JPH0242735A - ワイヤクランプ装置 - Google Patents
ワイヤクランプ装置Info
- Publication number
- JPH0242735A JPH0242735A JP63193842A JP19384288A JPH0242735A JP H0242735 A JPH0242735 A JP H0242735A JP 63193842 A JP63193842 A JP 63193842A JP 19384288 A JP19384288 A JP 19384288A JP H0242735 A JPH0242735 A JP H0242735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- base
- gripping
- wire
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はワイヤクランプ装置、特に、ワイヤボンディン
グ装置のワイヤクランプ装置に関する。
グ装置のワイヤクランプ装置に関する。
従来のワイヤクランプ装置は、一方がベースに保持され
た微小な間隔で対向している一対の把持部材と、一端に
他方の把持部材を保持し他端が前記一対の把持部材の把
持方向に旋回自在に前記べ〜 スと連結しているアーム
と、前記アームを前記把持方向に旋回させる駆動装置を
含んで構成される。
た微小な間隔で対向している一対の把持部材と、一端に
他方の把持部材を保持し他端が前記一対の把持部材の把
持方向に旋回自在に前記べ〜 スと連結しているアーム
と、前記アームを前記把持方向に旋回させる駆動装置を
含んで構成される。
次に従来のワイヤクランプ装置について図面を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
第２図は従来のワイヤクランプ装置の一例を示す側面図
である。
である。
第２図に示すワイヤクランプ装置はアーム駆動モータ１
１０とアーム１０２．１０３と一対の把持部材１０１と
を含んで構成されている。
１０とアーム１０２．１０３と一対の把持部材１０１と
を含んで構成されている。
一対の把持部材１０１の間に金線１３０が通されている
。アーム１０２は一端に把持部材１０１ａを備えており
、他端はベース１０４に保持されている。アーム１０３
は一端に把持部材１１０ｂを備えており、他端は回転軸
１０４を介してアーム駆動モータ１１０に連結されてお
り、把持部材１０１ｂを把持部材１０１ａに対向する方
向に自在に動かすことが出来る。
。アーム１０２は一端に把持部材１０１ａを備えており
、他端はベース１０４に保持されている。アーム１０３
は一端に把持部材１１０ｂを備えており、他端は回転軸
１０４を介してアーム駆動モータ１１０に連結されてお
り、把持部材１０１ｂを把持部材１０１ａに対向する方
向に自在に動かすことが出来る。
アーム駆動モータ１１０はボイスコイルモータで構成さ
れておりモータの外枠はベース１４０に固定されている
。
れておりモータの外枠はベース１４０に固定されている
。
ワイヤボンディングで用いるワイヤクランプ装置はボン
ディング動作の高速化のために軽量にする必要があるた
め、回転軸１０４にはベアリングを入れないのが一最的
である。
ディング動作の高速化のために軽量にする必要があるた
め、回転軸１０４にはベアリングを入れないのが一最的
である。
従来のワイヤクランプ装置はアーム駆動モータ１１０で
アーム１０３を旋回して把持部材１０１ｂを把持部材１
０１が対向する方向に駆動させて金線１３０を挟む、こ
のため金線１３０を挟むためにはアーム１０３を回転軸
１０４回りに回転させる必要があるが、回転軸１０４は
消耗しやすくガタがでやすい。一般にワイヤボンディン
グに用いる金線１３０は２０〜３０μと細いため回転軸
１０４に多少のガタがあっても十分に把持することが出
来なくなる。
アーム１０３を旋回して把持部材１０１ｂを把持部材１
０１が対向する方向に駆動させて金線１３０を挟む、こ
のため金線１３０を挟むためにはアーム１０３を回転軸
１０４回りに回転させる必要があるが、回転軸１０４は
消耗しやすくガタがでやすい。一般にワイヤボンディン
グに用いる金線１３０は２０〜３０μと細いため回転軸
１０４に多少のガタがあっても十分に把持することが出
来なくなる。
上述した従来のワイヤクランプ装置はアームを回転軸回
りに回転させて金線を把持する必要があるため、回転軸
が消耗しやすくガタがでやすいので、ワイヤボンディン
グに用いる金線の把持が不十分になりやすい。このため
金線の把持不良によるボンディングミスが起こりやすく
、ボンディングの効率が悪いと言う欠点があった。
りに回転させて金線を把持する必要があるため、回転軸
が消耗しやすくガタがでやすいので、ワイヤボンディン
グに用いる金線の把持が不十分になりやすい。このため
金線の把持不良によるボンディングミスが起こりやすく
、ボンディングの効率が悪いと言う欠点があった。
本発明のワイヤクランプ装置は、微小な間隔で対向して
いる一対の把持部材と、軸方向が前記−対の把持部材の
把持方向で一端に前記一対の把持部材の内一方の把持部
材を保持している棒状のアームと、前記一対の把持部材
の内他方の把持部材を保持した突起を有し前記アームと
平行に配置された板状のベースと、前記アームと前記ベ
ースを前記把持方向自在に連結する前記アーム及びベー
スに対し垂直に並べられた少なくとも２枚以上の板バネ
と、前記アームを前記把持方向に駆動する前記ベースに
保持された駆動装置とを含んで構成される。
いる一対の把持部材と、軸方向が前記−対の把持部材の
把持方向で一端に前記一対の把持部材の内一方の把持部
材を保持している棒状のアームと、前記一対の把持部材
の内他方の把持部材を保持した突起を有し前記アームと
平行に配置された板状のベースと、前記アームと前記ベ
ースを前記把持方向自在に連結する前記アーム及びベー
スに対し垂直に並べられた少なくとも２枚以上の板バネ
と、前記アームを前記把持方向に駆動する前記ベースに
保持された駆動装置とを含んで構成される。
次に、本発明について、図面を参照して詳細に説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示す側面図である。
第１図に示すワイヤクランプ装置はアーム駆動モータ２
０とアーム１０と一対の把持部材６０とベース３０を含
んで構成される。
０とアーム１０と一対の把持部材６０とベース３０を含
んで構成される。
ベース３０は一方の把持部材６１を保持している突起５
０を有しており、アーム１０に取り付けられたもう一方
の把持部材６２との間にワイヤボンディングに用いる金
線７０が通されている。
０を有しており、アーム１０に取り付けられたもう一方
の把持部材６２との間にワイヤボンディングに用いる金
線７０が通されている。
アーム１０の他端はベース３０に固定されたアーム駆動
モータ２０に連結されており、アーム１０は２枚の平行
板バネ４０によって両側部をベース３０に接続しである
ので把持部材６２を把持部材６１の方向に自在に動かす
ことが出来る。アーム駆動モータ２０はボイスコイルモ
ータで構成されている。
モータ２０に連結されており、アーム１０は２枚の平行
板バネ４０によって両側部をベース３０に接続しである
ので把持部材６２を把持部材６１の方向に自在に動かす
ことが出来る。アーム駆動モータ２０はボイスコイルモ
ータで構成されている。
次に本発明のワイヤクランプ装置の動作について説明す
る。
る。
アーム駆動モータ２０を駆動すると２枚の平行板バネ４
０でアーム１０とベース３０を連結しているので、アー
ム１０が把持部材６０が対向している方向に平行に動か
され、その結果把持部材６２と把持部材６１とで金線７
０を把持することが出来る。
０でアーム１０とベース３０を連結しているので、アー
ム１０が把持部材６０が対向している方向に平行に動か
され、その結果把持部材６２と把持部材６１とで金線７
０を把持することが出来る。
本発明のワイヤクランプ装置は、把持部材を駆動するア
ームを２枚以上の平行板バネで直線案内しているので、
ガタが生じにくく、このためワイヤボンディングに用い
る金線の把持が良好であるために、ボンディングが効率
良く出来るという効果がある。
ームを２枚以上の平行板バネで直線案内しているので、
ガタが生じにくく、このためワイヤボンディングに用い
る金線の把持が良好であるために、ボンディングが効率
良く出来るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す側面図、第２図は従来
の一例を示す側面図である。 １０・・・アーム、２０・・・アーム駆動モータ、３０
・・・ベース、４０・・・平行板バネ、５０・・・突起
、６０・・・把持部材、６１・・・把持部材、６２・・
・把持部材、７０・・・金線、１０１・・・把持部材、
１０２・・・アーム、１０３・・・アーム、１０４・・
・回転軸、１１０・・・アーム駆動装置、１３０・・・
金線、１４０・・・ベース。
の一例を示す側面図である。 １０・・・アーム、２０・・・アーム駆動モータ、３０
・・・ベース、４０・・・平行板バネ、５０・・・突起
、６０・・・把持部材、６１・・・把持部材、６２・・
・把持部材、７０・・・金線、１０１・・・把持部材、
１０２・・・アーム、１０３・・・アーム、１０４・・
・回転軸、１１０・・・アーム駆動装置、１３０・・・
金線、１４０・・・ベース。
Claims (1)
- 微小な間隔で対向している一対の把持部材と、軸方向が
前記一対の把持部材の把持方向で一端に前記一対の把持
部材の内一方の把持部材を保持している棒状のアームと
、前記一対の把持部材の内他方の把持部材を保持した突
起を有し前記アームと平行に配置された板状のベースと
、前記アームと前記ベースを前記把持方向自在に連結す
る前記アーム及びベースに対し垂直に並べられた少なく
とも２枚以上の板バネと、前記アームを前記把持方向に
駆動する前記ベースに保持された駆動装置とを含む事を
特徴とするワイヤクランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63193842A JPH0242735A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ワイヤクランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63193842A JPH0242735A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ワイヤクランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242735A true JPH0242735A (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=16314647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63193842A Pending JPH0242735A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ワイヤクランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242735A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008062244A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Hitachi Ltd | 鋳造金型装置及びこの鋳造金型装置を用いた鋳造方法 |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP63193842A patent/JPH0242735A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008062244A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Hitachi Ltd | 鋳造金型装置及びこの鋳造金型装置を用いた鋳造方法 |
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