JPH0243038Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0243038Y2 JPH0243038Y2 JP1982027212U JP2721282U JPH0243038Y2 JP H0243038 Y2 JPH0243038 Y2 JP H0243038Y2 JP 1982027212 U JP1982027212 U JP 1982027212U JP 2721282 U JP2721282 U JP 2721282U JP H0243038 Y2 JPH0243038 Y2 JP H0243038Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- furnace chamber
- core tube
- firing
- inlet side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は連続厚膜焼成炉の改良に関する。厚膜
集積回路の製造においては、アルミナ等の基板上
に所要の回答パターンを印刷したのち、これをレ
ベリング及び乾燥し次いで焼成する工程がとられ
る。この厚膜回路の焼成を行う手段として最近で
は近赤外線を利用した赤外線加熱方式が採用され
ているが、本方式は焼成時間の短縮という点では
メリツトはあるものの、この方式で予熱・バーン
アウトおよび本焼成の全工程を行つた場合には、
複数の赤外線ランプによる熱放射という特性から
波長のフラツキなどにより温度分布が炉内各部で
一様となりにくく、ことに一定のキープ時間（た
とえば10分）のあいだきわめて高い温度精度（た
とえば±1.5〜２℃以内）の再現を必要とする本
焼成工程においてペースト内金属成分の酸化、還
元および融合反応を安定して行い得ず、そのため
特に抵抗体印刷ペーストを焼成した場合に回路特
性に大きなバラツキが生じ、歩留りを悪下させる
という欠点があつた。
集積回路の製造においては、アルミナ等の基板上
に所要の回答パターンを印刷したのち、これをレ
ベリング及び乾燥し次いで焼成する工程がとられ
る。この厚膜回路の焼成を行う手段として最近で
は近赤外線を利用した赤外線加熱方式が採用され
ているが、本方式は焼成時間の短縮という点では
メリツトはあるものの、この方式で予熱・バーン
アウトおよび本焼成の全工程を行つた場合には、
複数の赤外線ランプによる熱放射という特性から
波長のフラツキなどにより温度分布が炉内各部で
一様となりにくく、ことに一定のキープ時間（た
とえば10分）のあいだきわめて高い温度精度（た
とえば±1.5〜２℃以内）の再現を必要とする本
焼成工程においてペースト内金属成分の酸化、還
元および融合反応を安定して行い得ず、そのため
特に抵抗体印刷ペーストを焼成した場合に回路特
性に大きなバラツキが生じ、歩留りを悪下させる
という欠点があつた。
本考案は上記した従来の厚膜焼成炉の不具合を
解消し、焼成時間を短縮できるうえに安定した高
い温度精度を再現でき、品質の良好な抵抗体焼成
を行うことができる連続式厚膜焼成炉を提供しよ
うとするもので、その特徴とするところは同一炉
内で赤外線直接放射により予熱・バーンアウトを
行い、続いて抵抗加熱による間接加熱で一定のキ
ープ時間のあいだ本焼成を行うようにしたことに
ある。
解消し、焼成時間を短縮できるうえに安定した高
い温度精度を再現でき、品質の良好な抵抗体焼成
を行うことができる連続式厚膜焼成炉を提供しよ
うとするもので、その特徴とするところは同一炉
内で赤外線直接放射により予熱・バーンアウトを
行い、続いて抵抗加熱による間接加熱で一定のキ
ープ時間のあいだ本焼成を行うようにしたことに
ある。
すなわち本考案は、基板上に厚膜ペーストを印
刷した被処理物をコンベアベルトで移送させつつ
焼成する横型連続炉において、トンネル状炉体内
に入口側の炉室と残部炉室とを区画する仕切壁を
設け、残部炉室に入口側の炉室に到らぬように炉
芯管を内挿するとともに、炉芯管と入口側の炉室
を貫いてコンベアベルトを移動自在に配し、前記
入口側の炉室に被処理物を直接加熱してバーンア
ウトを行う赤外線ヒータを配設し、炉芯管外周に
本焼成用の抵抗発熱体を配したことを特徴とする
ものである。
刷した被処理物をコンベアベルトで移送させつつ
焼成する横型連続炉において、トンネル状炉体内
に入口側の炉室と残部炉室とを区画する仕切壁を
設け、残部炉室に入口側の炉室に到らぬように炉
芯管を内挿するとともに、炉芯管と入口側の炉室
を貫いてコンベアベルトを移動自在に配し、前記
入口側の炉室に被処理物を直接加熱してバーンア
ウトを行う赤外線ヒータを配設し、炉芯管外周に
本焼成用の抵抗発熱体を配したことを特徴とする
ものである。
以下本考案の実施例を添付図面に基いて説明す
る。
る。
第１図ないし第３図において、１はセラミツク
などの耐火材で構成されたトンネル状の炉体であ
り、この炉体１には入口からたとえば炉長の約1/
３〜1/5の位置に相当する部位に内方へ張出す仕切
り壁２が設けられ、この仕切り壁２により入口側
の炉室３と後側の長大な炉室４とが区画形成され
ている。
などの耐火材で構成されたトンネル状の炉体であ
り、この炉体１には入口からたとえば炉長の約1/
３〜1/5の位置に相当する部位に内方へ張出す仕切
り壁２が設けられ、この仕切り壁２により入口側
の炉室３と後側の長大な炉室４とが区画形成され
ている。
５，５′は前記入口側の炉室内に所定間隔で配
設された赤外線ヒータであり、アルゴンなどの不
活性ガスを充填した石英シーズの如きにタングス
テンフイラメント類を納めたランプ等により構成
され、フイラメントに加える電圧により波長を直
接制御せしめるようになつている。
設された赤外線ヒータであり、アルゴンなどの不
活性ガスを充填した石英シーズの如きにタングス
テンフイラメント類を納めたランプ等により構成
され、フイラメントに加える電圧により波長を直
接制御せしめるようになつている。
６は後側の長大な炉室４の全長にわたり挿設さ
れた炉芯管であり、石英もしくは耐熱鋼により構
成され、その先端部６１をもつて前記仕切り壁２
に嵌合保持され、中間部はセキ８，８により間隔
的に支承されている。そして炉芯管６の外周域の
炉室内壁には抵抗発熱体７が配設され、測定用熱
電対９により給電力をコントロールするようにな
つている。
れた炉芯管であり、石英もしくは耐熱鋼により構
成され、その先端部６１をもつて前記仕切り壁２
に嵌合保持され、中間部はセキ８，８により間隔
的に支承されている。そして炉芯管６の外周域の
炉室内壁には抵抗発熱体７が配設され、測定用熱
電対９により給電力をコントロールするようにな
つている。
１０はベルトコンベアであり、炉体前後のプー
リ１１，１１′に懸回され、駆動装置１２により
所定速度で印刷基板Ｗを搬送するようになつてお
り、入口側の炉室３には炉床から炉芯管とほぼ同
レベルの高さでベルト受け１３が設けられてい
る。
リ１１，１１′に懸回され、駆動装置１２により
所定速度で印刷基板Ｗを搬送するようになつてお
り、入口側の炉室３には炉床から炉芯管とほぼ同
レベルの高さでベルト受け１３が設けられてい
る。
１４は炉芯管６の後端に連接された冷却筒であ
り、水冷ジヤケツトにより２重筒として構成され
ている。１５は入口筒であり乾燥清浄空気の導入
部１６と強制排気部１７が設けられている。
り、水冷ジヤケツトにより２重筒として構成され
ている。１５は入口筒であり乾燥清浄空気の導入
部１６と強制排気部１７が設けられている。
本考案は上記のような構成からなるので、基板
に抵抗ペーストなどを印刷した印刷基板Ｗを焼成
するにあたつては、予め赤外線ヒータ５，５′に
昇温及びバーンアウト用の所定電圧を設定すると
共に、抵抗発熱体７にフアイアリング用キープ温
度に対応する電力を設定し、各ガス導入部にクリ
ーンエアもしくはN2ガスを供給する。
に抵抗ペーストなどを印刷した印刷基板Ｗを焼成
するにあたつては、予め赤外線ヒータ５，５′に
昇温及びバーンアウト用の所定電圧を設定すると
共に、抵抗発熱体７にフアイアリング用キープ温
度に対応する電力を設定し、各ガス導入部にクリ
ーンエアもしくはN2ガスを供給する。
このような条件で次に駆動装置１２によりコン
ベアベルト１０を移動させつつ、このコンベアベ
ルト１０に印刷基板Ｗを栽置すれば、印刷基板Ｗ
は入口筒１５から大きなボリユームの入口側炉室
３に装入される。この入口側炉室３には赤外線発
熱ヒータ５，５′が配設されており、各赤外線発
熱ヒータ５，５′から設定電圧に対応する波長で
赤外線エネルギが直接放射され、これが印刷基板
Ｗのペーストに急速に浸透する。これによりペー
ストは急加熱されペースト内有機物が蒸発しクリ
ーンエアによりバーンアウトされる。このように
赤外線加熱で予焼成とバーンアウトを行うため、
抵抗加熱方式にくらべて同工程に要する時間がき
わめて短かくなり、また赤外線放熱の特性から抵
抗加熱方式で急加熱した場合のようなペーストの
表面膜の剥れや有機物の噴出しなどの不具合が生
じない。
ベアベルト１０を移動させつつ、このコンベアベ
ルト１０に印刷基板Ｗを栽置すれば、印刷基板Ｗ
は入口筒１５から大きなボリユームの入口側炉室
３に装入される。この入口側炉室３には赤外線発
熱ヒータ５，５′が配設されており、各赤外線発
熱ヒータ５，５′から設定電圧に対応する波長で
赤外線エネルギが直接放射され、これが印刷基板
Ｗのペーストに急速に浸透する。これによりペー
ストは急加熱されペースト内有機物が蒸発しクリ
ーンエアによりバーンアウトされる。このように
赤外線加熱で予焼成とバーンアウトを行うため、
抵抗加熱方式にくらべて同工程に要する時間がき
わめて短かくなり、また赤外線放熱の特性から抵
抗加熱方式で急加熱した場合のようなペーストの
表面膜の剥れや有機物の噴出しなどの不具合が生
じない。
上記のように入口側炉室３で急加熱されること
により印刷基板Ｗは本焼成温度に到るが、この印
刷基板Ｗはベルトコンベア１０により引続いて炉
芯管６に装入されそのまま移送されながら炉芯管
６の外周の抵抗発熱体７により一定時間のあいだ
加熱される。この場合、炉室４が入口側の炉室３
と仕切壁２により区画され、入口側炉室３の赤外
線放射エネルギによる外乱がほとんどないこと、
抵抗発熱体７による間接加熱であるため炉芯管内
全体が一様な温度分布となりいわゆるコールドポ
イントが生じないこと、温度制御が容易で赤外線
放射の場合のような電圧の変化に伴う波長のフラ
ツキという不安定要素がないこと、炉芯管６と入
口側炉室３との断面積差によりクリーンガスが入
口側方向へときれいに流れることなどにより、印
刷基板Ｗに高い温度精度と雰囲気を与えることが
できる。したがつて印刷ペーストの還元、酸化お
よび合金反応がきわめて安定した状態で進行し、
こうして焼成を終えた印刷基板Ｗは炉体１から送
出されることにより徐冷され、冷却部１４におい
て降温冷却されることにより特性のバラツキの少
ない目的IC製品となる。
により印刷基板Ｗは本焼成温度に到るが、この印
刷基板Ｗはベルトコンベア１０により引続いて炉
芯管６に装入されそのまま移送されながら炉芯管
６の外周の抵抗発熱体７により一定時間のあいだ
加熱される。この場合、炉室４が入口側の炉室３
と仕切壁２により区画され、入口側炉室３の赤外
線放射エネルギによる外乱がほとんどないこと、
抵抗発熱体７による間接加熱であるため炉芯管内
全体が一様な温度分布となりいわゆるコールドポ
イントが生じないこと、温度制御が容易で赤外線
放射の場合のような電圧の変化に伴う波長のフラ
ツキという不安定要素がないこと、炉芯管６と入
口側炉室３との断面積差によりクリーンガスが入
口側方向へときれいに流れることなどにより、印
刷基板Ｗに高い温度精度と雰囲気を与えることが
できる。したがつて印刷ペーストの還元、酸化お
よび合金反応がきわめて安定した状態で進行し、
こうして焼成を終えた印刷基板Ｗは炉体１から送
出されることにより徐冷され、冷却部１４におい
て降温冷却されることにより特性のバラツキの少
ない目的IC製品となる。
以上説明した本考案によるときには、トンネル
状炉体１内に入口側の炉室３と残部炉室４とを区
画する仕切壁２を設け、残部炉室４に入口側の炉
室３に到らぬように炉芯管６を内挿するととも
に、炉芯管６と入口側の炉室３を貫いてコンベア
ベルト１０を移動自在に配す一方、入口側の炉室
３に被処理物を直接加熱してバーンアウトを行う
赤外線ヒータ５，５′を配設し、芯管６外周に本
焼成用の抵抗発熱体７を配したので、入口側の炉
室３において印刷基板に赤外線ヒータ５，５′か
ら電磁波が直接照射されてペーストが急速加熱さ
れ、それにより有機物が蒸発、バーンアウトさ
れ、るため、処理時間が極めて短く、かつペース
トの表面の割れや有機物の噴出が生じない。
状炉体１内に入口側の炉室３と残部炉室４とを区
画する仕切壁２を設け、残部炉室４に入口側の炉
室３に到らぬように炉芯管６を内挿するととも
に、炉芯管６と入口側の炉室３を貫いてコンベア
ベルト１０を移動自在に配す一方、入口側の炉室
３に被処理物を直接加熱してバーンアウトを行う
赤外線ヒータ５，５′を配設し、芯管６外周に本
焼成用の抵抗発熱体７を配したので、入口側の炉
室３において印刷基板に赤外線ヒータ５，５′か
ら電磁波が直接照射されてペーストが急速加熱さ
れ、それにより有機物が蒸発、バーンアウトさ
れ、るため、処理時間が極めて短く、かつペース
トの表面の割れや有機物の噴出が生じない。
しかも、続く焼成工程が抵抗加熱で行われ、温
度分布が一様で、電圧の変化による波長のフラツ
キすなわち電磁波のムラという不安定さがなく、
かつ、この抵抗加熱を行う残部炉室４が入口側の
炉室３と仕切壁２で区画されているため、炉室４
に赤外線による外乱がほとんどなく、さらに入口
側の炉室３と炉芯管６との断面積差によりクリー
ンガスが印刷基板と向流するように入口側に流れ
る。そのため、焼成工程が極めて高い温度精度条
件と雰囲気条件で行われ、前段のバーンアウト処
理とあいまち、回路特性のバラツキの少ない良質
の厚膜ICを歩留り良く量産することができると
いうすぐれた効果が得られる。
度分布が一様で、電圧の変化による波長のフラツ
キすなわち電磁波のムラという不安定さがなく、
かつ、この抵抗加熱を行う残部炉室４が入口側の
炉室３と仕切壁２で区画されているため、炉室４
に赤外線による外乱がほとんどなく、さらに入口
側の炉室３と炉芯管６との断面積差によりクリー
ンガスが印刷基板と向流するように入口側に流れ
る。そのため、焼成工程が極めて高い温度精度条
件と雰囲気条件で行われ、前段のバーンアウト処
理とあいまち、回路特性のバラツキの少ない良質
の厚膜ICを歩留り良く量産することができると
いうすぐれた効果が得られる。
第１図は本考案に係る連続厚膜焼成炉の一実施
例を示す縦断側面図、第２図は第１図における予
熱・バーンアウトゾーンの拡大断面図、第３図は
第１図における本焼成ゾーンの拡大断面図であ
る。 １……炉体、２……仕切壁、３……入口側炉
室、４……残余炉室、５，５′……赤外線ヒータ、
６……炉芯管、７……抵抗発熱体、１０……コン
ベアベルト。
例を示す縦断側面図、第２図は第１図における予
熱・バーンアウトゾーンの拡大断面図、第３図は
第１図における本焼成ゾーンの拡大断面図であ
る。 １……炉体、２……仕切壁、３……入口側炉
室、４……残余炉室、５，５′……赤外線ヒータ、
６……炉芯管、７……抵抗発熱体、１０……コン
ベアベルト。
Claims (1)
- 基板上に厚膜ペーストを印刷した被処理物をコ
ンベアベルトで移送させつつ焼成する横型連続炉
において、トンネル状炉体１内に入口側の炉室３
と残部炉室４とを区画する仕切壁２を設け、残部
炉室４に入口側の炉室３に到らぬように炉芯管６
を内挿するとともに、炉芯管６と入口側の炉室３
を貫いてコンベアベルト１０を移動自在に配し、
前記入口側の炉室３に被処理物を直接加熱してバ
ーンアウトを行う赤外線ヒータ５，５′を配設し、
炉芯管６外周に本焼成用の抵抗発熱体７を配した
ことを特徴とする連続厚膜焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2721282U JPS58131662U (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 連続厚膜焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2721282U JPS58131662U (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 連続厚膜焼成炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58131662U JPS58131662U (ja) | 1983-09-05 |
| JPH0243038Y2 true JPH0243038Y2 (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=30039129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2721282U Granted JPS58131662U (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 連続厚膜焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58131662U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6247185A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-02-28 | 富士通株式会社 | 厚膜回路部品の乾燥炉 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5442283U (ja) * | 1977-08-31 | 1979-03-22 |
-
1982
- 1982-03-01 JP JP2721282U patent/JPS58131662U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58131662U (ja) | 1983-09-05 |
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