JPH0229717A - 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム - Google Patents
固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステムInfo
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- JPH0229717A JPH0229717A JP63180941A JP18094188A JPH0229717A JP H0229717 A JPH0229717 A JP H0229717A JP 63180941 A JP63180941 A JP 63180941A JP 18094188 A JP18094188 A JP 18094188A JP H0229717 A JPH0229717 A JP H0229717A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は光変調器、プロジェクションＴＶ等に用いられ
る固体表示装置の製造方法およびプロジェクションシス
テムに関するものである。
る固体表示装置の製造方法およびプロジェクションシス
テムに関するものである。
「従来の技術」
近年、Ｐ Ｌ ＺＴ（例えば（Ｐｂｅ−１ｔＬａｅ、ｅ
＊）（Ｚｒｅ−ｓｓＴｌｇ−３ｓ）。、、７□０．）を
用いた光シャッタやデイスプレィの研究開発が盛んにな
ってきた。このＰＬＺＴをライトバルブとして用いたイ
メージプロジェクタ−は高輝度、高精細化が期待されて
いるが、その電極構造が問題となっていた。
＊）（Ｚｒｅ−ｓｓＴｌｇ−３ｓ）。、、７□０．）を
用いた光シャッタやデイスプレィの研究開発が盛んにな
ってきた。このＰＬＺＴをライトバルブとして用いたイ
メージプロジェクタ−は高輝度、高精細化が期待されて
いるが、その電極構造が問題となっていた。
一般に、ＰＬＺＴのプレートを形成するには、第６図に
示すように、ＰｂＯ，Ｌａ、０．、ＺｒＯ，、ＴｉＯ３
の各粉末を出発原料として混合し、仮焼結した後、粉砕
してＰＬＺＴ粉末を得、これに圧力をかけながら特殊な
炉で焼成してＰＬＺＴプレートまたはウェハーを形成す
る。このようなＰＬＺＴプレートまたはウェハーに電極
を形成する方法として、第７図に示すように、平板状の
ＰＬＺＴ（１）の表面に電極（２） （３）を形成する
表面電極法と、第８図に示すように、ＰＬＺＴのウェハ
ー（１）を作成し、これを２００μｍ程度にカットし、
両面に電極（２）（３）を形成し、これをガラス基板（
４）上に固着し、ワイヤリング板からなるリード線（５
）を銀接看剤（６）で取り付ける平行板電極法があった
。
示すように、ＰｂＯ，Ｌａ、０．、ＺｒＯ，、ＴｉＯ３
の各粉末を出発原料として混合し、仮焼結した後、粉砕
してＰＬＺＴ粉末を得、これに圧力をかけながら特殊な
炉で焼成してＰＬＺＴプレートまたはウェハーを形成す
る。このようなＰＬＺＴプレートまたはウェハーに電極
を形成する方法として、第７図に示すように、平板状の
ＰＬＺＴ（１）の表面に電極（２） （３）を形成する
表面電極法と、第８図に示すように、ＰＬＺＴのウェハ
ー（１）を作成し、これを２００μｍ程度にカットし、
両面に電極（２）（３）を形成し、これをガラス基板（
４）上に固着し、ワイヤリング板からなるリード線（５
）を銀接看剤（６）で取り付ける平行板電極法があった
。
「発明が解決しようとする課題」
表面電極法は加工が比較的単純であるが、ＰＬＺＴ内部
の電界分布が不均一になってクロストークやコントラス
トの低下が生じるという問題があった・ 平行板電極法は加工工程が複雑でしかも高い加工精度が
要求されるという問題があった。
の電界分布が不均一になってクロストークやコントラス
トの低下が生じるという問題があった・ 平行板電極法は加工工程が複雑でしかも高い加工精度が
要求されるという問題があった。
本発明は電極をＰＬＺＴの内部に埋設した内部電極型と
し、かつ電界が均一になり５作製が容易なものを得るこ
とを目的とするものである「課題を解決するための手段
」 本発明はＰｂＯ，Ｌａ、Ｏ，、Ｚｒ０ｚｔＴｉＯｚの各
粉末を混合し、仮焼結した後、粉砕してＰＬＺＴ粉末と
し、これに圧力をかけながら焼成して透明なＰＬＺＴ焼
結体を得、これを短冊状に切断し、上下面を光学研摩し
た光透過面とし１両側面を電極面とし、この電極面の一
方の面に複数個に分割した垂直電極パターンを、他方の
面に一連の水平電極パターンを形成し、垂直電極パター
ン同士、水平電極パターン同士が互いに接合するように
重合し、前記光透過面に、前記垂直電極を各行毎に短絡
するできるだけ細い外部電極を形成してなる固体表示装
置の製造方法である。
し、かつ電界が均一になり５作製が容易なものを得るこ
とを目的とするものである「課題を解決するための手段
」 本発明はＰｂＯ，Ｌａ、Ｏ，、Ｚｒ０ｚｔＴｉＯｚの各
粉末を混合し、仮焼結した後、粉砕してＰＬＺＴ粉末と
し、これに圧力をかけながら焼成して透明なＰＬＺＴ焼
結体を得、これを短冊状に切断し、上下面を光学研摩し
た光透過面とし１両側面を電極面とし、この電極面の一
方の面に複数個に分割した垂直電極パターンを、他方の
面に一連の水平電極パターンを形成し、垂直電極パター
ン同士、水平電極パターン同士が互いに接合するように
重合し、前記光透過面に、前記垂直電極を各行毎に短絡
するできるだけ細い外部電極を形成してなる固体表示装
置の製造方法である。
「実施例」
以下１本発明の一実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明の製造方法により作られた固体表示装置
で、この固体表示装置（１０）は厚さが例えば１．５ま
たは２．０調の透明なＰＬＺＴセラミックプレート（以
下ＰＬＺＴプレートという）（１１）に、光軸（光線の
入射する方向）と平行な垂直走査内部電極群（１２）・
・・と、水平走査内部電極群（１３）・・・が一定間隔
で埋設されており、これらのうち垂直走査内部電極群（
１２）・・・は外部電極（１４）・・・を介して端子（
１５）・・・に結合され、前記水平走査内部電極群（１
３）・・・は直接端子（１６）・・・に結合されている
。そして、水平走査内部電極（１３）とその両側の垂直
走査内部電極（１２） （１２）で囲まれた部分が１つ
の画素（１７）・・・を構成している。
で、この固体表示装置（１０）は厚さが例えば１．５ま
たは２．０調の透明なＰＬＺＴセラミックプレート（以
下ＰＬＺＴプレートという）（１１）に、光軸（光線の
入射する方向）と平行な垂直走査内部電極群（１２）・
・・と、水平走査内部電極群（１３）・・・が一定間隔
で埋設されており、これらのうち垂直走査内部電極群（
１２）・・・は外部電極（１４）・・・を介して端子（
１５）・・・に結合され、前記水平走査内部電極群（１
３）・・・は直接端子（１６）・・・に結合されている
。そして、水平走査内部電極（１３）とその両側の垂直
走査内部電極（１２） （１２）で囲まれた部分が１つ
の画素（１７）・・・を構成している。
つぎに製造方法を第２図により説明する。
（１）従来公知の方法により第２図（ａ）に示すような
ＰＬＺＴプレート焼結体（１８）を作る。なお、このＰ
ＬＺＴプレート焼結体（１８）は後述のように共沈法に
よる粉末を常圧で焼成したものであってもよい。
ＰＬＺＴプレート焼結体（１８）を作る。なお、このＰ
ＬＺＴプレート焼結体（１８）は後述のように共沈法に
よる粉末を常圧で焼成したものであってもよい。
（２）このＰＬＺＴプレート（１８）の両面を光学研摩
して上下面を光透過面（１９ａ） （１９ｂ）とする、
このときの厚さ（１）が例えば１．５〜２．０ｍとする
。
して上下面を光透過面（１９ａ） （１９ｂ）とする、
このときの厚さ（１）が例えば１．５〜２．０ｍとする
。
（３）得られたＰＬＺＴプレート（１ｇ）を例えば長さ
（１２）が４０ｍ、巾（ｄ）が１．０または０．８ｍの
短冊状に切断して各ピース（２０）・・・の切断面を粗
研摩して、両側面を電極面（１９ｃ） （１９ｄ）とす
る。
（１２）が４０ｍ、巾（ｄ）が１．０または０．８ｍの
短冊状に切断して各ピース（２０）・・・の切断面を粗
研摩して、両側面を電極面（１９ｃ） （１９ｄ）とす
る。
（４）電極面（１９ｃ） （１９ｄ）のうち、一方の面
（１９ｃ）が上になるようにして第２図（Ｃ）のように
並べ、ガラスなどの位置合せダミーピース（２１ａ）
（２１ｂ） （２１ｃ）で押圧しながら固定する。
（１９ｃ）が上になるようにして第２図（Ｃ）のように
並べ、ガラスなどの位置合せダミーピース（２１ａ）
（２１ｂ） （２１ｃ）で押圧しながら固定する。
（５）第２図（ｆ）のような複数の垂直電極（１２）
（１２）・・・を形成するため、第２図（ｄ）のように
長さ方向と直交して一定間隔でマスキングテープ（２２
ａ）でマスクする６例えばマスキングテープ（２２ａ）
の巾を０．８ｍ、電極面を２．２ｍとする。そしテＡｇ
／＜−ストを塗布し、充分乾燥（１００”Ｃで１ｏ分間
）すると垂直電極（１２）（１２）・・・どなる。
（１２）・・・を形成するため、第２図（ｄ）のように
長さ方向と直交して一定間隔でマスキングテープ（２２
ａ）でマスクする６例えばマスキングテープ（２２ａ）
の巾を０．８ｍ、電極面を２．２ｍとする。そしテＡｇ
／＜−ストを塗布し、充分乾燥（１００”Ｃで１ｏ分間
）すると垂直電極（１２）（１２）・・・どなる。
（６）第２図（ｇ）のような１本づつの水平電極（１３
）（１３）・・・を形成するため第２図（ａ）のように
、長さ方向と平行で、かつ相隣る接合部が同じ巾（例え
ば０ 、５ ｍ ）ずつ１行おきにマスキングされるよ
うに巾１．ＯＷｍのマスキングテープ（２２ｂ）でマス
クする。
）（１３）・・・を形成するため第２図（ａ）のように
、長さ方向と平行で、かつ相隣る接合部が同じ巾（例え
ば０ 、５ ｍ ）ずつ１行おきにマスキングされるよ
うに巾１．ＯＷｍのマスキングテープ（２２ｂ）でマス
クする。
そしてＡ、ペーストを塗布し、充分乾燥すると水平電極
（１３） （１３）・・・どなる。
（１３） （１３）・・・どなる。
（７）以上のようにして一方の面（１９ｃ）に第２図（
ｆ）に示すような垂直電極（１２）・・・が形成され、
他方の面（１９ｄ）に第２図（ｇ）に示すような水平電
極（１３）・・・が形成される。
ｆ）に示すような垂直電極（１２）・・・が形成され、
他方の面（１９ｄ）に第２図（ｇ）に示すような水平電
極（１３）・・・が形成される。
（８）以上のような１個１個のピース（２０） （２０
）・・・を重ね合せる。このとき、第２図（ｈ）に示す
ように。
）・・・を重ね合せる。このとき、第２図（ｈ）に示す
ように。
垂直電極（１２） （１２）同士、水平電極（１３）
（１３）同士が互いに向き合うようにして炉内で４００
℃で乾燥する。
（１３）同士が互いに向き合うようにして炉内で４００
℃で乾燥する。
（９） ４００℃で約３０分間の乾燥後、第２図（ｉ）
のようにＰＬＺＴからなる２個の上下のダミーピース（
２４ａ） （２４ｂ）で重合したピース群（２０）・・
・をはさみ、ジルコニアプレー）−（２５）上に前記ダ
ミーピース（２４ａ）（２４ｂ）を接着し、さらに左右
のダミーピース（２４ｃ）（２４ｄ）で押圧してこのダ
ミーピース（２４ｃ） （２４ｄ）も接着する。そして
７５０℃の炉内で約３０分間焼成する。
のようにＰＬＺＴからなる２個の上下のダミーピース（
２４ａ） （２４ｂ）で重合したピース群（２０）・・
・をはさみ、ジルコニアプレー）−（２５）上に前記ダ
ミーピース（２４ａ）（２４ｂ）を接着し、さらに左右
のダミーピース（２４ｃ）（２４ｄ）で押圧してこのダ
ミーピース（２４ｃ） （２４ｄ）も接着する。そして
７５０℃の炉内で約３０分間焼成する。
（１０）このようにして一体化された積層ＰＬＺＴ（１
０）の上下面をダイモンドペーストで軽く研摩し。
０）の上下面をダイモンドペーストで軽く研摩し。
アルコールで超音波洗浄する。
（１１）第２図（ｊ）のように、同一列の垂直電極（１
２）・・・を例えば０．４＋ｍ巾の外部電極（１４）で
短絡する。
２）・・・を例えば０．４＋ｍ巾の外部電極（１４）で
短絡する。
このとき、マスキングテープ（２２ｅ）でマスクする。
また、この外部電極（１４）を形成するのは水平電極（
１３）・・・が表面に露出していない面とする。外部電
極（１４）にはコンダクティブペーストが用いられ。
１３）・・・が表面に露出していない面とする。外部電
極（１４）にはコンダクティブペーストが用いられ。
５０℃の２４時間または４００℃の５時間恒温槽にて形
成する。
成する。
（１２）第２図（ｋ）に示すように、各垂直電極（１２
）・・・に垂直端子（１５）・・・を接続する。このと
き、スライドガラスをダミーピース（２７ａ）としてホ
ルダー（２６）に固定し、このダミーピース（２７ａ）
上に、コンダクティブペーストと導電性ラッカーでラン
ド（２８ａ）を形成し、垂直端子（１５）を接続する。
）・・・に垂直端子（１５）・・・を接続する。このと
き、スライドガラスをダミーピース（２７ａ）としてホ
ルダー（２６）に固定し、このダミーピース（２７ａ）
上に、コンダクティブペーストと導電性ラッカーでラン
ド（２８ａ）を形成し、垂直端子（１５）を接続する。
（１３）第２図（１ｍ）に示すように、各水平電極（１
３）・・・についても第２図（ｋ）と同様にランド（２
８ｂ）に水平端子（１６）・・・を接続する。
３）・・・についても第２図（ｋ）と同様にランド（２
８ｂ）に水平端子（１６）・・・を接続する。
（１４）以上のようにして第２図（鵬）および姓１図（
ａ）（ｂ）に示すような素子（１０）が得られる。
ａ）（ｂ）に示すような素子（１０）が得られる。
以上のようにして構成されたＰＬＺＴの固体表示装Ｍを
プロジェクションシステムに応用した例が第３図に示さ
れる。この第３図において、 （２９）はキセノンラン
プの光源、 （３０）（３１）はブルー反射のダイクロ
イックミラー、 （３２）はグリーン反射のダイクロイ
ックミラー、（３３）はレッド反射のダイクロイックミ
ラー、（３４） ＜３５） （３６）は全反射ミラー（
３７）はプロジェクションレンズ、（３８）はスクリー
ンである。このような構成において、ブルー、グリーン
、レッドの各径路中にそれぞれ前記積層型ＰＬｚＴから
なる固体表示装置ｆ（１０） （１０） （１０）を配
置する。そして、各固体表示装置ａ （１０） （１０
） （１０）の垂直走査内部電極（１２）・・・と水平
走査内部ｆ４極（１３）・・・で構成される各＠素（１
７）・・・毎に電圧を変化させることによりマトリック
スライトバルブとして作用する。
プロジェクションシステムに応用した例が第３図に示さ
れる。この第３図において、 （２９）はキセノンラン
プの光源、 （３０）（３１）はブルー反射のダイクロ
イックミラー、 （３２）はグリーン反射のダイクロイ
ックミラー、（３３）はレッド反射のダイクロイックミ
ラー、（３４） ＜３５） （３６）は全反射ミラー（
３７）はプロジェクションレンズ、（３８）はスクリー
ンである。このような構成において、ブルー、グリーン
、レッドの各径路中にそれぞれ前記積層型ＰＬｚＴから
なる固体表示装置ｆ（１０） （１０） （１０）を配
置する。そして、各固体表示装置ａ （１０） （１０
） （１０）の垂直走査内部電極（１２）・・・と水平
走査内部ｆ４極（１３）・・・で構成される各＠素（１
７）・・・毎に電圧を変化させることによりマトリック
スライトバルブとして作用する。
前記実施例ではＰＬＺＴプレートは、予め得られた４種
類の粉末を用いて加圧焼成してなる公知の方法によるも
のを利用したが、これに限られるものではなく、以下に
説明するような共沈法により形成したものを利用するこ
ともできる。
類の粉末を用いて加圧焼成してなる公知の方法によるも
のを利用したが、これに限られるものではなく、以下に
説明するような共沈法により形成したものを利用するこ
ともできる。
共沈法によるＰＬＺＴプレートの製造方法を説明すると
。
。
硝酸鉛（Ｐｂ（Ｎｏ、）、）溶液、硝酸ランタン釦（Ｌ
ａ （Ｎ Ｏｘ ） −） ｍ液、硝酸ジルコニウム（
Ｚｒ（Ｎｏｗ）ｉ）溶液、チタンアルコキシド（Ｔ ｉ
（ｎ −ｏ −Ｃ４Ｈｓ ） ４ ）溶液を所定の割合
で混合する０例えばＰ Ｌ Ｚ Ｔ （９／６５／３５
）すなわちＰ ｂｌｌｅｓＬ Ｌａｏｓｅｓ Ｚｒａｓ
ｓｓ Ｔｘ、、、、 ｏ３となるように各溶液の割合を
予め設定して混合する。このとき、ｐＨＴＡ整のためＮ
Ｈ４０Ｈｔ＆ｆｌｌｉ合して約１時間混合する。混合し
た後、静止すると微粒子が共沈するので、これを濾紙に
て濾過する。
ａ （Ｎ Ｏｘ ） −） ｍ液、硝酸ジルコニウム（
Ｚｒ（Ｎｏｗ）ｉ）溶液、チタンアルコキシド（Ｔ ｉ
（ｎ −ｏ −Ｃ４Ｈｓ ） ４ ）溶液を所定の割合
で混合する０例えばＰ Ｌ Ｚ Ｔ （９／６５／３５
）すなわちＰ ｂｌｌｅｓＬ Ｌａｏｓｅｓ Ｚｒａｓ
ｓｓ Ｔｘ、、、、 ｏ３となるように各溶液の割合を
予め設定して混合する。このとき、ｐＨＴＡ整のためＮ
Ｈ４０Ｈｔ＆ｆｌｌｉ合して約１時間混合する。混合し
た後、静止すると微粒子が共沈するので、これを濾紙に
て濾過する。
このとき、沈澱物は水酸化物となるので脱イオン水で洗
浄しながら濾過する。微粒子を約１２０℃で約５時間乾
燥した後、ポリエチレンポットにジルコニアボールとア
セトンを入れてボールミルで約２０時間撹拌し、これを
フィルターで濾過し、再度約１２０℃で約５時間乾燥す
る。乾燥した微粉末を高純度（９９，５％以上）のアル
ミナのるつぼに入れて約８００℃で約２時間仮焼成する
。再び前記アセトンを入れボールミルで撹拌濾過し乾燥
するという工程を繰返えす、すると、ＰＬＺＴの粉末が
得られる。このときの粉末の特性は、比重７．８ ｇ
／ｃｄ、１次粒子径（ａ小径）約０．１μ■、２次粒子
径（最大径）約０．９２μ■、比表面積約８．４ｒｄ／
ｇであった。
浄しながら濾過する。微粒子を約１２０℃で約５時間乾
燥した後、ポリエチレンポットにジルコニアボールとア
セトンを入れてボールミルで約２０時間撹拌し、これを
フィルターで濾過し、再度約１２０℃で約５時間乾燥す
る。乾燥した微粉末を高純度（９９，５％以上）のアル
ミナのるつぼに入れて約８００℃で約２時間仮焼成する
。再び前記アセトンを入れボールミルで撹拌濾過し乾燥
するという工程を繰返えす、すると、ＰＬＺＴの粉末が
得られる。このときの粉末の特性は、比重７．８ ｇ
／ｃｄ、１次粒子径（ａ小径）約０．１μ■、２次粒子
径（最大径）約０．９２μ■、比表面積約８．４ｒｄ／
ｇであった。
ＰＬＺＴの共沈粉末に、有機バインダ（ポリビニルブチ
ラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、有機溶剤（
メチルエチルケトンとトルエンの５０％ずつの混合液）
を加え、ボールミルで撹拌し、スラリー状物を作る。こ
れを真空説泡器で溶剤を除去し、粘度１０，０００〜３
０，０ＯＯｃ、ｐ、とする、このスラリー状物を約８０
℃の雰囲気中を３０ｃｍ／ｗｉｎ程度で移動するテープ
上にドクターブレードシート成型機を用いて所定厚さの
ＰＬＺＴのグリーンシート（生シート）を形成する。こ
の生シートを加熱しバインダを除去しながら雰囲気焼成
してＰＬＺＴ焼結体を得る。
ラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、有機溶剤（
メチルエチルケトンとトルエンの５０％ずつの混合液）
を加え、ボールミルで撹拌し、スラリー状物を作る。こ
れを真空説泡器で溶剤を除去し、粘度１０，０００〜３
０，０ＯＯｃ、ｐ、とする、このスラリー状物を約８０
℃の雰囲気中を３０ｃｍ／ｗｉｎ程度で移動するテープ
上にドクターブレードシート成型機を用いて所定厚さの
ＰＬＺＴのグリーンシート（生シート）を形成する。こ
の生シートを加熱しバインダを除去しながら雰囲気焼成
してＰＬＺＴ焼結体を得る。
「発明の効果」
（１）走査電極間の印加電圧の変化に対し、光強度が第
４図のように略直線的に変化する特性が得られ、光の制
御が容易かつ精密になる。
４図のように略直線的に変化する特性が得られ、光の制
御が容易かつ精密になる。
（２）走査’！極への駆動電圧の立上りと王立りに対し
て光強度の変化のレスポンスが第５図に示すように１０
μｓｅｃと極めて早い。
て光強度の変化のレスポンスが第５図に示すように１０
μｓｅｃと極めて早い。
（３）光軸に対し、走査電極の方向が一致しているので
走査電極によって透過光量がほとんど妨げられることが
ない。
走査電極によって透過光量がほとんど妨げられることが
ない。
（４）電界分布が均一になるので、クロストークやコン
トラストの低下がほとんどない。
トラストの低下がほとんどない。
（５）短冊状ピースの積層によって形成するので。
同一品質のものが多数、しかも簡単に製造できる。
第１図は本発明による固体表示装置の一実施例を示すも
ので、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、第２図（ａ）
〜（Ｑ）は製造工程の説明図、第３図は本発明装置を用
いたプロジェクションシステムの説明図、第４図は印加
電圧−光強度特性図、第５図はレスポンスの特性図、第
６図は従来品の製造工程のフローチャート、第７図は従
来品の斜視図、第８図は他の従来品の製造工程の説明図
である。 （１）−“°従来のＰＬＺＴプレー ト、 （２）（３
）−電極。 （４）・・・ガラス基板、（５）・・・リード線、 （
６）・・・銀接着剤、（１０）・・・固体表示装置！、
（１１）・・・本発明によるＰＬＺＴプレート、（１
２）・・・垂直走査内部電極、（１３）・・・水平走査
内部電極、 （１４）・・・外部電極、（１５） （１
６）・・・端子、 （１７）・・・画素、 （Ｉｌｌ）
・・・ＰＬＺＴ焼結体、（１９ａ） （１９ｂ）−光透
過面、 （１９ｃ）（１９ｄ）−電極面、 （２０）・
・・ピース、 （２１ａ）（２１ｂ）（２１ｃ）（２１
ｄ）−ダミーピース。 （２２ａ） （２２ｂ） （２２ｃ）−マスキングテー
プ、 （２４ａ）（２４ｂ）（２４ｃ） （２４ｄ）−
ダミーピース、（２６）−・・ホルダー、（２７ａ）
（２７ｂ）−ダミーピース、（２８ａ） （２８ｂ）
（２９） ・＝光源。 （３０） （３１）・・・ブルー反射ダイクロイックミ
ラー、（３２）・・・グリーン反射ダイクロイックミラ
ー、 （３３）・・・レッド反射ダイクロイックミラー
、 （３４）（３５）（３６）・・・全反射ミラー、
（３７）・・・プロジェクションレンズ。 （３８）・・・スクリーン。
ので、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、第２図（ａ）
〜（Ｑ）は製造工程の説明図、第３図は本発明装置を用
いたプロジェクションシステムの説明図、第４図は印加
電圧−光強度特性図、第５図はレスポンスの特性図、第
６図は従来品の製造工程のフローチャート、第７図は従
来品の斜視図、第８図は他の従来品の製造工程の説明図
である。 （１）−“°従来のＰＬＺＴプレー ト、 （２）（３
）−電極。 （４）・・・ガラス基板、（５）・・・リード線、 （
６）・・・銀接着剤、（１０）・・・固体表示装置！、
（１１）・・・本発明によるＰＬＺＴプレート、（１
２）・・・垂直走査内部電極、（１３）・・・水平走査
内部電極、 （１４）・・・外部電極、（１５） （１
６）・・・端子、 （１７）・・・画素、 （Ｉｌｌ）
・・・ＰＬＺＴ焼結体、（１９ａ） （１９ｂ）−光透
過面、 （１９ｃ）（１９ｄ）−電極面、 （２０）・
・・ピース、 （２１ａ）（２１ｂ）（２１ｃ）（２１
ｄ）−ダミーピース。 （２２ａ） （２２ｂ） （２２ｃ）−マスキングテー
プ、 （２４ａ）（２４ｂ）（２４ｃ） （２４ｄ）−
ダミーピース、（２６）−・・ホルダー、（２７ａ）
（２７ｂ）−ダミーピース、（２８ａ） （２８ｂ）
（２９） ・＝光源。 （３０） （３１）・・・ブルー反射ダイクロイックミ
ラー、（３２）・・・グリーン反射ダイクロイックミラ
ー、 （３３）・・・レッド反射ダイクロイックミラー
、 （３４）（３５）（３６）・・・全反射ミラー、
（３７）・・・プロジェクションレンズ。 （３８）・・・スクリーン。
Claims (4)
- （１）ＰｂＯ、Ｌａ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿
２の各粉末を混合焼成して透明なＰＬＺＴ焼結体を得、
これを短冊状に切断し、上下面を光学研摩した光透過面
とし、両側面を電極面とし、この電極面の一方の面に複
数個に分割した垂直電極パターンを、他方の面に一連の
水平電極パターンを形成し、垂直電極パターン同士、水
平電極パターン同士が互いに接合するように重合し、前
記光透過面に、前記垂直電極を各行毎に短絡するできる
だけ細い外部電極を形成してなることを特徴とする固体
表示装置の製造方法。 - （２）ＰＬＺＴ焼結体はＰｂＯ、Ｌａ＿２Ｏ＿３、Ｚｒ
Ｏ＿２、ＴｉＯ＿２の各粉末を混合し、仮焼結した後、
粉砕してＰＬＺＴ粉末を得、これに圧力をかけながら焼
成したものからなる請求項（１）記載の固体表示装置の
製造方法。 - （３）ＰＬＺＴ焼結体は共沈法により得られたＰＬＺＴ
の共沈粉末を用いて加熱焼結したものからなる請求項（
１）記載の固体表示装置の製造方法。 - （４）ブルー光線径路、グリーン光線径路、レッド光線
径路にそれぞれ積層ＰＬＺＴを介在させた後プロジェク
ションレンズ系へ供給するようにしたプロジェクション
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63180941A JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63180941A JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229717A true JPH0229717A (ja) | 1990-01-31 |
| JPH0448363B2 JPH0448363B2 (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=16091955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63180941A Granted JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229717A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113196163A (zh) * | 2018-12-18 | 2021-07-30 | Ipg光子公司 | 用于制造图案化SrB4BO7和PbB4O7晶体的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325692A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-03 | 松下電器産業株式会社 | カ−ソル制御装置 |
| JPS63180941A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-26 | Konica Corp | 放射線画像読取方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP63180941A patent/JPH0229717A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325692A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-03 | 松下電器産業株式会社 | カ−ソル制御装置 |
| JPS63180941A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-26 | Konica Corp | 放射線画像読取方法及びその装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113196163A (zh) * | 2018-12-18 | 2021-07-30 | Ipg光子公司 | 用于制造图案化SrB4BO7和PbB4O7晶体的方法 |
| CN113196163B (zh) * | 2018-12-18 | 2023-08-08 | Ipg光子公司 | 用于制造图案化SrB4BO7和PbB4O7晶体的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0448363B2 (ja) | 1992-08-06 |
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