JPH02297459A - サーマルヘッドの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は複数の発熱素子、全発熱素子に共通に接続され
た共通電極、及び各発熱素子ごとに設けられて配列され
た個別電極を備えたサーマルヘッドの発熱素子を検査す
る検査装置に関するものである。

（従来の技術） 薄膜又は厚膜の成膜工程や、写真製版、エツチングなど
の工程を経て基板上に発熱素子が列状に配列され、共通
電極と個別電極が形成され、保護膜が形成された状態の
サーマルヘッドの発熱基板は、その発熱素子の抵抗値が
正常な範囲以内にあるか否かの検査が行なわれる。

全発熱素子に共通に接続された共通電極と各発熱素子の
個別電極を備えたサーマルヘッドにおいては、共通電極
と個別電極の間に検査用のプローブを当てることにより
発熱素子の抵抗値を検査することができる。長尺のサー
マルヘッドにおいては共通電極と全個別電極に同時にプ
ローブを当てて測定することはできず、個別電極を例え
ば３２個、６４個というような単位のブロックに分割し
、そのブロックを基準にしてブロック単位ごとに個別型
極側のプローブを押し当て、ブロック単位のピッチでプ
ローブを移動させていく。その際、共通電極に押し当て
られるプローブも個別電極の検査ブロックの単位ごとに
移動する。そのため、従来は例えば共通電極に押し当て
られる端子と１ブロツクの複数の個別電極に押し当てら
れる端子とを備えたプローブカードと称されるものが用
いられている。

（発明が解決しようとする課題） 個別電極検査用の端子の移動とともに共通電極検査用端
子も移動させられるので、サーマルヘッド上においては
個別電極のブロックごとに共通電極用の端子が接触する
領域が必要である。その領域では保護膜から共通電極が
露出していなければならす、また、その領域は単に発熱
素子を通電発熱させる電流を流すための配線パターン以
外の領域として必要である。

もし、共通電極側に欠陥があったり、共通電極が検査単
位ごとに設けられない場合など、検査用の共通電極用端
子を共通電極に押し当てる部分が存在しなくなった場合
には検査を行なうことができなくなる。

また、共通電極領域で発熱素子配列に沿って検査用端子
を押し当てる領域が必要となるので、基板幅が広くなる
。このことは、一般にサーマルベッドは１枚ずつ製造さ
れるのではなく、複数枚を含む大判の基板上に同時に形
成されるので、一度に形成することのできる発熱基板の
枚数が少なくなり、その分コスト高となる。

本発明は検査用端子のうち共通電極側の端子については
個別電極側の端子の移動にもかかわらず固定することに
よって、検査ができなくなる不都合をなくし、また、共
通電極側検査端子を押し当てる領域が発熱体配列に沿っ
て設けられる必要をなくして基板幅を狭くすることので
きる検査装置を提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明では被検査サーマルヘッドが置かれる試料台を導
電性のものとする。共通電極と接触する検査用共通端子
はサーマルヘッドの共通電極の固３一 定された１箇所と接触し、かつ、共通電極を試料台に導
通させるものとする。個別電極側の端子はブロック単位
の複数の端子をもったプローブとし、プローブは個別電
極のブロック単位で移動させられるようにしておく。検
査装置本体は試料台と個別電極用のプローブとに接続さ
れることによってそのプローブにつながる発熱素子の抵
抗値を検査する。

（実施例） 第１図は一実施例を示す概略斜視図、第２図は同実施例
における共通端子部分を拡大して示す図、第３図はサー
マルヘッド−検査用共通端子と個別電極用プローブを押
し当てる様子を示す平面図。

第４図は共通電極に検査用共通端子を押し当てている状
態を示す断面図である。

第１図において、２は金属製の導電性試料台であり、そ
の上面に被検査サーマルヘノ１＜４が置かれる。

試料台２の側面には金属製の軸６がビスによって固定さ
れている。軸６には端子支持部８が頓に沿って摺動可能
に取つけられている。支持部８にはサーマルヘッド４の
共通電極と接触する共通端子１０が設けられており、共
通端子１０はダイヤルゲージ１２を回すことによって水
平方向に移動させることができる。共通端子１ｏは例え
ばタングステンやアルミニウムの針状のものである。支
持部８にはネジ穴があけられ、そのネジ穴にはネジ棒１
４が通され、ネジ棒１４はパルスモータ１６の回転軸に
連結されている。パルスモータ１６は支持部８とともに
軸６の周りに移動できるように軸６に支持されている（
支持機構の図示は省略されている）。パルスモータ１６
の回転によりネジ棒１４を介して支持部８が軸６に沿っ
て上下方向に移動することができる。支持部８はまた、
軸６を中心としてパルスモータ１６、ネジ棒１４ととも
に回転することができる。

共通端子１０がサーマルヘッド４に接触したことを検出
するセンサとして、第２図に示されるように、共通端子
］−〇に接触するセンサ端子１８が設けられている。共
通端子１０がサーマルヘッド４に接触すると、センサ端
子１８が共通端子］Ｏから離れ、両端子１０．１８の導
通状態が解除されることによって検査本体２４により共
通端子］−〇の被検査サーマルヘッド４への接触が検出
される６２０は被検査サーマルヘッド４への接触を検出
する信号を送るケーブル、２２はそのソケソ１〜であり
、ソケット２２は検査装置本体２４に接続されている。

第１図に戻って説明すると、２６はブロック分割された
個別電極と接触する端子を備えたプローブであり、プロ
ーブ２６は個別電極の配列に沿ってブロック単位のピッ
チで移動させられる。

２４は検査装置本体であり、サーマルヘッド４の発熱素
子を検査する信号を得るために、試料台２とプローブ２
６とに接続されている。２５は検査装置本体２４と試料
台２とを接続するり−１へ線である。

第２図における端子２８は予備の検査用共通端子とセン
サ端子である。

検査されるサーマルヘッド４の一例は、第３図に示され
るように、基板上に発熱素子３０が列状に配列されてお
り、その一方の側には共通電極３２が形成され、他方の
側には個別電極３４が形成されている。共通電極３２は
個別電極側まで延びて形成され、共通電極３２のボンテ
ィングパッド部分と個別電極３４のポンディングパッド
部分を除いて、電極３２．３４上及び発熱素子３０上し
こは保護膜３６が形成されている。

共通電極３２に共通端子１０を押し当てた状態を示して
いる第４図において、表面がガラス質のグレーズ層で被
われたセラミック基板などの基板３８上に抵抗体４０が
形成され、その上に共通電極３２が形成されている。共
通電極３２のうち検査用共通端子１０が押し当てられる
部分３２ａはメッキなどにより膜厚が厚くされている。

その部分３２ａは保護膜３６から露出している。

第１図において、サーマルヘッド４を試料台２上に置き
、パルスモータ１６によって共通端子１０を下降させ、
共通端子１０がサーマルヘッド４に接触したことをケー
ブル２０を介して検査装置７一 本体２４で感知する。共通端子１０が正しく共通電極上
に接触するように、共通端子１０の水平方向の位置はダ
イヤルゲージ１２によって調節する。

個別電極用のプローブ２６は個別電極のブロックごとに
押し当たられ、そのブロック単位の発熱素子の抵抗値が
検査装置本体２４で検査され、プローブ２６はブロック
単位で移動させられながら検査が繰り返されていく。プ
ローブ２６の移動にもかかわらず、共通電極と接触して
いる共通端子１０は一点に固定されたままである。共通
端子１０からの信号は軸６及び試料台２を介してリード
線２５から検査装置本体２６へ送られる。

（発明の効果） 本発明では共通電極と接触する共通端子を共通電極の一
点で固定させるようにしたので、その接触部分を除いて
共通電極の他の表面を保護膜で被うことができる。従来
のように複数の個所でプローブカードと接触するための
共通電極露出部を設ける必要がなくなり、保護膜の形成
範囲の設定が自由になる。

共通電極は一点で検査用共通端子と接触するだけである
ので、共通電極のパターン設計の自由度が大きくなる。

従来のような共通電極と検査用共通端子との接触部分を
発熱素子配列に沿って複数個所に設ける必要がなくなる
ので、そのための共通電極領域が不要になり、それだけ
基板幅が狭くなって一度に形成できるサーマルヘッドの
個数が多くなり、コスト低減に寄与する。

検査装置の検査用プローブは従来は個別電極用端子と共
通端子をともに含んでいたが、本発明によるプローブは
個別電極用のものだけですむので、プローブの面積が縮
小して簡素化され、プローブが安価になる。

また、試料台を共通端子から検査装置本体への導通路と
して用いるので、共通端子と検査装置本体の間の配線が
少なくなり、検査が容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す要部斜視図、第２図は同実施例
における共通端子部分を示す斜視図、第３図はサーマル
ヘッドと検査装置を示す平面図、第４図は共通電極に共
通端子が接触した状態を示す断面図である。 ２・・・・・試料台、４・・・・・サーマルヘッド、８
支持部、１０・・・・共通端子、２４・・・・検査装置
本体、２６・・・・・プローブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の発熱素子、全発熱素子に共通に接続された
   共通電極、及び各発熱素子ごとに設けられて配列された
   個別電極を備えたサーマルヘッドを検査する装置におい
   て、被検査サーマルヘッドが載置される導電性試料台と
   、この試料台上の被検査サーマルヘッドの共通電極の１
   箇所と接触し、共通電極を前記試料台と導通させる共通
   端子と、前記被検査サーマルヘッドの一群の個別電極に
   同時に接触する複数の端子をもち、個別電極配列に沿っ
   て移動させられる個別電極用プローブと、このプローブ
   と前記試料台とに接続させて前記被検査サーマルヘッド
   の各発熱素子の検査を行なう検査装置本体とを備えた検
   査装置。