JPH0238251B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般的には材料取扱装置に係り、特に
試料を処理装置のシール可能なチエンバーに出し
入れして移送するための装置ための装置、より詳
細には、相互に異なる雰囲気条件を有する二つの
半導体処理チエンバ間に配置され二つの処理チエ
ンバのうちの第一の処理チエンバから半導体材料
を含む試料を受け取り、二つの処理チエンバのう
ちの第二の処理チエンバに該試料を渡すように構
成されたロードロツクに関する。

ロードロツクはエアーロツクというような他の
名前で呼ばれることがしばしばあるが、これの概
念や効用については多年に亘つて認識されてきて
いる。ロードロツクは、対象物をあるチエンバー
内の環境からチエンバー外の異なつた環境へ移送
し、これら２つの環境間での相互作用が最少化あ
るいは防止する必要がある時には常に、日常的に
広範な各種努力をなして採用されている。ロード
ロツクの本質的な構造的な特徴は、それが隔離
（分離）しようとする２つの環境の中間における
チエンバーと、前記チエンバーを、最初は１つの
環境を有する空間に対して、次に他の環境を有す
る空間に対して、開放および閉鎖するための装置
とを含む点にある。多くの適用例においては、前
記中間のチエンバー即ち分離チエンバは隣接空間
に対して開放される前に、その隣接空間と圧力お
よび環境が均等化される。そのような装置の身近
な例は潜水艦の魚雷発射管である。この装置は最
初は容器内のほぼ乾燥していて空気の詰まつてい
る環境の中に配置されている発射体を、潜水艦の
内部への水の侵入を最少限にしながら、艦体を取
囲んでいる液体環境の中へ発射することができ
る。同様に、宇宙飛行体のエアーロツクは乗組員
をその居室の圧力環境においたままにして、宇宙
飛行体の全ての内部を真空環境にさらすことなく
真空環境の中へ入つていくことを可能にしてい
る。

ロードロツクはその有用性の故製造装置におい
て日常的に使用され、処理チエンバーの中へ他の
材料が浸入したりあるいはそこから漏洩したりす
るのを最少にしながら、試料を処理チエンバーに
出し入れさせて移送することができる。特に、ロ
ードロツクは半導体製造産業において用いられる
型の真空処理チエンバーの中へうまく組入まれ
る。この産業界においてそのような真空処理チエ
ンバーを使用することが、スパツター処理、プラ
ズマエツチング処理、反応性イオンエツチング処
理が現在では湿式化学処理に置き換わるものとし
て適しているので、増加している。ある種の場合
には、反応チエンバーを開くと空気中の気体がそ
の内面に吸着してしまう故、これらの処理システ
ムの中でロードロツクを使用することが絶対的な
条件となることがある。空気中にさらした後にチ
エンバーの中で処理を行なうと、そのような空気
にさらす前に得られた結果と全く異なる結果が生
じることがしばしばある。これらの特性の変化は
吸着された気体あるいは、特に、連続的な排気操
作によつても除去されないチエンバー壁上の湿分
によることがしばしばある。特に、プラズマエツ
チングあるいは反応性イオンエツチングの場合、
チエンバーを開放することは、そのような吸着さ
れた気体がチエンバー内で生じる化学反応を変化
させることがあるので、その特性に大きな影響を
与えてしまう。

排気された処理チエンバーの中へ試料を移送す
るために、ロードロツクを用いることによつて一
般的に得られる他の大きな利点は、真空ポンプの
負荷が減少することである。真空ポンプの負荷
は、通常はロードロツクが処理チエンバーの容積
よりも極めて小さい容積を有しているので、減少
される。従つて、ロードロツクを使用すると、ロ
ードロツクを使用していない同等なシステムに比
べて、処理された各試料に関してシステムからポ
ンプで排出される気体の量が減少する。このよう
にポンプ負荷が減少すると、試料をより迅速に真
空環境にさらすことができるようになるか、ある
いは、真空を確立するために使用されるポンプの
容量を減少させることができるか、あるいは急速
排気とポンプサイズ減少との両方を組合わせるこ
とができる。

今までの半導体産業の処理装置において用いら
れてきたロードロツクは共通の特徴、例えば、そ
れらが一般的に厚さが0.010インチから0.050イン
チ（0.25mmから1.25mm）で、直径がインチオーダ
ーになつた円板状の試料を取扱うようになつてい
るけれども、大部分の真空処理装置の製造者はロ
ードロツクの構成要素を処理システムの全体構造
の中へ一体的に組入れてきた。この共通の機能を
有する標準型のモジユラー装置がなかつたので、
幾つかの困難なことが生じている。先ず第一に、
そのようなロードロツク内を移送される試料はこ
われ易くかつ簡単に汚染されてしまうので、各製
造者は実行可能な装置を開発したり、その操作を
信頼のあるものにしたりするのに大きな努力をは
らわねばならない。さらに、この開発努力の大き
さは、真空処理システムをコンピユータ制御の下
で操作して、全てのウエーハ取扱いを人間を介在
させることなしに自動的に行なう傾向があるの
で、増加しつつある。第二の困難な点は、各々が
独特なロードロツク構造を有しているような各種
システムを備えた工場内での処理装置の保守と修
理のことである。そのように装置が混在している
場合には、その保守のための責任者達は各々の機
構の構造や操作についてより詳しく知ることが必
要となる。さらに、そのように装置が混在してい
ると、各種タイプのロードロツクに関して用意す
るスペア部品の保守も行なう必要がある。従つ
て、もし標準化された、モジユラータイプのロー
ドロツクが使用されれば、真空処理システムを建
造する人も、これを使用する人も、両者にとつて
同一であることの利益が生じることは明らかであ
る。

本発明の目的は、改良された一体構造的なロー
ドロツク装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、試料を受入れたりあるい
は送り出したりするチエンバーに対して容易に境
界を接することのできるロードロツクを提供する
ことにある。

本発明の他の目的は、第１処理チエンバーから
第２処理チエンバーへ試料を移送させることので
きるロードロツクを提供することにある。

本発明の他の目的は、試料の汚染の可能性を減
少させることのできるロードロツクを提供するこ
とにある。

本発明の他の目的は、試料移送機構を収納しな
がら閉鎖、シールすることのできるアイソレーシ
ヨンチエンバーを有したロードロツクを提供する
ことにある。

本発明によれば、前記した目的は、 相互に異なる雰囲気条件を有する二つの半導体
処理チエンバ間に配置され、二つの処理チエンバ
のうちの第一の処理チエンバから半導体材料を含
む試料を受け取り二つの処理チエンバのうちの第
二の処理チエンバに該試料を渡すように構成され
たロードロツクであつて、 内部に空間が形成されるように壁を有するシー
ル可能な分離チエンバで、その壁のうちの一つに
は、該分離チエンバを前記二つの処理チエンバの
うちの一方の処理チエンバーと連通させる前に該
分離チエンバの雰囲気を前記一方の処理チエンバ
の雰囲気に適合させるように流体が該分離チエン
バに出入りせしめられる第一の開口が形成されて
おり、該分離チエンバの壁のうち第一及び第二の
側壁には、第一の処理チエンバから該処理チエン
バへの試料の導入、及び該分離チエンバから第二
の処理チエンバへの試料の取り出しの夫々を可能
にする第一の及び第二の試料移送開口が形成され
ており、分離チエンバの各側壁が、第一又は第二
の処理チエンバの隣接壁の外表面に対して、該隣
接室の試料移送開口の周りの領域で整合して、該
外表面をシールするように構成されている分離チ
エンバ、 二組のシール体を有する閉鎖機構であつて、各
シール体が、第一又は第二の処理チエンバと分離
チエンバとの間の連通を妨げるように、第一又は
第二の処理チエンバの隣接壁部に対して分離チエ
ンバの外面のシール機構が整合する領域よりも内
側で且つ第一又は第二の処理チエンバの隣接壁部
の試料移送開口の周囲の領域において、第一又は
第二の処理チエンバの外表面に対して整合しシー
ルするように、処理チエンバの関連した試料移送
開口から突出した第一の位置と、第一の処理チエ
ンバに臨む前記第一の試料移送開口から第二の処
理チエンバに臨む前記第二の試料移送開口への試
料の通路よりも低い処理チエンバ内の第二の位置
との間で可動に構成されている閉鎖機構、 第一の処理チエンバに関連付けられた一方のシ
ール体が第二の位置に設定され且つ第二の処理チ
エンバに関連付けられた他方のシール体が第一の
位置に設定されている際、試料を受け取るべく第
一の試料移送開口を介して第一の処理チエンバ内
に突出せしめられるように構成されていると共
に、前記他方のシール体が第二の位置に設定され
且つ前記一方のシール体が第一の位置に設定され
ている際、試料を第二の処理チエンバに渡すべ
く、第二の試料移送開口を介して第二の処理チエ
ンバ内に突出するように構成された試料支持アー
ムを有しており、試料を前記通路に沿つて搬送す
べく分離チエンバ内の空間を通つて動かされる試
料移送機構とを有しており、 試料が前記分離チエンバ内にある際に、前記試
料移送開口の全てが同時に閉鎖されシールされ、
試料がロードロツク内にシールされ得るように、
前記分離チエンバ前記閉鎖機構、及び前記試料機
構が構成されているロードロツクによつて達成さ
れる。

本発明のロードロツクでは、第一の処理チエン
バから分離チエンバへの試料の導入、及び該分離
チエンバから第二の処理チエンバへの試料の取り
出しの夫々を可能にする第一の及び第二の試料移
送開口が第一及び第二の側壁に形成されており、
該各側壁が、第一又は第二の処理室の隣接壁の外
表面に対して該隣接壁の試料移送開口の周りの領
域で整合して、該外表面をシールするように構成
されている分離チエンバが設けられている故に、
分離チエンバ及び処理チエンバの内部がその外側
からシールされた状態で連通されることが可能で
ある。

しかも、本発明のロードロツクでは、二つのシ
ール体の夫々が、第一又は第二の処理チエンバの
前記隣接壁部に対して分離室の外面のシール機構
が整合する領域よりも内側で且つ第一又は第二の
処理チエンバの隣接壁部の試料移送開口の周囲の
領域において第一又は第二の処理室の外表面に対
して整合しシールするように、分離チエンバの関
連した試料移送開口から突出した第一位置と、第
一の処理チエンバに臨む前記第一の試料移送開口
から第二の処理チエンバに臨む前記第二の試料移
送開口への試料の通路よりも低い分離チエンバ内
の第二の位置との間で可動に構成されている閉鎖
機構が設けられている故、相互に異なる雰囲気条
件を有する二つの半導体処理チエンバの側に相互
接続のための特別の機構が実際上なくても、該半
導体処理チエンバ間にロードロツクの分離チエン
バが配置されて、該二つの半導体処理チエンバの
うちの任意の一方の処理チエンバに、選択的に連
通接続され得る。しかも、この選択はいずれの処
理チエンバにたいしても非選択チエンバとの連通
を閉鎖機構によつて断つた状態でなされ得る。

また、本発明のロードロツクでは、更に第一の
処理チエンバに関連付けられた一方のシール体が
第二の位置に設定され且つ第二の処理チエンバに
関連付けられた他方のシール体が第一の位置に設
定されている際、試料を受け取るべく第一の試料
移送開口を介して第一の処理チエンバ内に突出せ
しめられるように構成されていると共に前記他方
のシール体が第二の位置に設定され且つ前記一方
のシール体が第一の位置に設定されている際、試
料を第二の処理チエンバに渡すべく、第二の試料
移送開口を介して第二の処理チエンバ内に突出す
るように構成された試料支持アームを有しており
試料を前記通路に沿つて搬送すべく分離チエンバ
内の空間を通つて動かされる試料移送機構が設け
られている故、二つの半導体処理チエンバの雰囲
気条件が異なつていても該半導体処理チエンバ側
には特別の付属設備を実際上設けることなくし
て、該二つの処理チエンバ間での試料の授受を行
わせ得る。従つて、本願発明のロードロツクは処
理プロセの変化に応じて、処理チエンバを適当数
接続することを可能にする。

本発明の他の目的は、試料の中心をほぼ直線的
な通過路に沿つて、アイソレーシヨンチエンバー
の外部から、その壁部に形成された第一の試料移
送開口としての開放孔を通つて内側へ、アイソレ
ーシヨンチエンバーの内部を通り、さらにその壁
部に形成された第二の試料移送開口としての第二
の開放孔を通つて外部へと移動させることのでき
る試料移送機構を組込んだロードロツクを提供す
ることにある。

本発明のさらに他の目的は、試料の中心をアイ
ソレーシヨンチエンバーの外部から、その壁部に
形成された開放孔を通つて内側へ、アイソレーシ
ヨンチエンバーの内部を通り、さらにその壁部に
形成された第二の開放孔を通つて外部へと移動さ
せることができ、前記試料の中心が、アイソレー
シヨンチエンバー内に位置した固定的な点を中心
とした位置決め円上あるいはその円内において、
前記位置決め円内に位置する任意に選択された平
面路に沿つて、あらゆる点から、またあらゆる点
へ移動させることができる試料移送機構を組込ん
だロードロツクを提供することにある。

簡潔にいうと、本発明によるロードロツクの好
ましい実施例は、２つの排気孔と２つの試料移送
開口としての試料移送孔とを有するシール可能な
アイソレーシヨンチエンバーを含む、前記試料移
送孔はアイソレーシヨンチエンバーの対向的な平
面状の平行な側壁を対称的に貫通して形成されて
いる。これらの側壁の外面は試料を送り出したり
受け入れたりする処理チエンバーの壁部の対応的
な平坦面に対してシールされるようになつてい
る。

本発明のロードロツクはまた、前記試料移送孔
を閉鎖、シールするための２つのシール体として
のドアを含む。これらのドアはアイソレーシヨン
チエンバーの外側から独立的に操作可能であり、
それらはほぼ平坦な板であり、前記アイソレーシ
ヨンチエンバーを閉鎖、シールする時には、前記
平坦な側壁に対して平行に整列される。これらの
ドアはさらにその外面の外周近くにおいてＯリン
グを保持するために形成されたＵ字形溝によつ
て、アイソレーシヨンチエンバーをシールするよ
うになつている。これらのドアは試料移送孔より
も小さく構成されているので、前記ドアは移送孔
の中へ入り込むことによつてこれらの孔を閉鎖さ
れる。この位置にくると、これらのドアは、ロー
ドロツクを固定しシールしている処理チエンバー
の平坦壁部に対して外側へ向けて保持しているＯ
リングを押さえることにより、シールを形成す
る。従つて、処理チエンバーのこの壁部に形成さ
れた孔は、ドアにおける対応的なＵ字形溝と同じ
形状をしているか、あるいはそれ以下の大きさと
なつていなければならない。アイソレーシヨンチ
エンバー内の試料移送孔と、処理チエンバー壁部
における対応的な孔とは、両方とも、先ず最初に
ドアを処理チエンバから内側へ引込み、次にそれ
をアイソレーシヨンチエンバー内で試料移送孔の
下部エツヂより下の位置まで下方へ振り降ろすこ
とによつて、試料を通過させるために開放され
る。

本発明のロードロツクはさらに、アイソレーシ
ヨンチエンバーの外部から操作することのできる
試料移送機構を含み、それは閉鎖、シールされた
アイソレーシヨンチエンバー内に収納されるよう
な位置に位置されている。前記試料移送機構はア
イソレーシヨンチエンバーの中で一端において固
定された支持アームを含み、これは両方の試料移
送孔を貫通する平面内で回転できるようになつて
いる。支持アームに隣接し、かつその下に中心平
歯車が配置され、そのピツチ円は支持アームの回
転面に平行になつており、かつ支持アームの回転
軸線と同軸的になつている。中心歯車と本質的に
共平面的になつていて、かつそれと噛合して配置
されている遊び平歯車が支持アームの下でその端
部間で回転可能的に固定されている。支持アーム
の中心歯車から最も離れた方の端部近くにおい
て、棒状の試料アーム軸が支持アームを貫通して
いる。このアーム軸は支持アームの回転軸に対し
て直角に配置されたその縦方向軸線の周りで回転
可能となるように、支持アームに対して固定され
ている。このアーム軸の第１端部の周りでは、支
持アームの下において、遊び歯車と本質的に共平
面的になりかつそれと噛合するように配置された
駆動平歯車が固定されている。支持アームの上面
の上では試料アームの第１端部が試料アーム軸の
第２端部の周りで剛的に固定されている。このア
ームの第２端部は、シリコンウエハーのような円
板状試料を保持するようになつていて、平坦な、
Ｕ字形の支持壁を有するように形成され、その外
周部上には円形の馬蹄形状になつたリムが突出し
ている。試料移送孔はアイソレーシヨンチエンバ
ーの壁部に形成され、これらのアームおよび歯車
は、試料アームと、中心歯車から最も離れた支持
アームの端部と、試料アーム駆動歯車とが、先ず
最初に１つの開放した試料移送孔を貫通し、次に
別の開放した試料移送孔を貫通するように順次の
びていくように配置されている。本発明の試料移
送機構は２つの極めて異なつた操作モードをとる
ことが可能である。第１の操作モードは中心歯車
が固定保持されながら支持アームが回転するモー
ドである。第２の、他の操作モードは、試料に動
きを伝達するために支持アームと中心歯車とを回
転させるモードである。第１操作モードにおいて
は、支持アームが回転すると、試料の中心は、中
心歯車と駆動歯車との歯車比、および試料の中心
と試料アーム軸の回転軸線との間の長さとによつ
て郭定された平面路に沿つて移動する。本発明の
好ましい実施例においては、これら２つの歯車の
歯車比、およびこの長さとは、試料の中心がアイ
ソレーシヨンチエンバーの１つの側壁の外側か
ら、チエンバーの内部を通り、反対側の壁部の外
側へ、本質的に直線状の運動をするように選択さ
れている。このウエーハ移送機構の他の操作モー
ドでは、試料の中心は支持アームの回転軸線と同
軸になり、かつそれと直角をなす位置決め円の上
あるいはその円内にあらゆる点へ移動することが
できるようになつている。この位置決め円の半径
は、支持アームの回転軸線と試料アーム軸の回転
軸線との間の長さ、および試料アーム軸の回転軸
線と試料中心との間の長さとの合計に等しい。さ
らに、この第２操作モードにおいては、試料の中
心は、前記位置決め円内における任意に選択され
た平坦面に沿つて、位置決め円内のあらゆる２点
間を移動することができる。

本発明のロードロツクの利点は、それがモジユ
ラータイプの、一体構造形の装置であつて、その
ように機能するのに必要な全ての機構を収納して
いる点にある。

本発明のロードロツクの他の利点は、それが処
理シエンバーに対して容易に境界を接することが
できる点にある。

本発明のロードロツクの他の利点は、それが試
料を第１の処理チエンバーから取出して、第２の
処理チエンバーへ送り出すために用いられる点に
ある。

本発明のロードロツクの他の利点は、それが試
料の汚染の可能性を減少させる点にある。

本発明のロードロツクの他の利点は、それが試
料移送機構を収納しながらシールすることのでき
る点にある。

本発明のロードロツクの他の利点は、それが試
料の中心を直線状の通路に沿つて移動させること
のできる試料移送機構を組込むように構成されて
いる点にある。

本発明のロードロツクのさらに他の利点は、そ
れが試料の中心を、固定的な点を中心にした位置
決め円内に位置する任意に選択された平面路に沿
つて、前記位置決め円の上あるいはその円内に位
置したあらゆる２点間を移動させることのできる
試料移送機構を組込むように構成されている点に
ある。

本発明のこれらおよびその他の目的および利点
は、各種の添付図面の中で説明したような、好ま
しい実施例の詳細な説明を読めば、当業界にとつ
ては必らず明らかになるであろう。

第１図は本発明によるロードロツクを示し、こ
れは全体的に参考数字２０によつて表わされてい
る。前記ロードロツク２０は単独の箱形断面の本
体２４から組立てられたシール可能なアイソレー
シヨンチエンバー２２と、平面状の頂壁２６と、
平面状の底部２８とからなる。前記本体２４は平
面状の第１側壁３２と、平面状の第２側壁３４
と、２つの平面状の端壁３６とを有する。前記側
壁３２，３４は互いに他と離隔され、互いにほぼ
平行に整列されている。前記端壁３６もまた互い
に他と離隔され、前記側壁３２，３４に対して直
角に整列されている。本体２４は、前記側壁３
２，３４と端壁３６の両エツヂにおいて形成され
た、平面状の上部シール面３８と平面状の下部シ
ール面４０とを有している。前記シール面３８，
４０は前記側壁３２，３４および端壁３６に対し
て直角に整列されている。

前記頂壁２６と底壁２８とはそれぞれシール面
３８，４０と直ぐ隣接して位置されている。頂壁
２６と底壁２８とのエツヂは、それに対して直ぐ
隣接している本体２４の外側表面に一致するよう
な形状をしている。頂壁２６の下面と底壁２８の
上面とには、その外周近くにおいて連続的なＵ字
形の溝４２が形成されている。前記溝４２は本体
２４の内面の外側に位置し、シール面３８，４０
とシール関係になるように、それぞれＯリング４
４を受留め、保持している。また、頂壁２６と底
壁２８とには複数個の孔４６が直角方向に形成さ
れており、同数の複数個の締具４８がそれぞれ前
記孔を貫通することができるようになつている。
前記孔４６は前記Ｕ字形溝４２より外側に位置
し、従つてそれらの孔が存在してもアイソレーシ
ヨンチエンバー２２のシールには影響を与えな
い。前記複数個の孔４６と同数の複数個のねじ穴
５０がそれぞれシール面３８と４０とに形成さ
れ、本体２４の中へ入り込んでおり、前記孔４６
と整列され、締具４８を受留め、係合するように
なつている。

前記端壁３６には円形開口５２が貫通して形成
され、それはアイソレーシヨンチエンバー２２の
内外へ流体を導くために下部シール面４０の近く
に位置している。前記開口５２にはそれぞれ空気
圧作動の真空弁５６，５８の入口管５４が固定さ
れている。弁５６，５８の出口管６０が真空にさ
れている故、一対の制御管６２，６４に与えられ
る加圧気体流に応じて、チエンバー２２の気体が
出口管６０側に排気される。これらの流れは、最
初にチエンバー２２の内部を弁５６を介して低真
空源に連結し、続いて次にチエンバーを弁５８を
介して高真空源に連結するように、前記制御管６
２，６４に対して供給される。

前記側壁３２，３４にはそれぞれ、細長い長方
形状の試料移送孔７２が貫通して形成されてお
り、その縦方向の軸はシール面３８，４０、従つ
て頂壁２６の平面及び底壁２８の平面に対して平
行に整列されている。

ロードロツク２０はさらに、前記試料移送孔７
２を閉じるようになつた１対の平坦なシール体と
してのドア７４を組込んでいる。前記ドア７４は
試料移送孔７２より小さくなるように構成されて
いるので、ロードロツク２０を閉じてシールする
ように配置された時には前記ドア７４は移送孔７
２の中に入り込む。ドア７４の外側シール面７５
は、前記移送孔７２をシールするように配置され
た時には、それぞれ側壁３２，３４の側面に対し
て平行に配置される。前記外側表面７５は長方形
の盛上つた中央領域７６を有し、その周囲には平
坦なフランジ７８がのびている。フランジ７８の
表面にはＯリング８２を受留めるようになつた連
続的なＵ字形溝８０が形成されている。

アイソレーシヨンチエンバー２２の試料移送孔
７２をシール可能にするために、側壁３２あるい
は３４の外側表面は、もし試料移送孔７２が通常
の大気圧環境に対して開口している場合には処理
チエンバー壁９０あるいは平坦なシール板９２の
対応的な平坦な表面８８に対して固定されてい
る。前記平坦表面８８は、前記チエンバー壁９０
あるいはシール板９２を貫通して形成された細長
い長方形の開口９４によつて、ドア７４の前記盛
上り領域７６を受留めるようになつている。前記
開口９４の内面と平坦表面８８との結合部は、前
記盛上り領域７６に最も近いＵ字形溝８０の内側
表面と類似形状をしており、またそれよりも大き
くはない。側壁３２，３４とチエンバー壁９０あ
るいはシール板９２との間のシールは、Ｏリング
９８を保持するために平坦表面８８に形成された
Ｕ字形溝９６によつて確立される。Ｕ字形溝９６
の内側表面は、試料移送孔７２の表面と、側壁３
２あるいは３４の外側表面との結合部より外側に
位置するような形状をしており、また前記表面８
８上に位置していた。ロツドロツクがここのよう
にしてチエンバー壁９０あるいはシール板９２に
対して固定されると、試料移送孔７２は、ドア７
４をその中へ配置し、Ｏリング８２の表面を平坦
表面８８に対して押付けることによつて、シール
される。試料移送孔７２をシールするためのこの
構造は、ロードロツク２０によつて占められる空
間を減少させるために採用されている。

２対のドア閉鎖ラグ１０２が各ドア７４の内面
からシール面７５とは反対の方向へ突出し、また
各ドア７４の縦方向中心点に関して対称的に位置
している。前記ラグ１０２の側面はドア７４の縦
方向軸線に対して直角に整列され、各対のラグ１
０２は互いに他と分離されており、結合リンク１
０６の第１終末端１０４を受留めるようになつて
いる。各ラグ１０２は棒状のドア閉鎖ピン１１０
を受留めるようになつた円形孔１０８を貫通して
形成している。前記ドア閉鎖ピン１１０は、ドア
７４の縦方向軸線およびフランジ７８の平面に対
して平行に配置された円の中心線１１１を有し、
前記ドア閉鎖ラグ１０２の最外側面の間をのびて
いる。前記結合リンク１０６の第１終末端１０４
には穴１１２が貫通形成されており、その穴をド
ア閉鎖ピン１１０が通過している。

また、長方形状の制御リンク１１４がドア７４
の前記ドア閉鎖ラグ１０２と同一の表面から突出
し、ドア閉鎖ラグ１０２からドア７４の１つの縦
方向端部へ向けて位置している。また１対のロー
ラ１１６が、前記シール面から最も離れたところ
にある前記制御リンク１１４の端部に近い対向的
な横方向側面に固定されている。前記ローラ１１
６はドア閉鎖ピン１１０の縦方向軸線１１１に平
行な軸線の周りで回転可能なように固定されてい
る。

ローラ１１６の直ぐ上にはＵ字形の上部ガイド
板１２２が位置し、ローラ１１６の直ぐ下にはＵ
字形の下部ガイド板１２４が位置している。ロー
ラ１１６の直径より少し大きな厚さを有したスペ
ーサブロツク１２６が前記ガイド板１２２と１２
４との間で、ドア７４から最も離れた方の角部近
くに位置している。ガイド板１２２と１２４およ
び前記ブロツク１２６には複数個の整列された孔
１２８が貫通形成されており、それと同数の締具
１３０を受留めるようになつている。前記ガイド
板１２２，１２４とブロツク１２６とは、それら
を締具１３０によつて一緒に固定し、さらにその
組立体をチエンバー２２の底壁２８に固定するこ
とにより、ガイド軌道１３２を形成する。このよ
うにして確立された前記ガイド軌道１３２はロー
ラ１１６とドア７４とを、側壁３２，３４の平面
状外面に対して直角な面の中だけ移動させるよう
に位置している。前記ガイド軌道１３２の中に
は、側壁３２，３４から最も離れた軌道エツヂの
近くにおいて、コイルばね１３４が収納されてお
り、これはドア７４をチエンバー２２の中心部へ
向かつて内側に引張つている。ばね１３４の一端
はねじ締具１３５によつて下部ガイド板１２４に
固定され、またその他端はローラ１１６の軸の周
りに引つかけられている。

各ドア７４は、それに対して各々固定された、
ガラス含有のテフロン材からできた、２つのＬ字
形スライド部材１３８を有している。各々の前記
Ｌ字形スライド部材１３８の１つの脚部は前記ラ
グ１０２および制御リンク１１４が突出している
方のドア７４の表面と接触係合し、他の脚部は頂
壁２６に最も近いフランジ７８の上部エツヂ面と
接触係合している。前記スライド部材１３８はド
ア７４の縦方向中心点に関して対称的になつてド
アの縦方向端部へ向かうような形状になり、かつ
それぞれそのように位置しており、従つて前記部
材１３８が試料移送孔７２の上面と接触している
時には、前記部材は前記試料移送孔内で垂直方向
に適正に位置することができる。フランジ７８の
上部エツヂ面と接触係合している前記Ｌ字形部材
１３８の脚部はその全長に亘つてのびてはおら
ず、従つてそれらはドア７４の閉鎖およびシール
には影響を与えない。

中心部の縦方向軸線１４４を有した棒状の回転
駆動軸１４２が、前記ガイド軌道１３２とコイル
ばね１３４の下における底壁２８の上面との中間
に位置している。前記駆動軸１４２は駆動軸の前
記軸線１４４が縦方向軸線１１１と平行になるよ
うに位置している。駆動軸１４２から半径方向外
側へ突出した２つの対になつた駆動リンク１４６
がその長さ方向に沿つて剛的に固定され、それぞ
れ対になつたドア閉鎖ラグ１０２と整列するよう
になつている。従つて、各々の駆動リンク１４６
の対はそれぞれ結合リンク１０６の第２端部１４
８を受留めるようになつている。前記駆動軸１４
２はこの位置に固定されて、外側の駆動リンク１
４６から駆動軸の長さ方向に沿つてそれぞれ外側
に向かつて位置した２つのラグ１５０によつて、
軸線１４４の周りで回転可能になつている。ドア
閉鎖ラグ１０２と同様に、各々の駆動リンク１４
６も駆動軸１４２から最も離れた端部に近いとこ
ろに、貫通形成された円形孔１５２を有してい
る。各々の対になつたリンク１４６の孔１５２
は、ドア閉鎖ピン１１０の縦方向軸線１１１に対
して平行に整列された縦方向軸線を有した駆動ピ
ン１５４をそれぞれ受留めるように形成されてい
る。結合リンク１０６の第１端部１０４と同様
に、各結合リンク１０６の第２端部１４８は前記
駆動ピン１５４がそれぞれ通過するように貫通形
成された円形孔１５６を有している。

前述してきた要素は、第２Ａ図から第２ｃ図に
示したように、閉鎖されてシールされているドア
７４を次のようにして開くように、一緒になつて
作用する。ドア７４が閉鎖されて、シールされて
いる状態で、回転駆動軸１４２は、駆動ピン１５
４の中心が平行な軸線１１１と１４４とによつて
確立される平面より少し上にくるように、位置し
ている。回転駆動軸１４２がこの位置に配置され
ている場合、スライド部材１３８は試料移送孔７
２の上面と接触するように押付けられ、コイルば
ね１３４は側壁３２から最も離れたガイド軌道１
３２のエツヂから外側へのびている。ばね１３４
はこののびた位置においては、制御リンク１１４
に対して、ドア７４を平坦表面８８から引き離し
てアイソレ―シヨンチエンバー２２の中へ向かつ
て、水平方向内側へ移動させるような力を加え
る。従つて、Ｏリング８２と平坦表面８８との間
のシールは、駆動リンク１４６が底壁２８の方へ
向かつて下方に回転するように駆動軸１４２を回
転させることによつて外すことができる。結合リ
ンク１０６とピン１１０，１５４とによつてドア
７４に結合されたこの回転運動によつて、コイル
ばね１３４はローラ１１６がスペーサブロツク１
２６にあたるまで、ドア７４をガイド軌道１３２
に対して水平方向に平行に移動させることができ
る。スペーサブロツク１２６にあたつた後も駆動
軸１４２が回転し続けると、制御リンク１１４は
ローラ１１６の回転軸線の周りで下方へ枢軸運動
させ、それによつてドア７４を底壁２８に近い開
位置へ向けて下方に案内する。試料移送孔７２と
側壁３２の内面との結合部分には傾斜エツジ１６
２が形成されており、ドアが枢軸運動をしている
間の、側壁３２とドア７４の盛り上り領域７６と
の間に間隙を設けることにより、ロードロツク２
０によつて占拠される空間をさらに減少させるこ
とができる。

閉位置に位置されているドア７４は、駆動軸１
４２をドアを閉鎖する場合とは反対の方向に回転
させることにより、試料移送孔７２を閉鎖し、シ
ールすることができる。先ず最初に駆動軸１４２
を回転させている間、コイルばね１３４はローラ
１１６をスペーサブロツク１２６に接触させたま
まにしている。従つて最初は、ドア７４はスライ
ド部材１３８が試料移送孔７２の上面と接触する
まで、ローラ１１６の回転軸線の周りを上方へ回
転する。スライド部材１３８と孔７２の上面とが
接触することによつて、ドア７４は前記孔の中へ
移動するように位置される。ドア７４がローラ１
１６の回転軸線の周りでそれ以上枢軸運動するの
を防ぐために、前記ドアは駆動軸１４２がそれ以
上回転するのに応答して、試料移送孔７２の中へ
強制的に横方向に移動させられる。回転駆動軸１
４２のこの方向での回転限度において、ピン１５
４の中心軸線が平行な軸線１１１と１４４とによ
つて確立される平面よりも上に位置した時に、前
記盛り上り領域７６は孔７２の中へ入り込み、Ｏ
リング８２が平坦表面８８に押付けられる。

本発明の好ましい実施例においては、駆動軸１
４２の回転運動は、第１図に示したように、駆動
軸１４２の１つの端部に固定された平歯車１７２
によつて惹起される。前記歯車１７２は底壁２８
に固定されたガイド１７６によつてその位置に支
持されたラツク１７４と係合する。前記ラツク１
７４の直線運動は底壁２８の下に位置した空気圧
シリンダー１７８によつて惹起される。空気圧シ
リンダー１７８は底壁２８の孔１８２を貫通する
連結棒１８０によつて、ラツク１７４と結合され
ている。取付けブロツク１８４によつて底壁２８
に固定された前記空気圧シリンダー１７８は、第
１入口孔１８６あるいは第２入口孔１８８を介し
て供給される加圧気体によつて行動される。第３
図に示したように、前記連結棒１８０はＵ字形溝
１９０を有しており、これはラツク１７４の端部
を受留めるようになつていて、平歯車１７２に最
も近い棒の端部の中に形成されている前記連結棒
１８０とラツク１７４とは、その隣接し合う端部
を貫通するピン１９２によつて結合されている。
また第３図に示したように、前記ガイド１７６は
ボールベアリング１９４を収納しており、このベ
アリングはガイド１７６の側壁とベアリング１９
４の中心とを貫通するピン１９６によつてガイド
に固定されている。ボールベアリング１９４の外
部円筒状表面は平歯車１７２から最も離れたラツ
ク１７４の側面と接触しており、ラツク１７４と
ガイド１７６との間の摩擦係合を減少させること
ができる。

周辺の気体が前記連結棒１８０に沿つてチエン
バー２２の中へ漏れ込むことは、空気圧シリンダ
ー１７８の端部近くにおいて底壁２８に最も近く
位置した第１シール２０２と、底壁２８における
孔１８２への入口近くにおいて、連結棒１８０を
囲む第２シール２０６とによつて、減少させられ
る。前記シール２０２の上面と、シール２０６の
底面とが連結棒１８０を取囲んだ円状のチエンバ
ー２１０を確立する。気体が第２シール２０６を
越えてチエンバー２２の中へ漏れ込むことができ
る前に、第１シール２０２を通つてにじみ出す気
体を除去するために、前記チエンバー２１０は真
空配管２１２を介して真空に引かれる。

本発明によるロードロツク２０の好ましい実施
例は、また、第４図に示したような、全体的に、
参照番号２２２によつて示された試料移送機構を
も含んでいる。この試料移送機構２２２はペデス
タル２２６によつて底壁２８に固定された支持ア
ーム２２４を含む。前記支持アーム２２４はこの
アームの第１端部２３０の近くで貫通する軸線２
２８の周りで回転可能である。軸線２２８は底壁
２８に対して直角に整列され、従つてまた、試料
移送孔７２縦方向軸線に対しても直角に整列され
ている。前記軸線２２８の位置は側壁３２と３４
との間の中央位置にある。支持アーム２２４が軸
線２２８の周りで回転されると、該支持アーム２
２４の第２端部２３２が開いた試料移送孔７２を
通過し得るように、該支持アーム２２４が軸線２
２８に対して形成されている。支持アーム２２４
の直ぐ下には中心部の平歯車２３４が位置してお
り、これはそのピツチ円が支持アーム２２４の回
転面と平行になるよう、また回転軸線２２８に関
して同軸的になるように位置している。前記中心
歯車２３４は、支持ブラケツト２３８の一端に剛
的に固定されたロツク平歯車２３６によつて、回
転しないようにロツクされている。前記ブラケツ
ト２３８の他端は底壁２８に取付けられている。
中心歯車２３４のピツチ円に対して平行に整列さ
れたピツチ円と、その歯と噛合した歯とを有する
遊び平歯車２４０が、前記支持アーム２２４の両
端部間においてそのアームの下で固定されてい
る。前記遊び歯車２４０は支持アーム２２４に固
定されたピン２４１の周りで、支持アームに関し
て回転可能になるように取付けられている。前記
支持アーム２２４の第２端部２３２の近くで前記
アームに形成された孔を貫通する試料アーム軸２
４２が、前記回転軸線２２８に平行な軸線の周り
で回転可能になるように、前記アームに固定され
ている。支持アーム２２４の下へ突出している試
料アーム軸２４２の端部には、試料アーム駆動歯
車２４４が剛的に固定されている。前記試料アー
ム駆動歯車２４４は、その歯が遊び歯車２４０の
歯と係合し、かつそのピツチ円が中心歯車２３４
のピツチ円と平行になるように、試料アーム軸２
４２に沿つて位置されている。単一の試料アーム
２４８の第１端部２４６は、支持アーム２２４の
上に突出している試料アーム軸２４２の端部に剛
的に固定されている。前記試料アーム２４８の第
２端部２５０は、シリコンウエーハのような円板
状試料２５２を受留め、保持するようになつてい
て、平坦でＵ字形の支持壁２５４を有するように
形成され、その円周部上には円形状の馬締形のリ
ム２５６が突出している。前記馬締形リム２５６
の内面に形成された傾斜エツヂ２５８は円板状の
試料２５２をリム２５６の中央部へ向かわせる。
Ｕ字形の支持壁２５４の上面には、その開放端の
両側部上およびその付根周りにおいて、完全に硬
化されていないシリコーンゴム２６０が固定され
ており、円板状の試料２５２の下面と係合するた
めの緩衝性のある高摩擦性表面を提供する。

円板状試料252は、その試料２５２を降下され
ているエレベータ軸２６６の端部２６４上の中心
部へ持つていることによつて、試料アーム２４８
の第２端部２５０から取出すことができる。次に
前記エレベータ軸２６６はその端部２６４がＵ字
形支持壁２５４における開放部を貫通するように
のびて、試料の中心周りで試料２５２の下面と接
触し、それをリム２５６の上面より上へ持上げ
る。このようにして円板状試料２５２が持上げら
れると、Ｕ字形支持壁２５４の開端と馬締形リム
２５６とは、試料２５２をのびているエレベータ
軸２６６の端部２６４上に残したまま試料アーム
２４８をアイソレーシヨンチエンバー２２の中へ
引込させることができる。同様にして、円板状の
試料２５２は、試料アーム２４８の第２端部２５
０をエレベータ軸２６６の周りに通過させること
により、リム２５６より上へのびた端部２６４か
ら回収することができる。前記エレベータ軸２６
６は前記端部２６４が試料アーム２４８の下面よ
り下へ降りるまで降下され、それによつて試料２
５２を第２端部２５０のリム２５６の中へ積むこ
とになる。

全体的にいうと、支持アーム２２４を軸線２２
８の周りで回転させることによつて試料２５２の
中心に惹起される動きは、軸線２２８に直角な面
の中で、連続的な軌道に沿つている。本発明によ
る試料移送機構２２２は円板状試料２５２の中心
を、中心歯車２３４と試料アーム駆動歯車２４４
との間に２対１の歯車比を確立することにより、
また円板状試料２５２の中心と試料アーム軸２４
２の中心との間の長さを、試料アーム軸２４２の
中心と回転軸線２２８との間の長さに等しくする
ことにより、直線路に沿つて動かすことができる
ようになつている。そのような長さを有したアー
ムの構造は、アーム２２４，２４８の縦方向軸線
にそれぞれ沿つた２つの等しい側部と、回転軸線
２２８と試料２５２の中心との間の基部とからな
る二等辺三角形を確立する。そのような二等辺三
角形の基部の垂直二等分線は、２つの等しい側部
が合致する頂点を通過し、それによつて三角形を
その両側において２つの合同な直角三角形に分割
することがわかる。また、そのように構成された
アームにおいて、支持アーム２２４が軸線２２８
の周りに角度変位すると、遊び歯車２４０は試料
アーム駆動歯車２４４において、支持アーム２２
４の縦方向軸線に関して測定した場合に、角度変
位を生ぜしめ、それは軸線２２８の周りでの支持
アーム２２４の変位量の２倍に等しい。このよう
にして構成されたアームに関し、この２倍角度変
位は二等辺三角の垂直二等分線の両側において等
しく分割することになる。結果的に、支持アーム
２２４が回転しても垂直二等分線を回転させるこ
とがなく、二等辺三角形の基部に対して直角方向
において横方向に移動させるだけである。従つ
て、試料支持アーム２２４が角度変位すると試料
２５２の中心は直線運動をするはずであり、さも
なければ二等辺三角形の垂直二等分線は移動しな
がら回転するであろう。

本発明の好ましい実施例においては、回転軸線
２２８に対して平行に整列されかつそれと同軸的
な回転駆動軸２７２によつて支持アーム２２４に
回転運動が惹起される。前記駆動軸２７２の一端
は支持アーム２２４の第１端部２３０に対して剛
的に固定されている。回転駆動軸２７２の残り部
分はペデスタル２２６と底壁２８とを貫通して下
方へのび、その下面より下へ突出する。底壁２８
の下面に固定されたシール２７４が前記駆動軸２
７２を取囲み、アイソレーシヨンチエンバー２２
の内外へのリーークを防ぐ。

第５図は本発明のロードロツク２０の別の実施
例を示しており、全体的な参考数字２８２によつ
て示されたウエーハ移送機構を組込んでいる。前
記ウエーハ移送機構２２２と共通の要素には同一
の番号にプライム符号を付して示している。この
実施例においては、中心歯車２３４′は軸線２２
８′の周りで、それに対して直角な平面の中で、
回転可能なように固定されている。前記中心歯車
は遊び歯車２４０′と係合するのに加えて、アー
ム位置制御平歯車２８４と係合している。前記ア
ーム位置制御歯車２８４はペデスタル２８６によ
つて底壁２８に固定され、前記軸線２２８′に対
して平行に整列された軸線２８８の周りで回転可
能になつている。この別実施例の中心歯車２３
４′は遊び歯車２４０′とアーム位置制御歯車２８
４との厚さの合計以上の厚さを有していなければ
ならない。前記中心歯車２３４′はその上面が遊
び歯車２４０′の上面と共通の平面となるように、
軸線２２８′に沿つて位置している。前記アーム
位置制御歯車２８４はその下面が中心歯車２３
４′の下面と共通の平面になるように、軸線２８
８に沿つて位置している。歯車２４０′，２３
４′，２８４がこれらの位置にある場合、支持ア
ーム２２４′は軸線２２８′の周りで自由に回転す
ることができ、遊び歯車２４０′はアーム位置制
御歯車２８４の上を通過することができる。

もしアーム位置制御歯車２８４がロツクされて
いると、ウエーハ移送機構２８２はウエーハ移送
機構２２２と全く同様に機能する。しかしなが
ら、もし支持アーム２２４′が固定されていて、
アーム位置制御歯車２８４が回転されると、この
動きは試料アーム２４８′に結合され、試料アー
ムは第６図に示したように試料アーム軸２４２′
の回転軸線の周りで回転させられる。従つて、支
持アーム２２４′とアーム位置制御２８４とが同
時に運転することによつて、試料２５２′の中心
は、回転軸線２２８′の周りで同軸になつてかつ
それに直角になつた位置決め円上あるいはその円
内にある全ての点へ移動することができる。この
位置決め円の半径は試料２５２′の中心と試料ア
ーム軸２４２′の回転軸線との間の長さに、試料
アーム軸２４２′の回転軸線と回転軸線２２８′と
の間の長さを加えたものに等しい。さらに、試料
２５２′の中心は、前記円内において任意に選ば
れた平面路に沿つて、前記円上あるいは円内に位
置した２つの点の間を動くことができる。

第５図を示したように、支持アーム２２４′に
惹起させる回転運動と同様にして、アーム位置制
御歯車２８４にも回転運動が惹起される。従つ
て、回転軸線２８８に対して平行に整列されかつ
それと同軸になつたアーム位置回転駆動軸２９２
がアーム位置制御平歯車２８４に対してその一端
において剛的に固定されている。前記アーム位置
駆動軸２９２の残部はペデスタル２８６と底壁２
８とを貫通して下方へのび、その下面より下へ突
出している。底壁２８の下面に固定されたシール
２９４がアーム位置駆動軸２９２を取囲み、アイ
ソレーシヨンチヨンバー２２の内外へのリークを
防いでいる。

本発明によるロードロツク２０は、試料２５２
の上面が頂壁２６、側壁３２，３４の露出面だけ
の下を通るように全ての構成部品を配置すること
によつて、試料２５２がロードロツク２０の可動
部分にくつついている全ての粒子状物質によつて
汚染される可能性を減少させている。このロード
ロツク２０は、アイソレーシヨンチヨンバー２２
が試料２５２を収納している間に両方のドア７４
を閉鎖、シールしても、試料２５２の上面を他の
あらゆる汚染源に暴らすことを防いでいる、前記
ロードロツク２０は試料移送機構２２２の支持ア
ーム２２４を回転させてその縦方向軸線をドア７
４の縦方向軸線に対して平行にさせることによつ
て、この閉鎖、シール状態にすることができる。
支持アーム２２４をこの位置に整列せることによ
り、試料２５２の中心は回転軸線２２８の上に位
置させられ、従つて側壁３２と３４との中央に位
置させられる。また、支持アーム２２４′とアー
ム位置制御歯車２８４との両方を回転させること
により、試料２５２は試料移送機構２８２によつ
て同様に位置決めされることが容易に明らかにな
る。試料２５２がこの位置に位置されると、降下
されている開放ドア７４の上の空間には邪魔物が
なく、従つて前記ドアは上方へ回転することがで
き、さらに試料２５２をチエンバー２２の中へ収
納した状態でドアを閉鎖、シール位置へ移動させ
ることができる。

本発明によるロードロツク２０は排気処理チエ
ンバーで操作するのに適したものとして記述して
きたが、他の処理雰囲気を含んだチエンバーで操
作するものとしても容易に適している。また、試
料移送孔７２を閉鎖、シールするための装置は平
坦な表面をシールするのに適したものとして記述
してきたが、この機構はどのような表面に形成さ
れた孔でも、その表面の全ての点が単一の点から
見えるような場合なら、それを聞鎖、シールする
のに容易に適している。最後に、試料アーム２４
８は円板状の試料２５２を移送するのに適したも
のとして記述してきたが、その第２端部２５０の
形状を変えることによつて他の形の試料を移送す
るのにも容易に適している。しかしながら、その
ような修正型のアームをロードロツク２０の中に
組込むことによつて、前記第２端部２５０と相互
作用する他の要素の形状、例えば試料移送孔７
２、および従つてドア７４の形状を別のものにす
る必要が生じる。

本発明は好ましい実施例について記述してきた
が、そのような開示は限定的なものではないこと
が理解されるはずである。各種の変更や、修正が
可能であることが、上記の開示を読んだ後の当業
着にとつて疑いなく明らかになるのであろう。従
つて、添付した特許請求の範囲は、本発明の真の
精神および範囲に入るような全ての変更、修正を
含むものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるロードロツクの部分断面
的な透視図、第２Ａ図第１図の線２―２に沿つて
みた、処理チエンバーの壁部に対して閉鎖、シー
ルされたロードロツクのドアの断面図、第２Ｂ図
は第１図の線２―２に沿つてみた、処理チエンバ
ーの壁部から内側に引込んだロードロツクのドア
の断面図、第２Ｃ図は第１図の線２―２に沿つて
みた、ロードロツク内部において下方へ回転され
たドアの断面図、第３図は第１図の線３―３に沿
つてみた、ロードロツクのドア付勢機構の断面
図、第４図は試料中心の直線運動を示した、第３
図のロードロツクの部分断面的な透視図、第５図
は試料中心の任意の面状運動を示した、第１図の
ロードロツクの部分断面的な透視図、第６図は試
料の任意の面状運動の特性を示した、第５図の線
６―６に沿つてみた平面図である。 図において、２０……ロードロツク、２２……
アイソレーシヨンチエンバー、３２，３４，３６
……壁部、４２……Ｕ字形溝、７２……試料移送
孔、７４……ドア、８２……Ｏリング、１０２…
…ラグ、１０６……結合リンク、１１０……ドア
閉鎖ピン、１１４……制御リンク、１１６……ロ
ーラ、１３２……軌道、１３４……コイルばね、
１３８……スライド部材、１４２……回転駆動
軸、１４６……駆動リンク、１５４……駆動ピ
ン、１７４……ラツク、１７８……空気圧シリン
ダー、２２４……支持アーム、２３４……中心歯
車、２４０……遊び歯車、２４２……試料アーム
軸、２４４……試料アーム駆動歯車、２４８……
試料アーム、２５２……試料。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 相互に異なる雰囲気条件を有する二つの半導
   体処理チエンバ間に配置され、二つの処理チエン
   バのうちの第一の処理チエンバから半導体材料を
   含む試料を受け取り二つの処理チエンバのうちの
   第二の処理チエンバに該試料を渡すように構成さ
   れたロードロツクであつて、 内部に空間が形成されるように壁を有するシー
   ル可能な分離チエンバで、その壁のうちの一つに
   は、該分離チエンバを前記二つの処理チエンバの
   うちの一方の処理チエンバと連通させる前に該分
   離チエンバの雰囲気を前記一方の処理チエンバの
   雰囲気に適合させるように流体が該分離チエンバ
   に出入りせしめられる第一の開口が形成されてお
   り、該分離チエンバの壁のうち第一及び第二の側
   壁には、第一の処理チエンバから該分離チエンバ
   への試料の導入、及び該分離チエンバから第二の
   処理チエンバへの試料の取り出しの夫々を可能に
   する第一の及び第二の試料移送開口が形成されて
   おり、分離チエンバの各側壁が、第一又は第二の
   処理チエンバの隣接壁の外表面に対して、該隣接
   壁の試料移送開口の周りの領域で整合して、該外
   表面をシールするように構成されている分離チエ
   ンバ、 二組のシール体を有する閉鎖機構であつて、各
   シール体が、第一又は第二の処理チエンバと分離
   チエンバとの間の連通を妨げるように、第一又は
   第二の処理チエンバの隣接壁部に対して分離チエ
   ンバの外面のシール機構が整合する領域よりも内
   側で且つ第一又は第二の処理チエンバの隣接壁部
   の試料移送開口の周囲の領域において、第一又は
   第二の処理チエンバの外表面に対して整合しシー
   ルするように、分離チエンバの関連した試料移送
   開口から突出した第一の位置と、第一の処理チエ
   ンバに臨む前記第一の試料移送開口から第二の処
   理チエンバに臨む前記第二の試料移送開口への試
   料の通路よりも低い分離チエンバ内の第二の位置
   との間で可動に構成されている閉鎖機構、 第一の処理チエンバに関連付けられた一方のシ
   ール体が第二の位置に設定され且つ第二の処理チ
   エンバに関連付けられた他方のシール体が第一の
   位置に設定されている際、試料を受け取るべく第
   一の試料移送開口を介して第一の処理チエンバ内
   に突出せしめられるように構成されていると共
   に、前記他方のシール体が第二の位置に設定され
   且つ前記一方のシール体が第一の位置に設定され
   ている際、試料を第二の処理チエンバに渡すべ
   く、第二の試料移送開口を介して第二の処理チエ
   ンバ内に突出するように構成された試料支持アー
   ムを有しており、試料を前記通路に沿つて搬送す
   べく分離チエンバ内の空間を通つて動かされる試
   料移送機構とを有しており、 試料が前記分離チエンバ内にある際に、前記試
   料移送開口の全てが同時に閉鎖されシールされ、
   試料がロードロツク内にシールされ得るように、
   前記分離チエンバ前記閉鎖機構、及び前記試料機
   構が構成されているロードロツク。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、前記閉鎖機構が分離チエンバ内に収容さ
   れ、該分離チエンバの外部から操作可能に構成さ
   れているロードロツク。 ３ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、前記試料移送機構は、前記第一の試料移
   送開口と第二の試料移送開口との両方を通過する
   ほぼ直線に沿つて試料を移動させるように構成さ
   れているロードロツク。 ４ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、前記試料移送機構が前記分離チエンバ内
   に収容され、該分離チエンバの外部から操作可能
   に構成されているロードロツク。 ５ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、前記試料移送機構は試料の前記通路の下
   に位置しているロードロツク。 ６ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、 (イ) 前記シール可能な分離チエンバは、単一の箱
   状の断面形状になつた本体であつて、前記本体
   は、二つのほぼ平坦な前記側壁と二つのほぼ平
   坦な端壁とを有し、該端壁が同一形状を有して
   いると共に相互に平行に離隔配置されており、
   該端壁のうちの一方が流体を分離チエンバに出
   し入れするための前記第一の開口を有してお
   り、前記側壁が相互に鏡像関係になつていると
   共に相互にほぼ平行に配置され、さらに同一形
   状の長方形状の前記試料移送開口を有してお
   り、前記側壁および端壁の両縁部には、該壁部
   の平坦面に対してほぼ直角に、ほぼ平坦な上部
   シール面および下部シール面が形成されている
   単一本体と、 (ロ) ほぼ平坦な頂壁および底壁であつて、該頂壁
   の平坦な側面が前記単一本体の前記平坦な上部
   シール面に隣接して位置し、前記底壁の平坦表
   面が単一本体の前記平坦な下部シール面に隣接
   して位置し、前記頂壁および底壁はまた単一本
   体の隣接外側面と適合する形状になつた端縁面
   を有し、単一本体の上部シール面および下部シ
   ール面にそれぞれ隣接した前記頂壁および底壁
   の平坦な側面には、Ｏリングを受留め、保持す
   るようになつた連続的なＵ字形溝がそれぞれ形
   成されており、該溝が単一本体の前記内側面よ
   り外側に位置している頂壁および底壁と、 (ハ) 前記頂壁内のＵ字形溝内に保持された第一の
   Ｏリングおよび前記底壁内のＵ字形溝内に保持
   された第二のＯリングとからなる一対のＯリン
   グと、 (ニ) 前記頂壁および底壁を単一本体に固定して、
   それによつてシール可能な分離チエンバを形成
   するための機構 とを含むロードロツク。 ７ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、 (イ) 前記閉鎖機構は、処理チエンバの一部分であ
   るほぼ平坦な表面に対して整合され、シールす
   るようになつた前記シール体であつて、該シー
   ル体が分離チエンバの前記壁部の試料移送開口
   中へ配置され得るほぼ平坦なシール面を有し、
   該シール面はロードロツクが整合される処理チ
   エンバの平坦表面に対して近接されかつほぼ平
   行になるように構成されており、前記シール面
   には、Ｏリングを受留め、保持するようになつ
   た連続的なＵ字形溝が形成されており、該溝が
   前記平坦なシール面の外周近くに位置してお
   り、またさらに前記シール体は該シール体の前
   記シール面とは反対側の面から突出した一対の
   閉鎖ラグを有し、該ラグは棒状のシール体閉鎖
   ピンの縦方向軸線が前記シール面に対してほぼ
   平行に配置されるように、該ピンを受留めるよ
   うに構成されており、前記対になつたラグはさ
   らに結合リンクの第一端部を受留めるようにな
   つており、前記シール体は該シール体のシール
   面とは反対側の前記面から突出している制御リ
   ンクを有している、 そのシール体と、 (ロ) 該シール体の前記Ｕ字形溝内に保持されたＯ
   リングと、 (ハ) 前記シール体の前記シール面から最も離れた
   ところで前記制御リンクの端部に隣接して、前
   記シール体の前記制御リンクに取り付けられた
   ローラであつて、シール体の前記閉鎖ラグによ
   つて規定されたドア閉鎖ピンの縦方向軸線にほ
   ぼ平行な軸線の周りで回転可能なように取付け
   られているローラと、 (ニ) 分離チエンバ内に固定された軌道であつて、
   シール体が整合されシールする処理チエンバの
   平坦面あるいはシール板に対して本質的に直角
   な方向のみに前記ローラを案内するようになつ
   ていて、それにより、前記ローラの前記回転軸
   線はシール体が整合しシールする処理チエンバ
   の平坦面あるいはシール板に対してほぼ直角な
   並進平面内に拘束され、前記軌道はさらにシー
   ル体の前記制御リンクに取付けられたローラの
   前記回転軸線の周りだけで回転可能なように前
   記シール体を拘束するようになつている、その
   軌道と、 (ホ) 前記シール体の閉鎖ラグによつて規定された
   ドア閉鎖ピンの縦方向軸線に対してほぼ平行な
   軸線の周りで回転可能に分離チエンバ内で固定
   された棒状の回転駆動軸であつて、該駆動軸の
   回転軸線が前記ローラの回転軸線を前記並進面
   の側にズラした位置にある棒状回転駆動軸と、 (ヘ) 該駆動軸に固定されかつ該駆動軸から外側へ
   突出した一対の駆動リンクであつて、該リンク
   は前記駆動軸の回転軸線からある長さだけ離れ
   たところに該軸線と平行に中間の縦方向軸線を
   位置させるために、棒状駆動ピンを受留めかつ
   保持するようになつており、各対のリンクはさ
   らに結合リンクの第二端部を受留めるようにな
   つている一対の駆動リンクと、 (ト) 棒状のシール体閉鎖ピンを受留めるようにな
   つた第一端部を有した結合リンクであつて、該
   結合リンクの前記第一端部が該結合リンクの該
   第一端部を受留めるようになつた前記シール体
   の前記一対の閉鎖ラグと係合しており、該結合
   リンクの第２端部が棒状駆動ピンを受留めるよ
   うになつており、該結合リンクの前記第２端部
   が該結合リンクの該第２端部を受留めるように
   なつた前記一対の駆動リンクの前記端部と係合
   している結合リンクと、 (チ) 前記シール体閉鎖ピンを受留めるようになつ
   たシール体の前記一方の閉鎖ラグを貫通するシ
   ール体閉鎖ピンであつて、該シール体閉鎖ピン
   はまた、前記一対の閉鎖ラグと係合しかつシー
   ル体閉鎖ピンを受留めるようになつた前記結合
   リンクの前記第一端部を貫通しているシール体
   閉鎖ピンと、 (リ) 駆動ピンであつて、該駆動ピンは該駆動ピン
   を受留めるようになつた一対の駆動リンクの前
   記端部を貫通し、該駆動ピンは、また前記一対
   の駆動リンクと係合しかつ該駆動ピンを受留め
   るようになつた前記結合リンクの前記第二端部
   を貫通している、その駆動ピンと、 〓 第１端部において前記シール体に取付けられ
   第２端部が分離チエンバ内で固定されたコイル
   ばねであつて、シール体が整合されシールする
   処理チエンバの平坦面から並進的に引離すよう
   にシール体を付勢するコイルばねと、 （ル） 前記シール体の前記閉鎖ラグが突出して
   いる側の面に沿つて、かつ前記ローラ並進面に
   関して棒状回転駆動軸が位置している側とは反
   対側に位置するシール体の端縁面に沿つて、前
   記シール体に固定されたＬ字形のスライド部材
   であつて、前記シール可能な分離チエンバの側
   壁を貫通して形成されている前記試料移送開口
   の表面と滑動係合するように構成されており、
   それによつてシール体が整合しシールする処理
   チエンバの平坦面に本質的に直角な方向にしか
   並進されないようにシール体を拘束するスライ
   ド部材と、 (オ) シール体が開閉するように前記回転駆動軸を
   回転するための、分離チエンバの外部から操作
   可能な回転駆動機構、 とを有するロードロツク。 ８ 特許請求の範囲第７項記載のロードロツクに
   おいて、 (イ) 前記回転駆動機構は、前記回転駆動軸に固定
   された平歯車と、 (ロ) 前記回転駆動軸に固定された前記歯車と噛合
   したラツクであつて、該ラツクがその縦方向に
   移動された時に前記回転駆動軸を回転させる、
   そのラツクと、 (ハ) 分離チエンバの前記壁部に形成されていて、
   空気圧シリンダの連結棒を受留めるようになつ
   ており、前記連結棒を前記ラツクと係合させる
   ことができる開口と、 (ニ) 分離チエンバの前記壁部の外側表面に固定さ
   れた前記空気圧シリンダであつて、該シリンダ
   の前記連結棒は該連結棒を受留めるようになつ
   た前記壁部中の前記開口を貫通し、さらに前記
   連結棒が空気圧シリンダから最も離れた端部に
   おいて前記ラツクの端部に固定されている、空
   気圧シリンダと、 を有しており、前記空気圧シリンダと前記連結棒
   とは、空気圧シリンダに対して加圧気体を供給し
   該シリンダを作動させることによつて前記連結棒
   を縦方向に並進移動させて、前記ラツクを縦方向
   に並進移動させ、それによつて前記回転駆動軸を
   回転させるように構成されており、さらに前記空
   気圧シリンダは前記連結棒が貫通している前記壁
   部の開口をシールするように構成されているロー
   ドロツク。 ９ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツクに
   おいて、 (イ) 前記試料移送機構は、分離チエンバ内に設け
   られた支持アームであつて、該支持アームの第
   一端部の近くに位置する軸線の周りで回転可能
   になつていて、それによつて該支持アームの回
   転平面が規定される支持アームと、 (ロ) 該支持アームの前記第一端部の近くに位置す
   る前記軸線の周りで前記支持アームを回転させ
   るための、分離チエンバの外部から操作可能
   な、アーム駆動機構と、 (ハ) 前記支持アームの下でかつ該支持アームに隣
   接して配置された中心歯車であつて、該中心歯
   車のピツチ円が前記支持アームの前記回転平面
   とほぼ平行であり、また前記ピツチ円が支持ア
   ームの前記回転軸線とほぼ同軸的であり、該中
   心歯車がさらに前記分離チエンバに対して実質
   的に回転しないように固定されている、その中
   心歯車と、 (ニ) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側にお
   いて該支持アームに取り付けられた遊び歯車で
   あつて、該遊び歯車のピツチ円は支持アームの
   前記回転平面に対してほぼ平行に位置し、該遊
   び歯車が支持アームの前記回転軸線とほぼ平行
   な軸線の周りで回転可能なように支持アームに
   取り付けられており、前記遊び歯車の歯が前記
   中心歯車の歯と噛合している、その遊び歯車
   と、 (ホ) 前記支持アームの第二端部に取り付けられ
   て、該支持アームの回転軸線に対してほぼ平行
   な軸線の周りで回転可能になつた試料アーム軸
   と、 (ヘ) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側にお
   いて、前記試料アーム軸の第一端部に剛的に取
   り付けられた試料アーム駆動歯車であつて、該
   試料アーム駆動歯車はそのピツチ円が支持アー
   ムの前記回転平面とほぼ平行になるように、か
   つ前記試料アーム軸の縦方向軸線とほぼ同軸的
   になるように配置され、また前記試料アーム駆
   動歯車はその歯が前記遊び歯車の歯と噛合する
   ように配置されている、その試料アーム駆動歯
   車と、 (ト) 前記支持アームの前記中心歯車とは反対側に
   配置され、その第一端部において試料アーム軸
   の第二端部に対して剛的に取り付けられた試料
   アームであつて、該試料アームの第二端部が試
   料を保持するようになつている、その試料アー
   ム、 とを有しており、前記支持アームの回転軸線と試
   料アーム軸の前記中心縦方向軸線との間の距離
   と、中心歯車および試料アーム駆動歯車の直径、
   位置、及び歯車比と、試料アーム軸の前記中心縦
   方向軸線と試料アームの前記第二端部に保持され
   た試料との間の距離とは、前記支持アームが該支
   持アームの前記第一端部の近くに位置する前記軸
   線の周りで回転されて、試料アームの前記第二端
   部が平坦な通過路に沿つて、二つの離れた試料移
   送開口を順に通過することができるような大きさ
   になつているロードロツク。 １０ 特許請求の範囲第９項記載のロードロツク
   において、試料アーム駆動歯車と中心歯車との歯
   車比と、試料アームの長さとは、試料内の点が直
   線状の通過路に沿つて並進されるように選択され
   ているロードロツク。 １１ 特許請求の範囲第９項記載のロードロツク
   において、試料アーム駆動歯車と中心歯車との歯
   車比は２対１になつていて、試料アームの第二端
   部で保持された試料の前記中心と、試料アーム軸
   の前記中心縦方向軸線との間の距離が、試料アー
   ム軸の前記中心縦方向軸線と支持アームの前記回
   転軸線との間の距離に等しいロードロツク。 １２ 特許請求の範囲第１項記載のロードロツク
   において、 (イ) 前記試料移送機構は、分離室チエンバ内に設
   けられた支持アームであつて、該支持アームの
   第一端部の近くに位置する軸線の周りで回転可
   能になつていて、それによつて該支持アームの
   回転平面が規定される支持アームと、 (ロ) 該支持アームの前記第一端部の近くに位置す
   る前記軸線の周りで該支持アームを回転させる
   ための、分離チエンバの外部から操作可能な、
   アーム駆動機構と、 (ハ) 前記支持アームの下でかつ該支持アームに隣
   接して配置された中心歯車であつて、該中心歯
   車のピツチ円が前記支持アームの前記回転平面
   とほぼ平行であり、また前記ピツチ円が支持ア
   ームの前記回転軸線とほぼ同軸的であり、該中
   心歯車がさらに支持アームの前記回転軸線の周
   りで回転可能である、その中心歯車と、 (ニ) 支持アームの前記回転軸線の周りで前記中心
   歯車を回転させるための、分離チエンバの外部
   から操作可能な、アーム位置制御機構と、 (ホ) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側で該
   支持アームに取り付けられた遊び歯車であつ
   て、該遊び歯車のピツチ円が支持アームの前記
   回転平面に対してほぼ平行に位置し、該遊び歯
   車がまた支持アームの前記回転軸線に対してほ
   ぼ平行に位置する軸線の周りで回転可能なよう
   に支持アームに取り付けられており、該遊び歯
   車の歯が前記中心歯車の歯と噛合している、そ
   の遊び歯車と、 (ヘ) 前記支持アームの第二端部に取り付けられ
   て、該支持アームの前記回転軸線に対してほぼ
   平行な軸線の周りで回転可能になつた試料アー
   ム軸と、 (ト) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側にお
   いて、前記試料アーム軸の第一端部に剛的に取
   り付けられた試料アーム駆動歯車であつて、該
   試料アーム駆動歯車は、そのピツチ円が支持ア
   ームの前記回転平面とほぼ平行になるように、
   かつ前記試料アーム軸の前記縦方向軸線とほぼ
   同軸的になるように配置され、また該試料アー
   ム駆動歯車はその歯が前記遊び歯車の歯と噛合
   するように配置されている、その試料アーム駆
   動歯車と、 (チ) 前記支持アームの前記中心歯車とは反対側に
   配置され、第一端部において試料アーム軸の第
   二端部に対して剛的に取付けられた試料アーム
   であつて、該試料アームの第二端部が試料を保
   持するようになつている、その試料アーム、 とを有しており、前記支持アームの回転軸線と試
   料アーム軸の前記中心縦方向軸線との間の距離
   と、試料アーム軸の前記中心縦方向軸線と試料ア
   ームの前記第二端部に保持された試料との間の距
   離とは、前記支持アームと中心歯車とが該支持ア
   ームの前記第一端部の近くに位置する前記軸線の
   周りで回転して、試料アームの前記第二端部を、
   二つの離れた試料移送開口を通過する通路に沿つ
   て順に移動させることができるように選択されて
   いるロードロツク。 １３ 特許請求の範囲第１２項記載のロードロツ
   クにおいて、 (イ) 前記アーム位置制御機構は、分離チエンバの
   前記壁部に形成されており、アーム位置駆動軸
   を受留め、保持するようになつている孔部と、 (ロ) 分離チエンバの外部から該分離チエンバの内
   部に回転運動を伝達するための前記アーム位置
   駆動軸であつて、該アーム位置駆動軸が前記分
   離チエンバの壁部に形成された前記孔部の中に
   位置し、かつ支持アームの前記回転軸線に対し
   てほぼ平行な軸線の周りで、前記壁部に対して
   回転可能になるように前記孔部の中に配置され
   ている、そのアーム位置駆動軸と、 (ハ) 分離チエンバ内に配置され、かつアーム位置
   駆動軸の第一端部に対して剛的に取り付けられ
   たアーム位置制御歯車であつて、該アーム位置
   制御歯車の歯が前記中心歯車の歯と噛合してい
   る、そのアーム位置制御歯車と、 (ニ) 前記回転駆動軸と該回転駆動軸が貫通してい
   る前記壁部の前記孔部との間をシールするため
   の機構、 を有するロードロツク。 １４ 特許請求の範囲第９項あるいは第１２項記
   載のロードロツクにおいて、 支持アームを、その前記第一端部の近くに位置
   する前記軸線の周りで、分離チエンバの外側から
   回転させるための前記アーム駆動機構は、 (イ) 分離チエンバの前記壁部に形成され、回転駆
   動軸を受留め、保持するようになつた孔と、 (ロ) 分離チエンバの外部から分離チエンバの内部
   に回転運動を伝達するための前記回転駆動軸で
   あつて、該回転駆動軸が、その一端において支
   持アームに剛的に固定され、前記分離チエンバ
   の壁部に形成された前記孔を貫通して分離チエ
   ンバ外に突出しており、該回転駆動軸が、支持
   アームの前記回転軸線の周りで前記壁部に対し
   て回転可能なように、前記孔の中に配置されて
   いる、その回転駆動軸と、 (ハ) 前記回転駆動軸と該回転駆動軸が貫通してい
   る前記壁部の前記孔との間をシールするための
   機構、 とを有するロードロツク。 １５ 特許請求の範囲第９項あるいは第１２項記
   載のロードロツクにおいて、円板状の試料を保持
   するようになつた、試料アームの前記第二端部
   は、ほぼ平坦なＵ字形の支持壁部を有しており、
   該支持壁部の外周の周りには盛り上がつた馬蹄形
   の保持壁部が形成されており、該保持壁部は前記
   支持壁部の上で上方へ突出しかつ該支持壁部から
   外側へ傾斜した、ほぼ円形の内部側面を有してい
   るロードロツク。 １６ 特許請求の範囲第１５項記載のロードロツ
   クにおいて、円板状の試料を保持するようになつ
   た試料アームの前記第二端部は、さらに試料をそ
   の上に受留めるための緩衝性があり、高摩擦性の
   表面を与えるべく、該第二端部に設けられた機構
   を有するロードロツク。 １７ 相互に異なる雰囲気条件を有する二つの半
   導体処理チエンバ間に配置され、二つの処理チエ
   ンバのうちの第一の処理チエンバから半導体材料
   を含む試料を受け取り二つの処理チエンバのうち
   の第二の処理チエンバに該試料を渡すように構成
   されたロードロツクであつて、 内部に空間が形成されるように壁を有するシー
   ル可能な分離チエンバで、その壁のうちの一つに
   は、該分離チエンバを前記二つの処理チエンバの
   うちの一方の処理チエンバと連通させる前に該分
   離チエンバの雰囲気を前記一方の処理チエンバの
   雰囲気に適合させるように流体が該分離チエンバ
   に出入りせしめられる第一の開口が形成されてお
   り、該分離チエンバの壁のうち第一及び第二の側
   壁には、第一の処理チエンバから該分離チエンバ
   への試料の導入、及び該分離チエンバから第二の
   処理チエンバへの試料の取り出しの夫々を可能に
   する第一の及び第二の試料移送開口が形成されて
   おり、分離チエンバの各側壁が、第一又は第二の
   処理チエンバの隣接壁の外表面に対して、該隣接
   壁の試料移送開口の周りの領域で整合して、該外
   表面をシールするように構成されている分離チエ
   ンバ、 二組のシール体を有する閉鎖機構であつて、各
   シール体が、第一又は第二の処理チエンバと分離
   チエンバとの間の連通を妨げるように、第一又は
   第二の処理チエンバの隣接壁部に対して分離チエ
   ンバの外面のシール機構が整合する領域よりも内
   側で且つ第一又は第二の処理チエンバの隣接壁部
   の試料移送開口の周囲の領域において、第一又は
   第二の処理チエンバの外表面に対して整合しシー
   ルするように、分離チエンバの関連した試料移送
   開口から突出した第一の位置と、第一の処理チエ
   ンバに臨む前記第一の試料移送開口から第二の処
   理チエンバに臨む前記第二の試料移送開口への試
   料の通路よりも低い分離チエンバ内の第二の位置
   との間で可動に構成されている閉鎖機構、 第一の処理チエンバに関連付けられた一方のシ
   ール体が第二の位置に設定され且つ第二の処理チ
   エンバに関連付けられた他方のシール体が第一の
   位置に設定されている際、試料を受け取るべく第
   一の試料移送開口を介して第一の処理チエンバ内
   に突出せしめられるように構成されていると共
   に、前記他方のシール体が第二の位置に設定され
   且つ前記一方のシール体が第一の位置に設定され
   ている際、試料を第二の処理チエンバに渡すべ
   く、第二の試料移送開口を介して第二の処理チエ
   ンバ内に突出するように構成された試料支持アー
   ムを有しており、試料を前記通路に沿つて搬送す
   べく分離チエンバ内の空間を通つて動かされる試
   料移送機構とを有しており、 試料が前記分離チエンバ内にある際に、前記試
   料移送開口の全てが同時に閉鎖されシールされ、
   試料がロードロツク内にシールされ得るように、
   前記分離チエンバ前記閉鎖機構、及び前記試料機
   構が構成されているロードロツクにおいて、 前記閉鎖機構は、単一の点からその全ての点を
   見ることのできる前記処理装置の隣接壁の外表面
   に対して整合されシールするように構成されてお
   り、 前記閉鎖装置は、 (イ) シールされるべき前記表面と整合する形状に
   なつたシール面を有する前記シール体であつ
   て、該シール体のシール面がシールされるべき
   前記表面に近接せしめられそれと整合されるよ
   うに配置されて得るそのドアと、 (ロ) 前記シール体の前記シール面とは反対側の表
   面上の点に対して回転可能に取り付けられた第
   一端部を有する結合リンクと、 (ハ) 前記シール体をシールされるべき、前記表面
   から直線状に離れる方向へ移動させるように、
   前記シール体の移動を規制するための案内機構
   であつて、該案内機構は、さらに、前記シール
   体を移動させる際、前記移動の線に対して垂直
   な平面に平行な軸線の周りでシール体を回転さ
   せ、その回転運動はシール体の回転軸線と前記
   結合リンクがシール体に取り付けられている前
   記点とを含む平面の一方の側へ向かつてのみ許
   されている、その案内機構と、 (ホ) 前記結合リンクの第二端部に取り付けられ、
   かつシール体の前記回転軸線と前記結合リンク
   がシール体に取り付けられている前記点とを含
   む平面の、前記ドアが回転可能になつている側
   と同じ側に配置されている強制機構であつて、
   該強制装置は前記シール体を最初はシールされ
   るべき前記表面から引離す方向へ付勢し、次に
   シール体の前記回転軸線の周りでシール体を回
   転させるようになつている、その強制機構、 とを有することを特徴とするロードロツク。 １８ 特許請求の範囲第１７項記載のロードロツ
   クにおいて、 (イ) 前記シール体のシール面には、連続的なＵ字
   形の溝であつて、その中にＯリングを受留め、
   保持するようになつており、また前記シール面
   の前記外周近くに位置しているＵ字形溝と、 (ロ) シール体の該Ｕ字形溝の中に保持されたＯリ
   ングと、 が設けられているロードロツク。 １９ 相互に異なる雰囲気条件を有する二つの半
   導体処理チエンバ間に配置され、二つの処理チエ
   ンバのうちの第一の処理チエンバから半導体材料
   を含む試料を受け取り二つの処理チエンバのうち
   の第二の処理チエンバに該試料を渡すように構成
   されたロードロツクであつて、 内部に空間が形成されるように壁を有するシー
   ル可能な分離チエンバで、その壁のうちの一つに
   は、該分離チエンバを前記二つの処理チエンバの
   うちの一方の処理チエンバと連通させる前に該分
   離チエンバの雰囲気を前記一方の処理チエンバの
   雰囲気に適合させるように流体が該分離チエンバ
   に出入りせしめられる第一の開口が形成されてお
   り、該分離チエンバの壁のうち第一及び第二の側
   壁には、第一の処理チエンバから該分離チエンバ
   への試料の導入、及び該分離チエンバから第二の
   処理チエンバへの試料の取り出しの夫々を可能に
   する第一の及び第二の試料移送開口が形成されて
   おり、分離チエンバの各側壁が、第一又は第二の
   処理チエンバの隣接壁の外表面に対して、該隣接
   壁の試料移送開口の周りの領域で整合して、該外
   表面をシールするように構成されている分離チエ
   ンバ、 二組のシール体を有する閉鎖機構であつて、各
   シール体が、第一又は第二の処理チエンバと分離
   チエンバとの間の連通を妨げるように、第一又は
   第二の処理チエンバの隣接壁部に対して分離チエ
   ンバの外面のシール機構が整合する領域よりも内
   側で且つ第一又は第二の処理チエンバの隣接壁部
   の試料移送開口の周囲の領域において、第一又は
   第二の処理チエンバの外表面に対して整合しシー
   ルするように、分離チエンバの関連した試料移送
   開口から突出した第一の位置と、第一の処理チエ
   ンバに臨む前記第一の試料移送開口から第二の処
   理チエンバに臨む前記第二の試料移送開口への試
   料の通路よりも低い分離チエンバ内の第二の位置
   との間で可動に構成されている閉鎖機構、 第一の処理チエンバに関連付けられた一方のシ
   ール体が第二の位置に設定され且つ第二の処理チ
   エンバに関連付けられた他方のシール体が第一の
   位置に設定されている際、試料を受け取るべく第
   一の試料移送開口を介して第一の処理チエンバ内
   に突出せしめられるように構成されていると共
   に、前記他方のシール体が第二の位置に設定され
   且つ前記一方のシール体が第一の位置に設定され
   ている際、試料を第二の処理チエンバに渡すべ
   く、第二の試料移送開口を介して第二の処理チエ
   ンバ内に突出するように構成された試料支持アー
   ムを有しており、試料を前記通路に沿つて搬送す
   べく分離チエンバ内の空間を通つて動かされる試
   料移送機構とを有しており、 試料が前記分離チエンバ内にある際に、前記試
   料移送開口の全てが同時に閉鎖されシールされ、
   試料がロードロツク内にシールされ得るように、
   前記分離チエンバ前記閉鎖機構、及び前記試料機
   構が構成されているロードロツクにおいて、前記
   試料移送機構は、 (イ) それ自身の第一端部の近くに位置する軸線の
   周りで回転可能なように設けられた支持アーム
   であつて、それによつて該支持アームの回転面
   が規定される、その支持アームと、 (ロ) 該支持アームの前記第一端部の近くに位置す
   る前記軸線の周りで前記支持アームを回転させ
   るためのアーム駆動機構と、 (ハ) 前記支持アームに隣接して配置された中心歯
   車であつて、該中心歯車のピツチ円が前記支持
   アームの前記回転面とほぼ平行であり、また前
   記ピツチ円が支持アームの前記回転軸線とほぼ
   同軸的であり、該中心歯車がさらに支持アーム
   の前記回転軸線の周りで回転可能である、その
   中心歯車と、 (ニ) 支持アームの前記回転軸線の周りで前記中心
   歯車を回転させるためのアーム位置制御機構
   と、 (ホ) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側にお
   いて支持アームに固定された遊び歯車であつ
   て、該遊び歯車のピツチ円が支持アームの前記
   回転平面に対してほぼ平行に位置し、該遊び歯
   車がまた支持アームの前記回転軸線に対してほ
   ぼ平行に位置する軸線の周りで回転可能なよう
   に支持アームに取り付けられており、該遊び歯
   車の歯が前記中心歯車の歯と噛合している、そ
   の遊び歯車と、 (ヘ) 前記支持アームの第二端部に取り付けられ
   て、前記支持アームの回転軸線に対してほぼ平
   行な軸線の周りで回転可能になつた試料アーム
   軸と、 (ト) 前記支持アームの前記中心歯車と同じ側にお
   いて、前記試料アーム軸の第一端部に剛的に取
   り付けられた試料アーム駆動歯車であつて、該
   試料アーム駆動歯車は、そのピツチ円が支持ア
   ームの前記回転平面とほぼ平行になるように、
   かつ前記試料アーム軸の前記縦方向軸線とほぼ
   同軸的になるように配置され、また該試料アー
   ム駆動歯車はその歯が前記遊び歯車の歯と噛合
   するように配置されている、その試料アーム駆
   動歯車と、 (チ) 前記支持アームの前記中心歯車とは反対側に
   おいて、第一端部で試料アーム軸の第二端部に
   剛的に取り付けられた試料アームであつて、該
   試料アームの第二端部が試料を保持するように
   構成されている、その試料アーム とを有することを特徴とするロードロツク。 ２０ 特許請求の範囲第１９項記載のロードロツ
   クにおいて、前記アーム位置制御機構は、試料ア
   ームの前記第二端部の運動が支持アームの回転運
   動によつてのみ惹起されるように、前記中心歯車
   をロツクするロードロツク。 ２１ 特許請求の範囲第２０項記載のロードロツ
   クにおいて、試料アーム駆動歯車と中心歯車との
   歯車比と、試料アームの長さとは、試料内の一点
   が直線状の通路に沿つて移動されるように選択さ
   れているロードロツク。 ２２ 特許請求の範囲第２０項記載のロードロツ
   クにおいて、試料アーム駆動歯車と中心歯車との
   歯車比が２対１になつていて、試料アームの第二
   端部において保持された試料の中心と試料アーム
   軸の前記中心縦方向軸線との間の距離が、試料ア
   ーム軸の前記中心縦方向軸線と支持アームの前記
   回転軸線との間の距離に等しいロードロツク。