JPH0243554A - 感放射装置を製造する方法 - Google Patents
感放射装置を製造する方法Info
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- JPH0243554A JPH0243554A JP1140950A JP14095089A JPH0243554A JP H0243554 A JPH0243554 A JP H0243554A JP 1140950 A JP1140950 A JP 1140950A JP 14095089 A JP14095089 A JP 14095089A JP H0243554 A JPH0243554 A JP H0243554A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は恐放射装置の製造方法、より特定的且つ非限定
的には、平版印刷版の作製に用いる感放射版の製造方法
に係る。
的には、平版印刷版の作製に用いる感放射版の製造方法
に係る。
このような感放射装置（放射悪巧装置）は知られており
、感放射層で被覆された基板（例えば金属シート）から
構成される。このような装置を平版印刷版の製版に使用
する際には、惑放射層のある部分には放射が当たり、他
の部分には当たらないように透明画を使用して惑放射層
を放射に暴露する。ネガティブ作動怒放射層の場合、放
射が当たった領域は放射が当たらない領域よりも可溶度
が低くなる。ポジティブ作動感放射層の場合、放射が当
たった領域は放射の当たらない領域よりも可溶度が高く
なる。従って、露光層のうちで可溶度の高いほうの領域
を現像液で処理することにより、これらの領域を基板か
ら選択的に除去し、可溶度が低いほうの領域により構成
される像を形成することができる。この像は最終的な印
刷版の印刷像を構成し、版の非印刷領域は現像後に露出
される基板の表面により構成される。
、感放射層で被覆された基板（例えば金属シート）から
構成される。このような装置を平版印刷版の製版に使用
する際には、惑放射層のある部分には放射が当たり、他
の部分には当たらないように透明画を使用して惑放射層
を放射に暴露する。ネガティブ作動怒放射層の場合、放
射が当たった領域は放射が当たらない領域よりも可溶度
が低くなる。ポジティブ作動感放射層の場合、放射が当
たった領域は放射の当たらない領域よりも可溶度が高く
なる。従って、露光層のうちで可溶度の高いほうの領域
を現像液で処理することにより、これらの領域を基板か
ら選択的に除去し、可溶度が低いほうの領域により構成
される像を形成することができる。この像は最終的な印
刷版の印刷像を構成し、版の非印刷領域は現像後に露出
される基板の表面により構成される。
印刷像及び非印刷領域はほぼ同一平面上にあり、平版印
刷プロセスはインク及び水に対する印刷像及び非印刷領
域の親和性の相違に依存する。印刷像はインクを受は入
れ易く且つ抗水性であり、非印刷領域は水を受は入れ易
く且つインクに反発する。印刷中、版に水を与えると、
水は非印刷領域により受容され、印刷像によりはね返さ
れる。次に、インクが与えられると、インクは湿った非
印刷領域によりはねか返され、印刷像により受容される
。次にインクは印刷像から印刷すべき紙等に転写される
。
刷プロセスはインク及び水に対する印刷像及び非印刷領
域の親和性の相違に依存する。印刷像はインクを受は入
れ易く且つ抗水性であり、非印刷領域は水を受は入れ易
く且つインクに反発する。印刷中、版に水を与えると、
水は非印刷領域により受容され、印刷像によりはね返さ
れる。次に、インクが与えられると、インクは湿った非
印刷領域によりはねか返され、印刷像により受容される
。次にインクは印刷像から印刷すべき紙等に転写される
。
平版印刷版の製造において怒放射層を画像通り露光する
際には、版を露光するために使用される透明画と版自体
の怒放射層との間に良好な接触が生じるようにすること
が不可欠である。接触は焼枠（ｐｒｉｎｔｉｎ）（ｄｏ
ｗｎ ｆｒａｍｅ）を使用し、可撓性バッキング部材と
ガラスシートの間に版及び透明画を配置することにより
得られる。バッキング部材とガラスシートとの間の空気
は排気され、版及び透明体は同時に締め付けられる。プ
ロセスは一般に真空密着（ｖａｃｕｕｍ ｄｒａｗｄｏ
ｗｎ）と呼称されている。
際には、版を露光するために使用される透明画と版自体
の怒放射層との間に良好な接触が生じるようにすること
が不可欠である。接触は焼枠（ｐｒｉｎｔｉｎ）（ｄｏ
ｗｎ ｆｒａｍｅ）を使用し、可撓性バッキング部材と
ガラスシートの間に版及び透明画を配置することにより
得られる。バッキング部材とガラスシートとの間の空気
は排気され、版及び透明体は同時に締め付けられる。プ
ロセスは一般に真空密着（ｖａｃｕｕｍ ｄｒａｗｄｏ
ｗｎ）と呼称されている。
しかしながら、版の感放射層の平滑面と透明画との間に
エアポケットが残置され、必要な接触が得られなくなる
か、あるいは少なくともそのために必要な時間が長くな
る可能性がある。この問題を解決するためには、感放射
層に粗面を与えて通路を形成し、この通路を通ってこの
ようなエアポケットを排気することができる。
エアポケットが残置され、必要な接触が得られなくなる
か、あるいは少なくともそのために必要な時間が長くな
る可能性がある。この問題を解決するためには、感放射
層に粗面を与えて通路を形成し、この通路を通ってこの
ようなエアポケットを排気することができる。
粗面の形成方法については多数の提案がなされており、
この点では英国特許筒１４９５３６１．１５１２０８０
．２０４６４６１及び２０７５７０２号、並びにヨーロ
ッパ特許第２１４２８号を参照されたい。
この点では英国特許筒１４９５３６１．１５１２０８０
．２０４６４６１及び２０７５７０２号、並びにヨーロ
ッパ特許第２１４２８号を参照されたい。
特開昭５１−９８５０５号は、吹き付けた粒子が表面に
残るように感放射層の表面に溶媒液体からワックス状又
は微粉末状樹脂を吹き付ける方法を開示している。
残るように感放射層の表面に溶媒液体からワックス状又
は微粉末状樹脂を吹き付ける方法を開示している。
英国特許第２０４３２８５号は、恐放射層に粉末を吹き
付ける方法を開示しており、英国特許第２０８１９１９
号は、恐放射層に水溶液から水溶性樹脂を吹き付ける方
法を開示している。
付ける方法を開示しており、英国特許第２０８１９１９
号は、恐放射層に水溶液から水溶性樹脂を吹き付ける方
法を開示している。
これらの提案はいずれも真空密着を改良するものである
が、吹き付けた粒子が感放射層に対して接着性を欠き、
あるいは吹き付けた材料が感放射層、もしくは露光後に
感放射層を現像するために通常使用される現像液に対し
て不適合性であるといったような欠点がある。
が、吹き付けた粒子が感放射層に対して接着性を欠き、
あるいは吹き付けた材料が感放射層、もしくは露光後に
感放射層を現像するために通常使用される現像液に対し
て不適合性であるといったような欠点がある。
これらの欠点を解決するために、ヨーロッパ特許第１７
４５８８号は、感放射層と同一の成分を含有する溶液を
恐放射層に吹き付けることにより、感放射層と同一の組
成を有する被覆層を怒放射層の表面に設ける方法を開示
している。このアプローチは改良分与えるが、ＷＯ８７
１０３７０６に詳細に記載されているような欠点は依然
として残り、後者の方法では感放射層よりも恐放射度の
高い不連続被覆層を感放射層に吹き付けている。
４５８８号は、感放射層と同一の成分を含有する溶液を
恐放射層に吹き付けることにより、感放射層と同一の組
成を有する被覆層を怒放射層の表面に設ける方法を開示
している。このアプローチは改良分与えるが、ＷＯ８７
１０３７０６に詳細に記載されているような欠点は依然
として残り、後者の方法では感放射層よりも恐放射度の
高い不連続被覆層を感放射層に吹き付けている。
しかしながら、被覆層の性質に関係なく、不連続層を付
設するために従来の吹き付は方法を使用する場合には固
有の問題がある。従来の吹き１寸は方法では、吹き付け
るべき液体を機械的な力により液滴に分裂（霧状化）さ
せる。機械的な力とは、乱流、ＦｌｖＡ的剪断（回転デ
ィスク／ベル）、あるいは小さいオリフィスを通して高
圧でポンプ吸引（エアレス吹き付け）することなどによ
る流体の膨張であり得る。従来の静電吹き付けは、吹き
付けるべき液体を霧状化するためにこれらの方法の一種
を使用しており、こうして形成された霧状液滴を静電的
に帯電させ、吹き付けるべき加工物を接地してこれを吸
着させ、堆積効率を改良する。これらの機械的吹き付は
方法の問題は、こうして形成された霧状液滴の寸法のば
らつきが大きいことである。例えば空気圧で霧状化した
吹き付は用の霧では、液滴の直径は５〜１００μｍの範
囲であることが測定されている。
設するために従来の吹き付は方法を使用する場合には固
有の問題がある。従来の吹き１寸は方法では、吹き付け
るべき液体を機械的な力により液滴に分裂（霧状化）さ
せる。機械的な力とは、乱流、ＦｌｖＡ的剪断（回転デ
ィスク／ベル）、あるいは小さいオリフィスを通して高
圧でポンプ吸引（エアレス吹き付け）することなどによ
る流体の膨張であり得る。従来の静電吹き付けは、吹き
付けるべき液体を霧状化するためにこれらの方法の一種
を使用しており、こうして形成された霧状液滴を静電的
に帯電させ、吹き付けるべき加工物を接地してこれを吸
着させ、堆積効率を改良する。これらの機械的吹き付は
方法の問題は、こうして形成された霧状液滴の寸法のば
らつきが大きいことである。例えば空気圧で霧状化した
吹き付は用の霧では、液滴の直径は５〜１００μｍの範
囲であることが測定されている。
空中に浮揚する液滴からの溶媒の蒸発速度は、表面績と
体積部ち液滴寸法との比に依存する。直径（球形の液滴
であると仮定する）が２倍になると、この比は５０％減
少する。従って、１０μｍの直径を有する液滴中の溶媒
は、５Ｉの直径を有する液滴の速度の２分の１、及び８
０１１ｍの直径を有する液滴の８倍の速度で蒸発する。
体積部ち液滴寸法との比に依存する。直径（球形の液滴
であると仮定する）が２倍になると、この比は５０％減
少する。従って、１０μｍの直径を有する液滴中の溶媒
は、５Ｉの直径を有する液滴の速度の２分の１、及び８
０１１ｍの直径を有する液滴の８倍の速度で蒸発する。
従って、典型的な吹き付は霜では、溶媒が最小の液滴か
ら蒸発するのにかかる時間と溶媒が最大の液滴から蒸発
するのにかかる時間との間には非常に大きな差がある。
ら蒸発するのにかかる時間と溶媒が最大の液滴から蒸発
するのにかかる時間との間には非常に大きな差がある。
溶媒の蒸発は当然周囲温度及び液滴の通過時間にも依存
する。小さい液滴が装置の表面に到達したときにまだ該
表面に接着するほどに十分な湿潤状態であるようにこれ
らのパラメーターを選択するならば、大きい液滴の湿潤
度は著しく大きいであろう。他方、大きいほうの粒子が
表面に接着するにちょうど十分な湿潤状態となるように
条件を選択するならば、小さい液溶ま完全に乾燥し、表
面に全く接着しなくなってしまう。
する。小さい液滴が装置の表面に到達したときにまだ該
表面に接着するほどに十分な湿潤状態であるようにこれ
らのパラメーターを選択するならば、大きい液滴の湿潤
度は著しく大きいであろう。他方、大きいほうの粒子が
表面に接着するにちょうど十分な湿潤状態となるように
条件を選択するならば、小さい液溶ま完全に乾燥し、表
面に全く接着しなくなってしまう。
これらの状況のどちらでも問題が生じる。大きいほうの
液滴が過度に湿潤し、使用された溶媒が感放射層の溶媒
を兼ねるように吹き付は条件を選択するならば、液滴は
コーティングに浸透し得るだろう。感放射層を溶解しな
い溶媒を使用することによりこの問題を解決することが
できるるか、液滴に溶解した材料と層中の材料との適合
性、また従って層のための現像液との適合性を制限する
ことにより別の問題が生じる。
液滴が過度に湿潤し、使用された溶媒が感放射層の溶媒
を兼ねるように吹き付は条件を選択するならば、液滴は
コーティングに浸透し得るだろう。感放射層を溶解しな
い溶媒を使用することによりこの問題を解決することが
できるるか、液滴に溶解した材料と層中の材料との適合
性、また従って層のための現像液との適合性を制限する
ことにより別の問題が生じる。
小さいほうの液滴が完全に乾燥するように吹き付は条件
を選択するならば、ダス）・処理の問題が生じ、条件に
よってはこのダストは爆発の危険を生じかねない。
を選択するならば、ダス）・処理の問題が生じ、条件に
よってはこのダストは爆発の危険を生じかねない。
本発明は、感放射装置の製造方法を提供するものであり
、この製造方法は、 （ｉ）恐放射層を支持する基板を準備する段階と、（ｉ
ｉ）不連続層を形成するための材料を、１０３〜１０１
０９ｐＳ ’ （好ましくは１０”−１０＠ｐＳｍ−’
）の導電率を有する液体を生成するための溶媒に溶解
させ、液体が液体に作用する他のあらゆる破壊力の不在
下て液滴を形成し、該液滴がその後、怒放射層に堆積さ
れるように、基板に対していずれかの極性の少なくとも
５ｋＶの電位を該液体に直接印加するか又は間接的に誘
導しながら、該液体を感放射層に向かって導くことによ
り、感放射層の表面に不連続被覆層を付設する段階とを
含む。
、この製造方法は、 （ｉ）恐放射層を支持する基板を準備する段階と、（ｉ
ｉ）不連続層を形成するための材料を、１０３〜１０１
０９ｐＳ ’ （好ましくは１０”−１０＠ｐＳｍ−’
）の導電率を有する液体を生成するための溶媒に溶解
させ、液体が液体に作用する他のあらゆる破壊力の不在
下て液滴を形成し、該液滴がその後、怒放射層に堆積さ
れるように、基板に対していずれかの極性の少なくとも
５ｋＶの電位を該液体に直接印加するか又は間接的に誘
導しながら、該液体を感放射層に向かって導くことによ
り、感放射層の表面に不連続被覆層を付設する段階とを
含む。
本製造方法の過程において、液体は１つ以上の液条に引
き伸ばされ、液条は実質的に等しい寸法の液滴に分裂し
、電位差により恣放射層の表面に吸引される。液滴は実
質的に同一寸法を有するので、溶媒の蒸発は、全液滴が
同様の湿潤状態で怒放射層の表面にｆｆ’ｌ達するよう
に制御され得る。
き伸ばされ、液条は実質的に等しい寸法の液滴に分裂し
、電位差により恣放射層の表面に吸引される。液滴は実
質的に同一寸法を有するので、溶媒の蒸発は、全液滴が
同様の湿潤状態で怒放射層の表面にｆｆ’ｌ達するよう
に制御され得る。
本発明の好ｉｎ様によると、印加又は誘導電位は基板に
対していずれか一方の極性の５（好ましくは１０）〜３
５ｋＶである。所与の液体供給量で電位が低過ぎると、
液体を適正に霧状化するに十分な力を生じることができ
ず、液滴寸法のばらつきが大きくなる。電位が高過ぎる
と、液条の先端からコロナ放電が生じ、この場合も液滴
寸法のばらつきが大きくなる。典型的には、液体供給量
は液条あたり０．０５〜２．０ｃｃ／ｍｉｎである。
対していずれか一方の極性の５（好ましくは１０）〜３
５ｋＶである。所与の液体供給量で電位が低過ぎると、
液体を適正に霧状化するに十分な力を生じることができ
ず、液滴寸法のばらつきが大きくなる。電位が高過ぎる
と、液条の先端からコロナ放電が生じ、この場合も液滴
寸法のばらつきが大きくなる。典型的には、液体供給量
は液条あたり０．０５〜２．０ｃｃ／ｍｉｎである。
形成される液滴の寸法は、液体供給量、液体の導電室又
は印加電位といったパラメーターを調節することにより
変えることができる。液体流量を減少し、ｉｒｉ体導電
導電率加又は印加電位を増加すると、液滴寸法は減少す
る。パラメーターの２つ以上を同時に変化させることに
より、液滴寸法を更に大幅に変えることができる。
は印加電位といったパラメーターを調節することにより
変えることができる。液体流量を減少し、ｉｒｉ体導電
導電率加又は印加電位を増加すると、液滴寸法は減少す
る。パラメーターの２つ以上を同時に変化させることに
より、液滴寸法を更に大幅に変えることができる。
不連続被覆層は怒放射材料から形成してもよいし、そう
でなくてもよい。前者の場合、層を形成するために使用
される液体は、例えばナフトキノンジアジドエステルの
ようなキノンジアジドや、本出願人名義のヨーロッパ特
許第００３０８６２号に記載されているようなネガティ
ブ動作ジアゾ樹脂の有機溶媒溶液であり得る。後者の場
合、液体は酢酸ビニル、ビ妄ベルサテート（ｖｉｎｙｌ
ｖｅｒｓａｔａｔｅ）、及びマレイン酸半エステルの
ような樹脂の有機溶媒溶液であり得る。
でなくてもよい。前者の場合、層を形成するために使用
される液体は、例えばナフトキノンジアジドエステルの
ようなキノンジアジドや、本出願人名義のヨーロッパ特
許第００３０８６２号に記載されているようなネガティ
ブ動作ジアゾ樹脂の有機溶媒溶液であり得る。後者の場
合、液体は酢酸ビニル、ビ妄ベルサテート（ｖｉｎｙｌ
ｖｅｒｓａｔａｔｅ）、及びマレイン酸半エステルの
ような樹脂の有機溶媒溶液であり得る。
不連続被覆層を被覆される感放射層は、ノボラック樹脂
及びナフトキノンジアジドエステルを含有する組成物の
ようなポジティブ動作材料、又はヨーロッパ特許第００
３０８６２号に記載されている組成物のようなネガティ
ブ動作材料であり得る。
及びナフトキノンジアジドエステルを含有する組成物の
ようなポジティブ動作材料、又はヨーロッパ特許第００
３０８６２号に記載されている組成物のようなネガティ
ブ動作材料であり得る。
以下、本発明の内容及び実施方法を更によく理解できる
ように、添付図面を参考に本発明の詳細な説明する。
ように、添付図面を参考に本発明の詳細な説明する。
尚、図面中、対応する部分には同様の参照番号を付けた
。
。
まず第１図中、装置は吹き付けるべき液体のための第１
の入口２及び圧縮空気のための第２の入口３を含むスプ
レーヘッド１と備えている。入口２及び３は夫々導管４
及び５に連通しており、該導管の端部は夫々同心円状に
配置された出口６及び７を形成する。ヘッドは、高圧源
に連結された帯電用針８を含む。
の入口２及び圧縮空気のための第２の入口３を含むスプ
レーヘッド１と備えている。入口２及び３は夫々導管４
及び５に連通しており、該導管の端部は夫々同心円状に
配置された出口６及び７を形成する。ヘッドは、高圧源
に連結された帯電用針８を含む。
使用中、液体及び圧縮空気は入口２及び３を通ってヘッ
ドに供給され、出口６及び７を通って排出される。圧縮
空気は出口６及び７の近傍に乱流ゾーンを形成し、液体
を分裂させ、液滴を形成する。針８に上り液適中に静電
荷が誘導され、従って、液滴はこうして静電力により吹
き付けるべき加工物（図示せず）に吸引される。
ドに供給され、出口６及び７を通って排出される。圧縮
空気は出口６及び７の近傍に乱流ゾーンを形成し、液体
を分裂させ、液滴を形成する。針８に上り液適中に静電
荷が誘導され、従って、液滴はこうして静電力により吹
き付けるべき加工物（図示せず）に吸引される。
第２図中、ヘッド１は圧縮空気のための入口を含まない
。この場合、液体は高圧下で入口２に導入され、出口６
は小さい。加圧液体が出口６を通って放出されると、液
体は液滴に分裂する。液滴は針８により静電荷を与えら
れ、静電力により加工物に吸引される。
。この場合、液体は高圧下で入口２に導入され、出口６
は小さい。加圧液体が出口６を通って放出されると、液
体は液滴に分裂する。液滴は針８により静電荷を与えら
れ、静電力により加工物に吸引される。
第３図でも同様に、ヘッド１は圧縮空気の入口を含まな
い。しかしながらこの場合、ヘッドは回転式に装着され
、液体出口６はベル９の中心に配置される。ヘッド１は
高圧電源に連結されており、液体が入口２に導入される
間に高速度（例えば３００００ＲＩ’Ｍ）で回転される
。液体はベル９の縁部に向かって流れ、遠心力により高
剪断作用を受ける。
い。しかしながらこの場合、ヘッドは回転式に装着され
、液体出口６はベル９の中心に配置される。ヘッド１は
高圧電源に連結されており、液体が入口２に導入される
間に高速度（例えば３００００ＲＩ’Ｍ）で回転される
。液体はベル９の縁部に向かって流れ、遠心力により高
剪断作用を受ける。
こうして液体は液滴に分裂し、帯電したベル９と接触す
ることによりｎ；的に帯電され、帯電した液滴は静電力
により加工物に吸引される。
ることによりｎ；的に帯電され、帯電した液滴は静電力
により加工物に吸引される。
第４図中、装置は吹き付けるべき液体の入口２２を有す
る単一の管２１からｔｉｌｔされる。管２１は高圧電源
に連結されている。使用中、液体は管を通って落下し、
管２１に印加さる電位の結果として出口２３の周囲に配
置された複数の液条２４を形成する。
る単一の管２１からｔｉｌｔされる。管２１は高圧電源
に連結されている。使用中、液体は管を通って落下し、
管２１に印加さる電位の結果として出口２３の周囲に配
置された複数の液条２４を形成する。
これらの液条は電位差の影響下で分裂し、実質的に同様
の寸法の帯電液滴の雲を形成し、これらの液滴は静電力
により加工物（図示せず）に吸引される。
の寸法の帯電液滴の雲を形成し、これらの液滴は静電力
により加工物（図示せず）に吸引される。
第５図の装置は、液体用人口３２及び細管針３３の形態
の複数の出口管を含むヘッド３１を備える。ヘッド３１
は高圧電源に連結されており、液体は入口３２を通って
導入される。電位が印加されると、針３３分通って落下
する液体は各社の端部に１本ずつ液条３４を形成し、次
いでこれらの液条は分裂し、実質的に均一の寸法の帯電
した液滴の雲を形成し、該液滴は加工物に吸引される。
の複数の出口管を含むヘッド３１を備える。ヘッド３１
は高圧電源に連結されており、液体は入口３２を通って
導入される。電位が印加されると、針３３分通って落下
する液体は各社の端部に１本ずつ液条３４を形成し、次
いでこれらの液条は分裂し、実質的に均一の寸法の帯電
した液滴の雲を形成し、該液滴は加工物に吸引される。
第６図中、装置は液体の入口４２を含むヘッド４１を備
える。入口４２は導管４３と連通しており、該導管の端
部には出口４４が配置され、高圧電源に連結されたブレ
ード４５が該出口に隣接して配置されている。
える。入口４２は導管４３と連通しており、該導管の端
部には出口４４が配置され、高圧電源に連結されたブレ
ード４５が該出口に隣接して配置されている。
使用中、ヘッド４１に導入された液体は出口４４からブ
レード４５に沿って流出する。ブレードに電位が印加さ
れると、液体からブレード縁部に沿って等間隔に複数の
液条４６を形成する。これらの液条４６は次に電位によ
り分裂し、実質的に均一の寸法の帯電液滴の雪を形成し
、該液滴は次に加工物に吸引される。
レード４５に沿って流出する。ブレードに電位が印加さ
れると、液体からブレード縁部に沿って等間隔に複数の
液条４６を形成する。これらの液条４６は次に電位によ
り分裂し、実質的に均一の寸法の帯電液滴の雪を形成し
、該液滴は次に加工物に吸引される。
以上の説明から明らかなように、従来の静電吹きイ・１
け法は液体を液滴に分割するために何らかの機械的な力
に依存し、中に液滴を加工物に吸引させるために静電力
を使用したが、本発明の方法は液体を液滴に分割するた
めのみならず、液滴を加工物に吸引させるためにも７１
１電力を尼・要とする。
け法は液体を液滴に分割するために何らかの機械的な力
に依存し、中に液滴を加工物に吸引させるために静電力
を使用したが、本発明の方法は液体を液滴に分割するた
めのみならず、液滴を加工物に吸引させるためにも７１
１電力を尼・要とする。
こうして実質的に均一な液滴寸法が得られる。
以下、実施例を説明する。
及五１Ｌ；
ナフトキノンジアジドエステル及びタレゾールノボラッ
ク樹脂を含有する感放射組成物をアルミニウム塞板に被
覆することにより、感放射層を作製した。
ク樹脂を含有する感放射組成物をアルミニウム塞板に被
覆することにより、感放射層を作製した。
外径３．９＋ｎｍ及び内径２．０ｍｍを有する細管を含
む静電噴霧長刀（第４図に概略的に示ず型）を準備し、
感放射層が管の下に配置されるように版を配置した。く
板基板に対して）−２６ｋＶの電位を管に印加し、ナフ
トキノンジアジドエステル３，５％、クレゾールノボラ
ック樹脂３１．５％及び２−エトキシエタノールアセテ
ート６５％から構成される溶液を管に供給した。溶液の
導７ｒ、率は１．２ｘｌＯγｐＳｍ−’であった。
む静電噴霧長刀（第４図に概略的に示ず型）を準備し、
感放射層が管の下に配置されるように版を配置した。く
板基板に対して）−２６ｋＶの電位を管に印加し、ナフ
トキノンジアジドエステル３，５％、クレゾールノボラ
ック樹脂３１．５％及び２−エトキシエタノールアセテ
ート６５％から構成される溶液を管に供給した。溶液の
導７ｒ、率は１．２ｘｌＯγｐＳｍ−’であった。
周囲温度は３５℃であり、管の先端と版の距離は３００
＋ｎｍとした。総流量は０１７５ｅｃ／ｎ＋ｉｎとし、
管の端部に６本の液条が形成された。
＋ｎｍとした。総流量は０１７５ｅｃ／ｎ＋ｉｎとし、
管の端部に６本の液条が形成された。
試験の結果、処理済みの版は、３０〜４０Ｈの直径を有
する感放射粒子から成る不連続被覆層を有しており、感
放射粒子は感放射層に全く浸透していないことが判明し
４す、また、被覆層による版の重量増加は使用した材料
の重量に実質的に等しく、ダス１−は全く堆積されなか
った。
する感放射粒子から成る不連続被覆層を有しており、感
放射粒子は感放射層に全く浸透していないことが判明し
４す、また、被覆層による版の重量増加は使用した材料
の重量に実質的に等しく、ダス１−は全く堆積されなか
った。
真空露光フレームに配置すると、密着時間は未処理版の
半分であることが判明した。
半分であることが判明した。
比較例として、空気圧式噴霧スプレーガンを使用し、て
同一の溶液を別の版に吹き付けた。流量は８ ｃ ｅ
／ ＋ｎ ｉ ｎ、噴霧空気圧力は３５ｐｓｉ、周囲温
度は３５°Ｃ、スプレーガンから版までの距離は３００
ｍｍとした。
同一の溶液を別の版に吹き付けた。流量は８ ｃ ｅ
／ ＋ｎ ｉ ｎ、噴霧空気圧力は３５ｐｓｉ、周囲温
度は３５°Ｃ、スプレーガンから版までの距離は３００
ｍｍとした。
密着時間は同様に未処理版の半分であり、感放射層の浸
透も認められなかったが、粒子の直径は３０〜１４０１
ｍの範囲であり、吹き付は材料固体の２０％しか版上に
存在していないことが判明した。材料の残余は微細なダ
ストとして分布された。
透も認められなかったが、粒子の直径は３０〜１４０１
ｍの範囲であり、吹き付は材料固体の２０％しか版上に
存在していないことが判明した。材料の残余は微細なダ
ストとして分布された。
周囲温度を２０℃とし、ガンと版との距院を２００１に
減少することにより蒸発速度を減少させた以外で゛、同
様の比較試験を行った。
減少することにより蒸発速度を減少させた以外で゛、同
様の比較試験を行った。
密着時間は満足であることが認められ、吹き付けた材料
固体の８０％が版上に堆積された。しがしながら、粒子
の直径は１５〜２００μｍであり、大きい粒子は感放射
層に浸透していることが判明した。
固体の８０％が版上に堆積された。しがしながら、粒子
の直径は１５〜２００μｍであり、大きい粒子は感放射
層に浸透していることが判明した。
別の比較例として、複数の版に同一溶液を吹き付けた。
しかしながら、噴霧システムは第１図に概略的に示した
型の空気圧噴霧静電スプレーガンを使用した。スプレー
ガンの条件は、液体供給量８ｃｃ／ｍｉｎ、噴霧圧力２
５ｐｓｉ及び電圧−３５ｋＶとした。
型の空気圧噴霧静電スプレーガンを使用した。スプレー
ガンの条件は、液体供給量８ｃｃ／ｍｉｎ、噴霧圧力２
５ｐｓｉ及び電圧−３５ｋＶとした。
版は２０及び３５℃の周囲温度で作製した。どちらの渇
きも密着時間は未処理版の半分であり、被覆層による版
の重量増加は吹き付けた材料固体の重量と実質的に同様
であった。
きも密着時間は未処理版の半分であり、被覆層による版
の重量増加は吹き付けた材料固体の重量と実質的に同様
であった。
２０°Ｃで作製した版は１５〜１７０Ｈの直径の粒子を
有しており、最大の粒子は感放射層に浸透していた。
有しており、最大の粒子は感放射層に浸透していた。
３５℃で作製した版は３０〜１１０１ｍの直径の粒子を
存しており、材料の残余は微細なダストとして版表面に
静電的にゆるく接着していた。このダストはその後、版
の処理中にフィルム及び露光フレームに転移し、許容で
きない汚れの問題を生じた。
存しており、材料の残余は微細なダストとして版表面に
静電的にゆるく接着していた。このダストはその後、版
の処理中にフィルム及び露光フレームに転移し、許容で
きない汚れの問題を生じた。
火１」ＬＬ：
スチレン及びアリルアルコールの無水マレイン酸エステ
ル化コポリマー（酸価２０）９０部、ＥＰ−［１−００
３０８６２号に記載されているような４−（Ｎ−エチル
−Ｎヒドロキシエチルアミン）アセトアニリド及びジフ
ェニルメタン４．４−ジイソシアネートをアニオンとし
てのスルボン酸メシチレンと反応させることにより得ら
れる生成物から誘導されるジアゾ化合物３０部、及び４
゜３部のＶｉｃＬｏｒｉａ Ｉ’ｕｒｅ Ｂｌｕｅ Ｆ
ＧΔ企、４２００重量部のエチレングリコールモノメチ
ルエーテルに溶解さぜた。電気１ヒ学的に表面を粒状処
理し、陽極酸化したアルミニウムシートに、得られた溶
液を被覆し、乾燥し、恐放射版を形成した。マニフォル
ドに連結された５本のｈＩ管針（各社は１．７ｍｍの内
径を有する）を含む第５図に概略的に示した型の静電噴
霧装置分準備した。感放射層が針の下に配置されるよう
に感放射版を配置した。
ル化コポリマー（酸価２０）９０部、ＥＰ−［１−００
３０８６２号に記載されているような４−（Ｎ−エチル
−Ｎヒドロキシエチルアミン）アセトアニリド及びジフ
ェニルメタン４．４−ジイソシアネートをアニオンとし
てのスルボン酸メシチレンと反応させることにより得ら
れる生成物から誘導されるジアゾ化合物３０部、及び４
゜３部のＶｉｃＬｏｒｉａ Ｉ’ｕｒｅ Ｂｌｕｅ Ｆ
ＧΔ企、４２００重量部のエチレングリコールモノメチ
ルエーテルに溶解さぜた。電気１ヒ学的に表面を粒状処
理し、陽極酸化したアルミニウムシートに、得られた溶
液を被覆し、乾燥し、恐放射版を形成した。マニフォル
ドに連結された５本のｈＩ管針（各社は１．７ｍｍの内
径を有する）を含む第５図に概略的に示した型の静電噴
霧装置分準備した。感放射層が針の下に配置されるよう
に感放射版を配置した。
（アルミニウムシートに対して） ＋ ３０ｋＶの電位
を針に印加し、９％のＮａｔｉｏｎａｌ ２８−２９６
５と９１％のメチルイソブチルケ１〜ンから構成され且
つ８．５Ｘ １０’ｐＳｍ−’の導電率を有する溶液を
針に供給した。
を針に印加し、９％のＮａｔｉｏｎａｌ ２８−２９６
５と９１％のメチルイソブチルケ１〜ンから構成され且
つ８．５Ｘ １０’ｐＳｍ−’の導電率を有する溶液を
針に供給した。
Ｎａｔｉｏｎａｌ ２８−２９６５はＮａｔｉｏｎａｌ
＾ｄｈｅｓｉｖｅｓ ＆Ｒｅ５ｉｎｓ ＬＬｄから市
販されている酢酸ビニル、ビカ兇ベルサテー１畳ｖｉｎ
ｙｌ ｖｅｒｓａｔａｔｅ）、及びマレイン酸半エステ
ルである。各社の流量は０．２２５ｃｃ／ｍｉｎとし、
周囲温度は２０℃とした。
＾ｄｈｅｓｉｖｅｓ ＆Ｒｅ５ｉｎｓ ＬＬｄから市
販されている酢酸ビニル、ビカ兇ベルサテー１畳ｖｉｎ
ｙｌ ｖｅｒｓａｔａｔｅ）、及びマレイン酸半エステ
ルである。各社の流量は０．２２５ｃｃ／ｍｉｎとし、
周囲温度は２０℃とした。
試裳の結果、処理済み版は５０〜８０１ｍの直径を有す
る粒子から成る不連続被覆層を有することが判明した。
る粒子から成る不連続被覆層を有することが判明した。
被覆層による版の重量増加は吹き付けた溶液の固体含有
量の重量に実質的に等しいことが判明した。
量の重量に実質的に等しいことが判明した。
１克ｉΣ
４−トルエンスルホニルイソシアネートと反応させるこ
とにより修飾したポリ（ビニルブチラル）耐雷（Ｍｏｎ
ｓａｎｔｏ製Ｂｕｔｖａｒ Ｂ９８）（酸価７０）３０
部、ＥＰ−Ｂ−００３０８６２号に記載されているよう
な４（Ｎ−エチル−Ｎヒドロキシエチルアミノ）アセト
アニリド及びイソホロンジイソシアネートをアニオンと
しての２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン−
５−スルボネートと反応させることにより得られる生成
物から誘導されるジアゾ化合物６０部、及び７．０部の
Ｗａｘｏｌｉｎｅ Ｒｅｄ Ｏを、３５００重景部０エ
チレングリコールモノメチルエーテルに溶解させた。電
気化学的に表面を粒状処理し、陽極酸化したアルミニウ
ムシートに、得られた溶液を被覆し、温風で乾燥し、恐
放射版を形成した。金属ブレードを備える静電噴霧装置
（第６図に概略的に示す型）を準備し、感放射層がブレ
ードの下に配置されるように感放射版を配置した。（ア
ルミニウムシーＩ−に対して）−１７ｋＶの電位をブレ
ードに印加し、液体の薄膜をブレードの上に通した。液
体は２５％のＮａｔｉｏｎａ１２８−２９３０及び７５
％のエチル３−エトキシプロピオネートから構成し、０
．９Ｘ １０１０５ｐＳ’の導電率を有するものとした
。 Ｎａｔｉｏｎａｌ ２８−２９３０は酢酸ビニル、
ペルサン酸ビニル、及びクロトン酸から誘導され、１
、１６Ｍｅ／ＦＩの酸価を有するアクリル酸ターポリマ
ーであり、Ｎａｔｉｏｎａｌ Ａｄｈｅｓｉｖｅｓ ＆
Ｒｅ５ｉｎｓ Ｌｔｄ、から市販されている。流量は
ブレード１ｃｍあたり０．１２５ｃｃ／ｍｉｎとし、周
囲温度は３５℃とした。ブレード縁部に沿って６ｍｍ間
隔て液条が形成された。
とにより修飾したポリ（ビニルブチラル）耐雷（Ｍｏｎ
ｓａｎｔｏ製Ｂｕｔｖａｒ Ｂ９８）（酸価７０）３０
部、ＥＰ−Ｂ−００３０８６２号に記載されているよう
な４（Ｎ−エチル−Ｎヒドロキシエチルアミノ）アセト
アニリド及びイソホロンジイソシアネートをアニオンと
しての２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン−
５−スルボネートと反応させることにより得られる生成
物から誘導されるジアゾ化合物６０部、及び７．０部の
Ｗａｘｏｌｉｎｅ Ｒｅｄ Ｏを、３５００重景部０エ
チレングリコールモノメチルエーテルに溶解させた。電
気化学的に表面を粒状処理し、陽極酸化したアルミニウ
ムシートに、得られた溶液を被覆し、温風で乾燥し、恐
放射版を形成した。金属ブレードを備える静電噴霧装置
（第６図に概略的に示す型）を準備し、感放射層がブレ
ードの下に配置されるように感放射版を配置した。（ア
ルミニウムシーＩ−に対して）−１７ｋＶの電位をブレ
ードに印加し、液体の薄膜をブレードの上に通した。液
体は２５％のＮａｔｉｏｎａ１２８−２９３０及び７５
％のエチル３−エトキシプロピオネートから構成し、０
．９Ｘ １０１０５ｐＳ’の導電率を有するものとした
。 Ｎａｔｉｏｎａｌ ２８−２９３０は酢酸ビニル、
ペルサン酸ビニル、及びクロトン酸から誘導され、１
、１６Ｍｅ／ＦＩの酸価を有するアクリル酸ターポリマ
ーであり、Ｎａｔｉｏｎａｌ Ａｄｈｅｓｉｖｅｓ ＆
Ｒｅ５ｉｎｓ Ｌｔｄ、から市販されている。流量は
ブレード１ｃｍあたり０．１２５ｃｃ／ｍｉｎとし、周
囲温度は３５℃とした。ブレード縁部に沿って６ｍｍ間
隔て液条が形成された。
試験の結果、処理済み版は１４０〜１７０１ｍの直径を
有する粒子から構成される不連続被覆層を有していた。
有する粒子から構成される不連続被覆層を有していた。
被覆層による版の重量増加は吹き付けた固体材料の重量
に実質的に等しいことが判明した。
に実質的に等しいことが判明した。
ｌＩｌ上ニ
アクリル樹脂（Ｒｅｓｉｎｏｕｓ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ
、 Ｌｔｃｌ製Ｍａｃｒｙｎａｌ ５Ｎ５１０）３０部
、ＥＰ−８−００３０８６２号に記載されているような
４（Ｎ−エチル−Ｎ−ヒドロキシエチルアミノ）アセｌ
−アニリド及びイソボロンジイソシアネートをアニオン
としての２−ヒドロキシ−４〜メトキシベンゾフェノン
−５−スルホネートと反応させることにより得られる生
成物から誘導されるジアゾ化合物６０部、及び３，５部
のＶｉｃｔｏｒｉａ ＰｕｒｅＢｌｕｅ ＦＧ＾を、３
５００重量部のエチレングリコールモノメチルエーテル
に溶解させた。電気化学的に表面を粒状処理し、陽極酸
化したアルミニウムシートに、得られた溶液を被覆し、
温風で乾燥し、感放射版を作製した。感放射層が実施例
２に記載した静電噴＝装置の下に配置されるように恐放
射版を配置した。（アルミニウムシートに対して）＋２
３ｋＶの電位を細管針に印加し、２５％のＮａｔｉｏｎ
ａｌ ２８２９３０．３７．５％のエチル３−エトキシ
プロピオイ、−１−及び３７．５％のアセトンがら構成
されるコーティング溶液３針に供給した。溶液は、０．
６ｘ １０７ｐＳ＋ｎの導電率を有しており、外針の流
量は０．１５ｃｃ／ｍｉｎであった。周囲温度は２０°
Ｃとした。
、 Ｌｔｃｌ製Ｍａｃｒｙｎａｌ ５Ｎ５１０）３０部
、ＥＰ−８−００３０８６２号に記載されているような
４（Ｎ−エチル−Ｎ−ヒドロキシエチルアミノ）アセｌ
−アニリド及びイソボロンジイソシアネートをアニオン
としての２−ヒドロキシ−４〜メトキシベンゾフェノン
−５−スルホネートと反応させることにより得られる生
成物から誘導されるジアゾ化合物６０部、及び３，５部
のＶｉｃｔｏｒｉａ ＰｕｒｅＢｌｕｅ ＦＧ＾を、３
５００重量部のエチレングリコールモノメチルエーテル
に溶解させた。電気化学的に表面を粒状処理し、陽極酸
化したアルミニウムシートに、得られた溶液を被覆し、
温風で乾燥し、感放射版を作製した。感放射層が実施例
２に記載した静電噴＝装置の下に配置されるように恐放
射版を配置した。（アルミニウムシートに対して）＋２
３ｋＶの電位を細管針に印加し、２５％のＮａｔｉｏｎ
ａｌ ２８２９３０．３７．５％のエチル３−エトキシ
プロピオイ、−１−及び３７．５％のアセトンがら構成
されるコーティング溶液３針に供給した。溶液は、０．
６ｘ １０７ｐＳ＋ｎの導電率を有しており、外針の流
量は０．１５ｃｃ／ｍｉｎであった。周囲温度は２０°
Ｃとした。
試験の結果、処理済み版は８０〜９５１Ｊｍの直径をｈ
″する粒子から構成される不連続被覆層を有することが
判明しな。被覆層による版の重量増加は吹き付けた固体
材料の重量に実質的に等しいことが判明した。
″する粒子から構成される不連続被覆層を有することが
判明しな。被覆層による版の重量増加は吹き付けた固体
材料の重量に実質的に等しいことが判明した。
第１図は従来の空気圧式静電噴霧装置の概略断面図、第
２ＵＡは従来のエアレスｎ；噴霧装置の概略断面図、第
３図は従来の静′；回転ベル噴霧装置の概略断面図、第
４図は本発明の方法を実施する際に使用するのに適当な
第１の装置の概略断面図、第５図は本発明の方法を実施
する際に使用するのに適当な第２の装置の概略断面図、
第６図は本発明の方法を実施する際に使用するのに適当
な第３の装置の概略断面図である。 １．３１．４１・・・・・・スプレーヘッド、２，３，
２２，３２．４２・・・・・・入口、４，５．４３・・
・・・・導管、６，７，２３．４４・・・・・・出口、
８．３３・・・・・・針、９・・・・・・ベル、２４．
４６・・・・・・液条、４５・・・・・・ブレード。 Ｆ／（３，３ Ｆ／６４ °＼ Ｆｌ６ Ｆｌ（３，６ 手続補正書
２ＵＡは従来のエアレスｎ；噴霧装置の概略断面図、第
３図は従来の静′；回転ベル噴霧装置の概略断面図、第
４図は本発明の方法を実施する際に使用するのに適当な
第１の装置の概略断面図、第５図は本発明の方法を実施
する際に使用するのに適当な第２の装置の概略断面図、
第６図は本発明の方法を実施する際に使用するのに適当
な第３の装置の概略断面図である。 １．３１．４１・・・・・・スプレーヘッド、２，３，
２２，３２．４２・・・・・・入口、４，５．４３・・
・・・・導管、６，７，２３．４４・・・・・・出口、
８．３３・・・・・・針、９・・・・・・ベル、２４．
４６・・・・・・液条、４５・・・・・・ブレード。 Ｆ／（３，３ Ｆ／６４ °＼ Ｆｌ６ Ｆｌ（３，６ 手続補正書
Claims (10)
- （１）感放射層を支持する基板を準備し、感放射層の表
面に不連続被覆層を付設することにより、感放射装置を
製造する方法であって、不連続層を形成するための材料
を、１０＾３〜１０＾９ｐＳｍ＾−＾１の導電率を有す
る液体を生成するための溶媒に溶解させ、液体が感放射
層上に堆積される液滴に分裂する１つ以上の液条を形成
するように、基板に対して少なくとも５ｋＶの電位を該
液体に印加又は誘導しながら、該液体を感放射層に向か
って導き、該電位が該液体に作用する唯一の破壊力とな
るようにすることを特徴とする感放射装置の製造方法。 - （２）該液体の導電率が１０＾８ｐＳｍ＾−＾１以下で
あることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。 - （３）電位が５〜３５ｋＶであることを特徴とする請求
項１又は２に記載の製造方法。 - （４）電位が１０ｋＶ以上であることを特徴とする請求
項３に記載の製造方法。 - （５）１つ以上の管に通すことにより液体を感放射層に
向かつて導くことを特徴とする請求項１から４のいずれ
か一項に記載の製造方法。 - （６）ブレード上に通すことにより液体を感放射層に向
かって導くことを特徴とする請求項１から４のいずれか
一項に記載の製造方法。 - （７）流量が液条あたり０．０５〜２．００ｃｃ／ｍｉ
ｎであることを特徴とする請求項１から６のいずれか一
項に記載の製造方法。 - （８）液体が感放射材料の溶液であることを特徴とする
請求項１から７のいずれか一項に記載の製造方法。 - （９）感放射材料がキノンジアジドであることを特徴と
する請求項８に記載の製造方法。 - （１０）液体が樹脂の溶液であることを特徴とする請求
項１から７のいずれか一項に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB888813154A GB8813154D0 (en) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | Improvements in/relating to radiation sensitive devices |
| GB8813154.5 | 1988-06-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243554A true JPH0243554A (ja) | 1990-02-14 |
| JP2761241B2 JP2761241B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=10638008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1140950A Expired - Fee Related JP2761241B2 (ja) | 1988-06-03 | 1989-06-02 | 感放射装置を製造する方法 |
Country Status (19)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5006442A (ja) |
| EP (1) | EP0344985B1 (ja) |
| JP (1) | JP2761241B2 (ja) |
| KR (1) | KR910000359A (ja) |
| AR (1) | AR245830A1 (ja) |
| AT (1) | ATE110176T1 (ja) |
| AU (1) | AU620404B2 (ja) |
| BR (1) | BR8902562A (ja) |
| CA (1) | CA1332214C (ja) |
| DE (1) | DE68917528T2 (ja) |
| DK (1) | DK272489A (ja) |
| ES (1) | ES2057122T3 (ja) |
| FI (1) | FI892676A7 (ja) |
| GB (1) | GB8813154D0 (ja) |
| HU (1) | HUH3517A (ja) |
| NO (1) | NO892262L (ja) |
| NZ (1) | NZ229371A (ja) |
| ZA (1) | ZA894146B (ja) |
| ZW (1) | ZW7389A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH041649A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
| JPH0446342A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
| JPH0446343A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版及びその製造方法 |
| JPH0446341A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性印刷版の製造方法 |
| JP2009059984A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | レジスト塗布装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8926281D0 (en) * | 1989-11-21 | 1990-01-10 | Du Pont | Improvements in or relating to radiation sensitive devices |
| DE4126836A1 (de) * | 1991-08-14 | 1993-02-18 | Hoechst Ag | Strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial aus schichttraeger und positiv arbeitender, strahlungsempfindlicher schicht mit rauher oberflaeche |
| IT1252016B (it) * | 1991-11-28 | 1995-05-27 | Lastra Spa | Metodo ed apparecchiatura per la mattatura di lastre da stampa fotosensibili |
| DE4228344C2 (de) * | 1992-08-26 | 1999-06-10 | Inst Chemo U Biosensorik E V | Verfahren zur Photoresistbeschichtung von mikromechanisch dreidimensional strukturierten Bauteilen in der Mikrostrukturtechnik sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
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