JPH02308101A - 赤外線透過材料 - Google Patents
赤外線透過材料Info
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- JPH02308101A JPH02308101A JP1127807A JP12780789A JPH02308101A JP H02308101 A JPH02308101 A JP H02308101A JP 1127807 A JP1127807 A JP 1127807A JP 12780789 A JP12780789 A JP 12780789A JP H02308101 A JPH02308101 A JP H02308101A
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- JP
- Japan
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- substrate
- zinc sulfide
- cerium fluoride
- film
- transmitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims abstract description 19
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Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は赤外線を透過する材料に関し、特に波長１０μ
ｍ付近の赤外線を殆んど反射することなく透過し、光学
部品や窓材などに有利に適用しうる材料に関する。
ｍ付近の赤外線を殆んど反射することなく透過し、光学
部品や窓材などに有利に適用しうる材料に関する。
波長１０μｍ付近の赤外線は地球の大気中での吸収が少
なく、比較的低温な物体かちも放射されているため、こ
の波長領域の赤外線を検出し、画像化する技術は極めて
多様な用途への応用が期待されている。赤外線検出装置
を外気から保護するためには、赤外線を透過する材料で
製作した窓で外気から遮断する必要があり、この窓材に
は赤外線を透過するだけでなく、機械的強度が要求され
る。そのため、このような構造材的強度をもった材料と
しては、硫化亜鉛（ＺｎＳ）が用いられている。しかし
、一般的に光の透過窓材は屈折率が大気と異なることが
原因で表面反射により透過率が減少する。このような表
面反射による損失を防ぐためには透過材表面に所定の条
件（屈折率、膜厚）を満足する薄膜をコーティングする
ことにより反射防止を行なう必要がある。従来用いられ
ていた所定の条件を満足する薄膜材料としては放射性元
素であるトリウムの弗化物ＴｈＦ、が用いられていた。
なく、比較的低温な物体かちも放射されているため、こ
の波長領域の赤外線を検出し、画像化する技術は極めて
多様な用途への応用が期待されている。赤外線検出装置
を外気から保護するためには、赤外線を透過する材料で
製作した窓で外気から遮断する必要があり、この窓材に
は赤外線を透過するだけでなく、機械的強度が要求され
る。そのため、このような構造材的強度をもった材料と
しては、硫化亜鉛（ＺｎＳ）が用いられている。しかし
、一般的に光の透過窓材は屈折率が大気と異なることが
原因で表面反射により透過率が減少する。このような表
面反射による損失を防ぐためには透過材表面に所定の条
件（屈折率、膜厚）を満足する薄膜をコーティングする
ことにより反射防止を行なう必要がある。従来用いられ
ていた所定の条件を満足する薄膜材料としては放射性元
素であるトリウムの弗化物ＴｈＦ、が用いられていた。
従来、反射防止膜として用いられていたトリウムの弗化
物は放射能があるため、取り扱いが危険である上、膜の
硬さが十分でなく、キズがつき易いなど耐久性に問題が
あった。
物は放射能があるため、取り扱いが危険である上、膜の
硬さが十分でなく、キズがつき易いなど耐久性に問題が
あった。
本発明は上記技術水準に鑑み、トリウムの弗化物に代る
反射防止膜を有し、トリウムの弗化物におけるような問
題点のない赤外線透過材料を提供しようとするものであ
る。
反射防止膜を有し、トリウムの弗化物におけるような問
題点のない赤外線透過材料を提供しようとするものであ
る。
硫化亜鉛（ＺｎＳ）基板の反射防止膜としては、膜の屈
折率が基板の屈折率の平方根に近い値であることが必要
であるが、本発明者らはこのような屈折率をもち、硬質
で１０μｍ付近の赤外線を透過する膜材料として、弗化
セリウム（Ｃａｂｓ）が適してしることを見い出し、こ
の材料を硫化亜鉛上にコーティングすれば、広い透過波
長領域が得られることの知見を得た。
折率が基板の屈折率の平方根に近い値であることが必要
であるが、本発明者らはこのような屈折率をもち、硬質
で１０μｍ付近の赤外線を透過する膜材料として、弗化
セリウム（Ｃａｂｓ）が適してしることを見い出し、こ
の材料を硫化亜鉛上にコーティングすれば、広い透過波
長領域が得られることの知見を得た。
本発明はこの知見に奪番基いて完成されたものであって
、硫化亜鉛基板と、該基板に被覆された弗化セリウム膜
とからなることｉ特徴とする赤外線透過材料である。
、硫化亜鉛基板と、該基板に被覆された弗化セリウム膜
とからなることｉ特徴とする赤外線透過材料である。
本発明の硫化亜鉛に被覆する弗化セリウム膜は、硫化亜
鉛の片面だけでもよく、また両面に設けてもよい。
鉛の片面だけでもよく、また両面に設けてもよい。
弗化セリウムのみのコーティングで硬質な反射防止膜が
形成できるため、成膜が極めて容易となる。
形成できるため、成膜が極めて容易となる。
以下、本発明の一実施例を第１図によって説明する。第
１図中、ｌは硫化亜鉛ＺｎＳ基板、２は弗化セリウムＣ
ｅＦｓ膜である。
１図中、ｌは硫化亜鉛ＺｎＳ基板、２は弗化セリウムＣ
ｅＦｓ膜である。
弗化セリウム膜２は真空蒸着法で成膜を行ない、成膜時
の硫化亜鉛基板１の温度を３００℃とすれば、弗化セリ
ウム膜２の屈折率が所定の値に近ずき成膜速度を５人／
秒とすれば、これよりも速い速度で成膜した弗化セリウ
ム膜よりも硬質な膜になる。
の硫化亜鉛基板１の温度を３００℃とすれば、弗化セリ
ウム膜２の屈折率が所定の値に近ずき成膜速度を５人／
秒とすれば、これよりも速い速度で成膜した弗化セリウ
ム膜よりも硬質な膜になる。
上記の方法で弗化セリウム膜を蒸着すると、屈折率１．
”５０の硬質な反射防止膜を形成できる。
”５０の硬質な反射防止膜を形成できる。
硫化亜鉛基板１の両面に、この方法で１，６７μｍの弗
化セリウム膜２をコーティングすることにより（弗化セ
リウムの膜厚により透過する赤外線の波長が変る）、波
長１０３ｍ付近の赤外線透過率は９６％となる。
化セリウム膜２をコーティングすることにより（弗化セ
リウムの膜厚により透過する赤外線の波長が変る）、波
長１０３ｍ付近の赤外線透過率は９６％となる。
以上の実施例は硫化亜鉛基板の両面に弗化セリウム膜を
形成した場合を示したが、硫化亜鉛基板の片面のみに弗
化セリウム膜を形成させるだけでもよい。
形成した場合を示したが、硫化亜鉛基板の片面のみに弗
化セリウム膜を形成させるだけでもよい。
本発明の赤外線透過材料は、反射防止膜である弗化セリ
ウムの膜厚にもよるが波長１０μｍ付近で特に反射防止
効果があり、赤外線を９０％以上透過する波長領域は７
．５〜１１．０μｍと広く、従って赤外線広帯域透過材
料として有効である。
ウムの膜厚にもよるが波長１０μｍ付近で特に反射防止
効果があり、赤外線を９０％以上透過する波長領域は７
．５〜１１．０μｍと広く、従って赤外線広帯域透過材
料として有効である。
第一図は本発明の一実施例の概略図である。
Claims (1)
- 硫化亜鉛基板と、該基板に被覆された弗化セリウム膜と
からなることを特徴とする赤外線透過材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127807A JPH02308101A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 赤外線透過材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127807A JPH02308101A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 赤外線透過材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02308101A true JPH02308101A (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=14969163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1127807A Pending JPH02308101A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 赤外線透過材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02308101A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06281811A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Nec Corp | ドーム |
| US10101547B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-10-16 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Fixing structure for optical fiber, semiconductor laser module, and fixing method for optical fiber |
-
1989
- 1989-05-23 JP JP1127807A patent/JPH02308101A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06281811A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Nec Corp | ドーム |
| US10101547B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-10-16 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Fixing structure for optical fiber, semiconductor laser module, and fixing method for optical fiber |
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