JPH0241166Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は真空蒸着装置における蒸着源移動装置
に関する。

従来の技術 真空蒸着室内でワークに蒸着を行なう際、均一
な蒸着膜厚を得るために蒸着源の位置が問題にな
る。併し、真空室内では高圧電流の配線や冷却水
の給排管設備が邪魔になるため、蒸着源を移動可
能とするにはその保持配設構造が複雑化し、設備
が高価となり操作も面倒であつた。

考案が解決しようとする問題点 本考案は蒸着源（電子鏡またはポート）を高圧
電流端子、および冷却水配管と一体に備え、これ
らを必要に応じて容易に上下および左右へ移動で
きる装置を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため本考案の構成は、上
面に蒸着源を装備し、高圧電流端子および冷却水
管が配設された頂板が載置されるとともに、下部
外周に雄ねじが刻まれた内筒と、該内筒が移動自
在とされ、真空室底壁の下面に摺接可能な支持板
と一体形成された外筒と、前記内筒の雄ねじと螺
合するナツト部材と、内筒の上下動規制部材と、
前記外筒とナツト部材との拘束枠と、真空室底壁
と前記支持板との締付部材とを有し、前記真空室
底壁には外筒が移動可能な長孔が設けられている
ことである。

作 用 本考案は必要に応じてナツト部材を回転させて
内筒を上下動させ、また、底壁と支持板との締付
部材を緩めて、支持板外筒および内筒を左右（前
後へは必要なし）へ移動させる。

実施例 以下、本考案を図面に示す実施例にもとづいて
説明する。

第１図、第２図において、本考案は真空蒸着室
Ａの底壁A₁を貫通して設置された内筒１、外筒
２と、該外筒２と一体形成され、前記底壁A₁に
摺接可能な支持板３と、前記内筒１の下部外周に
螺合するナツト部材４と、前記内筒１の回転を阻
止するための上下動規制部材５と、前記外筒２と
ナツト部材４とを組付、係合するための拘束部材
６と、前記底壁A₁と支持板３との締付部材７と
を備え、前記内筒１が上下動可能とされるととも
に該内筒１を含む外筒２が底壁A₁に設けられた
長孔A₂内を左右方向に移動可能とされる。

しかして、前記内筒１は下方開放の円筒状をな
し、頂部はパツキング１３を介して締付ボルト１
２で固着された頂板１１で密閉されている。該頂
板１１上には膜付けのための電子鏡Ｂが装備さ
れ、また該頂板を貫通して高圧電流端子Ｃおよび
冷却水管Ｄ等が配設されている。内筒１の下部外
周には雄ねじ１ａが刻まれている。

外筒２は頂部に締付ボルト２２により蓋板２１
が装着され、内側に内筒１がＯリング８を介して
気密状態で上下摺動自在とされる。支持板３は前
記底壁底面に対し、他のＯリング８により気密状
態とされて摺動可能に対接する。

ナツト部材４には、少なくとも四方に棒状の把
手４１がねじこみ装着されている。

上下動規制部材５は、前記外筒基板２１の前後
（第２図左右）部に螺着されたガイド柱５１が前
記頂板１１から庇出されたガイドブラケツト５２
を上下に貫挿して摺動し、内筒１が前記ナツト部
材４とともに旋回するのを阻止し、上下下動を起
こさせる役目をする。

拘束枠６は、断面が内向コ字状をなす半環状体
が２個一対をなして外筒２とナツト部材４との外
側面に橋架状態で外嵌し、止めボルト６１により
外筒２に螺合締着される。

締付部材７は本考案装置の前後、左右方向線と
45度をなす線上の四方に設けられ支持板３と底板
A₁とに跨る押え面をもつ上向きコ字状の押え枠
７１が押えボルト７２により底壁A₁に螺着され
る構造である。

以上の構造において、電子鏡Ｂを上下動、また
は左右に移動させるには、内筒１を上下動または
左右動させれば足りる。即ち、内筒１を上下動さ
せるには、止めボルト６１を緩めて拘束枠６によ
るナツト部材４への拘束を断ち、把手４１によつ
てナツト部材４をまわすことにより該ナツト部材
４に螺合された内筒１が上下動する。次に、内筒
１を左右に動かすには、締付部材７の押えボルト
７２を締めたのち手動により支持板３を左右（第
１図左右）に押せば、長孔A₂の範囲内で外筒２
が移動し、それとともに内筒１が左右動する。こ
れらの操作は何れも真空蒸着室Ａの外で出来る。

前記内筒１の頂板１１には高圧電流端子Ｃおよ
び冷却水配管Ｄも突設され同時に上下および左右
動するので、これら端子や配管が邪魔になること
ことなく電流銃の移動と円滑、かつ、容易に行な
える。

考案の効果 本考案は以上の如く蒸着室底壁に長孔を設け該
底壁に対して蒸着源がとりつけられた支持板を摺
動可能に気密接合させるとともに、この支持板に
外筒を固定し、該外筒に対してねじにより上下動
する内筒を気密接合させるとともに、この支持板
に外筒を固定し、該外筒に対してねじにより上下
動する内筒を気密設置したので、高圧電流端子用
配線および冷却水管に影響されることなく、真空
蒸着室外からの操作により容易にかつ正確に左右
動および上下動をさせることが可能となり、ひい
ては均一厚の蒸着膜が容易に得られることとなつ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す縦断正面図、
第２図は側面図である。 Ａ……真空蒸着室、A₁……真空室底壁、Ｂ…
…電子鏡、１……内筒、２……外筒、３……支持
板、４……ナツト部材、５……上下動規制部材、
６……拘束枠、７…締付部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上面に蒸着源Ｂを装備し、高圧電流端子Ｃおよ
   び冷却水管Ｄが配設された頂板１１が載置される
   とともに下部外周に雄ねじ１ａが刻まれた内筒１
   と、該内筒が摺動自在とされ、真空室底壁A₁の
   下面に摺接可能な支持板３と一体形成された外筒
   ２と、前記内筒の雄ねじと螺合するナツト部材４
   と内筒の上下動規制部材５と、前記外筒２とナツ
   ト部材４との拘束枠６と、真空室底壁A₁と前記
   支持板３との締付部材７とを有し、前記真空室底
   壁には外筒２が移動可能な長孔A₂が設けられて
   いることを特徴とする真空蒸着装置の蒸着源移動
   装置。