JPH02307076A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、基板の回路パターンの接続状態や絶縁状態を
検査するための基板検査装置に関する。

（従来の技術） 従来、この種の基板検査装置としては、２本以上の探針
により基板の回路パターンの適宜の位置をプロービング
して、回路パターンにおける導通状況を検査してその接
続性や絶縁性の良否を判定するようにしていた。

（発明が解法しようとする課題） しかしながら、上述の従来の基板検査装置では、回路パ
ターンの接続状態を検査するためには、接続されている
回路パターン特に全ての端子パッドをグローピングしな
ければならず、一方回路パターンの絶縁状態を検査する
ためには、検査をしようとする回路パターンと絶縁状態
にある回路パターンの全ての端子パッドをプロービング
しなければならず、１つの基板の接続性・絶縁性を検査
するのに、プロービング回数が非常に多くなって検査時
間が非常に大になるという欠点がある。

本発明は、上記欠点を解消することを課題とするもので
あって、基板の回路パターンの接続状態又は絶縁状態を
短時間で検査することができる基板検査装置を提供する
ことを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記課題は、基板に形成された回路パターンの接続状態
や絶縁状態を検査する基板検査装置において、前記基板
の回路パターンに電圧を印加する電圧印加手段と、電圧
が印加された基板に生ずる電界分布を電界パターンとし
て図形表示する電界パターン表示手段と、前記電界パタ
ーンを光学的に読み込み基板の回路パターンの接続状態
や絶縁状態を解析する回路パターン解析手段とを備える
ことで解決することができる。

（作用） 本発明によれば、基板の回路パターンに電圧が印加され
たときに生ずる電界分布を電界パターンとして図形表示
させる。そして該電界パターンを光学的に読み込み、回
路パターンの接続状態や絶縁状態を解析する。

このように、回路パターンの接続性・絶縁性を電界分布
を図形表示した電界パターンにより解析するようにした
ので、従来のように多数回にわたって回路パターンをブ
ロービングしなくても、検出された電界パターンと正規
状態の場合の電界パターンとを比較する事により回路パ
ターンの接続状態又は絶縁状態を多目的に検査すること
が可能となり、検査時間の短縮をすることが可能となる
。

（実施例） 以下に、図面を参照して本発明の一実施例について説明
する。

本実施例の基板検査装置は、本発明の電圧印加手段とし
てのブロービングユニット１と、本発明の電界パターン
表示手段としての偏光スクリーン３と、本発明の回路パ
ターン解析手段としての偏光読取ユニット４とから構成
されている。なお本実施例は複数枚の基板素子が積層さ
れたいわゆる多層基板の検査を行うものである。

１０−ビングユニツト１には、試験データが入力され、
この試験データに基づいてグローブ２を基板８の本発明
の回路パターンとしての適宜の端子バッド８ａにブロー
ビングさせるプローブ駆動部が備えてあり、プローブ２
を介して基板８の端子バッド８ａに電圧を印加するよう
になっている。

偏光スクリーン３は、板状の透明ケース内に電界に感応
して偏光する液晶等の材料が封入されて構成され、偏光
スクリーン３の板面上には、基板８が載置されるように
なっている。そして、偏光スクリーン３は、基板８に１
０−ビングユニツト１により電圧が印加されたときに、
基板８に発生する電界分布に応じてその電界分布を偏光
スクリーン３の裏面に本発明の電界パターンとしての偏
光像として図形表示させるものである。

偏光読取ユニット４は、偏光像入力部５と画像表示部６
と画像処理部７とを有しており、前記偏光スクリーン３
の裏面に図形表示された偏光像を偏光像入力部５から入
力し、入力された偏光像を画像処理部７で電気信号に変
換した後に特定部分の拡大や位置の読み収り等の解析処
理を行い、その結果を画像表示部６に視覚情報として表
示する。

なお、画像処理部７には、接続状態や絶縁状態が正規な
基板に、所定の試験データに基づいて電圧が印加された
場合に生ずる偏光像が記憶されており、この偏光像と検
出された偏光像との比較により、基板の接続性・絶縁性
の解析を行うことができる。従来において多数回グロー
ピングして始めて得られる情報を、一度の電圧印加によ
る偏光像により得られるという効果を有するものであり
、偏光像から得られる情報を多目的に利用することがで
きるものである。

本実施例によれば、ブロービングユニット１により基板
の回路パターンに電圧を印加して、基板の電界分布を偏
光像として偏光スクリーン３に表示させ、該偏光像を偏
光読取ユニ・ソト４により読み取り解析するようにして
いるので、回路パター・ンの断線やショート等の電気接
続の欠陥位置を直接視認することができると共に、従来
のように多数回ブロービングして得ていた情報を少ない
ブロービングで得ることができ検査時間を大巾に短縮す
ることができる。

（発明の効果） 以上に説明したように、本発明の基板検査装置を用いれ
ば、従来の基板検査装置よりも短時間で基板の回路パタ
ーンの接続状態や絶縁状態を検査することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す斜視図であ
る。 １・・・ブロービングユニット、２・・・プローブ、３
・・・偏光スクリーン、４・・・偏光読取ユニット、５
・・・偏光像入力部、６・・・画像表示部、７・・・画
像処理部、８・・・基板、８ａ・・・端子パッド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板に形成された回路パターンの接続状態や絶縁状態を
   検査する基板検査装置において、前記基板の回路パター
   ンに電圧を印加する電圧印加手段と、電圧が印加された
   基板に生ずる電界分布を電界パターンとして図形表示す
   る電界パターン表示手段と、前記電界パターンを光学的
   に読み込み基板の回路パターンの接続状態や絶縁状態を
   解析する回路パターン解析手段とを備えることを特徴と
   する基板検査装置。