JPH023625Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH023625Y2 JPH023625Y2 JP9495684U JP9495684U JPH023625Y2 JP H023625 Y2 JPH023625 Y2 JP H023625Y2 JP 9495684 U JP9495684 U JP 9495684U JP 9495684 U JP9495684 U JP 9495684U JP H023625 Y2 JPH023625 Y2 JP H023625Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cover
- guide groove
- bonding
- lead frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は銅、銅合金材又はニツケル、その他酸
化し易いリードフレームにワイヤボンデイング又
はダイボンデイングを行うボンデイング装置の加
熱装置に関する。
化し易いリードフレームにワイヤボンデイング又
はダイボンデイングを行うボンデイング装置の加
熱装置に関する。
（従来技術）
従来、リードフレームの酸化を有効に防止する
ボンデイング装置の加熱装置として、実開昭59−
23734号公報に示すものが知られている。この構
造は第１図に示すような構造よりなる。即ち、カ
ートリツジヒータ１を内蔵する加熱体２の上面に
はリードフレーム３をガイドするガイド溝２ａが
形成され、ガイド溝２ａを覆うように加熱体２に
カバー４が固定されている。前記加熱体２にはガ
ス供給口５より不活性ガス又はフオーミングガス
等を流すガス孔２ｂが加熱体２の長手方向に形成
され、このガス孔２ｂより加熱体２の上面に向つ
て多数個の細いガス噴出孔２ｃが形成されてい
る。前記カバー４の一部には開口部４ａが形成さ
れており、この開口部４ａにはボンデイング作業
窓６ａが形成されたリードフレーム押え板６が上
下動可能に設けられている。
ボンデイング装置の加熱装置として、実開昭59−
23734号公報に示すものが知られている。この構
造は第１図に示すような構造よりなる。即ち、カ
ートリツジヒータ１を内蔵する加熱体２の上面に
はリードフレーム３をガイドするガイド溝２ａが
形成され、ガイド溝２ａを覆うように加熱体２に
カバー４が固定されている。前記加熱体２にはガ
ス供給口５より不活性ガス又はフオーミングガス
等を流すガス孔２ｂが加熱体２の長手方向に形成
され、このガス孔２ｂより加熱体２の上面に向つ
て多数個の細いガス噴出孔２ｃが形成されてい
る。前記カバー４の一部には開口部４ａが形成さ
れており、この開口部４ａにはボンデイング作業
窓６ａが形成されたリードフレーム押え板６が上
下動可能に設けられている。
ところで、リードフレーム３は入口側（左）７
から出口側（右）８にガイド溝２ａに沿つて送ら
れる。ここで、ガイド溝２ａは、入口側７、出口
側８及びボンデイング作業窓６ａを除いては加熱
体２とカバー４とで密閉構造よりなるので、ガイ
ド溝２ａ内におけるリードフレーム３は数時間放
置しても酸化されることはない。
から出口側（右）８にガイド溝２ａに沿つて送ら
れる。ここで、ガイド溝２ａは、入口側７、出口
側８及びボンデイング作業窓６ａを除いては加熱
体２とカバー４とで密閉構造よりなるので、ガイ
ド溝２ａ内におけるリードフレーム３は数時間放
置しても酸化されることはない。
（従来技術の問題点）
入口側７及び出口側８は、リードフレーム３を
連続的に供給する必要があるので、覆つたり、遮
断することができない。そこで、入口側７におい
ては、第２図に示すように、熱いガス１０が吹き
上げており、この吹き上げる熱いガス１０が冷い
空気１１を巻き込むことになる。このため、例え
ば装置のトラブル等でリードフレーム３の送りが
２〜４分放置されると、入口側７部分が変色し、
ボンデイングが低下する。
連続的に供給する必要があるので、覆つたり、遮
断することができない。そこで、入口側７におい
ては、第２図に示すように、熱いガス１０が吹き
上げており、この吹き上げる熱いガス１０が冷い
空気１１を巻き込むことになる。このため、例え
ば装置のトラブル等でリードフレーム３の送りが
２〜４分放置されると、入口側７部分が変色し、
ボンデイングが低下する。
この現象は出口側８においても起る。ダイボン
デイングの場合は、その後ワイヤボンデイングが
行われるので、やはり出口側８での変色は問題に
なる。しかし、ワイヤボンデイングの場合は、そ
の後にボンデイング工程がないので、出口側８で
変色しても問題は生じない。
デイングの場合は、その後ワイヤボンデイングが
行われるので、やはり出口側８での変色は問題に
なる。しかし、ワイヤボンデイングの場合は、そ
の後にボンデイング工程がないので、出口側８で
変色しても問題は生じない。
またボンデイング作業窓６ａにおいては、熱い
ガスが吹き上げるのみで、下方から冷い空気を巻
き込むことがないので、この部分６ａにおいては
変色しない。
ガスが吹き上げるのみで、下方から冷い空気を巻
き込むことがないので、この部分６ａにおいては
変色しない。
そこで、前記入口側７及び出口側８における変
色を防止するには、入口側７及び出口側８にガス
カーテンを用いればよいが、ガスの使用量が増
え、コスト高になるという欠点を有する。
色を防止するには、入口側７及び出口側８にガス
カーテンを用いればよいが、ガスの使用量が増
え、コスト高になるという欠点を有する。
（考案の目的）
本考案の目的は、酸化防止のためのガス雰囲気
を少ない量で維持できるボンデイング装置の加熱
装置を提供することにある。
を少ない量で維持できるボンデイング装置の加熱
装置を提供することにある。
（考案の実施例）
以下、本考案の一実施例を第３図により説明す
る。なお、第１図、第２図と同じ又は相当部材に
は同一符号を付し、その説明を省略する。ガイド
溝２ａの入口側７におけるカバー４の部分を加熱
体２の入口側面２ｄより約３〜８mm突出して長く
形成してなる。
る。なお、第１図、第２図と同じ又は相当部材に
は同一符号を付し、その説明を省略する。ガイド
溝２ａの入口側７におけるカバー４の部分を加熱
体２の入口側面２ｄより約３〜８mm突出して長く
形成してなる。
このように、カバー４は突出部４ｂを有するの
で、吹き上がる熱いガス１０は一旦突出部４ｂに
当り、反射して下側に流れるため、下側の冷い空
気を押し出す形となり、空気の巻き込みがなく、
入口側７におけるリードフレーム３の酸化は防止
される。実験の結果、数時間リードフレーム３を
放置していても酸化は認められなかつた。
で、吹き上がる熱いガス１０は一旦突出部４ｂに
当り、反射して下側に流れるため、下側の冷い空
気を押し出す形となり、空気の巻き込みがなく、
入口側７におけるリードフレーム３の酸化は防止
される。実験の結果、数時間リードフレーム３を
放置していても酸化は認められなかつた。
なお、出口側８（第１図参照）においてもカバ
ー４を加熱体２の出口側面より突出するように形
成すれば、より効果的である。しかし、ボンデイ
ングの種類によつては少なくとも入口側７でも十
分効果を有する。
ー４を加熱体２の出口側面より突出するように形
成すれば、より効果的である。しかし、ボンデイ
ングの種類によつては少なくとも入口側７でも十
分効果を有する。
（考案の効果）
以上の説明から明らかな如く、本考案によれ
ば、ガイド溝の入口側におけるカバーの部分を加
熱体の入口側面より突出して長く形成することに
より入口側におけるリードフレームの酸化は防止
されるので、ボンダビリテイが良く、またガス使
用量が少なくてすむ。
ば、ガイド溝の入口側におけるカバーの部分を加
熱体の入口側面より突出して長く形成することに
より入口側におけるリードフレームの酸化は防止
されるので、ボンダビリテイが良く、またガス使
用量が少なくてすむ。
第１図は従来例の正面断面図、第２図は第１図
のＡ部の拡大断面図、第３図は本発明の一実施例
を示す第２図に対応した断面図である。 ２……加熱体、２ａ……ガイド溝、２ｂ……ガ
ス孔、２ｃ……ガス噴出孔、２ｄ……入口側面、
３……リードフレーム、４……カバー、４ｂ……
突出部、５……ガス供給口、１０……ガス。
のＡ部の拡大断面図、第３図は本発明の一実施例
を示す第２図に対応した断面図である。 ２……加熱体、２ａ……ガイド溝、２ｂ……ガ
ス孔、２ｃ……ガス噴出孔、２ｄ……入口側面、
３……リードフレーム、４……カバー、４ｂ……
突出部、５……ガス供給口、１０……ガス。
Claims (1)
- リードフレームをガイドするガイド溝が形成さ
れた加熱体を覆うようにカバーが固定され、前記
ガイド溝にガスを流すボンデイング装置の加熱装
置において、前記ガイド溝の入口側におけるカバ
ーの部分を加熱体の入口側面より突出して長く形
成したことを特徴とするボンデイング装置の加熱
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984094956U JPS6112234U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | ボンデイング装置の加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984094956U JPS6112234U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | ボンデイング装置の加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112234U JPS6112234U (ja) | 1986-01-24 |
| JPH023625Y2 true JPH023625Y2 (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=30653844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984094956U Granted JPS6112234U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | ボンデイング装置の加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112234U (ja) |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP1984094956U patent/JPS6112234U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6112234U (ja) | 1986-01-24 |
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