JPH0229723Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （利用分野） この考案は半導体製造の工程において、ウエー
ハ上に形成されたチツプの性能を検査する際使用
されるプローブカードに係わるものである。ここ
でプローブカードはプロービングマシンに取り付
けられ、検査すべきチツプの電極に対応して接触
針が植えられているもので、チツプの品種により
別個に準備されている。

（従来技術） プローブカードにはそれが使用されるチツプの
品種、コンタクト数等の記号が記載されているの
が一般であるが、これ以外のデータ、例えば使用
回数、使用時間等は取り扱い者が随時記録又は記
憶しておく必要があつて不便であつた。そこで記
録を取り忘れると耐用回数等を越えて使用するこ
とになり望ましくなかつた。またプローブカード
を別品種に取り換える時はプロービングマシンの
自動動作プログラムの再設定を行なわなければな
らず交換に手間と時間がかかつた。

（本考案の実施例） 図に示すようにプローブカード１の一部に記憶
素子を組み込む地域２を設ける。そしてこれにチ
ツプサイズ、オリフラの向き、品種、コンタクト
数等のデータ及びプロービングマシンの自動動作
プログラム設定データ、稼動状況に応じた使用回
数、時間等のデータを出し入れする端子３を設け
る。端子３よりプロービングマシンに接続され初
期設定及びカードの品質管理等を行なう。またプ
ローブカードに記憶素子を組み込むことにより、
プローブカードの自動交換、自動管理等が容易に
出来る事になる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の構成を示す図面。 １：プローブカード本体、２：記憶回路、３：
記憶回路入出力端子、４：プローブ針、５：プロ
ーブ針出力端子。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハ上に配置されたウエーハチツプにプ
   ローブカード針を接触させて電気特性を測定す
   る半導体ウエーハプローブカードにおいて、カ
   ード上の表面の一部に読み書き自在な記憶素子
   を組み込んで成るプローブカード。 (2) プローブカードの記憶素子にカードの使用回
   数を記憶する請求の範囲第１項記載のプローブ
   カード。 (3) プローブカードの記憶素子にチツプサイズ、
   オリフラの向き、品種番号、コンタクト数等の
   記号をあらかじめ記憶させてある請求の範囲第
   １項記載のプローブカード。 (4) プローブカードの記憶素子にプロービングマ
   シンの自動動作プログラムをあらかじめ記憶さ
   せてある請求の範囲第１項記載のプローブカー
   ド。