JPS61111976A - セラミックス・タービンロータおよびその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、セラミックス・タービンロータおよびその製
造法に係り、特にセラミックス成形体から成る一体成形
の翼部と翼支持部とが、セラミックスペースト等の接合
材料を介することなく一体に接合されてなるセラミック
ス・タービンロータおよびその製造法に関するものであ
る。

（従来技術） 窒化珪素、炭化珪素、サイアロン等のシリコンセラミッ
クスは、金属よりも高温で安定であり、酸化腐食やクリ
ープ変形を受は難いところから、近年、それをエンジン
部品として利用する研究が活発に行なわれている。とり
わけ、これらセラミックス材料からなるラジアル型ター
ビンロータは、金属製ロータに比べて、軽量でエンジン
の作動温度を高めることができ、熱効率に優れているた
めに、自動車用ターボチャージャーロータ或いはガスタ
ービンロータ等として注目を集めている。

而して、かかるタービンロータは、複雑な三次元形状を
成す翼部を有しているため、焼結された単純な形状の、
例えば緻密な窒化珪素、炭化珪素焼結体等の棒状或いは
角状素材を研削加工によって所望の形状に仕上げること
は、不可能に近いものであることは勿論、単に１回の成
形操作にて、そのような複雑な形状の成形体を得ること
は極めて困難であり、またロータの各部において要求さ
れる強度等の性能も異なることが、そのような手法によ
る製造を困難としているのである。

このため、従来から、最終製品たるタービンロータを与
えるセラミックス成形品を、複雑な形状の翼部と棒状の
翼支持部とに分割して成形し、それらを接合せしめて、
一つの製品を形成する方法が検討されてきている。例え
ば、本願出願人が先に出願した特開昭５７−８８２０１
号公報には、セラミックス成形体から成る翼部とセラミ
ックス成形体から成る翼支持部とを、セラミックスペー
ストを介して嵌め合わせ、焼結により一体に接合するロ
ータの製法であって、該ロータの中心軸と翼部の背面が
構成する平面との交点と、ブレード間の中心線がロータ
の中心軸に対して作る曲面とを結ぶ線上において、前記
交点から接合面までの距離をｄいそしてこの接合面から
前記曲面までの距離をｄ２とした時、ｄ、≧ｄ２であり
、且つ翼支持部が翼部前面に露出しないように常圧焼結
により両成形体を一体構造に接合する製造法が明らかに
されている。

すなわち、第２図に示されているようなラジアル型ター
ビンロータにあっては、複数のブレード２を有する複雑
な形状の翼部４を例えば射出成形にて形成する一方、棒
状の翼支持部６を例えば金型ブレスにて成形し、翼部４
に設けられた截頭円錐状の湾曲凹面を成す接合面８と、
翼支持部６の先端に形成された截頭円錐状の湾曲凸面を
成す接合面１０とを、それらにセラミックスペーストを
塗布して嵌め合わせ、その後側成形体を常圧焼結して一
体に接合することによって、製造している。

また、このように接合された状態においては、ロータの
中心軸Ｓと翼部４の背面が構成する平面１２との交点Ｑ
と、ブレード２．２間の中心線がロータの中心軸Ｓに対
して作る曲面１４とを結ぶ線上において、交点Ｑから接
合面８．１０までの距離：ｄｌと、接合面８，１０から
曲面１４までの距離：ｄ２とが、ｄ、≧ｄ２の関係を有
し、且つ翼支持部６の先端が翼部４の前面１６に露出し
ないように構成される。

このようにすれば、翼部４および翼支持部６のセラミッ
クス成形体を、それらに要求される特性に応じてそれぞ
れ別々に設計し得るのであり、また、ｄ、≧ｄ２の関係
を有するところから、接合部における翼支持部６の肉厚
が大きく、より高い機械的強度が得られてロータの高速
回転にも充分に耐えられることとなる。さらに、翼支持
部６の先端が翼部４の前面１６に露出していないため、
それらの接合時において、両者を大きな圧力で押し付け
ることができ、良好な結合強度が得られるとともに、接
合部が露出しないため、急激な熱衝撃を受けた場合にも
接合部に対する影響が緩和され、且つ高温ガスによる腐
食が防止される。

（問　題　点） しかしながら、このような先に提案した優れた製造法に
も、未だ解決されるべき問題点管（残されているのであ
る。すなわち、翼部４と翼支持部６とが、両接合面８．
１０間に介在せしめられたセラミックスペーストにて接
合されるようになっているところから、製造されたセラ
ミックス・タービンロータにおいては、（ａ）接合時に
ペーストに含まれている空気が接合界面の先端部に残っ
て欠陥となり易い；　（ｂ）接合面８，１０に塗布した
ペーストの厚さが不均一となり、接合強度が低下し易い
；等の問題があり、また、その製造に際しては、（ｃ）
接合時に翼部４および翼支持部６のセラミックス成形体
を湿らせる必要があり、それ故に予め仮焼し、成形体に
強度を付与しなければならない；　（ｄ）接合面８．ｌ
Ｏに塗布したペーストのバインダーを除去するために、
焼成前に予め仮焼する必要がある；等の問題があったの
である。

ここにおいて、本発明の主たる目的とするところは、従
来のセラミックス成形体の接合方式に見られた前記の諸
欠点を悉く解消することにあり、そしてそれらセラミッ
クス成形体の接合部の空隙環による接合不良を防止する
ことにある。また、本発明の他の目的は、セラミックス
ペーストによる接合層をなくし、セラミックス相互の反
応性を高め、接合強度を増大させることにある。さらに
、本発明の他の異なる目的とするところは、ペーストの
使用に伴う接合前の仮焼、ペーストの調製、焼成前の仮
焼等の操作を不要と為し、目的とするセラミックス・タ
ービンロータの製造工程を短縮することにある。

（解決手段） そして、かかる目的を達成するために、本発明に従うセ
ラミックス・タービンロータにあっては、セラミックス
成形体から成る一体成形の翼部と翼支持部とを焼結によ
り一体に接合したロータであり、そして、前述のように
距離：ｄ、、ｄ２がｄ１≧ｄ２の関係を有し且つ翼支持
部が翼部前面に露出していないものであって、翼部およ
び翼支持部の接合面に接合材料を有していないことを特
徴としているのである。

また、このようなセラミックス・タービンロータは、本
発明に係る以下のような製造法にて好適に製造され得る
。

すなわち、セラミックス成形体から成る翼部とセラミッ
クス成形体から成る翼支持部とを嵌め合わせ、等方静圧
加圧した後、焼結により一体に接合するロータの製法に
おいて、それぞれの空隙率が３９．５〜５５％であり且
つ等方静圧加圧収縮率の差が０．５％以下となるように
、前記翼部および翼支持部を構成するセラミックス成形
体をそれぞれ準備し、そして、前述のように距離：ｄ、
、ｄ。

がｄ、≧ｄ２の関係を有し且つ翼支持部が翼部前面に露
出しないように、前記翼部および翼支持部を、セラミッ
クスペーストを介することなく、等方静圧加圧により圧
密した後、常圧焼結により両成形体を一体構造に接合す
るのである。

要するに、この本発明手法にあっては、セラミックス成
形体から成る翼部および翼支持部の空隙率並びに収縮率
をコントロールして、それらを等方静圧加圧せしめるこ
とにより、それらセラミックス成形体の接合面に、従来
の如き接合ペーストを介在せしめることな（、それらの
接合を実現し得たものであるところから、接合操作が著
しく簡略化され得、また接合面での接合ペーストの存在
によって、従来から必要とされていた接合前の仮焼、ペ
ーストの調製、焼成前の仮焼等の操作が悉く不要となっ
たのであり、さらに接合面に接合ペーストが存在するこ
とによる接合強度の低下や空気の巻込みによる欠陥の発
生等の問題も、効果的に解消され得ることとなったので
ある。

ところで、かかる本発明における翼部および翼支持部を
構成するセラミックス成形体のセラミックス材料として
は、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、或いは焼成によ
りそれらを生成する物質等があり、翼部および翼支持部
に要求される特性に応じて適宜選択し、それらのセラミ
ックス成形体が、まず射出成形法等の公知の成形手法に
従って成形されることとなる。そして、こうして形成さ
れる複数のセラミックス成形体は、何れもその空隙率〔
＝（真比重−嵩比重）Ｘ１００／真比重〕が３９．５〜
５５％、より好ましくは４５〜５０％の範囲内に入り、
しかもそれらの同一条件下での等方静圧加圧収縮率〔＝
（等方静圧加圧前の寸法−等方静圧加圧後の寸法）ｘ　
１００／等方静圧加圧前の寸法〕の差が０．５％以下、
好ましくは０．３％以下となるように成形されることと
なるのである。

また、成形体の寸法測定は、接合部近傍が好ましい部位
として選択される。

このように、接合されるべきセラミックス成形体の空隙
率並びに等方静圧加圧収縮率の差を所定の範囲内にコン
トロールすることによって、従来の如く接合ペーストを
必要とすることなく、単なる等方静圧加圧のみによって
、それらの有効な接合、一体化が可能となったのであり
、かかる範囲外の空隙率や収縮率差を有するセラミック
ス成形体の組合せにおいては、本発明に従う等方静圧加
圧によるそれらの接合を有効に行なうことが困難となる
。また、それら翼部および翼支持部を構成するセラミッ
クス成形体は、それらの一体焼成を可能とし、その焼成
時におけるクランク等の発生を避けるために、一般に焼
成収縮率の差が約３％以下となるようにして形成される
のが好ましい。

なお、かかるセラミックス成形体のそれぞれの収縮率は
、同一条件において予め各々の成形体、焼成体にてそれ
ぞれの等方静圧加圧収縮率、焼成収縮率を求めておくこ
とにより決定される。接合後の各々の収縮率は相互に接
合される成形体の影響を受け、単独（単品）の場合の収
縮率より多少変動するが、その変動は概ね本発明の規定
範囲内のものであり、それ故単独の場合の収縮率を基準
にしても、本発明が実質的に影響を受けることはないの
である。

また、そのような所定の空隙率並びに等方静圧加圧収縮
率差を与えるセラミックス成形体は、それらの組合せに
よって目的とするセラミックス・タービンロータを与え
得る形状とされるが、その組合せ形態は適宜に選択され
ることとなる。例えば、前記第２図に示される如きラジ
アル型タービンロータにあっては、第１図（ａ）に示さ
れているように、その翼部４と翼支持部６とがそれぞれ
別個に上記空隙率を満足し、且つ所定の収縮率差を有す
るように準備されるのである。なお、複雑な形状を有す
る翼部４は、一般に射出成形法によって形成されること
が望ましいが、その他の成形手法を採用することも可能
である。また、射出成形体から成る翼部４に対して、他
の成形手法（金型プレス成形等）によって得られる翼支
持部６を組み合わせても、上記した空隙率並びに収縮率
差を満足する限りにおいて、それら成形体を有効に接合
することが可能である。さらに、本発明にて用いられる
セラミックス成形体は、その成形操作時に用いられたバ
インダーを少量含むものであっても良く、また成形後に
そのようなバインダーを除去したもの、或いは成形体に
強度を付与させる目的で仮焼を施したものであっても同
等差支えないのである。

そして、こうして形成されたセラミックス成形体から成
る翼部および翼支持部は、それらの接合面において実質
的に相互に馴染む形状、換言すれば隙間を形成すること
なく密接せしめ得る形状に加工されるのである。例えば
、例示のタービンロータにあっては、第１図（ａ）に示
される如く、その翼部４の接合面８および翼支持部６の
接合面１０は、それぞれ前述したように相対応する湾曲
凹面および湾曲凸面とされているのである。なお、この
ようなセラミックス成形体の接合面（８，１０）は、例
示の如き截頭円錐状に形成されることが望ましいが、そ
の他の嵌合せ構造を採用することも可能である。

また、この接合面が実質的に相互に馴染む形状に加工さ
れた両セラミックス成形体は、それらの接合面に、従来
の如きセラミックスペーストは何隻介在せしめられるこ
となく、それらの接合面を当接せしめることによって嵌
め合わせられ、そして更にそれらの嵌合せ体に等方静圧
加圧を加えるために、第１図（ｂ）に示される如く、そ
の嵌合せ体の全表面がラテックスゴムの如き弾性体１８
にて被覆せしめられることとなる。

次いで、この弾性体１８にて嵌合せ体を覆った状態下に
おいて、その全体を通常の等方静圧加圧手法によって加
圧せしめ、以てかかる嵌合せ体を圧密する。換言すれば
、等方静圧加圧による等方圧縮によって成形体自体を緻
密化すると共に、その嵌め合わされた両セラミックス成
形体を、その嵌合面（接合面）において密接、圧着せし
めて、一体的に接合せしめる操作が実施される。要する
に、この等方静圧加圧によって、第１図（ｂ）に示され
る如き、弾性体１８にて気密に包囲されたタービンロー
タの翼部４と翼支持部６との嵌合せ体は、あらゆる方向
からの加圧力を受けることとなり、以てセラミックス成
形体たるそれら翼部４及び翼支持部６が効果的に加圧、
圧縮せしめられて、緻密化されると同時に、翼部４と翼
支持部６とがそれらの接合面８，１０において効果的に
密着せしめられて、一体化するようになるのである。

そして、このように翼部４と翼支持部６とを、その圧縮
と同時に、それらの接合面８．１０において圧着せしめ
て一体化するためには、前述の如く、それぞれのセラミ
ックス成形体、即ち翼部４及び翼支持部６のそれぞれの
空隙率並びにそれらの間の等方静圧加圧収縮率の差を規
制する必要があるのであり、そしてそのような規制によ
ってのみ、はじめて接合ペーストを使用することなく、
セラミックス成形体の接合が可能となったのである。

なお、このようなセラミックス成形体の圧縮、圧着によ
る一体化のための等方静圧加圧操作は、通常の手順に従
って行なわれ得るものであり、またその際の圧力として
は、それぞれのセラミックス成形体の有効な圧縮が行な
われ且つそれらセラミックス成形体の接合面が圧着、結
合されて、有効な一体的構造を与え得る圧力が適宜に選
定されるが、−Ｃ的にはｌ　ｔｏｎ　／　ｃＪ程度以上
、好ましくは２ｔｏｎ／ｃｎｆ程度以上の圧力が採用さ
れることとなる。この理由は、接合しようとするそれぞ
れのセラミックス成形体の等方静圧加圧収縮率が１．５
％以上、好ましくは２．５％以上であることが接合一体
化に好ましいためである。

また、この等方静圧加圧手法によって両セラミックス成
形体を一体的に接合せしめてなる成形体接合物にあって
は、その接合界面に接合ペーストが何隻存在しておらず
、それぞれの成形体を構成する材料同士の一体的な接合
とされているところから、接合ペースト自体による問題
、例えばその塗布厚さの不均一による接合強度の低下や
空気の巻込みによる欠陥の発生等の問題が、同等惹起さ
れることがないのである。

そして、かくして得られた一体的な成形体接合物は、そ
の後、常法に従って常圧下において加熱、焼結せしめら
れ、目的とする形状の強固なセラミックス・タービンロ
ータが形成されることとなる。

すなわち、等方静圧加圧によって得られた一体的な接合
物を構成するセラミックス成形体部分のそれぞれが、同
時に一体に常圧焼結せしめられることにより、接合部に
クランク等を生じることなく、第１図（ｃ）に示される
如く、目的とする形状のラジアル型タービンロータが完
成されるのである。

なお、翼部４および翼支持部６の接合部における肉厚は
、第１図（Ｃ）に示す距離：ｄ、、ｄ２がｄ、≧ｄ２の
関係を充たし、且つ翼支持部６の先端は翼部４の前面１
６から露出しないように設定されており、これにより、
翼支持部６の機械的強度や両者の接合強度が高められる
など、種々の利点が得られることは前述した通りである
。

以上、本発明に係るセラミックス・タービンロータおよ
びその製造法を、図面に基づいて詳細に説明したが、本
発明はこれ等の記載によって同等制限的に解釈されるべ
きものではなく、例えば、本発明のセラミックス・ター
ビンロータの形状は上記以外の形状であっても同等差支
えないのであり、また、上記本発明に係る製造法以外の
製造法を採用することも可能なのである。

（発明の効果） このように、本発明に係るセラミックス・タービンロー
タによれば、セラミックス成形体から成る翼部と翼支持
部とが、従来の如くセラミックスペースト等の接合材料
を用いることなく、従ってセラミックスペースト等の接
合層を有することなく一体に接合せしめられた構造とさ
れているため、それぞれの成形体のセラミックス相互の
反応性が効果的に高められ、それらの接合強度が向上せ
しめられるとともに、接合材料に含まれている空気や接
合材料の塗布厚さの不均一等に起因して、接合不良等の
欠陥を生じることが効果的に抑制されるのである。

また、その製造に際しては、セラミックスペーストを用
いないため、そのようなペーストの使用に伴う接合前の
セラミックス成形体の仮焼やペーストの調製、更には焼
成前の成形体の仮焼等の操作が不要となり、これによっ
て目的とするセラミックス・タービンロータの製造（接
合操作）のエアー＼ 程を有利に短縮せしめ、以てその製造コストを低下せし
め、またその生産性を向上せしめ得たのである。

（実　施　例） 次に、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発
明に従う実施例を第１表に示した。第１表の実施例のか
ち、（ａ）＋、（ｂ）、　　（ｇ）。

（ｈ）について説明する。また、実施例の記載中、ロー
タ翼部および軸部は、それぞれ複数個作製しているが、
これは本発明の実施に伴い、必要に応じ、特性の確認を
するためである。なお、本発明は、上述した本発明の詳
細な説明並びに第１表の実施例の他にも、各種の態様に
おいて実施され得るものであり、本発明の趣旨を逸脱し
ない限りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる態
様において実施され得るものは、何れも本発明の範曙に
属するものであることが理解されるべきである。

実施例　１ 平均粒径１μｍのＳｉ、Ｎ、粉末１００重量部に対して
、焼結助剤として５ｒ０２重量部、Ｍｇ０３重量部、及
びＣｅＯ□３重量部を添加した常圧焼結用５ｔ３Ｎ、混
合物を調製した。そして、この調製された混合物の一部
にポリエチレンワックス１５重量％、ステアリン酸２重
量％を加えて、加熱、混練せしめ、射出成形用セラミッ
クス原料を調製した。次いで、第１図に示される如きセ
ラミックス・タービンロータの翼部４を得るべく、前記
セラミックス原料を射出成形して、目的とする複数個の
翼部４を作製した。なお、この射出成形操作に用いられ
た金型は、焼成後の翼部４の最大直径が５０ｍｍとなる
ラジアル型タービンロータを与え得る寸法のものであっ
た。

そして、この得られた複数個の成形体（４）から３体を
サンプリングして成形体の密度を求めたところ、２．１
６ｇ／ｃｃであった。次いで、残りの成形体く４）を、
電気炉中において３°Ｃ／　ｈ　ｒの昇温速度で４００
℃まで加熱せしめ、更にその温度に５時間保持すること
により、脱脂を行なった。

この脱脂後の複数個の成形体（４）から数個をサンプリ
ングし、成形体の密度、空隙率および２．５ｔｏｎ／ｃ
ｎ１等方静圧加圧収縮率、密度を求めた。成形体（４）
の空隙率は、４７．１％であった。結果を、第１表中（
ａ）で示した。

一方、前記調製された常圧焼結用Ｓｉ、Ｎ、混合物を用
いて、成形体の空隙率が４８．３％になるように１００
０　ｋｇ／ａｄの圧力でラバープレス機で等方圧縮し、
複数個の軸部成形体を得た。この得られた複数個の成形
体から数個をサンプリングし、成形体の密度、空隙率お
よび２．５　ｔｏｎ　／　ｃｒＡ等方静圧加圧収縮率、
密度を求めた。結果を、第１表中（ｂ）で示した。成形
体の空隙率は、４８．３％であった。第１表に示す如く
、翼部４と翼支持部６の等方静圧加圧収縮率の差は０．
１％であった。そして、残りの成形体を用いて、その先
端を旋盤加工にて湾曲面を有する截頭円錐状に加工せし
め、第１図の翼支持部６を作成した。

このようにして得られた複数個の翼部４と複数個の翼支
持部６のそれぞれの接合面８．１０を旋盤加工にて平滑
にして、ｄ、≧ｄ２となるように実質的に相互に馴染む
形状に加工した後、それら翼部４と翼支持部６を嵌め合
わせ、更にその嵌合せ体の全体をラテックスゴムで気密
に被覆せしめた後、２．５　ｔｏｎ　／　ｃｎ！の圧力
でラバープレスを行なって、等方静圧加圧することによ
り、翼部４および翼支持部６がその当接接合面８，１０
において一体に接合された複数個の成形体接合物を得た
。

この得られた複数個の成形体接合物を観察したところ、
これら成形体接合物のどこにもクランクは認められず、
翼部４と翼支持部６とは強固に接合、一体化されたもの
であった。また、これら接合物から数個をサンプリング
し、翼部４および翼支持部６の各々の成形体の等方静圧
加圧収縮率及び密度を求めた。結果を、第１表中（ａ）
、　　（ｂ）で示した。

次いで、かくして得られた複数個の成形体接合物を、窒
素雰囲気中において、１７２０℃で３０分間常圧焼成し
、その後、旋盤加工にて精密に仕上げることにより、第
１図（ｃ）に示されるラジアル型セラミックス・タービ
ンロータを複数個得た。そして、この得られたタービン
ロータから数個をサンプリングし、切断したところ、前
記翼部４と翼支持部６の接合界面には何等の異相も認め
られなかった。さらに、切断したロータの翼部部分（４
）及び軸部部分（６）の密度をそれぞれ測定した。結果
を、第１表中（ａ）、　　（ｂ）に示した。

比較例 平均粒径１μｍのＳｉ３Ｎ４粉末を用いて、実施例１と
同様にして、第１表中（ｇ）に示すように、密度が１．
７６ｇ／ｃｃ、空隙率が４７．１％、等方静圧加圧収縮
率３．２％の翼部４を複数個作製した。

一方、実施例の常圧焼結用５ｊｓＮ４混合物を用いて、
得られる成形体の空隙率が４７．１％となるように、１
３００ｋｇ／ｃｏｇの圧力でラバープレス機で等方圧環
し、翼支持部６に相当する複数個の軸部形成体を得た。

これらの成形体から実施例１と同様に数個をサンプリン
グして、特性を測定し、第１表中（ｈ）に示す結果を得
た。翼部４と翼支持部６との等方静圧加圧収縮率の差は
、０．７％であった。そして、旋盤加工にて、かかる成
形体の先端を湾曲した截頭円錐形状に加工せしめ、目的
とする翼支持部６を作製した。

そして、かくして得られた複数個の翼部４と翼支持部６
のそれぞれの接合面８．１０を旋盤加工にて平滑にした
後、それらを嵌め合わせ、更にその全体をラテックスゴ
ムで覆い、２．５　ｔｏｎ　／　ｃｒＡの圧力でラバー
プレスを行なうことにより、翼部４および翼支持部６を
接合して、一体化した複数個の成形体接合物を得た。

この得られた成形体接合物を観察したところ、翼部４と
翼支持部６の接合部から翼部４のブレード２．２間にか
けてクランクが認められ、その後の使用に適さないこと
がわかった。

【図面の簡単な説明】 第１図（ａ）、　　（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれセラ
ミックス・タービンロータを製造するための本発明手法
の工程の一つを示す断面説明図である。 第２図は従来のセラミックス・タービンロータの一例を
示す断面図である。 ２ニブレード　　　４：翼部 ６：翼支持部　　　８．１０：接合面 １２：平面　　　　１４：曲面 １６：翼部前面　　Ｓ二ロータの中心軸Ｑ：交点

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）セラミックス成形体から成る一体成形の翼部と翼
   支持部とを、焼結により一体に接合したロータであって
   、該ロータの中心軸と前記翼部の背面が構成する平面と
   の交点と、該翼部のブレード間の中心線がロータの中心
   軸に対して作る曲面とを結ぶ線上において、前記交点か
   ら接合面までの距離をｄ＿１、接合面から前記曲面まで
   の距離をｄ＿２とした時、ｄ＿１≧ｄ＿２であり、且つ
   接合面に接合材料を有さず、しかも翼支持部が翼部前面
   に露出していないことを特徴とする一体構造のセラミッ
   クス・タービンロータ。
2. （２）前記セラミックス成形体が、窒化珪素、炭化珪素
   、またはサイアロンにて構成されている特許請求の範囲
   第１項記載のロータ。
3. （３）前記翼部が、セラミックスの射出成形体にて構成
   される特許請求の範囲第１項又は第２項記載のロータ。
4. （４）セラミックス成形体から成る翼部とセラミックス
   成形体から成る翼支持部とを嵌め合わせ、等方静圧加圧
   した後、焼結により一体に接合するロータの製法であっ
   て、それぞれの空隙率が３９．５〜５５％であり且つ等
   方静圧加圧収縮率の差が０．５％以下となるように、前
   記翼部および翼支持部を構成するセラミックス成形体を
   それぞれ準備し、そして、該翼支持部の中心軸と該翼部
   の背面が構成する平面との交点と、該翼部のブレード間
   の中心線が該翼支持部の中心軸に対して作る曲面とを結
   ぶ線上において、前記交点から接合面までの距離をｄ＿
   １、接合面から前記曲面までの距離をｄ＿２とした時、
   ｄ＿１≧ｄ＿２であり、且つ該翼支持部が該翼部前面に
   露出しないように、該翼部および翼支持部を、セラミッ
   クスペーストを介することなく、等方静圧加圧により圧
   密した後、常圧焼結により両成形体を一体構造に接合す
   ることを特徴とするセラミックス・タービンロータの製
   造法。
5. （５）前記セラミックス成形体が、窒化珪素、炭化珪素
   、またはサイアロンにて構成されている特許請求の範囲
   第４項記載の製造法。
6. （６）前記翼部が、セラミックスの射出成形体にて構成
   される特許請求の範囲第４項又は第５項記載の製造法。
7. （７）前記翼部及び翼支持部を構成するセラミックス成
   形体の空隙率が、それぞれ４５％〜５０％である特許請
   求の範囲第４項乃至第６項の何れかに記載の製造法。
8. （８）前記セラミックス成形体の等方静圧加圧収縮率の
   差が、０．３％以下である特許請求の範囲第４項乃至第
   ７項の何れかに記載の製造法。