JPH0240151A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH0240151A JPH0240151A JP19150488A JP19150488A JPH0240151A JP H0240151 A JPH0240151 A JP H0240151A JP 19150488 A JP19150488 A JP 19150488A JP 19150488 A JP19150488 A JP 19150488A JP H0240151 A JPH0240151 A JP H0240151A
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- Japan
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- film
- magneto
- recording medium
- rare earth
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- Pending
Links
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、書換え可能な光ディスクなどに用いられ、磁
気カー回転効果あるいはファラデー効果などの磁気光学
効果を用いて読み出すことのできる光磁気記録媒体に関
するものである。
気カー回転効果あるいはファラデー効果などの磁気光学
効果を用いて読み出すことのできる光磁気記録媒体に関
するものである。
（従来技術）
光磁気記録媒体の材料としては、主として以下の条件が
要求されている。
要求されている。
ａ、垂直磁化膜であること。
ｂ、キュリー温度が１００’Ｃ〜２０００Ｃの間にある
こと。
こと。
Ｃ９大きな保磁力を有してること。
ｄ、カー回転角θｋが大きいこと。
Ｆｅ、Ｃｏ等にＴｂ、Ｇｄなどの重希土類を添加した場
合、磁気異方性が増加し垂直磁化膜になることが知られ
ている。こうしたことから、光磁気記録媒体の材料とし
てＧｄＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＣｏ、 ＴｂＣｏ
、 ＴｂＤｙＦｅ。
合、磁気異方性が増加し垂直磁化膜になることが知られ
ている。こうしたことから、光磁気記録媒体の材料とし
てＧｄＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＣｏ、 ＴｂＣｏ
、 ＴｂＤｙＦｅ。
ＴｂＦｅＣｏなどの重希土類−３ｄ遷移金属非晶質合金
薄膜が前記条件を満足し、かつ量産に適し読み出しノイ
ズのないことから有望とされている。特にＴｂＦｅＣｏ
は、有望視され実用化のための検討が進められている。
薄膜が前記条件を満足し、かつ量産に適し読み出しノイ
ズのないことから有望とされている。特にＴｂＦｅＣｏ
は、有望視され実用化のための検討が進められている。
（発明が解決しようとする問題点）
光磁気ディスクの高性能化として高記録密度化が求めら
れている。記録密度の増大のために、光磁気ディスクの
記録再生に用いられる半導体レーザーの波長を現在の８
３０ｎｍからさらに短波長化することが進められている
。ＴｂＦｅＣｏ等の重希土類−３ｄ遷移金属系材料では
、波長が短くなるに従いθには徐々に減少する。このた
め、ＴｂＦｅＣｏ等の重希土類−３ｄ遷移金属系材料を
記録媒体とした光磁気ディスクを短波長のレーザーによ
り記録再生した場合従来よりも再生出力の低下が起こる
。従って従来の記録媒体は高記録密度用媒体として適さ
ない。
れている。記録密度の増大のために、光磁気ディスクの
記録再生に用いられる半導体レーザーの波長を現在の８
３０ｎｍからさらに短波長化することが進められている
。ＴｂＦｅＣｏ等の重希土類−３ｄ遷移金属系材料では
、波長が短くなるに従いθには徐々に減少する。このた
め、ＴｂＦｅＣｏ等の重希土類−３ｄ遷移金属系材料を
記録媒体とした光磁気ディスクを短波長のレーザーによ
り記録再生した場合従来よりも再生出力の低下が起こる
。従って従来の記録媒体は高記録密度用媒体として適さ
ない。
本発明は、以上述べたような従来の問題点を解決するた
めになされたもので、高密度化に対応する媒体として短
波長側でＴｂＦｅＣｏよりもθにの大きな記録媒体を提
供することにある。
めになされたもので、高密度化に対応する媒体として短
波長側でＴｂＦｅＣｏよりもθにの大きな記録媒体を提
供することにある。
（問題を解決するための手段）
膜面に垂直な方向に磁気容易軸を有するＰｒ−Ｒ−Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｍ（但し、ＭはＴｂおよびＤｙのうちの少なく
とも１種類以上、ＭはＴｉ、Ｐｔ、Ｃｒ、Ｔａ、Ａｌの
うちの少なくとも１種類以上であること）の非晶質合金
薄膜からなることを特徴とする。
−Ｃｏ−Ｍ（但し、ＭはＴｂおよびＤｙのうちの少なく
とも１種類以上、ＭはＴｉ、Ｐｔ、Ｃｒ、Ｔａ、Ａｌの
うちの少なくとも１種類以上であること）の非晶質合金
薄膜からなることを特徴とする。
（作用）
軽希土類元素は重希土類と異なりｆ準位がフェルミ面に
近いため、ｆ−＋ｄ遷移による磁気光学効果への寄与が
期待できる。特にＰｒＦｅＣｏ等の軽希土類−３ｄ遷移
金属非晶質膜では、短波長側でのθにの増大が測定され
ている。しかし、軽希土類−３ｄ遷移金属非晶質膜は、
成膜中に２００°Ｃ程度の基板加熱を行わない場合垂直
磁化膜とは成らず、そのままでは基板にポリカーボネー
ト等の高分子を用いる光磁気ディスクの記録媒体として
使用することはできない。
近いため、ｆ−＋ｄ遷移による磁気光学効果への寄与が
期待できる。特にＰｒＦｅＣｏ等の軽希土類−３ｄ遷移
金属非晶質膜では、短波長側でのθにの増大が測定され
ている。しかし、軽希土類−３ｄ遷移金属非晶質膜は、
成膜中に２００°Ｃ程度の基板加熱を行わない場合垂直
磁化膜とは成らず、そのままでは基板にポリカーボネー
ト等の高分子を用いる光磁気ディスクの記録媒体として
使用することはできない。
Ｔｂ、Ｄｙ等の重希土類は、垂直磁気異方性を高める効
果があることから、軽希土類Ｐｒで短波長側でのＯｋを
増大し重希土類（Ｔｂ、Ｄｙ）で垂直磁気異方性を高め
るという効果からこの両者を含むＰｒ−Ｒ−Ｆｅ−Ｃｏ
（但し、ＲはＴｂおよびＤｙのうちの少なくともどちら
が一方であること）系媒体が高記録密度用媒体として有
力であることを本発明者は見い出した。Ｃｏは、ＴｂＦ
ｅもしくはＤｙＦｅにＰｒを添加した場合キュリー温度
が過剰に低下するため、それを増加することを目的に加
えられる。
果があることから、軽希土類Ｐｒで短波長側でのＯｋを
増大し重希土類（Ｔｂ、Ｄｙ）で垂直磁気異方性を高め
るという効果からこの両者を含むＰｒ−Ｒ−Ｆｅ−Ｃｏ
（但し、ＲはＴｂおよびＤｙのうちの少なくともどちら
が一方であること）系媒体が高記録密度用媒体として有
力であることを本発明者は見い出した。Ｃｏは、ＴｂＦ
ｅもしくはＤｙＦｅにＰｒを添加した場合キュリー温度
が過剰に低下するため、それを増加することを目的に加
えられる。
Ｐｒ、Ｒ，Ｆｅ、Ｃｏの原子濃度をそれぞれｘ、ｙ、ｚ
、ｗとしたとき、以下の関係式が成立することが望まし
い。
、ｗとしたとき、以下の関係式が成立することが望まし
い。
１．００≧ＸｆＹ＋Ｚ＋Ｗ≧０．９５
０．１≦Ｘ≦０．５
０．２≦Ｙ≦０．３
ｘ＋ｙ十ｚ＋ｗ≧０．９５としたのは、この非晶質合金
薄膜にＭとしてＴｉ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｃｒ、ＡＩ、Ｉｎの
いずれかの元素１種類以上を０．０５以下（５％以下）
添加することが光磁気記録媒体の耐候性の向上に有効で
あり、また５％以下の添加であれば磁気光学特性の大き
な低下もないためである。添加する元素は、１種類また
は複数でもよい。また光磁気ディスクの用途によっては
この添加元素はなくてもかまわない。
薄膜にＭとしてＴｉ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｃｒ、ＡＩ、Ｉｎの
いずれかの元素１種類以上を０．０５以下（５％以下）
添加することが光磁気記録媒体の耐候性の向上に有効で
あり、また５％以下の添加であれば磁気光学特性の大き
な低下もないためである。添加する元素は、１種類また
は複数でもよい。また光磁気ディスクの用途によっては
この添加元素はなくてもかまわない。
ま゛たＰｒ濃度を０．１以上、０．５以下としたのは０
．１以下ではカー回転角の短波長側での増加が小さく、
０．５以上では合金膜が非晶質化しないためである。
．１以下ではカー回転角の短波長側での増加が小さく、
０．５以上では合金膜が非晶質化しないためである。
前述したように、ＴｂまたはＤｙは垂直磁気異方性を高
める効果がある。このような効果のある組成範囲は限ら
れており０．２以上、０．３以下の範囲でこの非晶質合
金薄膜は垂直磁気異方性が大きくかつ保磁力も大きくな
りこの組成範囲が光磁気記録媒体として適している。な
お、重希土類元素はＴｂのみ添加してもよく、あるいは
Ｄｙのみの添加でもよい。またＴｂおよびＤｙの両者の
添加でもよい。
める効果がある。このような効果のある組成範囲は限ら
れており０．２以上、０．３以下の範囲でこの非晶質合
金薄膜は垂直磁気異方性が大きくかつ保磁力も大きくな
りこの組成範囲が光磁気記録媒体として適している。な
お、重希土類元素はＴｂのみ添加してもよく、あるいは
Ｄｙのみの添加でもよい。またＴｂおよびＤｙの両者の
添加でもよい。
Ｃｏは、Ｐｒ、Ｔｂ、Ｄｙの添加により低下したキュリ
ー温度を増加させる効果がある。このｃｏ組成を調節す
ることによりキュリー温度を記録再生に適当な温度範囲
（１００’Ｃ〜２００°Ｃ）にすることができる。
ー温度を増加させる効果がある。このｃｏ組成を調節す
ることによりキュリー温度を記録再生に適当な温度範囲
（１００’Ｃ〜２００°Ｃ）にすることができる。
（実施例）
３極ＲＦマグネトロンスパツタリングにより、ガラス基
板上に本発明にしたがって光磁気記録媒体の成膜を実施
した。Ｆｅ８６Ｃｏ２ｏターゲツト上に５ｍｍ角のＰｒ
、Ｔｂ、Ｄｙチップを配列した複合ターゲットを用い、
希土類組成を変化させた非晶質合金薄膜を作成した。到
達真空度は３Ｘ１０ ’Ｔｏｒｒ以下とし、スパッタガ
スにＡｒを用いカス圧７Ｘ１０＝Ｔｏｒｒとした。
板上に本発明にしたがって光磁気記録媒体の成膜を実施
した。Ｆｅ８６Ｃｏ２ｏターゲツト上に５ｍｍ角のＰｒ
、Ｔｂ、Ｄｙチップを配列した複合ターゲットを用い、
希土類組成を変化させた非晶質合金薄膜を作成した。到
達真空度は３Ｘ１０ ’Ｔｏｒｒ以下とし、スパッタガ
スにＡｒを用いカス圧７Ｘ１０＝Ｔｏｒｒとした。
投入電力は、３００Ｗである。膜厚は、１０１００ｎ定
とした。第１図にこのようにして作成した試料のＰｒ組
成によるカー回転θにの変化を示す。θには短波長にお
けるθにの増加を明瞭に表すために５００ｎｍと９００
ｎｍのθにの比（Ｏｋ（５００ｎｍ）／θｋ（９００ｎ
ｍ））により示した。Ｐｒの添加にともない、明かな短
波長におけるθにの増加がみられる。
とした。第１図にこのようにして作成した試料のＰｒ組
成によるカー回転θにの変化を示す。θには短波長にお
けるθにの増加を明瞭に表すために５００ｎｍと９００
ｎｍのθにの比（Ｏｋ（５００ｎｍ）／θｋ（９００ｎ
ｍ））により示した。Ｐｒの添加にともない、明かな短
波長におけるθにの増加がみられる。
（発明の効果）
以上のように、本発明にしたがって作成した光磁気記録
媒体は短波長におけるカー回転角の増加がみられ、従来
の光磁気記録媒体よりも高密度化記録に適するという効
果を有する。
媒体は短波長におけるカー回転角の増加がみられ、従来
の光磁気記録媒体よりも高密度化記録に適するという効
果を有する。
第１図は、この発明に従った光磁気記録媒体におけるＰ
ｒ組成によるカー回転角Ｏｋの変化を示す図である。
ｒ組成によるカー回転角Ｏｋの変化を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）膜面に垂直な方向に磁気容易軸を有するＰｒ−Ｒ
−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍ（但し、ＲはＴｂおよびＤｙのうちの
１種類以上、ＭはＴｉ，Ｐｔ，Ｃｒ，Ｔａ，Ａｌ，Ｉｎ
のうちの少なくとも１種類以上であること）の非晶質合
金薄膜からなる光磁気記録媒体。 （２）Ｐｒ，Ｒ，Ｆｅ，Ｃｏの原子濃度をそれぞれＸ，
Ｙ，Ｚ，Ｗとしたとき、 １．００≧Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＋Ｗ≧０．９５ ０．１≦Ｘ≦０．５ ０．２≦Ｙ≦０．３ の関係を満足する特許請求の範囲第１項に記載されてい
る光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150488A JPH0240151A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150488A JPH0240151A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240151A true JPH0240151A (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=16275751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19150488A Pending JPH0240151A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19527221A1 (de) * | 1995-07-17 | 1997-02-06 | Samsung Electronics Co Ltd | Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP19150488A patent/JPH0240151A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19527221A1 (de) * | 1995-07-17 | 1997-02-06 | Samsung Electronics Co Ltd | Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen |
| DE19527221B4 (de) * | 1995-07-17 | 2005-06-30 | Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon | Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen |
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