JPH0230922Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0230922Y2 JPH0230922Y2 JP2752480U JP2752480U JPH0230922Y2 JP H0230922 Y2 JPH0230922 Y2 JP H0230922Y2 JP 2752480 U JP2752480 U JP 2752480U JP 2752480 U JP2752480 U JP 2752480U JP H0230922 Y2 JPH0230922 Y2 JP H0230922Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- tuning fork
- vapor deposition
- metal mask
- vibrating piece
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 20
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
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- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、音叉型水晶振動子の電極構造に関す
るものである。
るものである。
従来、音叉型水晶振動子の電極形成方法には、
２通りあり、１つは金属マスクを使用して蒸着を
行う方法であり、もう１つは、フオトエツチング
による方法である。本考案は、金属マスクを使用
して蒸着により電極を形成する方法における音叉
型水晶振動子の電極形成の信頼性を上げる為の電
極構造である。
２通りあり、１つは金属マスクを使用して蒸着を
行う方法であり、もう１つは、フオトエツチング
による方法である。本考案は、金属マスクを使用
して蒸着により電極を形成する方法における音叉
型水晶振動子の電極形成の信頼性を上げる為の電
極構造である。
本考案を説明するにあたり、一般的な音叉型水
晶振動片の各部の名称を、第１図、第２図及び第
３図により定める。第１図は音叉型水晶振動片の
形状を示す斜視図であり、ａは共振部、ｂは基
部、ｃは主面、ｄは内側面、ｅは外側面である。
晶振動片の各部の名称を、第１図、第２図及び第
３図により定める。第１図は音叉型水晶振動片の
形状を示す斜視図であり、ａは共振部、ｂは基
部、ｃは主面、ｄは内側面、ｅは外側面である。
第２図は、音叉型水晶振動片に電極形成用の金
属マスクを配置した状態の斜視図。第３図は、第
２図のα−α′断面図、第４図は第２図のβ−β′断
面図である。Ｒは蒸着源であり、金属マスク２を
セツトした音叉型水晶振動片１は蒸着源Ｒの上方
で矢印の方向に回転する。
属マスクを配置した状態の斜視図。第３図は、第
２図のα−α′断面図、第４図は第２図のβ−β′断
面図である。Ｒは蒸着源であり、金属マスク２を
セツトした音叉型水晶振動片１は蒸着源Ｒの上方
で矢印の方向に回転する。
金属マスクを使用して蒸着により電極を形成す
る場合、形成する電極構造に合わせて金属マスク
に穴（以下マドと呼ぶ）をあけなければならな
い。マドの部分はかなりの大きさ（面積）である
為、マド以外の部分（以下枠と呼ぶ）は細い部分
が多く、電極形成には必要ない補強部Ａ（以下ブ
リツジ部と呼ぶ）を必要としている。強度の必要
性からブリツジ部Ａの太さは0.1mm位が限度であ
り、さらに細くする補強としては不充分になる。
ブリツジ部Ａを有した金属マスク２を使用して蒸
着によつて電極を形成すると、蒸着の採際、前記
ブリツジ部Ａにより、音叉型水晶振動片の外側面
の蒸着が遮られ蒸着状態不充分になる。第３図は
ブリツジ部Ａのあるα−α′断面図である。音叉型
水晶振動片１には中心点Ｘに対して点対称に電極
が形成される（全体としては図に垂直な線に対し
線対称）ので、ブリツジ部Ａのある部分では外側
面ｅには１ケ所のマドＢからだけの蒸着となる。
る場合、形成する電極構造に合わせて金属マスク
に穴（以下マドと呼ぶ）をあけなければならな
い。マドの部分はかなりの大きさ（面積）である
為、マド以外の部分（以下枠と呼ぶ）は細い部分
が多く、電極形成には必要ない補強部Ａ（以下ブ
リツジ部と呼ぶ）を必要としている。強度の必要
性からブリツジ部Ａの太さは0.1mm位が限度であ
り、さらに細くする補強としては不充分になる。
ブリツジ部Ａを有した金属マスク２を使用して蒸
着によつて電極を形成すると、蒸着の採際、前記
ブリツジ部Ａにより、音叉型水晶振動片の外側面
の蒸着が遮られ蒸着状態不充分になる。第３図は
ブリツジ部Ａのあるα−α′断面図である。音叉型
水晶振動片１には中心点Ｘに対して点対称に電極
が形成される（全体としては図に垂直な線に対し
線対称）ので、ブリツジ部Ａのある部分では外側
面ｅには１ケ所のマドＢからだけの蒸着となる。
第４図はβ−β′断面図であるが、外側面ｅには
上下２ケ所のマドＢから蒸着される。
上下２ケ所のマドＢから蒸着される。
第６図は第２図の金属マスクで蒸着した電極構
造を示す斜視図である。図中Ｆはブリツジ部Ａに
より遮蔽されて蒸着がなされなかつた部分であ
る。第６図において３は外側面電極、４は主面電
極、５は接続電極、６は内側面電極である。第７
図は電極の接続を説明する為の模式図である。主
面電極４から１つは外側面を経由して反対主面
に、もう１つは内側面電極６へ、さらにもう１つ
は接続電極５を経て外側面電極に接続している。
図中Ｆは第６図のＦに対応している。第６図では
１ケ所だけ図示しているが対称形なので２ケ所存
在する。次に外側面電極の電気的導通が不安定な
理由を以下説明する。
造を示す斜視図である。図中Ｆはブリツジ部Ａに
より遮蔽されて蒸着がなされなかつた部分であ
る。第６図において３は外側面電極、４は主面電
極、５は接続電極、６は内側面電極である。第７
図は電極の接続を説明する為の模式図である。主
面電極４から１つは外側面を経由して反対主面
に、もう１つは内側面電極６へ、さらにもう１つ
は接続電極５を経て外側面電極に接続している。
図中Ｆは第６図のＦに対応している。第６図では
１ケ所だけ図示しているが対称形なので２ケ所存
在する。次に外側面電極の電気的導通が不安定な
理由を以下説明する。
金属マスクを使用して蒸着により電極を形成す
るタイプの音叉型水晶振動片は通常、機械的研磨
により作成する。音叉型水晶振動片の表面の粗さ
は主面と側面とでは異なつており、エツチングを
用いて表面処理をしても主面の粗さは0.2μm、側
面の粗さは２〜3μmである。
るタイプの音叉型水晶振動片は通常、機械的研磨
により作成する。音叉型水晶振動片の表面の粗さ
は主面と側面とでは異なつており、エツチングを
用いて表面処理をしても主面の粗さは0.2μm、側
面の粗さは２〜3μmである。
一方蒸着の膜厚は1000〜3000Å（特開昭49−
10692）位である為、主面では表面粗さと同じ位、
側面では表面粗さの1/10位である。しかも側面は
主面よりも膜厚が薄くなる（マドの大きさに制限
があるので）のである。
10692）位である為、主面では表面粗さと同じ位、
側面では表面粗さの1/10位である。しかも側面は
主面よりも膜厚が薄くなる（マドの大きさに制限
があるので）のである。
前述の理由により、ブリツジ部Ａの近傍で導通
不良が発生する。
不良が発生する。
本考案の目的は、ブリツジ部を有する金属マス
クを使用しても側面電極の導通不良が発生しない
電極構造を得ることにある。
クを使用しても側面電極の導通不良が発生しない
電極構造を得ることにある。
第５図は、音叉型水晶振動片に本考案による電
極構造を実施した斜視図である。補助電極Ｅ部は
主面上に形成した電極であり、従来技術でブリツ
ジ部Ａにより遮蔽されて電気的導通が不安定にな
るＦ部の近傍に形成されている。
極構造を実施した斜視図である。補助電極Ｅ部は
主面上に形成した電極であり、従来技術でブリツ
ジ部Ａにより遮蔽されて電気的導通が不安定にな
るＦ部の近傍に形成されている。
第８図は本考案の電極構造を展開したＦ部近傍
模式図である。図から判るように、仮りにＦ部が
外側面電極を横断しても主面に形成した補助電極
Ｅ部により電気的導通がなされ、従来技術の外側
面電極断線によつて生じる不良をなくすことがで
きる。
模式図である。図から判るように、仮りにＦ部が
外側面電極を横断しても主面に形成した補助電極
Ｅ部により電気的導通がなされ、従来技術の外側
面電極断線によつて生じる不良をなくすことがで
きる。
以上述べた様に、本考案の要旨は、音叉型水晶
振動片に蒸着で電極を形成する際に、金属マスク
により遮蔽されて外側面電極の導通不良が発生し
ない電極構造であり、金属マスクにより外側面電
極が遮蔽される部分は主面に形成した補助電極部
で電気的導通がとれるようになり、電極形成の信
頼性が向上した。
振動片に蒸着で電極を形成する際に、金属マスク
により遮蔽されて外側面電極の導通不良が発生し
ない電極構造であり、金属マスクにより外側面電
極が遮蔽される部分は主面に形成した補助電極部
で電気的導通がとれるようになり、電極形成の信
頼性が向上した。
第１図は音叉型水晶振動片の形状を示す斜視
図。第２図は音叉型水晶振動片に電極形成用の金
属マスクを配置した状態の斜視図、第３図は第２
図のα−α′断面図、第４図は第２図のβ−β′断面
図、第５図は本考案の一実施例で斜視図、第６図
は第２図の金属マスクで蒸着した電極構造で斜視
図（従来例）、第７図は電極の説明をする為の模
式図、第８図は本考案の電極構造を展開したＦ部
近傍模式図。 ａ……共振部、ｂ……基部、ｃ……主面、ｄ…
…内側面、ｅ……外側面、Ａ……ブリツジ部、Ｂ
……マド、Ｅ……補助電極、Ｆ……ブリツジ部Ａ
により遮蔽された部分、Ｒ……蒸着源、Ａ１……
音叉型水晶振動片、２……金属マスク。
図。第２図は音叉型水晶振動片に電極形成用の金
属マスクを配置した状態の斜視図、第３図は第２
図のα−α′断面図、第４図は第２図のβ−β′断面
図、第５図は本考案の一実施例で斜視図、第６図
は第２図の金属マスクで蒸着した電極構造で斜視
図（従来例）、第７図は電極の説明をする為の模
式図、第８図は本考案の電極構造を展開したＦ部
近傍模式図。 ａ……共振部、ｂ……基部、ｃ……主面、ｄ…
…内側面、ｅ……外側面、Ａ……ブリツジ部、Ｂ
……マド、Ｅ……補助電極、Ｆ……ブリツジ部Ａ
により遮蔽された部分、Ｒ……蒸着源、Ａ１……
音叉型水晶振動片、２……金属マスク。
Claims (1)
- 補強部を有する金属マスクを使用し、蒸着によ
り電極を形成する音叉型水晶振動子の電極構造に
於いて、音叉型水晶振動片の主面にある主面電極
と外側面にある外側面電極を接続する接続電極が
音叉型水晶振動片の基部にあり、前記外側面電極
が前記金属マスクの補強部によつて蒸着を遮られ
る位置に対応する反対主面上の稜線部近傍に前記
外側面電極と接続される補助電極が形成されてい
ることを特徴とする音叉型水晶振動子の電極構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2752480U JPH0230922Y2 (ja) | 1980-03-03 | 1980-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2752480U JPH0230922Y2 (ja) | 1980-03-03 | 1980-03-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56130339U JPS56130339U (ja) | 1981-10-03 |
| JPH0230922Y2 true JPH0230922Y2 (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=29623488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2752480U Expired JPH0230922Y2 (ja) | 1980-03-03 | 1980-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0230922Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4645551B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
-
1980
- 1980-03-03 JP JP2752480U patent/JPH0230922Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56130339U (ja) | 1981-10-03 |
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