JPH02304849A - 計測機能を有する透過型電子顕微鏡 - Google Patents
計測機能を有する透過型電子顕微鏡Info
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- JPH02304849A JPH02304849A JP1125524A JP12552489A JPH02304849A JP H02304849 A JPH02304849 A JP H02304849A JP 1125524 A JP1125524 A JP 1125524A JP 12552489 A JP12552489 A JP 12552489A JP H02304849 A JPH02304849 A JP H02304849A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、透過型電子顕微鏡（以下、ＴＥＭと称す）に
係り、特に、試料の大きさ、面積等を高精度に測定可能
な測定機能を有する透過型電子顕微、鏡に関するもので
ある。
係り、特に、試料の大きさ、面積等を高精度に測定可能
な測定機能を有する透過型電子顕微、鏡に関するもので
ある。
［従来の技術］
ＴＥＭによる観察においては、試料の形状の観察にとど
まらず、投影像から試料の全体あるいは一部分の大きさ
や面積を計測したい場合がある。
まらず、投影像から試料の全体あるいは一部分の大きさ
や面積を計測したい場合がある。
例えば、生物分野では、細胞、染色体、細菌等の大きさ
を知りたい場合があり、また、材料関係の観察において
は粒体の面積を知りたい場合もある。
を知りたい場合があり、また、材料関係の観察において
は粒体の面積を知りたい場合もある。
このように投影像から試料の大きさ、面積等を計測する
場合、従来は次の三通りの方法が代表的な方法として知
られている。
場合、従来は次の三通りの方法が代表的な方法として知
られている。
第１の方法は、投影像を写真撮影し、当該写真で計測し
たい箇所の長さを計り、当該長さと倍率値とから試料の
所望箇所の大きさ、面積を計測する方法である。
たい箇所の長さを計り、当該長さと倍率値とから試料の
所望箇所の大きさ、面積を計測する方法である。
第２の方法は、ＴＥＭの蛍光板上の投影像をＴＶカメラ
で撮影し、電気的に取り込んでから画像処理の手法によ
り試料の大きさ等を計測する方法である。
で撮影し、電気的に取り込んでから画像処理の手法によ
り試料の大きさ等を計測する方法である。
第３の方法としては、試料を移動させることにより蛍光
板上の投影像を移動し、その際の試料駆動に用いられて
いるモータ等の変位量から試料の大きさ等を求める方法
も知られている。
板上の投影像を移動し、その際の試料駆動に用いられて
いるモータ等の変位量から試料の大きさ等を求める方法
も知られている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来の計測方法には次のような問題
がある。即ち、上記第１の方法においては、写真撮影を
行わなければならないので手間がかかり、リアルタイム
での計測ができないばかりでなく、長さは物差しで計る
ので萬い精度が要求される場合には適用できないという
問題がある。
がある。即ち、上記第１の方法においては、写真撮影を
行わなければならないので手間がかかり、リアルタイム
での計測ができないばかりでなく、長さは物差しで計る
ので萬い精度が要求される場合には適用できないという
問題がある。
また、倍率に誤差がある場合には計測値に誤差を含むも
のとなる。
のとなる。
これに対して上記第２および第３の方法においては、Ｃ
ＲＴ上または蛍光板上の投影像を観察しながら行えるの
で、リアルタイムで計測を行うことはできるが、しかし
ながら、第２の方法は装置が大がかりになるので一般的
ではなく、また、第３の方法は、バックラッシュ、ある
いはギアの偏心等による試料駆動部の機械的誤差が比較
的大きく、計測に高い精度が要求される場合には現実的
ではないという問題がある。
ＲＴ上または蛍光板上の投影像を観察しながら行えるの
で、リアルタイムで計測を行うことはできるが、しかし
ながら、第２の方法は装置が大がかりになるので一般的
ではなく、また、第３の方法は、バックラッシュ、ある
いはギアの偏心等による試料駆動部の機械的誤差が比較
的大きく、計測に高い精度が要求される場合には現実的
ではないという問題がある。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、リアル
タイムに、高精度で、しかも容易に試料の所望部分の大
きさを計測することができる計測機能を有する透過型電
子顕微鏡を提供することを目的とするものである。
タイムに、高精度で、しかも容易に試料の所望部分の大
きさを計測することができる計測機能を有する透過型電
子顕微鏡を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、本発明の計測機能を有す
る透過型電子顕微鏡は、透過型電子顕微鏡において、蛍
光板上の投影像を移動させる偏向コイルと、前記投影像
を移動させるに要した偏向電流の変化量から試料の所定
部分の長さ、面積、角度等を演算する制御装置とを備え
ることを特徴とする。
る透過型電子顕微鏡は、透過型電子顕微鏡において、蛍
光板上の投影像を移動させる偏向コイルと、前記投影像
を移動させるに要した偏向電流の変化量から試料の所定
部分の長さ、面積、角度等を演算する制御装置とを備え
ることを特徴とする。
［作用および発明の効果コ
本発明は、試料は移動させず、偏向コイルにより投影像
を移動させ、投影像を移動させるに要した偏向電流の変
化量から試料の所望部分の大きさ、面積を求めるので、
オペレータは投影像を観察しながら所定の摘みで投影像
を移動させるだけでよいので操作が非常に容易であり、
しかもリアルタイムで試料の大きさの計測を行うことが
で、きる。
を移動させ、投影像を移動させるに要した偏向電流の変
化量から試料の所望部分の大きさ、面積を求めるので、
オペレータは投影像を観察しながら所定の摘みで投影像
を移動させるだけでよいので操作が非常に容易であり、
しかもリアルタイムで試料の大きさの計測を行うことが
で、きる。
また、計測に先立って標準試料を用いて偏向コイルの直
交性、直線性を補正するので、偏向コイルの組立精度の
関係上直交性が多少悪いものであっても、また直線性が
多少悪いものであっても高い精度で大きさ等を計測する
ことができる。更に、直線性の補正は倍率まで含めて行
われるので、倍率値に誤差があったとしても高精度の計
測を行うことができるものである。
交性、直線性を補正するので、偏向コイルの組立精度の
関係上直交性が多少悪いものであっても、また直線性が
多少悪いものであっても高い精度で大きさ等を計測する
ことができる。更に、直線性の補正は倍率まで含めて行
われるので、倍率値に誤差があったとしても高精度の計
測を行うことができるものである。
［実施例］
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は、本発明に係る計測機能を有する透過型電子顕
微鏡の１実施例の構成を示す図であり、図中、１はＣＰ
Ｕ、２．４．５．６はＤ／Ａ変換器、７は対物レンズ、
９は中間レンズ群、１０は偏向コイル、１１は投影レン
ズ、１２は試料、１３．１４は試料の像、１５は投影像
、１６は蛍光板、１７．１８はカウンタ、１９はＸ方向
偏向摘み、２０はＹ方向偏向摘み、２１はＲＯＭ１２２
はキーボード、２３はＣＲＴ、２４はＲＡＭを示す。
微鏡の１実施例の構成を示す図であり、図中、１はＣＰ
Ｕ、２．４．５．６はＤ／Ａ変換器、７は対物レンズ、
９は中間レンズ群、１０は偏向コイル、１１は投影レン
ズ、１２は試料、１３．１４は試料の像、１５は投影像
、１６は蛍光板、１７．１８はカウンタ、１９はＸ方向
偏向摘み、２０はＹ方向偏向摘み、２１はＲＯＭ１２２
はキーボード、２３はＣＲＴ、２４はＲＡＭを示す。
第１図の構成において、ＣＰＵＩは装置全体の処理を統
括して管理するものであり、Ｄ／Ａ変換器２．４．５．
６を介して各電子レンズに対して必要な励磁電流を供給
すると共に、Ｘ方向偏向摘み１９およびＹ方向偏向摘み
２０で設定された偏向量、即ち、投影像の移動量をカウ
ンタ１７．１８を介して取り込み、投影像の移動に要し
た偏向電流の変化量から長さを演算してその結果をＣＲ
Ｔ２３に表示する。ＲＯＭ２１は長さ、面積等を求める
演算式をはじめとして、処理に必要なプログラムおよび
データ等を格納しているものである。
括して管理するものであり、Ｄ／Ａ変換器２．４．５．
６を介して各電子レンズに対して必要な励磁電流を供給
すると共に、Ｘ方向偏向摘み１９およびＹ方向偏向摘み
２０で設定された偏向量、即ち、投影像の移動量をカウ
ンタ１７．１８を介して取り込み、投影像の移動に要し
た偏向電流の変化量から長さを演算してその結果をＣＲ
Ｔ２３に表示する。ＲＯＭ２１は長さ、面積等を求める
演算式をはじめとして、処理に必要なプログラムおよび
データ等を格納しているものである。
また、キーボード２２はオペレータがＣＰＵ １に対し
て種々の処理を指示する入力手段であって、キーボード
以外の適当な入力装置を用いてもよいものである。ＣＲ
Ｔ２３はオペレータとＣＰＵ １との対話を行うための
ユーザインターフェースであり、ＣＰＵ１からの指示が
表示されると共に、演算の結果得られた長さ、面積等の
値が表示される。また、ＲＡＭ２４には装置固有のずれ
量、即ち機差を補正するためのデータ等が格納されてい
る。
て種々の処理を指示する入力手段であって、キーボード
以外の適当な入力装置を用いてもよいものである。ＣＲ
Ｔ２３はオペレータとＣＰＵ １との対話を行うための
ユーザインターフェースであり、ＣＰＵ１からの指示が
表示されると共に、演算の結果得られた長さ、面積等の
値が表示される。また、ＲＡＭ２４には装置固有のずれ
量、即ち機差を補正するためのデータ等が格納されてい
る。
まず、本発明の計測の原理は次のようである。
−第１図において、図示しない電子銃から放射され、試
料１２を透過した電子ビームは、対物レンズ７により１
３で示す位置に拡大されて結像し、当該像は更に中間レ
ンズ群９により１４で示す位置に拡大して結像される。
料１２を透過した電子ビームは、対物レンズ７により１
３で示す位置に拡大されて結像し、当該像は更に中間レ
ンズ群９により１４で示す位置に拡大して結像される。
そして、当該像１４は投影レンズ１１によって蛍光板１
６上に結像される。その像が１５である。そして、いま
、投影像１５を移動させて投影像１５の一端を第２図（
ａ）に示すように蛍光板１６の中心０に位置させたとし
、このとき偏向コイル１０に供給されている偏向電流を
ｉｓ とする。なお、中心０としては、蛍光板１６に通
常形成されている中心点を利用すればよい。次に、第２
図（ｂ）に示すように、投影像１５を移動し、投影像１
５の他端を蛍光板１６の中心０に位置させる。このとき
偏向コイル１０に供給されている偏向電流をｆ＋ とす
ると、投影像１５を蛍光板１６上での試料１２の長さＬ
ｓだけ移動させるには偏向電流をΔ１（＝ｉ−〜ｉ＋）
だけ変化させる必要があることになる。そして、偏向電
流の変化量Δｉと投影像１５の移動量とは比例関係にあ
るから、投影像１５を第２図（ａ）の状態から第２図（
ｂ）の状態に、あるいはその逆に移動させた場合の偏向
電流の変化量△ｉを知ることによって次の式により試料
１２の実際の長さＬを知ることができる。
６上に結像される。その像が１５である。そして、いま
、投影像１５を移動させて投影像１５の一端を第２図（
ａ）に示すように蛍光板１６の中心０に位置させたとし
、このとき偏向コイル１０に供給されている偏向電流を
ｉｓ とする。なお、中心０としては、蛍光板１６に通
常形成されている中心点を利用すればよい。次に、第２
図（ｂ）に示すように、投影像１５を移動し、投影像１
５の他端を蛍光板１６の中心０に位置させる。このとき
偏向コイル１０に供給されている偏向電流をｆ＋ とす
ると、投影像１５を蛍光板１６上での試料１２の長さＬ
ｓだけ移動させるには偏向電流をΔ１（＝ｉ−〜ｉ＋）
だけ変化させる必要があることになる。そして、偏向電
流の変化量Δｉと投影像１５の移動量とは比例関係にあ
るから、投影像１５を第２図（ａ）の状態から第２図（
ｂ）の状態に、あるいはその逆に移動させた場合の偏向
電流の変化量△ｉを知ることによって次の式により試料
１２の実際の長さＬを知ることができる。
Ｍｓ Ｍｓ Ｍｓ
なお、 （１）式において、Ｍｓは倍率、ｋは比例定数
である。
である。
以上が長さ計測の原理であるが、実際には、偏向コイル
１０には、投影像１５をＸ方向に偏向するためのＸ方向
偏向コイルと、投影像１５をＹ方向に偏向するためのＹ
方向偏向コイルが設けられているため、オペレータは、
Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２０を調整して投
影像１５を移動させることになる。つまり、ＣＰＵＩは
、Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２０の回転角度
をカウンタ１７．１８のカウンタ値として取り込み、こ
れら偏向摘み１９．２０の回転角度に応じた電流を設定
し、Ｄ／Ａ変換器６および増幅器を介して偏向コイル１
０のＸ方向偏向コイルおよびＹ方向偏向コイルにそれぞ
れ供給するのであり、これによって投影像１５が移動す
るのである。従って、第２図に示すように投影像１５を
移動したときのＸ方向およびＹ方向の偏向電流の変化量
を、それぞれ、Δ１ｘ＋ Δｉ、、Ｘ方向偏向コイル
およびＹ方向偏向コイルの偏向感度を、それぞれｋ Ｘ
Ｉｋ、とすると、試料１２の実際の長さしは次式で求
めることができる。
１０には、投影像１５をＸ方向に偏向するためのＸ方向
偏向コイルと、投影像１５をＹ方向に偏向するためのＹ
方向偏向コイルが設けられているため、オペレータは、
Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２０を調整して投
影像１５を移動させることになる。つまり、ＣＰＵＩは
、Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２０の回転角度
をカウンタ１７．１８のカウンタ値として取り込み、こ
れら偏向摘み１９．２０の回転角度に応じた電流を設定
し、Ｄ／Ａ変換器６および増幅器を介して偏向コイル１
０のＸ方向偏向コイルおよびＹ方向偏向コイルにそれぞ
れ供給するのであり、これによって投影像１５が移動す
るのである。従って、第２図に示すように投影像１５を
移動したときのＸ方向およびＹ方向の偏向電流の変化量
を、それぞれ、Δ１ｘ＋ Δｉ、、Ｘ方向偏向コイル
およびＹ方向偏向コイルの偏向感度を、それぞれｋ Ｘ
Ｉｋ、とすると、試料１２の実際の長さしは次式で求
めることができる。
従って、オペレータは、まず、Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ
方向偏向摘み２０を操作して、長さを求めようとする箇
所の一端を蛍光板１６の所定の位置、例えば中心点、に
位置させて、そのときの偏向電流の値をＣＰＵＩに読み
込ませ、次に、Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２
０を操作して、長さを求めようとする箇所の他端を蛍光
板１θの所定の位置に位置させてそのときの偏向電流の
値をＣＰＵ１に読み込ませる。なお、これらの偏向電流
値をＣＰＵ１に読み込ませるための操作はキーボード２
２で行うことはいうまでもない。
方向偏向摘み２０を操作して、長さを求めようとする箇
所の一端を蛍光板１６の所定の位置、例えば中心点、に
位置させて、そのときの偏向電流の値をＣＰＵＩに読み
込ませ、次に、Ｘ方向偏向摘み１９、Ｙ方向偏向摘み２
０を操作して、長さを求めようとする箇所の他端を蛍光
板１θの所定の位置に位置させてそのときの偏向電流の
値をＣＰＵ１に読み込ませる。なお、これらの偏向電流
値をＣＰＵ１に読み込ませるための操作はキーボード２
２で行うことはいうまでもない。
そして、次に、キーボード２２で所定の操作を行うこと
により、長さを求める処理を指示すると、ＣＰＵ’ｌは
、上記の（２）式の演算を行い、その結果をＣＲＴ２３
に表示する。
により、長さを求める処理を指示すると、ＣＰＵ’ｌは
、上記の（２）式の演算を行い、その結果をＣＲＴ２３
に表示する。
以上は試料１２の所定の箇所の長さを求める場合の説明
であるが、試料１２の全体あるいは所望の部分の面積を
求めることもできる。即ち、いま、蛍光板１６上の中心
に位置している点を原点（０゜０）とすると、試料上で
の任意の点の座標は、 （３）式のようになる。
であるが、試料１２の全体あるいは所望の部分の面積を
求めることもできる。即ち、いま、蛍光板１６上の中心
に位置している点を原点（０゜０）とすると、試料上で
の任意の点の座標は、 （３）式のようになる。
従って、第３図に示すように、面積を求めようとする範
囲を多角形で近似すれば、各頂点の座標が（３）式によ
り求めることができるから、ΔＯＡＢ、 ΔＯＢ Ｇ
、 ・・・・・・、ΔＯＩＡの各三角形の面積を求め
ることができ、これらの面積を加算すれば試料１２の面
積を求めることができることは明かである。また、例え
ば、Ａ、 Ｌ Ｈの３点の座標からＺＡＩＨの角度
θを求めることができることは明かである。
囲を多角形で近似すれば、各頂点の座標が（３）式によ
り求めることができるから、ΔＯＡＢ、 ΔＯＢ Ｇ
、 ・・・・・・、ΔＯＩＡの各三角形の面積を求め
ることができ、これらの面積を加算すれば試料１２の面
積を求めることができることは明かである。また、例え
ば、Ａ、 Ｌ Ｈの３点の座標からＺＡＩＨの角度
θを求めることができることは明かである。
なお、 （３）式において、Δ１ｘ＋ Δｉ、はそれ
ぞれ、△ｌｘ ” １ ｌｘ −１９ｇ＋ Δｉｙ
：ｉ＋１ｌ−１Ｑｌ、で求められる値である。ただし、
１ｌＸＩ １、は試料１２中の原点としたい点、例え
ば試料中の非常に特徴のある点、を蛍光板１６の中心に
移動させるに必要な偏向電流値であり、１１１１１ １
１、は第３図のＡ、 Ｂ、 Ｃ，Ｄ、 ・・・で
示す各頂点を原点に移動させたときの偏向電流値である
。
ぞれ、△ｌｘ ” １ ｌｘ −１９ｇ＋ Δｉｙ
：ｉ＋１ｌ−１Ｑｌ、で求められる値である。ただし、
１ｌＸＩ １、は試料１２中の原点としたい点、例え
ば試料中の非常に特徴のある点、を蛍光板１６の中心に
移動させるに必要な偏向電流値であり、１１１１１ １
１、は第３図のＡ、 Ｂ、 Ｃ，Ｄ、 ・・・で
示す各頂点を原点に移動させたときの偏向電流値である
。
原理的には、以上のようにして試料の全体あるいは所望
の箇所の長さ、面積あるいは所望の部分の角度を求める
ことができるが、実際には、偏向コイル１０の直交性が
問題になる。つまり、Ｘ方向偏向コイルとＹ方向偏向コ
イルとは直交するように配置されるべきであるが、組み
立て精度の関係上誤差が生じることがある。そのような
場合に上記の（２）式、 （３）式により長さあるいは
面積を求めるとその結果は誤差を含むものとなる。
の箇所の長さ、面積あるいは所望の部分の角度を求める
ことができるが、実際には、偏向コイル１０の直交性が
問題になる。つまり、Ｘ方向偏向コイルとＹ方向偏向コ
イルとは直交するように配置されるべきであるが、組み
立て精度の関係上誤差が生じることがある。そのような
場合に上記の（２）式、 （３）式により長さあるいは
面積を求めるとその結果は誤差を含むものとなる。
従って、計測に先立って直交性の補正が必要にな直交性
の補正は次のようである。いま、第４図に示すように、
偏向フィル１０のＹ Ｉｔｌｌ Ｖ １１は蛍光板１６
上のＹ軸７Ｔ と一致しているが、偏向コイル１０のＸ
軸Ｘ９は蛍光板１６上のＸ軸Ｘ丁に対してαだけ傾いて
いるとする。このような場合に、試料のある点Ａを移動
し、上記の（２）式を使用して原点Ｏと点Ａの長さを求
める場合には、（４）式および（５）式で示される、偏
向コイル１０の直交度のずれαを考慮した移動量ＸＳ＋
７ｓを使用しなければならない。ただし、Ｘｓ、
ｙｓは蛍光板１６上での移動量である。
の補正は次のようである。いま、第４図に示すように、
偏向フィル１０のＹ Ｉｔｌｌ Ｖ １１は蛍光板１６
上のＹ軸７Ｔ と一致しているが、偏向コイル１０のＸ
軸Ｘ９は蛍光板１６上のＸ軸Ｘ丁に対してαだけ傾いて
いるとする。このような場合に、試料のある点Ａを移動
し、上記の（２）式を使用して原点Ｏと点Ａの長さを求
める場合には、（４）式および（５）式で示される、偏
向コイル１０の直交度のずれαを考慮した移動量ＸＳ＋
７ｓを使用しなければならない。ただし、Ｘｓ、
ｙｓは蛍光板１６上での移動量である。
Ｘ＋ｓ″０ＸＡＡ’ＣＯ８α
二ｋｘ”△ｉｘ” ｃｏｓａ …（４）ｙ３
＝ＯＹ＾＾＋ＯＸ＾＾・ｓｉｎα ＝に、−Δｉｙ＋ｋｘ・Δｉｘ・５ｉｎａ −”（５）
従って、求める真の長さしは、 （２）、 （４）およ
び（５）式から次式で求められる。
＝ＯＹ＾＾＋ＯＸ＾＾・ｓｉｎα ＝に、−Δｉｙ＋ｋｘ・Δｉｘ・５ｉｎａ −”（５）
従って、求める真の長さしは、 （２）、 （４）およ
び（５）式から次式で求められる。
（以下、余白）
・・・■
以上のように直交度のずれαが分かれば補正を行うこと
ができるのであるが、そこで、次にｓｉｎα、 ＱＯ
５αをどのようにして求めるかが問題になる。
ができるのであるが、そこで、次にｓｉｎα、 ＱＯ
５αをどのようにして求めるかが問題になる。
ｓｌｎα、 ＣＯＳα を求めるには、第５図に示す
ように、適当な試料の投影像の中の参照となる箇所の像
３０を、ＺＢＯＣ＝９０＠なる３点Ｂ、０゜Ｃに移動さ
せたときの偏向電流値より求めることができる。即ち、
まず第５図において点０に像３０を移動し、次に点Ｂお
よびＣに移動させたときの偏向電流の変化を、Δｉ、、
ΔｉｙｓおよびΔ１ｘＣ＋ ΔｉＢ とすると、次の
式が成立する。
ように、適当な試料の投影像の中の参照となる箇所の像
３０を、ＺＢＯＣ＝９０＠なる３点Ｂ、０゜Ｃに移動さ
せたときの偏向電流値より求めることができる。即ち、
まず第５図において点０に像３０を移動し、次に点Ｂお
よびＣに移動させたときの偏向電流の変化を、Δｉ、、
ΔｉｙｓおよびΔ１ｘＣ＋ ΔｉＢ とすると、次の
式が成立する。
聞・Δｉｘｓ・Δ１ｘｃ−ｆｙ・Δｉｙｓ・Δｉｙｃ・
・−・・■ ｃｏｓα＝バ：石マ；−（８） 従って、まず上述したようにして５−１ｎα、 ＣＯ
Ｓα を求めてＲＡＭ２４に格納しておけば、これらの
値を用いて高精度の計測を行うことができる。
・−・・■ ｃｏｓα＝バ：石マ；−（８） 従って、まず上述したようにして５−１ｎα、 ＣＯ
Ｓα を求めてＲＡＭ２４に格納しておけば、これらの
値を用いて高精度の計測を行うことができる。
なお、以上の説明ではＹ軸のみがずれているとしたが、
Ｙ軸がずれている場合、Ｙ軸とＹ軸の両方がずれている
場合も同様にして補正することができることは明かであ
る。また、直角を形成する３点を移動させるには、蛍光
板１６上に予め当該３点Ｂ、 Ｏ，Ｃを印しておくよ
うにするとよい。
Ｙ軸がずれている場合、Ｙ軸とＹ軸の両方がずれている
場合も同様にして補正することができることは明かであ
る。また、直角を形成する３点を移動させるには、蛍光
板１６上に予め当該３点Ｂ、 Ｏ，Ｃを印しておくよ
うにするとよい。
また、一般に蛍光板１６には写真撮影の際の撮影範囲を
示すマークが付されているから、当該マークを利用して
もよい。
示すマークが付されているから、当該マークを利用して
もよい。
次に、偏向コイルの直線性が問題になる場合がある。つ
まり、偏向コイルの特性等により偏向感度ｋが一定でな
く、偏向電流の変化量が同じΔｉであっても投影像の移
動量が異なる場合があり、この現象は特に蛍光板１６の
中心から外れるほど顕著になる。それを補正するのが直
線性補正であり、次のように打う。
まり、偏向コイルの特性等により偏向感度ｋが一定でな
く、偏向電流の変化量が同じΔｉであっても投影像の移
動量が異なる場合があり、この現象は特に蛍光板１６の
中心から外れるほど顕著になる。それを補正するのが直
線性補正であり、次のように打う。
第６図に示すように、予め知られている間隔Δｌのグレ
ーティングを存する標準試料、例えば結品格子、を投影
し、グレーティングを一つずつ移動させていく。その際
、偏向コイルに供給した偏向電流値を読み込んでいくこ
とによって各偏向電流値における偏向感度にの値を求め
ることができる。即ち、第６図のグレーティング１，２
．・・・・・・を原点Ｏに移動したときの偏向電流値を
１１ ＋１２・・・・・・とすると各グレーティング
を移動させる場合の偏向感度は次のようになる。
ーティングを存する標準試料、例えば結品格子、を投影
し、グレーティングを一つずつ移動させていく。その際
、偏向コイルに供給した偏向電流値を読み込んでいくこ
とによって各偏向電流値における偏向感度にの値を求め
ることができる。即ち、第６図のグレーティング１，２
．・・・・・・を原点Ｏに移動したときの偏向電流値を
１１ ＋１２・・・・・・とすると各グレーティング
を移動させる場合の偏向感度は次のようになる。
従って、上式からｋ（Δ１）＝ｆ（ｉ）となる函数ｆを
求めればよく、実際このような函数は適当な曲線を当て
はめることで求めることができる。もし、偏向コイル１
０が完全にリニアであればに＋＝ｋａ”ｋｓ＝・・・・
・・＝に＝定数となる。
求めればよく、実際このような函数は適当な曲線を当て
はめることで求めることができる。もし、偏向コイル１
０が完全にリニアであればに＋＝ｋａ”ｋｓ＝・・・・
・・＝に＝定数となる。
以上のようにして各電流値における偏向感度ｋを求める
ことができるので、偏向コイルの直線性を良好に補正す
ることができ、以て計測精度を向上させることができる
。
ことができるので、偏向コイルの直線性を良好に補正す
ることができ、以て計測精度を向上させることができる
。
（９）式から分かるように、直線性補正は倍率も含めて
行われるので、表示倍率に誤差があった場合でも、倍率
誤差を含めて補正することができるものであり、非常に
優れた補正ということができる。
行われるので、表示倍率に誤差があった場合でも、倍率
誤差を含めて補正することができるものであり、非常に
優れた補正ということができる。
以上のように、直交性補正および直線性補正を行うこと
によって、長さ、面積、角度の計測を高精度に行うこと
ができるものである。
によって、長さ、面積、角度の計測を高精度に行うこと
ができるものである。
以上、本発明の１実施例について説明したが、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可
能である。例えば、蛍光板１６を観察しながら行うので
はなく、ＴＶカメラで蛍光板１６上の投影像を撮影し、
モニタ上で観察しながら計測することもできる。
上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可
能である。例えば、蛍光板１６を観察しながら行うので
はなく、ＴＶカメラで蛍光板１６上の投影像を撮影し、
モニタ上で観察しながら計測することもできる。
第１図は本発明の１実施例の構成を示す図、第２図は長
さ計測の原理を説明するための図、第３図は面積計測を
説明するための図、第４図は直交性補正を説明するため
の図、第５図は直交性補正を説明するための図、第６図
は直線性補正を説明するための図である。 １・・・ＣＰＵ１２．４．５．６・・・Ｄ／Ａ変換器、
７・・・対物レンズ、９・・・中間レンズ群、１０・・
・偏向コイル、１１・・・投影レンズ、１２・・・試料
、１３．１４・・・試料の像、１５・・・投影像、１６
・・・蛍光板、１７．１８・・・カウンタ、１９・・・
Ｘ方向偏向摘み、２０・・・Ｙ方向偏向摘み、２１・・
・ＲＯＭ、２２・・・キーボー ド、 ２３・・・Ｃ
ＲＴｌ ２４・・・ＲＡ Ｍ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 菅 井 英 雄（外５名）第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 Ａ 第４図 Ｎ５図 ｉ５ ｉ４ ｉ３ ｉ２ ｉ。
さ計測の原理を説明するための図、第３図は面積計測を
説明するための図、第４図は直交性補正を説明するため
の図、第５図は直交性補正を説明するための図、第６図
は直線性補正を説明するための図である。 １・・・ＣＰＵ１２．４．５．６・・・Ｄ／Ａ変換器、
７・・・対物レンズ、９・・・中間レンズ群、１０・・
・偏向コイル、１１・・・投影レンズ、１２・・・試料
、１３．１４・・・試料の像、１５・・・投影像、１６
・・・蛍光板、１７．１８・・・カウンタ、１９・・・
Ｘ方向偏向摘み、２０・・・Ｙ方向偏向摘み、２１・・
・ＲＯＭ、２２・・・キーボー ド、 ２３・・・Ｃ
ＲＴｌ ２４・・・ＲＡ Ｍ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 菅 井 英 雄（外５名）第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 Ａ 第４図 Ｎ５図 ｉ５ ｉ４ ｉ３ ｉ２ ｉ。
Claims (1)
- （１）透過型電子顕微鏡において、蛍光板上の投影像を
移動させる偏向コイルと、前記投影像を移動させるに要
した偏向電流の変化量から試料の所定部分の長さ、面積
、角度等を演算する制御装置とを備えることを特徴とす
る計測機能を有する透過型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1125524A JPH02304849A (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 計測機能を有する透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1125524A JPH02304849A (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 計測機能を有する透過型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02304849A true JPH02304849A (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=14912301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1125524A Pending JPH02304849A (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 計測機能を有する透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02304849A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996031897A1 (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594408B2 (ja) * | 1973-09-13 | 1984-01-30 | 武田薬品工業株式会社 | カンジヨウヒドロキシカゴウブツノ セイゾウホウ |
| JPH01112648A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Hitachi Ltd | 分析機能付き電子顕微鏡 |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP1125524A patent/JPH02304849A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594408B2 (ja) * | 1973-09-13 | 1984-01-30 | 武田薬品工業株式会社 | カンジヨウヒドロキシカゴウブツノ セイゾウホウ |
| JPH01112648A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Hitachi Ltd | 分析機能付き電子顕微鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996031897A1 (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
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