JPH0240033Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、各種作業を行うテーブルの往復直
線運動を利用して、テーブル上に置かれた物品の
位置決めをバネ力を利用した極めて簡単な構造で
行なおうとするものである。

従来技術及びその問題点 従来、このような場合、シリンダー等による独
自の位置決め機構を別途設けるのが普通であり、
そのため機構的に複雑となり、価格も高くなる欠
点があつた。

問題点を解決するための手段及び作用 本考案は、テーブル上に回動自在に第１レバー
を設けて該レバーに物品押圧方向のバネ力を作用
させるとともに、物品を挾んで対向する側にはガ
イドを設け、さらに前記第１レバーに連結された
第２レバーを設けて該第２レバーが前記テーブル
の初期位置において固定部材に当接して前記テー
ブル上の第１レバーを物品に対して開放するよう
にすることにより前記問題点を解決した。

テーブルの初期位置では第１レバーは物品に対
し開放されているので物品をテーブル上に移載す
ることができ、テーブルが移動を開始すると第２
レバーが固定部材から開放され、第１レバーがバ
ネ力により物品をガイドに対して押しつけること
により物品の位置決めを行なうことができる。

実施例 半導体ウエハー移替装置を具体例として実施例
を説明する。この装置の機能は、ウエハー洗浄工
程前及び工程後において、ウエハーを通常搬送キ
ヤリヤから耐熱・耐薬品性に優れた洗浄用キヤリ
ヤへ自動的に移し替えるものである。

第１図において、半導体ウエハー３の入つたキ
ヤリヤ１がテーブル４上に置かれるとＸ方向にテ
ーブル４が移動し、本移替装置の中央移し替え位
置まで移動する。

そして、テーブル４に設けられた開口部を貫通
して押上板５がウエハー３を一度に全部押し上
げ、ウエハー保持板６中にウエハー３が差し込ま
れる。

回転軸７を中心に保持板６が回転し、ウエハー
３を下から保持する。その状態で押上板５が下降
し、テーブル４が元の位置まで戻る。

次に空キヤリヤ２が置かれたテーブル８が本移
替装置の中央部移し替え位置まで移動し、再び押
上板５がテーブル８を貫通して保持板６によつて
支えられているウエハー３に接触する。

そこで、保持板６が回転し、ウエハー３が押上
板５に載せられ押上板５と同時に下降し、キヤリ
ヤ２の中に入る。

そして、テーブル８が元の位置に戻り、移し替
えが完了する。

なお、テーブルの移動手段はエアシリンダー等
の任意の方式が作用できるので説明は省略する。

第２図において、縦方向の位置決めについてま
ず説明すると、第１レバー１１はテーブル４に回
動自在に取付けられ一端がテーブル４に固定され
たコイルバネ１２により矢印方向に付勢されてい
る。テーブル４が初期位置にある時には、第２レ
バー９は、側板１０（実用新案登録請求の範囲の
「固定部材」に該当する。）に押しつけられてお
り、レバー９に連結固定されている第１レバー１
１はキヤリヤ１（すなわち「物品」）に対して開
放されている。

テーブル４がＸ方向に移動を始めると第２レバ
ー９が側板１０より離れ、コイルバネ１２のバネ
力により、第２レバー９、第１レバー１１が同時
に矢印方向に回転し、第１レバー１１の先端に支
持されたローラー１４によつてキヤリヤ１を位置
決めローラー１３（実用新案登録請求の範囲の
「ガイド」に該当する。）に押しつける。

一方、横方向については、第２レバー１５は初
期位置では同様に、下部フレーム１７に固定され
ているくさび形ドツグ１６に接触して押しつけら
れており、第２レバー１５に連結固定されている
第１レバー１８は開放されている。

テーブル４がＸ方向に移動を始めると、第２レ
バー１５がくさび形ドツグ１６より離れ、コイル
バネ１９のバネ力により第２レバー１５、第１レ
バー１８が同時に矢印方向に回転し、第１レバー
１８の先端に支持されたローラー２０によつてキ
ヤリヤ１をガイド２１に押しつける。

この時、キヤリヤ１は位置決めローラー１３及
びレバー先端ローラー１４の回転により正規の設
定位置に位置決め固定される。

なお、本考案の位置決め装置は、テーブル等に
よる往復直線運動がある機構中であれば、どのよ
うな場合でも往復直線運動と同時に位置決めが完
了する特徴を有する。

縦方向、又は横方向だけの位置決めを行う場合
もありうるから、縦、横両方向の位置決めを同時
に行うことは必ずしも必須ではない。

また、ローラー１３、ガイド２１は相互に位置
を交換してもよく、ローラーのみ又はガイドのみ
の使用もありうる。

考案の効果 テーブルの往復直線運動とバネ力を利用してい
るので、空気圧や電気等のエネルギー消費がな
く、極めて単純な構造であるため、保守不要であ
る。

軽量小型化が可能であり、低価格であると共
に、テーブル移動開始と同時に位置決めが完了す
るから１動作、２機構のシステムを実現すること
ができる。

また、テーブル移動中に位置決めが完了するの
で、サイクル中のロス時間が発生しない。構造
上、発塵の要因も極めて少ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の斜視図、第２図は内部構造も
示した要部斜視図である。 １……物品、４……テーブル、１１，１８……
第１レバー、９，１５……第２レバー、１２，１
９……バネ、１３，２１……ガイド、１０，１６
……固定部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. テーブル上に回動自在に第１レバーを設けて該
   レバーに物品押圧方向のバネ力を作用させるとと
   もに、物品を挾んで対向する側にはガイドを設
   け、さらに前記第１レバーに連結された第２レバ
   ーを設けて該第２レバーが前記テーブルの初期位
   置において固定部材に当接して前記テーブル上の
   第１レバーを物品に対して開放するようにした位
   置決め装置。