JPH0521885Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ウエハーキヤリヤー内に収納された
シリコンウエハー等を他のウエハーキヤリヤー内
に入れ替えるウエハー入替え装置に関するもので
ある。

（従来の技術） 従来より、シリコンウエハー等のウエハーから
半導体部品等を生産する現場においては、ウエハ
ーをウエハーキヤリヤー（カセツト）内に複数枚
収納し、該ウエハーキヤリヤー内から自動的にウ
エハーを取り出して順次加工処理工程に供給し、
加工処理後もウエハーを順次ウエハーキヤリヤー
内に自動的に戻すようにしている。このようにウ
エハーをウエハーキヤリヤー単位で取り扱い、作
業者が直接ウエハーに触れないようにすることに
より、IC等の精密加工部品の品質を高く保つこ
とが可能となる。

上記のウエハーキヤリヤーは、左右両側板の間
に複数の棚板が形成れ、この棚板にはウエハーの
端部以外の部分が接しないように切欠きが設けら
れ、また前面は（物によつては背面も）ウエハー
収納、取出しのために開放されてなるものであ
り、前述のような加工処理の現場のみならず、販
売に際しての輸送、保管等も通常このウエハーキ
ヤリヤー単位で行なわれるようになつている。

ところで、このようにしてウエハーをウエハー
キヤリヤー単位で取り扱う場合には、例えば輸送
用のウエハーキヤリヤーから加工処理現場で用い
るウエハーキヤリヤーにウエハーをそつくり入れ
替える必要が生じる。このようにウエハーを入れ
替えるため従来は、２つのウエハーキヤリヤーの
各前面を合わせた後、ウエハーが入つている方の
ウエハーキヤリヤーが上になるように両者を傾け
て、すべてのウエハーを一時に他方のウエハーキ
ヤリヤー内に落し込むようにしていた。

（考案が解決しようとする問題点） ところが上記のようにしてウエハーの入替えを
行なうと、ウエハー端部がウエハーキヤリヤーに
衝突して砕け、微細な粉塵が生じることがある。
このような粉塵がウエハーに付着すると、当然な
がら半導体部品等の歩留りが低下する。

そこで従来より、ウエハーを収納したウエハー
キヤリヤーと空のウエハーキヤリヤーとを、それ
ぞれの開放された前面が対向する状態に位置決め
保持し、ウエハーを収納したウエハーキヤリヤー
の開放された背面側からプツシヤーを進入させ、
該プツシヤーによつてこのウエハーキヤリヤー内
のウエハーを押して他方のウエハーキヤリヤー内
まで移動させるようにしたウエハー入替え装置も
考えられている。

このようなウエハー入替え装置によれば、ウエ
ハー端部がウエハーキヤリヤーに衝突することは
防げるものの、この場合はウエハーキヤリヤーが
棚板と擦れ合つて、前述と同様の微細な粉塵が生
じやすい。

本考案は上記のような事情に鑑みてなされたも
のであり、微細な粉塵を生じることなく、ウエハ
ーを一方のウエハーキヤリヤーから他方のウエハ
ーキヤリヤーに入れ替えることができるウエハー
入替え装置を提供することを目的とするものであ
る。

（問題点を解決するための手段及び作用） 本考案のウエハー入替え装置は、前述のように
前面と背面とが開放された第１のウエハーキヤリ
ヤーと、少なくとも前面が開放された第２のウエ
ハーキヤリヤーとを、各々の前面が相対向する状
態に位置決め保持するキヤリヤー載置台と、 上記第１および第２のウエハーキヤリヤーの各
棚板間の間〓内に進入しうるように上下方向に並
べて保持された複数のウエハー受板と、 これらのウエハー受板を、上記第１のウエハー
キヤリヤーの背面後方に離れた待機位置と、該背
面を通過して第１のウエハーキヤリヤー内に進入
した位置と、第１および第２のウエハーキヤリヤ
ーの各前面を通過して第２のウエハーキヤリヤー
内に進入した位置との間で水平方向に直線移動さ
せる水平移動手段と、 上記複数のウエハー受板を前記キヤリヤー載置
台に対して相対的に上下移動させる上下移動手段
とを設けるとともに、 上記上下移動手段と水平移動手段の駆動を制御
する駆動制御手段を設けて、ウエハー受板を、前
記待機位置から第１または第２のウエハーキヤリ
ヤー内まで水平移動させ、この位置で棚板の切欠
部を上方側に抜けさせて該棚板上のウエハーを下
方から支持させ、次いで該ウエハー受板を第２ま
たは第１のウエハーキヤリヤー内まで水平移動さ
せ、この位置で棚板の切欠部を下方側に抜けさせ
て該受板上のウエハーをこの第２または第１のウ
エハーキヤリヤーの棚板上に移載させ、その後該
ウエハー受板を水平移動させて前記待機位置に戻
すように構成したものである。

（実施例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本考案を詳
細に説明する。

第１図および第２図は本考案の一実施例による
ウエハー入替え装置を示すものである。該ウエハ
ー入替え装置の図中左端部には、第１ウエハーキ
ヤリヤー１１および第２ウエハーキヤリヤー１２
を位置決め保持するためのキヤリヤー載置台１０
が配設されている。第３図にも詳しく示すように
第１ウエハーキヤリヤー１１は、左右の側板１１
ａ，１１ｂの間に複数（例えば25段）の棚板１１
ｃが形成されてなる。これらの棚板１１ｃは両側
板１１ａ，１１ｂからそれぞれ内方に若干突出し
た状態に形成されている。つまり換言すれば棚板
１１ｃは、中央部に大きな切欠部１１ｄを有する
形状とされている。シリコンウエハー等のウエハ
ー２０は各棚板１１ｃ上に載置して該第１ウエハ
ーキヤリヤー１１内に収納されるが、棚板１１ｃ
が上記のような形状とされているので、その周端
部のみが棚板１１ｃによつて受けられることにな
る。またこの第１ウエハーキヤリヤー１１の前面
１１Ｆと背面１１Ｒは、ウエハー２０の収納、取
出しのために開放されている。第２ウエハーキヤ
リヤー１２も上記第１ウエハーキヤリヤー１１と
同様に側面１２ａ，１２ｂ、および大きな切欠部
１２ｄを有する複数の棚板１２ｃから構成されて
いるが、該第２ウエハーキヤリヤー１２は第１ウ
エハーキヤリヤー１１とは異なり、背面１２Ｒが
閉じられているものが使用されてもよい。

上記構成の第１ウエハーキヤリヤー１１，第２
ウエハーキヤリヤー１２はそれぞれ底面に、左右
方向（第２図中の上下方向）に延びる突部１１
ｅ，１２ｅを有する位置決めバー１１ｆ，１２ｆ
を備えている。キヤリヤー載置台１０は上記突部
１１ｅおよび１２ｅをそれぞれ受承する位置決め
部材１３，１３および１４，１４を備えており、
このようにして位置決めバー１１ｆ，１２ｆを位
置決め部材１３，１３および１４，１４に係合さ
せることにより、両ウエハーキヤリヤー１１，１
２は、それぞれの前面１１Ｆ，１２Ｆが相対向す
る状態でキヤリヤー載置台１０上に位置決め保持
される。また位置決め部材１３，１３の下方、位
置決め部材１４，１４の下方にはそれぞれ、各部
材１３，１３および１４，１４の間に配され上方
に付勢された検出端を有するキヤリヤー検出スイ
ツチ１５，１６が設けられている。

キヤリヤー載置台１０の底部の左右端部には、
それぞれ下方に延びるロツド１７，１７が固定さ
れており、これらのロツド１７，１７の下端は横
部材１８によつて連結されている。この横部材１
８の中央部には雌ネジ１８ａが形成され、該雌ネ
ジ１８ａには雄ネジ１９が螺合されている。上記
ロツド１７，１７の間には、装置フレーム２５に
固定された正逆回転可能な上下動用低速モータ２
１が配されており、該モータ２１のシヤフト２２
は、ジヨンイト２３を介して上記雄ネジ１９に連
結されている。したがつてこの低速モータ２１が
駆動されると、雄ネジ１９が回転してキヤリヤー
載置台１０が上下動する。また上記横部材１８に
は、上下方向に延びるロツド２６が連結部材２７
を介して固定されており、該ロツド２６には遮光
部材２８Ａ，２８Ｂが取り付けられている。装置
フレーム２５には、それぞれ上記遮光部材２８
Ａ，２８Ｂに対応させて光電式の高位置センサ２
９Ａ、低位置センサ２９Ｂが取り付けられてい
る。遮光部材２８Ａ，２８Ｂはこれらの位置セン
サ２９Ａ，２９Ｂの発光部と受光部との間に進入
するようになつている。該センサ２９Ａ，２９Ｂ
の出力Ｓ１，Ｓ２は、前記キヤリヤー検出スイツ
チ１５，１６の出力Ｓ３，Ｓ４とともに、例えば
ワンチツプマイクロプロセツサ等からなる駆動制
御回路３０に入力されるようになつている。

一方装置フレーム２５には、第１，２図中にお
いて左右方向に延びる１対のレール３１，３１が
固定されている。このレール３１，３１には、該
レール３１，３１に沿つて水平方向に移動自在に
受板保持部材３２が懸架されている。またレール
３１，３１の下方には、ローラ３３，３４に掛け
られてこのレール３１，３１と平行に延びるベル
ト３５が配設されており、該ベルト３５には上記
受板保持部材３２の下端が固定されている。ロー
ラ３３は正逆回転する水平移動用低速モータ３６
によつて駆動されるようになつており、こうして
ローラ３３が駆動されてベルト３５が回転する
と、受板保持部材３２がレール３１，３１に沿つ
て水平方向に移動する。この低速モータ３６は前
記低速モータ２１とともに、駆動制御回路３０に
よつて駆動制御される。また上記ベルト３５に沿
つた位置には、一例として光電式の第１，第２お
よび第３横位置センサ３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃが
設けられている。ベルト３５には、その移動にと
もなつて順次これらのセンサ３７Ａ，３７Ｂ，３
７Ｃの発光部と受光部の間に進入する遮光部材５
０が取り付けられている。これらセンサ３７Ａ，
３７Ｂ，３７Ｃの出力Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７は前記駆
動制御回路３０に入力されるようになつている。

上記のように移動する受板保持部材３２には、
ウエハー受板ブロツク４０が取り付けられてい
る。このウエハー受板ブロツク４０は基部４１
に、前記ウエハーキヤリヤー１１，１２の棚板１
１ｃ，１２ｃの配設ピツチと同ピツチで多数のウ
エハー受板４２を固定してなるものである。該ウ
エハー受板ブロツク４０は、その基部４１に固定
されたネジ棒４３を受板保持部材３２の上端に形
成された切込部３２ａに通し、次いで該ネジ棒４
３の先端に螺合させたナツト２４を締めることに
よつて受板保持部材３２に取り付けられ、またこ
のナツト２４を緩めることにより受板保持部材３
２から簡単に取り外されるようになつている。

装置フレーム２５には、上記ウエハー受板ブロ
ツク４０を覆うカバー４４が取り付けられ、ウエ
ハー受板４２にチリやホコリ等が付着しないよう
にされている。なおこのカバー４４の前面、すな
わちキヤリヤー載置台１０側の面は開放されてい
る。また第４図に示すように、上記カバー４４の
下側のカバー４５の表面には、前記駆動制御回路
３０に接続する主電源スイツチ４６、スタートス
イツチ４７、リセツトスイツチ４８およびストツ
プスイツチ４９が設けられている。

次に、上記構成のウエハー入替え装置の作動に
ついて説明する。ウエハー２０の入替えに際して
は、ウエハー２０を棚板１１ｃ上に収納した第１
ウエハーキヤリヤー１１および空の第２ウエハー
キヤリヤー１２を第１図図示のようにキヤリヤー
載置台１０上にセツトする。このとき、両ウエハ
ーキヤリヤー１１，１２の位置決めは前述のよう
にしてなされる。次いで主電源スイツチ４６を
ONにした後リセツトスイツチ４８がONにされ
ると、もし受板保持部材３２が後端位置（第１図
図示の位置）にない場合には、駆動制御回路３０
から駆動信号Ｓ８が出力されて低速モータ３６が
駆動され、ベルト３５が回転されて受板保持部材
３２が上記後端位置に設定される。なお受板保持
部材３２がこの後端位置に来ると、遮光部材５０
が第１横位置センサ３７Ａの検出光を遮る状態と
なり、該センサ３７Ａの出力Ｓ５が「Ｈ」から
「Ｌ」に変わる。駆動制御回路３０はこの出力変
化を受けて低速モータ３６を停止させる。このよ
うに受板保持部材３２が後端位置にあるとき、第
１図図示のようにウエハー受板４２は、第１ウエ
ハーキヤリヤー１１の背面１１Ｒから後方に離れ
た待機位置をとる。なお前述したキヤリヤー検出
スイツチ１５，１６は、その検出端がそれぞれ位
置決めバー１１ｆ，１２ｆの突部１１ｅ，１２ｅ
によつて下方に押されたときにキヤリヤー検出信
号Ｓ３，Ｓ４を出力する。駆動制御回路３０はこ
れらの信号Ｓ３，Ｓ４が入力されていない場合
は、上記リセットスイッチ４８がONにされても
装置の作動を開始させない。したがって、ウエハ
ーキヤリヤー１１，１２をセットしていないのに
不用意に受板保持部材３２を作動させてしまうこ
とが防止される。

次いでスタートスイツチ４７がONにされると
低速モータ３６が駆動され、受板保持部材３２が
前方（第１図中の左方）に移動される。こうして
受板保持部材３２が移動すると、各ウエハー受板
４２は第１ウエハーキヤリヤー１１の開放された
背面１１Ｒを通過して、各棚板１１ｃの間〓内に
進入する。なおキヤリヤー載置台１０の上下位置
は、装置フレーム２５に回転自在に支持されたネ
ジ５１を回転させ、それによりブロツク５２を螺
進退（上下動）させてセンサ２９Ａ，２９Ｂの上
下位置を変えることにより、微調整可能である。
こうしてキヤリヤー載置台１０の上下位置を微調
整することにより、ウエハー受板４２を、棚板１
１ｃと衝突することなく第１ウエハーキヤリヤー
１１内に進入させることができる。

ウエハー受板４２が第１ウエハーキヤリヤー１
１内のウエハー２０と対面する位置まで受板保持
部材３２が移動すると、第２横位置センサ３７Ｂ
が遮光部材５０を検出し、該センサ３７Ｂの出力
Ｓ６が「Ｈ」から「Ｌ」に切り換わる。駆動制御
回路３０はこの出力変化を受けて低速モータ３６
を停止させるので、ウエハー受板４２は上記の位
置で一旦停止する。駆動制御回路３０は低速モー
タ３６を停止させると、次いで駆動信号Ｓ９を出
力して低速モータ２１を駆動させ、キヤリヤー載
置台１０を下方に移動させる。この際キヤリヤー
載置台１０とともにロツド２６が下降し、低位置
センサ２９Ｂが遮光部材２８Ｂを検出すると、該
センサ２９Ｂの出力Ｓ２が「Ｈ」から「Ｌ」に切
り換わる。駆動制御回路３０はこの出力変化を受
けて低速モータ２１を停止させる。こうしてキヤ
リヤー載置台１０が所定距離下降すると、各ウエ
ハー受板４２は切欠部１１ｄを通つて相対的に各
棚板１１ｃの上側に抜けるので、これらの棚板１
１ｃ上に載置されていたウエハー２０は各ウエハ
ー受板４２上に移載される。なおこうしてウエハ
ー受板４２によつて持ち上げられるウエハー２０
が上側の棚板１１ｃに衝突することがないよう
に、キヤリヤー載置台１０の下降量は、各棚板１
１ｃ間の距離からウエハー２０の厚さを差し引い
た値よりも僅かに小さい値に設定されている。

駆動制御回路３０はこうして低速モータ２１を
停止させると、次いで低速モータ３６を駆動さ
せ、受板保持部材３２をさらに前方に移動させ
る。それによりウエハー受板４２は、第１ウエハ
ーキヤリヤー１１および第２ウエハーキヤリヤー
１２の開放された前面１１Ｆ，１２Ｆを通過し
て、第２ウエハーキヤリヤー１２内に進入する。
ウエハー受板４２上のウエハー２０が第２ウエハ
ーキヤリヤー１２内に納まる位置まで受板保持部
材３２が移動すると、第３横位置センサ３７Ｃが
遮光部材５０を検出し、該センサ３７Ｃの出力Ｓ
７が「Ｈ」から「Ｌ」に切り換わる。駆動制御回
路３０はこの出力変化を受けて低速モータ３６を
停止させ、次いで低速モータ２１を前述の場合と
は逆方向に駆動させる。それによりキヤリヤー載
置台１０が上昇するので、各ウエハー受板４２は
切欠部１２ｄを通つて相対的に各棚板１２ｃの下
側に抜けるので、各ウエハー受板４２上に載置さ
れていたウエハー２０は各棚板１２ｃ上に移載さ
れる。キヤリヤー載置台１０の上昇にともなつて
ロツド２６が上昇し、高位置センサ２９Ａが遮光
部材２８Ａを検出すると、該センサ２９Ａの出力
Ｓ１が「Ｈ」から「Ｌ」に切り換わる。駆動制御
回路３０はこの出力変化を受けて低速モータ２１
を停止させる。こうして低速モータ２１が停止し
たときのキヤリヤー載置台１０の上下位置は、前
述のようにキヤリヤー載置台１０が下降する前の
位置である。つまりキヤリヤー載置台１０は、高
位置センサ２９Ａおよび低位置センサ２９Ｂによ
つて規定される高位置および低位置の間で上下動
する。

駆動制御回路３０は低速モータ２１を停止させ
ると次に低速モータ３６を前述の場合とは逆方向
に駆動させ、遮光部材５０が第１センサ３７Ａに
よつて検出される位置まで受板保持部材３２を後
退させる。それによりウエハー受板４２は第２ウ
エハーキヤリヤー１２および第１ウエハーキヤリ
ヤー１１内から退出し、第１ウエハーキヤリヤー
１１の背面１１Ｒ後方の待機位置（第１図図示の
位置）で停止する。以上のようにして、すべての
ウエハー２０が一度に第１ウエハーキヤリヤー１
１から第２ウエハーキヤリヤー１２に入れ替えら
れる。次いでこの第１ウエハーキヤリヤー１１お
よび第２ウエハーキヤリヤー１２をキヤリヤー載
置台１０から外し、ウエハー２０を収納した新し
い第１ウエハーキヤリヤー１１と空の第２ウエハ
ーキヤリヤー１２とをキヤリヤー載置台１０上に
セツトし、上記と同様の操作を繰り返せば、同じ
ようにウエハー２０の入替えがなされうる。なお
以上述べたウエハー２０の入替え動作中にストツ
プスイツチ４９が押されれば、装置は作動停止す
る。

以上説明した実施例においては、ウエハー受板
ブロツク４０が受板保持部材３２に対して容易に
着脱自在となつているが、特にこのような構成を
採用しなくてもよい。しかし上記の構成を採用す
れば、ウエハー受板４２が汚れた際に、ウエハー
受板ブロツク４０を受板保持部材３２から取り外
して簡単に洗浄可能となり、さらにはウエハー２
０の種類等に合わせて種々の材質のウエハー受板
４２を適宜選択使用することも容易に可能となる
ので、実用上極めて便利である。また上記実施例
のウエハー入替え装置は、ウエハー受板４２の待
機位置に近い第１ウエハーキヤリヤー１１から第
２ウエハーキヤリヤー１２にウエハー２０を入れ
替えるように構成されたものであるが、反対に第
２ウエハーキヤリヤー１２から第１ウエハーキヤ
リヤー１１にウエハー２０を入れ替えるように構
成することも可能である。このような変更は、駆
動制御回路３０の制御プログラムを変えることに
より容易に実現可能である。

また各ウエハー受板４２は、第５図に示すよう
に上面に空気吸引溝４２ａを有する下板４２ｂ
と、上記溝４２ａと向かい合ういくつかの空気吸
引孔４２ｃを有する上板４２ｄとを合わせて形成
し、一方このウエハー受板４２を保持するウエハ
ー受板ブロツク４０の基部４１には、第６図図示
のように空気吸引通路４１ａを設けておき、該通
路４１ａを例えばフレキシブル配管６０を介して
真空ポンプ等の負圧源６１に接続するようにして
もよい。そして例えば負圧供給、遮断のタイミン
グを低速モータ２１，３６と連動するバルブ等に
よつて制御しつつ、上記空気吸引孔４２ｃから空
気吸引を行なうようにすれば、ウエハー２０を各
ウエハー受板４２に吸着させた状態で入れ替えを
行なうことも可能となる。このようにすれば、ウ
エハー２０の入替えがより確実に行なわれうる。

さらに、上記実施例ではキヤリヤー載置台１０
を上下移動させているが、ウエハー受板ブロツク
４０を上下移動させることにより、ウエハー受板
４２をキヤリヤー載置台１０に対して上下動させ
ることも勿論可能である。

（考案の効果） 以上詳細に説明した通り本考案のウエハー入替
え装置によれば、ウエハーをウエハーキヤリヤー
の棚板と擦れ合うことなく一方のウエハーキヤリ
ヤーから他方のウエハーキヤリヤーに入れ替える
ことができるので、ウエハーと棚板とが擦れ合つ
て微細な粉塵が生じることを防止でき、したがつ
て、ウエハーを加工してIC等を生産する際の歩
留りを確実に向上可能となる。また本考案のウエ
ハー入替え装置は、ウエハーを移載するウエハー
受板を水平方向に直線的に移動させる構成となつ
ているので、該受板の移動機構が簡単なものとな
り、比較的安価に形成可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ、本考案の一実
施例によるウエハー入替え装置の一部破断正面図
と平面図、第３図は上記実施例装置の外観を示す
正面図、第４図は本考案装置において使用される
ウエハーキヤリヤーを示す斜視図、第５図および
第６図はそれぞれ、ウエハー受板と受板ブロツク
基部の変更例を示す分解斜視図と断面図である。 １０……キヤリヤー載置台、１１……第１ウエ
ハーキヤリヤー、１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２
ｂ……ウエハーキヤリヤーの側板、１１ｃ，１２
ｃ……ウエハーキヤリヤーの棚板、１１ｄ，１２
ｄ……棚板の切欠部、１１Ｆ，１２Ｆ……ウエハ
ーキヤリヤーの前面、１１Ｒ，１２Ｒ……ウエハ
ーキヤリヤーの背面、１２……第２ウエハーキヤ
リヤー、２０……ウエハー、２１……上下動用低
速モータ、２８Ａ，２８Ｂ，５０……遮光部材、
２９Ａ……高位置センサ、２９Ｂ……低位置セン
サ、３０……駆動制御回路、３１……レール、３
２……受板保持部材、３５……ベルト、３６……
水平移動用低速モータ、３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ
……横位置センサ、４０……ウエハー受板ブロツ
ク、４２……ウエハー受板、４６……主電源スイ
ツチ、４７……スタートスイツチ、４８……リセ
ツトスイツチ、４９……ストツプスイツチ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 前面と背面が開放され、左右両側板の間に少な
   くとも一部が切り欠かれた複数の半導体ウエハー
   載置用棚板が形成されてなる第１のウエハーキヤ
   リヤーと、少なくとも前面が開放され前記棚板と
   同様の複数の棚板が形成されてなる第２のウエハ
   ーキヤリヤーとを、各々の前面が相対向する状態
   に位置決め保持するキヤリヤー載置台と、 前記第１および第２のウエハーキヤリヤーの各
   棚板間の間〓内に進入しうるように上下方向に並
   べて保持された複数のウエハー受板と、 これらのウエハー受板を、前記第１のウエハー
   キヤリヤーの背面後方に離れた待機位置と、該背
   面を通過して第１のウエハーキヤリヤー内に進入
   した位置と、第１および第２のウエハーキヤリヤ
   ーの各前面を通過して第２のウエハーキヤリヤー
   内に進入した位置との間で水平方向に直線移動さ
   せる水平移動手段と、 前記複数のウエハー受板を前記キヤリヤー載置
   台に対して相対的に上下移動させる上下移動手段
   と、 この上下移動手段と前記水平移動手段の駆動を
   制御することにより前記ウエハー受板を、前記待
   機位置から前記第１または第２のウエハーキヤリ
   ヤー内まで水平移動させ、この位置で前記棚板の
   切欠部を上方側に抜けさせて該棚板上のウエハー
   を下方から支持させ、次いで該ウエハー受板を前
   記第２または第１のウエハーキヤリヤー内まで水
   平移動させ、この位置で前記棚板の切欠部を下方
   側に抜けさせて該受板上のウエハーをこの第２ま
   たは第１のウエハーキヤリヤーの棚板上に移載さ
   せ、その後該ウエハー受板を水平移動させて前記
   待機位置に戻す駆動制御手段とからなるウエハー
   入替え装置。