JPH0241436U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ、本考案の一実
施例によるウエハー入替え装置の一部破断正面図
と平面図、第３図は上記実施例装置の外観を示す
正面図、第４図は本考案装置において使用される
ウエハーキヤリヤーを示す斜視図、第５図および
第６図はそれぞれ、ウエハー受板と受板ブロツク
基部の変更例を示す分解斜視図と断面図である。 １０…キヤリヤー載置台、１１…第１ウエハー
キヤリヤー、１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ…
ウエハーキヤリヤーの側板、１１ｃ，１２ｃ…ウ
エハーキヤリヤーの棚板、１１ｄ，１２ｄ…棚板
の切欠部、１１Ｆ，１２Ｆ…ウエハーキヤリヤー
の前面、１１Ｒ，１２Ｒ…ウエハーキヤリヤーの
背面、１２…第２ウエハーキヤリヤー、２０…ウ
エハー、２１…上下動用低速モータ、２８Ａ，２
８Ｂ，５０…遮光部材、２９Ａ…高位置センサ、
２９Ｂ…低位置センサ、３０…駆動制御回路、３
１…レール、３２…受板保持部材、３５…ベルト
、３６…水平移動用低速モータ、３７Ａ，３７Ｂ
，３７Ｃ…横位置センサ、４０…ウエハー受板ブ
ロツク、４２…ウエハー受板、４６…主電源スイ
ツチ、４７…スタートスイツチ、４８…リセツト
スイツチ、４９…ストツプスイツチ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 前面と背面が開放され、左右両側板の間に少な
   くとも一部が切り欠かれた複数の半導体ウエハー
   載置用棚板が形成されてなる第１のウエハーキヤ
   リヤーと、少なくとも前面が開放され前記棚板と
   同様の複数の棚板が形成されてなる第２のウエハ
   ーキヤリヤーとを、各々の前面が相対向する状態
   に位置決め保持するキヤリヤー載置台と、 前記第１および第２のウエハーキヤリヤーの各
   棚板間の間隙内に進入しうるように上下方向に並
   べて保持された複数のウエハー受板と、 これらのウエハー受板を、前記第１のウエハー
   キヤリヤーの背面後方に離れた待機位置と、該背
   面を通過して第１のウエハーキヤリヤー内に進入
   した位置と、第１および第２のウエハーキヤリヤ
   ーの各前面を通過して第２のウエハーキヤリヤー
   内に進入した位置との間で水平方向に直線移動さ
   せる水平移動手段と、 前記複数のウエハー受板を前記キヤリヤー載置
   台に対して相対的に上下移動させる上下移動手段
   と、 この上下移動手段と前記水平移動手段の駆動を
   制御することにより前記ウエハー受板を、前記待
   機位置から前記第１または第２のウエハーキヤリ
   ヤー内まで水平移動させ、この位置で前記棚板の
   切欠部を上方側に抜けさせて該棚板上のウエハー
   を下方から支持させ、次いで該ウエハー受板を前
   記第２または第１のウエハーキヤリヤー内まで水
   平移動させ、この位置で前記棚板の切欠部を下方
   側に抜けさせて該受板上のウエハーをこの第２ま
   たは第１のウエハーキヤリヤーの棚板上に移載さ
   せ、その後該ウエハー受板を水平移動させて前記
   待機位置に戻す駆動制御手段とからなるウエハー
   入替え装置。