JPH02307007A - 光ディスクの欠陥検査方法 - Google Patents
光ディスクの欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH02307007A JPH02307007A JP12858389A JP12858389A JPH02307007A JP H02307007 A JPH02307007 A JP H02307007A JP 12858389 A JP12858389 A JP 12858389A JP 12858389 A JP12858389 A JP 12858389A JP H02307007 A JPH02307007 A JP H02307007A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業（−１の利用分野］
この発明は光ディスクの欠陥＠前方法に関し、詳しくは
追記型の光ディスクにおけるグループの欠陥検査に関す
るものである。
追記型の光ディスクにおけるグループの欠陥検査に関す
るものである。
［従来の技術］
光ディスクは高密度記録媒体として急速に利用分野が拡
大しつつある。第２図（ａ）は追記型の光ディスクを示
すもので、ディスクｌにはｒめ同心円の多数のグループ
ｌａが設けられ、使用に際してグループ１ａに情報ピッ
トが刻み込まれる。
大しつつある。第２図（ａ）は追記型の光ディスクを示
すもので、ディスクｌにはｒめ同心円の多数のグループ
ｌａが設けられ、使用に際してグループ１ａに情報ピッ
トが刻み込まれる。
光ディスクは製造過程で各種の検査が行われるが、グル
ープが刻まれた段階におけるグループ欠陥の検出方法は
既に公知されている。第２図（ｂ）。
ープが刻まれた段階におけるグループ欠陥の検出方法は
既に公知されている。第２図（ｂ）。
（ｃ）および（ｄ）によりこれを説明する。図（ｂ）に
おいて、光ディスク１をスピンドル２により回転し、こ
れに対してレーザビームＴを投光レンズ３によりスポッ
トＳに集束してＸイ射する。この場合、スポラｌ−８の
直径をグループｌａのピッチ間隔より１・公人きくする
ときは、・ＩＱ？に並んだグループｌａが回折格ｒを形
成しているので、規則的な強度分布の回折光を反射する
。回折光のうちの例えば１次光Ｒ１（÷）、またはＲ１
（−）を受光器４または４′で受光する。いま、図（Ｃ
）のようにグループｌａに潰れなどの欠陥（ｆ）がある
ときはこの部分の回折光が減少する。スポットＳが矢印
の方向に移動すると、受光器４には図（ｄ）に示すよう
に、正常なグループに対する受光レベルＬｓより落ち込
んだ信号（ｆ）かえられる。これを検出して欠陥とする
ものである。
おいて、光ディスク１をスピンドル２により回転し、こ
れに対してレーザビームＴを投光レンズ３によりスポッ
トＳに集束してＸイ射する。この場合、スポラｌ−８の
直径をグループｌａのピッチ間隔より１・公人きくする
ときは、・ＩＱ？に並んだグループｌａが回折格ｒを形
成しているので、規則的な強度分布の回折光を反射する
。回折光のうちの例えば１次光Ｒ１（÷）、またはＲ１
（−）を受光器４または４′で受光する。いま、図（Ｃ
）のようにグループｌａに潰れなどの欠陥（ｆ）がある
ときはこの部分の回折光が減少する。スポットＳが矢印
の方向に移動すると、受光器４には図（ｄ）に示すよう
に、正常なグループに対する受光レベルＬｓより落ち込
んだ信号（ｆ）かえられる。これを検出して欠陥とする
ものである。
［解決しようとする課題］
さて、追記型の光ディスクには［−記のグループが刻ま
れた後、ＩＤ情報が設定される。第３図（ａ）、（ｂ）
はこれを説明するもので、ディスク１の表面を、インデ
ックスマーク（ＩＮＤ）を起点として複数のセクタＳ１
．Ｓ２．・・・・・・ｓｎに淳分割する。各セクタＳの
前頭部の狭い角度範囲δθをＩＤ部とし、図（ｂ）のよ
うにＩＤ部に対してセクタ番号などのコードがピット１
ｂとして刻まれ、その後がデータ部として情報データの
ピットか記録される。このようなＩＤが設定され、情報
データが未記録の段階の原盤をちととして、光ディスク
のレプリカが製作される。このレプリカに対して１・、
記のグループ検査をｊ「う場合には、■１）ピット１ｂ
のために回折光が変化し、Ｉｔ）部に欠陥がないにも拘
らず疑似欠陥として検出される。これに対して、ＩＤビ
ーＩトの影響を考慮してＩ Ｄ部のグループの欠陥を検
出する方法がいくつか提案され、イ１効なものがある。
れた後、ＩＤ情報が設定される。第３図（ａ）、（ｂ）
はこれを説明するもので、ディスク１の表面を、インデ
ックスマーク（ＩＮＤ）を起点として複数のセクタＳ１
．Ｓ２．・・・・・・ｓｎに淳分割する。各セクタＳの
前頭部の狭い角度範囲δθをＩＤ部とし、図（ｂ）のよ
うにＩＤ部に対してセクタ番号などのコードがピット１
ｂとして刻まれ、その後がデータ部として情報データの
ピットか記録される。このようなＩＤが設定され、情報
データが未記録の段階の原盤をちととして、光ディスク
のレプリカが製作される。このレプリカに対して１・、
記のグループ検査をｊ「う場合には、■１）ピット１ｂ
のために回折光が変化し、Ｉｔ）部に欠陥がないにも拘
らず疑似欠陥として検出される。これに対して、ＩＤビ
ーＩトの影響を考慮してＩ Ｄ部のグループの欠陥を検
出する方法がいくつか提案され、イ１効なものがある。
しかしながらそれらの方法はいずれもやや複雑なＰ法で
ある。−・方、レプリカは多聞生産されるので、簡易な
方法により迅速に検査することが要請され、次みの策と
してデータ部のみを対象としてグループ欠陥を＠査する
ことが必要とされている。
ある。−・方、レプリカは多聞生産されるので、簡易な
方法により迅速に検査することが要請され、次みの策と
してデータ部のみを対象としてグループ欠陥を＠査する
ことが必要とされている。
この発明は以［−の１１情に鑑みてなされてもので、Ｉ
Ｉ）部を除外してデータ部のみに対してグループ欠陥
を検査する方式を提供するものである。
Ｉ）部を除外してデータ部のみに対してグループ欠陥
を検査する方式を提供するものである。
［課題を解決するためのｒ段コ
この発明は、スピンドルにより回転された追記型の光デ
ィスクの表面に対してレーザビームラ！！（１射してス
パイラルに走査し、表面に設定されたグループによる回
折光を検出する光ディスクの欠陥検査に対する検査方法
であって、光ディスクの表面にインデックスマークを起
点として周方向を等分割したセクタごとに、一定の角度
範囲にｒ Ｄピットが設定されたＩ Ｉ）部に対して、
スピンドルに設けられたインデックス検出器および回転
角度検出器の検出信号をデータ処理部に入力し、データ
処理によりＩＤ部に対する検出データを無効とし、デー
タ部に対する検出データを有効として出力するものであ
る。。
ィスクの表面に対してレーザビームラ！！（１射してス
パイラルに走査し、表面に設定されたグループによる回
折光を検出する光ディスクの欠陥検査に対する検査方法
であって、光ディスクの表面にインデックスマークを起
点として周方向を等分割したセクタごとに、一定の角度
範囲にｒ Ｄピットが設定されたＩ Ｉ）部に対して、
スピンドルに設けられたインデックス検出器および回転
角度検出器の検出信号をデータ処理部に入力し、データ
処理によりＩＤ部に対する検出データを無効とし、デー
タ部に対する検出データを有効として出力するものであ
る。。
［作用コ
１−記の欠陥検り方法においては、データ部のグループ
の回折光きともにＩＤ部のグループとそのピットの回折
ｙｔまたは散乱光がすべて検出されるが、スピンドルに
設けられたインデックス検出器と回転角度検出器の検出
信号により、データ処理部においてＩＤ部の検出データ
が無効とされ、データ部のグループ欠陥のみか検出され
る。
の回折光きともにＩＤ部のグループとそのピットの回折
ｙｔまたは散乱光がすべて検出されるが、スピンドルに
設けられたインデックス検出器と回転角度検出器の検出
信号により、データ処理部においてＩＤ部の検出データ
が無効とされ、データ部のグループ欠陥のみか検出され
る。
〔実施例］
第１図はこの発明による光ディスクの欠陥検査方法の実
施例における概略のプローＩり構成図を示す。図（ａ）
において、被検査の光ディスクｌはスピンドル２により
回転し、インデックス検出器５によりインデックス（Ｉ
Ｎ Ｄ ）マークが、また回転角度検出器６によりデ
ィスク１の回転角度０が検出され、それぞれの検出（；
１号が出力される。ディスク１の表面に対する欠陥検出
光学系は前記した第２図（ｂ）と同様に、ディスク１の
表面に対してレーザビームＴを照射してスポットＳを形
成し、グループによる一次回折光Ｒ１が受光器４により
受光され、同時にＩＤピットによる散乱光も受光される
。これらの受光器５）は適当な増幅器７によりレベル調
整されて欠陥検出部８によりグループ欠陥が検出され、
またＩ Ｄピットの散乱光の受光器５ｆは疑似欠陥とし
て検出され、これらの欠陥および疑似欠陥のデータがデ
ータ処理部９に入力し、ディスク■の１′、径と回転角
度をアドレス七してメモリ９ａに記憶される。一方、デ
ータ処理部９には前記のインデックス信ｚＪ・と回転角
変信ジノが入力し、インチ１クス信号のカウントにより
゛ｌｔ、径位置戻位置た、ＩＮＦ）を起点とする各Ｎ）
ｉｆｆ＜の角度（１“ｌ置が判明する。これらの１４仔
と角度位置に対するアドレスに対するメモリ９ａのデー
タが無効とされ、これら以外のデータ部に対するグルー
プ欠陥データのみが出力される。なお、１−記の回転角
度検出器６としては分解能の良好なロータリエンコーダ
を使用するものである。
施例における概略のプローＩり構成図を示す。図（ａ）
において、被検査の光ディスクｌはスピンドル２により
回転し、インデックス検出器５によりインデックス（Ｉ
Ｎ Ｄ ）マークが、また回転角度検出器６によりデ
ィスク１の回転角度０が検出され、それぞれの検出（；
１号が出力される。ディスク１の表面に対する欠陥検出
光学系は前記した第２図（ｂ）と同様に、ディスク１の
表面に対してレーザビームＴを照射してスポットＳを形
成し、グループによる一次回折光Ｒ１が受光器４により
受光され、同時にＩＤピットによる散乱光も受光される
。これらの受光器５）は適当な増幅器７によりレベル調
整されて欠陥検出部８によりグループ欠陥が検出され、
またＩ Ｄピットの散乱光の受光器５ｆは疑似欠陥とし
て検出され、これらの欠陥および疑似欠陥のデータがデ
ータ処理部９に入力し、ディスク■の１′、径と回転角
度をアドレス七してメモリ９ａに記憶される。一方、デ
ータ処理部９には前記のインデックス信ｚＪ・と回転角
変信ジノが入力し、インチ１クス信号のカウントにより
゛ｌｔ、径位置戻位置た、ＩＮＦ）を起点とする各Ｎ）
ｉｆｆ＜の角度（１“ｌ置が判明する。これらの１４仔
と角度位置に対するアドレスに対するメモリ９ａのデー
タが無効とされ、これら以外のデータ部に対するグルー
プ欠陥データのみが出力される。なお、１−記の回転角
度検出器６としては分解能の良好なロータリエンコーダ
を使用するものである。
［発明の効果］
以ヒの説明により明らかなように、この発明による光デ
ィスクの欠陥検査方法においては、簡易なソフト丁；法
により、ＩＩ）ピットの疑似欠陥がグループ欠陥として
検出されることが防止されて検査の信頼性が向トするも
ので、この方法を適用することにより、追記型の光ディ
スクに対する多晴のレプリカを効率的に検査できる効果
には大きいものがある。
ィスクの欠陥検査方法においては、簡易なソフト丁；法
により、ＩＩ）ピットの疑似欠陥がグループ欠陥として
検出されることが防止されて検査の信頼性が向トするも
ので、この方法を適用することにより、追記型の光ディ
スクに対する多晴のレプリカを効率的に検査できる効果
には大きいものがある。
第１図は、この発明による光ディスクの欠１ｆＭ査方法
の実施例における概略のブロック構成図、第２図（ａ）
、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、追記ヤの光ディスク
のグループと、公知のグループ欠陥検出方法の説明図、
第３図（ａ）および（ｂ）は、追記型光ディスクに設定
されるＩＤ情報ピットと、これによる疑似欠陥の説明図
である。 １・・・追記型光ディスク、ｌａ・・・グループ、１ｂ
・・・ピット、 ２・・・スピンドル、３・・
・投光レンズ、 ４．４’・・・受光器、５・・
・インデックス検出器、６・・・回転角度検出器、７・
・・増幅器、 ８・・・欠陥検出部、９・・・
データ処理部、 ９ａ・・・メモリ。 特工１出願人 ［１立電ｒエンジニアリング株式会社 代理人 弁理ト 梶 山 拮 是 弁理Ｌ 山 木 富」−男 （ｂ） ○ ２図 （Ｃ） （ｄ）
の実施例における概略のブロック構成図、第２図（ａ）
、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、追記ヤの光ディスク
のグループと、公知のグループ欠陥検出方法の説明図、
第３図（ａ）および（ｂ）は、追記型光ディスクに設定
されるＩＤ情報ピットと、これによる疑似欠陥の説明図
である。 １・・・追記型光ディスク、ｌａ・・・グループ、１ｂ
・・・ピット、 ２・・・スピンドル、３・・
・投光レンズ、 ４．４’・・・受光器、５・・
・インデックス検出器、６・・・回転角度検出器、７・
・・増幅器、 ８・・・欠陥検出部、９・・・
データ処理部、 ９ａ・・・メモリ。 特工１出願人 ［１立電ｒエンジニアリング株式会社 代理人 弁理ト 梶 山 拮 是 弁理Ｌ 山 木 富」−男 （ｂ） ○ ２図 （Ｃ） （ｄ）
Claims (1)
- スピンドルにより回転する追記型の光ディスクの表面に
対してレーザビームを照射してスパイラルに走査し、該
表面に設定された案内溝（以下グループという）による
該レーザビームの回折光を検出する光ディスクの欠陥検
査において、上記光ディスクの表面をインデックスマー
クを起点として円周方向に等分割したセクタごとに、一
定の角度範囲に識別コード（ＩＤ）のピットが設定され
たＩＤ部に対して、上記スピンドルに設けられたインデ
ックス検出器および上記光ディスクの回転角度検出器の
検出信号をデータ処理部に入力し、データ処理により上
記ＩＤ部に対する検出データを無効とし、データ部に対
する検出データを有効として出力することを特徴とする
、光ディスクの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12858389A JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12858389A JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02307007A true JPH02307007A (ja) | 1990-12-20 |
| JP2631745B2 JP2631745B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=14988345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12858389A Expired - Lifetime JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2631745B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130258328A1 (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disk surface inspection method and disk surface inspection device |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP12858389A patent/JP2631745B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130258328A1 (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disk surface inspection method and disk surface inspection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2631745B2 (ja) | 1997-07-16 |
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