレード間の中
心線がロータの中心軸に対して作る曲面とを結ぶ
線上において、前記交点から接合面までの距離を
d₁、そしてこの接合面から前記曲面までの距離を
d₂とした時、d₁≧d₂であり、且つ翼支持部が翼部
前面に露出しないように常圧焼結により両成形体
を一体構造に接合する製造法が明らかにされてい
る。 すなわち、第２図に示されているようなラジア
ル型タービンロータにあつては、複数のブレード
２を有する複雑な形状の翼部４を例えば射出成形
にて形成する一方、棒状の翼支持部６を例えば金
型プレスにて成形し、翼部４に設けられた截頭円
錐状の湾曲凹面を成す接合面８と、翼支持部６の
先端に形成された截頭円錐状の湾曲凸面を成す接
合面１０とを、それらにセラミツクスペーストを
塗布して嵌め合わせ、その後両成形体を常圧焼結
して一体に接合することによつて、製造してい
る。また、このように接合された状態において
は、ロータの中心軸Ｓと翼部４の背面が構成する
平面１２との交点Ｑと、ブレード２，２間の中心
線がロータの中心軸Ｓに対して作る曲面１４とを
結ぶ線上において、交点Ｑから接合面８，１０ま
での距離：d₁と、接合面８，１０から曲面１４ま
での距離：d₂とが、d₁≧d₂の関係を有し、且つ翼
支持部６の先端が翼部４の前面１６に露出しない
ように構成される。 このようにすれば、翼部４および翼支持部６の
セラミツクス成形体を、それらに要求される特性
に応じてそれぞれ別々に設計し得るのであり、ま
た、d₁≧d₂の関係を有するところから、接合部に
おける翼支持部６の肉厚が大きく、より高い機械
的強度が得られてロータの高速回転にも充分に耐
えられることとなる。さらに、翼支持部６の先端
が翼部４の前面１６に露出していないため、それ
らの接合時において、両者を大きな圧力で押し付
けることができ、良好な結合強度が得られるとと
もに、接合部が露出しないため、急激な熱衝撃を
受けた場合にも接合部に対する影響が緩和され、
且つ高温ガスによる腐食が防止される。 （問題点） しかしながら、このような先に提案した優れた
製造法にも、未だ解決されるべき問題点が残され
ているのである。すなわち、翼部４と翼支持部６
とが、両接合面８，１０間に介在せしめられたセ
ラミツクスペーストにて接合されるようになつて
いるところから、製造されたセラミツクス・ター
ビンロータにおいては、(a)接合時にペーストに含
まれている空気が接合界面の先端部に残つて欠陥
となり易い；(b)接合面８，１０に塗布したペース
トの厚さが不均一となり、接合強度が低下し易
い；等の問題があり、また、その製造に際して
は、(c)接合時に翼部４および翼支持部６のセラミ
ツクス成形体を湿らせる必要があり、それ故に予
め仮焼し、成形体に強度を付与しなければならな
い；(d)接合面８，１０に塗布したペーストのバイ
ンダーを除去するために、焼成前に予め仮焼する
必要がある；等の問題があつたのである。 ここにおいて、本発明の主たる目的とするとこ
ろは、従来のセラミツクス成形体の接合方式に見
られた前記の諸欠点を悉く解決することにあり、
そしてそれらセラミツクス成形体の接合部の空隙
等による接合不良を防止することにある。また、
本発明の他の目的は、セラミツクスペーストによ
る接合層をなくし、セラミツクス相互の反応性を
高め、接合強度を増大させることにある。さら
に、本発明の他の異なる目的とするところは、ペ
ーストの使用に伴う接合前の仮焼、ペーストの調
製、焼成前の仮焼等の操作を不要と為し、目的と
するセラミツクス・タービンロータの製造工程を
短縮することにある。 （解決手段） そして、かかる目的を達成するために、本発明
に従うセラミツクス・タービンロータにあつて
は、セラミツクス成形体から成る一体成形の翼部
と翼支持部とを一体に接合して、焼結したロータ
であり、そして、前述のように距離：d₁、d₂がd₁
≧d₂の関係を有し且つ翼支持部が翼部前面に露出
していないものであつて、しかも翼部および翼支
持部の密度が実質的に同一であり、更に翼部およ
び翼支持部の接合面に接合材料を有していないこ
とを特徴としているのである。 また、このようなセラミツクス・タービンロー
タは、本発明に係る以下のような製造法にて好適
に製造され得る。 すなわち、セラミツクス成形体から成る翼部と
セラミツクス成形体から成る翼支持部とを嵌め合
わせ、等方静水圧加圧により圧密して、両成形体
を実質的に密接した一体構造に接合した後、焼結
するロータの製法において、それぞれの空隙率が
39.5〜55％であり且つ等方静水圧加圧収縮率の差
が0.5％以下となるように、前記翼部および翼支
持部を構成するセラミツクス成形体をそれぞれ準
備し、そして、前述のように距離：d₁、d₂がd₁≧
d₂の関係を有し且つ翼支持部が翼部前面に露出し
ないように、前記翼部および翼支持部を、セラミ
ツクペーストを介することなく、等方静水圧加圧
して、両成形体を実質的に密接した一体構造に接
合した後、常圧下で焼成するのである。 要するに、この本発明手法にあつては、セラミ
ツクス成形体から成る翼部および翼支持部の空隙
率並びに収縮率をコントロールして、それらを等
方静水圧加圧せしめることにより、それらセラミ
ツクス成形体の接合面に、従来の如き接合ペース
トを介在せしめることなく、それらの接合を実現
し得たものであるところから、接合操作が著しく
簡略化され得、また接合面での接合ペーストの存
在によつて、従来から必要とされていた接合前の
仮焼、ペーストの調製、焼成前の仮焼等の操作が
悉く不要となつたのであり、さらに接合面に接合
ペーストが存在することによる接合強度の低下や
空気の巻込みによる欠陥の発生等の問題も、効果
的に解消され得ることとなつたのである。 ところで、かかる本発明における翼部および翼
支持部を構成するセラミツクス成形体のセラミツ
クス材料としては、窒化珪素、炭化珪素、サイア
ロン、或いは焼成によりそれらを生成する物質等
があり、翼部および翼支持部に要求される特性に
応じて適宜選択し、それらのセラミツクス成形体
が、まず射出成形法等の公知の成形手法に従つて
成形されることとなる。そして、こうして形成さ
れる複数のセラミツクス成形体は、何れもその空
隙率〔＝（真比重−嵩比重）×100／真比重〕が
39.5〜55％、より好ましくは45〜50％の範囲内に
入り、しかもそれらの同一条件下での等方静水圧
加圧収縮率〔＝（等方静水圧加圧前の寸法−等方
静水圧加圧後の寸法）×100／等方静水圧加圧前の
寸法〕の差が0.5％以下、好ましくは0.3％以下と
なるように成形されることとなるのである。ま
た、成形体の寸法測定は、接合部近傍が好ましい
部位として選択される。 このように、接合されるべきセラミツクス成形
体の空隙率並びに等方静水圧加圧収縮率の差を所
定の範囲内にコントロールすることによつて、従
来の如く接合ペーストを必要とすることなく、単
なる等方静水圧加圧のみによつて、それらの有効
な接合、一体化が可能となつたのであり、かかる
範囲外の空隙率や収縮率差を有するセラミツクス
成形体の組合せにおいては、本発明に従う等方静
水圧加圧によるそれらの接合を有効に行なうこと
が困難となる。また、それら翼部および翼支持部
を構成するセラミツクス成形体は、それらの一体
焼成を可能とし、その焼成時におけるクラツク等
の発生を避けるために、一般に焼成収縮率の差が
約３％以下となるようにして形成されるのが好ま
しい。 なお、かかるセラミツクス成形体のそれぞれの
収縮率は、同一条件において予め各々の成形体、
焼成体にてそれぞれの等方静水圧加圧収縮率、焼
成収縮率を求めておくことにより決定される。接
合後の各々の収縮率は相互に接合される成形体の
影響を受け、単独（単品）の場合の収縮率より多
少変動するが、その変動は概ね本発明の規定範囲
内のものであり、それ故単独の場合の収縮率を基
準にしても、本発明が実質的に影響を受けること
はないのである。 また、そのような所定の空隙率並びに等方静水
圧加圧収縮率差を与えるセラミツクス成形体は、
それらの組合せによつて目的とするセラミツク
ス・タービンロータを与え得る形成とされるが、
その組合せ形態は適宜に選択されることとなる。
例えば、前記第２図に示される如きラジアル型タ
ービンロータにあつては、第１図ａに示されてい
るように、その翼部４と翼支持部６とがそれぞれ
別個に上記空隙率を満足し、且つ所定の収縮率差
を有するように準備されるのである。なお、複雑
な形状を有する翼部４は、一般に射出成形法によ
つて形成されることが望ましいが、その他の成形
手法を採用することも可能である。また、射出成
形体から成る翼部４に対して、他の成形手法（金
型プレス成形等）によつて得られる翼支持部６を
組み合わせても、上記した空隙率並びに収縮率差
を満足する限りにおいて、それら成形体を有効に
接合することが可能である。さらに、本発明にて
用いられるセラミツクス成形体は、その成形操作
時に用いられたバインダーを少量含むものであつ
ても良く、また成形後にそのようなバインダーを
除去したもの、或いは成形体に強度を付与させる
目的で仮焼を施したものであつても何等差支えな
いのである。 そして、こうして形成されたセラミツクス成形
体から成る翼部および翼支持部は、それらの接合
面において実質的に相互に馴染む形状、換言すれ
ば隙間を形成することなく密接せしめ得る形状に
加工されるのである。例えば、例示のタービンロ
ータにあつては、第１図ａに示される如く、その
翼部４の接合面８および翼支持部６の接合面１０
は、それぞれ前述したように相対応する湾曲凹面
および湾曲凸面とされているのである。なお、こ
のようなセラミツクス成形体の接合面８，１０
は、例示の如き截頭円錐状に形成されることが望
ましいが、その他の嵌合せ構造を採用することも
可能である。 また、この接合部が実質的に相互に馴染む形状
に加工された両セラミツクス成形体は、それらの
接合面に、従来の如きセラミツクスペーストは何
等介在せしめられることなく、それらの接合面を
当接せしめることによつて嵌め合わせられ、そし
て更にそれらの嵌合せ体に等方静水圧加圧を加え
るために、第１図ｂに示される如く、その嵌合せ
体の全表面がラテツクスゴムの如き弾性体１８に
て被覆せしめられることとなる。 次いで、この弾性体１８にて嵌合せ体を覆つた
状態下において、その全体を通常の等方静圧加圧
手法によつて加工せしめ、以てかかる嵌合せ体を
圧密する。換言すれば、等方静圧加圧による等方
圧縮によつて成形体自体を緻密化すると共に、そ
の嵌め合わされた両セラミツクス成形体を、その
嵌合面（接合面）において密接、圧着せしめて、
一体的に接合せしめる操作が実施される。要する
に、この等方静水圧加圧によつて、第１図ｂに示
される如き、弾性体１８にて気密に包囲されたタ
ービンロータの翼部４と翼支持部６との嵌合せ体
は、あらゆる方向からの加圧力を受けることとな
り、以てセラミツクス成形体たるそれら翼部４及
び翼支持部６が効果的に加圧、圧縮せしめられ
て、緻密化されると同時に、翼部４と翼支持部６
とがそれらの接合面８，１０において効果的に密
着せしめられて一体化するようになるのである。
そして、このように翼部４と翼支持部６とを、そ
の圧縮と同時に、それらの接合面８，１０におい
て圧着せしめて一体化するためには、前述の如
く、それぞれのセラミツクス成形体、即ち翼部４
及び翼支持部６のそれぞれの空隙率並びにそれら
の間の等方静水圧加圧収縮率の差を規制する必要
があるのであり、そしてそのような規制によつて
のみ、はじめて接合ペーストを使用することな
く、セラミツクス成形体の接合が可能となつたの
である。 なお、このようなセラミツクス成形体の圧縮、
圧着による一体化のための等方静水圧加圧操作
は、通常の手順に従つて行なわれ得るものであ
り、またその際の圧力としては、それぞれのセラ
ミツクス成形体の有効な圧縮が行なわれ且つそれ
らセラミツクス成形体の接合面が圧着、結合され
て、有効な一体的構造を与え得る圧力が適宜に選
定されるが、一般的には1ton／cm²程度以上、好ま
しくは2ton／cm²程度以上の圧力が採用されること
となる。この理由は、接合しようとするそれぞれ
のセラミツクス成形体の等方静水圧加圧収縮率が
1.5％以上、好ましくは2.5％以上であることが接
合一体化に好ましいためである。 また、この等方静水圧加圧手法によつて両セラ
ミツクス成形体を一体的に接合せしめてなる成形
体接合物にあつては、その接合界面に接合ペース
トが何等存在しておらず、それぞれの成形体を構
成する材料同士の一体的な接合とされているとこ
ろから、接合ペースト自体による問題、例えばそ
の塗布厚さの不均一による接合強度の低下や空気
の巻込みによる欠陥の発生等の問題が、何等惹起
されることがないのである。 そして、かくして得られた一体的な成形体接合
物は、その後、常法に従つて常圧下において加
熱、焼結せしめられ、目的とする形状の強固なセ
ラミツクス・タービンロータが形成されることと
なる。すなわち、等方静水圧加圧によつて得られ
た一体的な接合物を構成するセラミツクス成形体
部分のそれぞれが、同時に一体に常圧焼結せしめ
られることにより、接合部にクラツク等を生じる
ことなく、第１図ｃに示される如く、目的とする
形状のラジアル型タービンロータが完成されるの
である。 そして、このようにして常圧焼結されて得られ
たセラミツクス・タービンロータにあつては、そ
の翼部と翼支持部の密度が実質的に同一のものと
なり、以てそれら翼部と翼支持部との接合界面で
の残留応力がなく、均一となるところから、熱的
応力、機械的応力に対して優れた性能を発揮する
こととなるのである。 なお、翼部４および翼支持部６の接合部におけ
る肉厚は、第１図ｃに示す距離：d₁、d₂がd₁≧d₂
の関係を充たし、且つ翼支持部６の先端は翼部４
の前面１６から露出しないように設定されてお
り、これにより、翼支持部６の機械的強度が両者
の接合強度が高められるなど、種々の利点が得ら
れることは前述した通りである。 以上、本発明に係るセラミツクス・タービンロ
ータおよびその製造法を、図面に基づいて詳細に
説明したが、本発明はこれ等の記載によつて何等
制限的に解釈されるべきものではなく、例えば、
本発明のセラミツクス・タービンロータの形状は
上記以外の形状であつても何等差支えないのであ
り、また、上記本発明に係る製造法以外の製造法
を採用することも可能なのである。 （発明の効果） このように、本発明に係るセラミツクス・ター
ビンロータによれば、セラミツクス成形体から成
る翼部と翼支持部とが、従来の如くセラミツクス
ペースト等の接合材料を用いることなく、従つて
セラミツクスペースト等の接合層を有することな
く一体に接合せしめられた構造とされているた
め、それぞれの成形体のセラミツクス相互の反応
性が効果的に高められ、それらの接合強度が向上
せしめられるとともに、接合材料に含まれている
空気や接合材料の塗布厚さの不均一等に起因し
て、接合不良等の欠陥を生じることが効果的に抑
制されるのである。 しかも、翼部、翼支持部の密度に差がないこと
から、接合界面での残留応力がなく、均一となる
ため、熱的応力や機械的応力に優れた性能を示す
のである。 また、その製造に際しては、セラミツクスペー
ストを用いないため、そのようなペーストの使用
に伴う接合前のセラミツクス成形体の仮焼やペー
ストの調製、更には焼成前の成形体の仮焼等の操
作が不要となり、これによつて目的とするセラミ
ツクス・タービンロータの製造（接合操作）の工
程を有利に短縮せしめ、以てその製造コストを低
下せしめ、またその生産性を向上せしめ得たので
ある。 （実施例） 次に、本発明を更に具体的に明らかにするため
に、本発明に従う実施例を第１表に示した。第１
表の実施例のうち、(a)、(b)、(g)、(h)について説明
する。また、実施例の記載中、ロータ翼部および
軸部は、それぞれ複数個作製しているが、これら
は本発明の実施に伴い、必要に応じ、特性の確認
をするためである。なお、本発明は、上述した本
発明の具体的な説明並びに第１表の実施例の他に
も、各種の態様において実施され得るものであ
り、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当
業者の知識に基づいて種々なる態様において実施
され得るものは、何れも本発明の範疇に属するも
のであることが理解されるべきである。 実施例 １ 平均粒径1μｍのSi₃N₄粉末100重量部に対して、
焼結助剤としてSrO2重量部、MgO3重量部、及
びCeO₂3重量部を添加した常圧焼結用Si₃N₄混合
物を調製した。そして、この調製された混合物の
一部にポリエチレンワツクス15重量％、ステアリ
ン酸２重量％を加えて、加熱、混練せしめ、射出
成形用セラミツクス原料を調製した。次いで、第
１図に示される如きセラミツクス・タービンロー
タの翼部４を得るべく、前記セラミツクス原料を
射出成形して、目的とする複数個の翼部４を作製
した。なお、この射出成形操作に用いられた金型
は、焼成後の翼部４の最大直径が50mmとなるラジ
アル型タービンロータを与え得る寸法のものであ
つた。 そして、この得られた複数個の成形体４から３
体をサンプリングして成形体の密度を求めたとこ
ろ、2.16ｇ／c.c.であつた。次いで、残りの成形体
４を、電気炉中において３℃／hrの昇温速度で
400℃まで加熱せしめ、更にその温度に５時間保
持することにより、脱脂を行なつた。この脱脂後
の複数個の成形体４から数個をサンプリングし、
成形体の密度、空隙率および2.5ton／cm²等方静水
圧加圧収縮率、密度を求めた。成形体４の空隙率
は、47.1％であつた。結果を、第１表中(a)で示し
た。 一方、前記調製された常圧焼結用Si₃N₄混合物
を用いて、成形体の空隙率が48.3％になるように
1000Kg／cm²の圧力でラバープレス機で等方圧縮
し、複数の軸部成形体を得た。この得られた複数
個の成形体から数個をサンプリングし、成形体の
密度、空隙率および2.5ton／cm²等方静水圧加圧収
縮率、密度を求めた。結果を、第１表中(b)で示し
た。成形体の空隙率は、48.3％であつた。第１表
に示す如く、翼部４と翼支持部６の等方静圧加圧
収縮率の差は0.1％であつた。そして、残りの成
形体を用いて、その先端を旋盤加工にて湾曲面を
有する截頭円錐状に加工せしめ、第１図の翼支持
部６を作成した。 このようにして得られた複数個の翼部４と複数
個の翼支持部６のそれぞれの接合面８，１０を旋
盤加工にて平滑にして、d₁≧d₂となるように実質
的に相互に馴染む形状に加工した後、それら翼部
４と翼支持部６を嵌め合わせ、更にその嵌合せ体
の全体をラテツクスゴムで気密に被覆せしめた
後、2.5ton／cm²の圧力でラバープレスを行なつ
て、等方静水圧加圧することにより、翼部４およ
び翼支持部６がその当接接合面８，１０において
一体に接合された複数個の成形体接合物を得た。 この得られた複数個の成形体接合物を観察した
ところ、これら成形体接合物のどこにもクラツク
は認められず、翼部４と翼支持部６とは強固に接
合、一体化されたものであつた。また、これら接
合物から数個をサンプリングし、翼部４および翼
支持部６の各々の成形体の等方静水圧加圧収縮率
及び密度を求めた。結果を、第１表中(a)、(b)で示
した。 次いで、かくして得られた複数個の成形体接合
物を、窒素雰囲気中において、1720℃で30分間常
圧焼成し、その後、旋盤加工にて精密に仕上げる
ことにより、第１図ｃに示されるラジアル型セラ
ミツクス・タービンロータを複数個得た。そし
て、この得られたタービンロータから数個をサン
プリングし、切断したところ、前記翼部４と翼支
持部６を接合界面には何等の異相も認められなか
つた。さらに、切断したロータの翼部部分４及び
軸部部分６の密度をそれぞれ測定した。結果を、
第１表中に(a)、(b)に示した。 比較例 平均粒径1μｍのSi₃N₃粉末を用いて、実施例１
と同様にして、第１表中(g)に示すように、密度が
1.76ｇ／c.c.、空隙率が47.1％、等方静水圧加圧収
縮率3.2％の翼部４を複数個作製した。 一方、実施例の常圧焼結用Si₃N₄混合物を用い
て、得られる成形体の空隙率が47.1％となるよう
に、1300Kg／cm²の圧力でラバープレス機で等方圧
縮し、翼支持部６に相当する複数個の軸部形成体
を得た。これらの成形体から実施例１と同様に数
個をサンプリングして、特性を測定し、第１表中
(h)に示す結果を得た。翼部４と翼支持部６との等
方静水圧加圧収縮率の差は、0.7％であつた。そ
して、旋盤加工にて、かかる成形体の先端を湾曲
した截頭円錐形状に加工せしめ、目的とする翼支
持部６を作製した。 そして、かくして得られた複数個の翼部４と翼
支持部６のそれぞれの接合面８，１０を旋盤加工
にて平滑にした後、それらの嵌め合わせ、更にそ
の全体をラテツクスゴムで覆い、2.5ton／cm²の圧
力でラバープレスを行なうことにより、翼部４お
よび翼支持部６を接合して、一体化した複数個の
成形体接合物を得た。 この得られた成形体接合物を観察したところ、
翼部４と翼支持部６の接合部から翼部４のブレー
ド２，２間にかけてクラツクが認められ、その後
の使用に適さないことがわかつた。

【表】

【表】 【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂ及びｃは、それぞれセラミツク
ス・タービンロータを製造するための本発明手法
の工程の一つを示す断面説明図である。第２図は
従来のセラミツクス・タービンロータの一例を示
す断面図である。 ２：ブレード、４：翼部、６：翼支持部、８，
１０：接合面、１２：平面、１４：曲面、１６：
翼部前面、Ｓ：ロータの中心軸、Ｑ：交点、d₁：
交点から接合面までの距離、d₂：接合面から曲面
までの距離。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ セラミツクス成形体から成る一体成形の翼部
   と翼支持部とを一体に接合して、焼結したロータ
   であつて、該ロータの中心軸と前記翼部の背面が
   構成する平面との交点と、該翼部のブレード間の
   中心線がロータの中心軸に対して作る曲面とを結
   ぶ線上において、前記交点から接合面までの距離
   をd₁、接合面から前記曲面までの距離をd₂とした
   時、d₁≧d₂であり、且つ接合面に接合材料を有さ
   ず、翼部および翼支持部の密度が実質的に同一
   で、しかも翼支持部が翼部前面に露出していない
   ことを特徴とする一体構造のセラミツクス・ター
   ビンロータ。 ２ 前記セラミツクス成形体が、窒化珪素、炭化
   珪素、またはサイアロンにて構成されている特許
   請求の範囲第１項記載のロータ。 ３ 前記翼部が、セラミツクスの射出成形体にて
   構成される特許請求の範囲第１項又は第２項記載
   のロータ。 ４ セラミツクス成形体から成る翼部とセラミツ
   クス成形体から成る翼支持部とを嵌め合わせ、等
   方静水圧加圧により圧密して、両成形体を実質的
   に密接した一体構造に接合した後、焼結するロー
   タの製法であつて、それぞれの空〓率が39.5〜55
   ％であり且つ等方静水圧加圧収縮率の差が0.5％
   以下となるように、前記翼部および翼支持部を構
   成するセラミツクス成形体をそれぞれ準備し、そ
   して、該翼支持部の中心軸と該翼部の背面が構成
   する平面との交点と、該翼部のブレード間の中心
   線が該翼支持部の中心軸に対して作る曲面とを結
   ぶ線上において、前記交点から接合面までの距離
   をd₁、接合面から前記曲面までの距離をd₂とした
   時、d₁≧d₂であり、且つ該翼支持部が該翼部前面
   に露出しないように、該翼部および翼支持部を、
   セラミツクスペーストを介することなく、等方静
   水圧加圧して、両成形体を実質的に密接した一体
   構造に接合した後、常圧下で焼成することを特徴
   とするセラミツクス・タービンロータの製造法。 ５ 前記セラミツクス成形体が、窒化珪素、炭化
   珪素、またはサイアロンにて構成されている特許
   請求の範囲第４項記載の製造法。 ６ 前記翼部が、セラミツクスの射出成形体にて
   構成される特許請求の範囲第４項又は第５項記載
   の製造法。 ７ 前記翼部及び翼支持部を構成するセラミツク
   ス成形体の空〓率が、それぞれ45％〜50％である
   特許請求の範囲第４項乃至第６項の何れかに記載
   の製造法。 ８ 前記セラミツクス成形体の等方静水圧加圧収
   縮率の差が、0.3％以下である特許請求の範囲第
   ４項乃至第７項の何れかに記載の製造法。