JPS6143261U - 真空蒸着装置の蒸着源移動装置 - Google Patents

真空蒸着装置の蒸着源移動装置

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JPS6143261U
JPS6143261U JP12547984U JP12547984U JPS6143261U JP S6143261 U JPS6143261 U JP S6143261U JP 12547984 U JP12547984 U JP 12547984U JP 12547984 U JP12547984 U JP 12547984U JP S6143261 U JPS6143261 U JP S6143261U
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JP
Japan
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inner cylinder
moving device
bottom wall
vacuum chamber
source moving
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JP12547984U
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慎一 福士
良孝 鹿野
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Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す縦断正面図、第２図は
側面図である。 Ａ・・・・・・真空蒸着室、Ａ１・・・・・・真空室底
壁、Ｂ・・・・・・電子鏡、１・・・・・・内筒、２・
・・・・・外筒、３・・・・・・支持板、４・・・・・
・ナット部材、５・・・・・・上下動規制部材、６・・
・・・・拘束枠、７・・・・・・締付部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上面に蒸着源Ｂを装備し、高圧電流端子Ｃおよび冷却水
    管Ｄが配設された頂板１１が載置されるとともに下部外
    周に雄ねじ１ａが刻まれた内筒１と、該内筒が摺動自在
    とされ、真空室底壁Ａよの下面に摺接可能な支持板３と
    一体形成された外筒２と、前記内筒の雄ねじと螺合する
    ナット部材４と内簡の上下動規制部材５と、前記外筒２
    とナット部材４との拘束枠６と、真空室底壁Ａと前記支
    持板３との締付部材７とを有し、前記真空室底壁には外
    筒２が移動可能な長孔Ａ２が設けられていることを特徴
    とする真空蒸着装置の蒸着源移動装置。
JP12547984U 1984-08-17 1984-08-17 真空蒸着装置の蒸着源移動装置 Granted JPS6143261U (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS6143261U true JPS6143261U (ja) 1986-03-20
JPH0241166Y2 JPH0241166Y2 (ja) 1990-11-01

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