JPH0244075A - セラミック接合体 - Google Patents
セラミック接合体Info
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- JPH0244075A JPH0244075A JP19186188A JP19186188A JPH0244075A JP H0244075 A JPH0244075 A JP H0244075A JP 19186188 A JP19186188 A JP 19186188A JP 19186188 A JP19186188 A JP 19186188A JP H0244075 A JPH0244075 A JP H0244075A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 5
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
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- Ceramic Products (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、セラミック接合体に関し、さらに詳しくは、
熱膨張係数差の大きいフェライトと窒化アルミニウムと
を接合してなる接合体に関するものである。
熱膨張係数差の大きいフェライトと窒化アルミニウムと
を接合してなる接合体に関するものである。
例えば、磁気テープ等の磁気記録媒体からの情報の再生
は、磁気抵抗効果素子によるＭＲ型の薄膜磁気ヘッドが
使用される。
は、磁気抵抗効果素子によるＭＲ型の薄膜磁気ヘッドが
使用される。
この種、薄膜磁気ヘッドの具体例を第４図及び第５図を
参照しながら説明する。同図に示す磁気ヘッド（１）に
於て、（２）はフェライト等からなる磁性体のヘッド基
板、（３）（３）・・・は上記ヘッド基板（２）上にス
パッタリング等により薄膜状に形成した複数の磁気ヘッ
ド素子で、この磁気ヘッド素子（３）は、パーマロイ等
の強磁性体からなる磁気抵抗効果素子（４）と、磁気抵
抗効果素子（４）の両端からヘッド基板（２）の側縁に
延びるＡｕやＣｕ等からなる外部引出し用のリード（５
）（５）とから構成される。上記磁気ヘッド素子（３）
の磁気抵抗効果素子（４）は、テー１摺動而（６）をテ
ープ（図示せず）が走行することにより生じる磁界の変
化を検出し、その磁界の変化に応じて電気抵抗を変化さ
せ、上記テープに磁気記録された情報を再生するもので
ある。（７）は上記ヘッド基板（２）上の少なくとも磁
気ヘッド素子（３）を含む主要部分に被着形成したＡｊ
ｚＯ：＋等の絶縁性の保護膜、（８）は前記保護膜（７
）上の磁気ヘッド素子（３）を含む主要部分に貼着した
フェライト等からなる磁性体の保護板である。上記構成
からなる薄膜磁気ヘッド（１）は、第８図に示すように
、通常、１つのヘッド基板（２）上に複数の磁気ヘッド
素子（３）（３）・・・を整列させて形成したマルチヘ
ッド方式が採用される。
参照しながら説明する。同図に示す磁気ヘッド（１）に
於て、（２）はフェライト等からなる磁性体のヘッド基
板、（３）（３）・・・は上記ヘッド基板（２）上にス
パッタリング等により薄膜状に形成した複数の磁気ヘッ
ド素子で、この磁気ヘッド素子（３）は、パーマロイ等
の強磁性体からなる磁気抵抗効果素子（４）と、磁気抵
抗効果素子（４）の両端からヘッド基板（２）の側縁に
延びるＡｕやＣｕ等からなる外部引出し用のリード（５
）（５）とから構成される。上記磁気ヘッド素子（３）
の磁気抵抗効果素子（４）は、テー１摺動而（６）をテ
ープ（図示せず）が走行することにより生じる磁界の変
化を検出し、その磁界の変化に応じて電気抵抗を変化さ
せ、上記テープに磁気記録された情報を再生するもので
ある。（７）は上記ヘッド基板（２）上の少なくとも磁
気ヘッド素子（３）を含む主要部分に被着形成したＡｊ
ｚＯ：＋等の絶縁性の保護膜、（８）は前記保護膜（７
）上の磁気ヘッド素子（３）を含む主要部分に貼着した
フェライト等からなる磁性体の保護板である。上記構成
からなる薄膜磁気ヘッド（１）は、第８図に示すように
、通常、１つのヘッド基板（２）上に複数の磁気ヘッド
素子（３）（３）・・・を整列させて形成したマルチヘ
ッド方式が採用される。
ところで、上記従来の薄膜磁気ヘッド（１）において、
その磁気抵抗効果素子（４）はテープが走行することに
より生じる磁界の変化に応じて変化する電気抵抗を電圧
の変化として検出するために流し込む電流によって発熱
し、この発熱によって雑音が発生するといった不具合が
発生していた。
その磁気抵抗効果素子（４）はテープが走行することに
より生じる磁界の変化に応じて変化する電気抵抗を電圧
の変化として検出するために流し込む電流によって発熱
し、この発熱によって雑音が発生するといった不具合が
発生していた。
そこで、例えば、上記ヘッド基板（２）に、Ｎｉ−Ｚｎ
フェライトからなる部材と放熱特性の良好な窒化アルミ
ニウムとからなる部材とを接合させた接合体を使用する
ことにより、磁気抵抗効果素子の発熱によって生じる上
述の不具合を解消することが考えられる。
フェライトからなる部材と放熱特性の良好な窒化アルミ
ニウムとからなる部材とを接合させた接合体を使用する
ことにより、磁気抵抗効果素子の発熱によって生じる上
述の不具合を解消することが考えられる。
上記のＮｉ−Ｚｎフェライトと窒化アルミニウムの熱膨
張係数は、夫々に９０Ｘ１０−’／“Ｃ１４７Ｘ １０
− ’／’Ｃであり、両者の熱膨張係数差はおよそ４０
×１０−’／”Ｃであってきわめて大きい。したがって
、フェライトと窒化アルミニウムを直接熱拡散接合する
と、両部材の大きな熱膨張係数差により発生する熱応力
により各部材の接合部付近にクラックが生じる。そのた
め、従来、フェライトと窒化アルミニウムとを直接熱拡
散接合した接合体は存在しなかった。
張係数は、夫々に９０Ｘ１０−’／“Ｃ１４７Ｘ １０
− ’／’Ｃであり、両者の熱膨張係数差はおよそ４０
×１０−’／”Ｃであってきわめて大きい。したがって
、フェライトと窒化アルミニウムを直接熱拡散接合する
と、両部材の大きな熱膨張係数差により発生する熱応力
により各部材の接合部付近にクラックが生じる。そのた
め、従来、フェライトと窒化アルミニウムとを直接熱拡
散接合した接合体は存在しなかった。
本発明は、熱膨張係数差の大きいフェライトと窒化アル
ミニウムとを強固に接合した接合体を提供することを目
的としている。
ミニウムとを強固に接合した接合体を提供することを目
的としている。
本発明は、上記目的を達成するため提案されたもので、
フェライトと窒化アルミニウムとをアルミニウムもしく
はアルミニウム合金からなるインサート材を介して 拡
散接合したものである。
フェライトと窒化アルミニウムとをアルミニウムもしく
はアルミニウム合金からなるインサート材を介して 拡
散接合したものである。
フェライトと窒化アルミニウムとの熱膨張係数差により
発生する熱応力は、両者間に介在させたインサート材で
吸収される。
発生する熱応力は、両者間に介在させたインサート材で
吸収される。
以下本発明に係る接合体（ｌＯ）の実施例を第１図を参
照しながら説明すると次の通りである。図面において、
（１１）はＮｉ−ＺｎもしくはＭｇ−ＺｎフエライＩ・
からなる第１の部材、（１２）は第１の部材（ＩＩ）に
接合され、かつ、放熱特性の良好な窒化アルミニウムか
らなる第２の部材で、両部材（１１） （１２）の対
向する接合面（１３）（１４）は平滑面に形成しである
。（１５）は第１および第２の部材（１１） （１２
）の接合面（１３）（１４）間に介在させたアルミニウ
ム箔からなるインサート材で、このインサート材（１５
）により第１および第２の部材（１１） （１２）を
熱拡散接合しである。したがって、接合後の冷却過程等
において熱膨張係数差により上記両部材（１１）（ｊ２
）の接合部に生じる大きな熱応力は、部材（１１）
（１２）間に介在させたインサート材（１５）で吸収さ
れ、接合部付近にクラック等が生じることかない。
照しながら説明すると次の通りである。図面において、
（１１）はＮｉ−ＺｎもしくはＭｇ−ＺｎフエライＩ・
からなる第１の部材、（１２）は第１の部材（ＩＩ）に
接合され、かつ、放熱特性の良好な窒化アルミニウムか
らなる第２の部材で、両部材（１１） （１２）の対
向する接合面（１３）（１４）は平滑面に形成しである
。（１５）は第１および第２の部材（１１） （１２
）の接合面（１３）（１４）間に介在させたアルミニウ
ム箔からなるインサート材で、このインサート材（１５
）により第１および第２の部材（１１） （１２）を
熱拡散接合しである。したがって、接合後の冷却過程等
において熱膨張係数差により上記両部材（１１）（ｊ２
）の接合部に生じる大きな熱応力は、部材（１１）
（１２）間に介在させたインサート材（１５）で吸収さ
れ、接合部付近にクラック等が生じることかない。
上記接合体（１０）の接合要領を実験例にもとづいて説
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、厚さ１０〜３０
．ｃｓのアルミニウム箔からなるインサート材（１５）
を挟在させたのち、上記第１および第２の部材（１１）
（１２）を、処理雰囲気１０− ’ ｔｏｒｒ、温
度６３０°Ｃの真空炉内で適当な治具によって両側から
加圧した状態で２０分間加熱すると、インサート材（１
５）が第１および第２の部材（１１）（１２）の接合面
（１３） （１４）に熱拡散して、両部材（１１）
（１２）が強固に拡散接合した。
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、厚さ１０〜３０
．ｃｓのアルミニウム箔からなるインサート材（１５）
を挟在させたのち、上記第１および第２の部材（１１）
（１２）を、処理雰囲気１０− ’ ｔｏｒｒ、温
度６３０°Ｃの真空炉内で適当な治具によって両側から
加圧した状態で２０分間加熱すると、インサート材（１
５）が第１および第２の部材（１１）（１２）の接合面
（１３） （１４）に熱拡散して、両部材（１１）
（１２）が強固に拡散接合した。
第２図は本発明に係る接合体（１６）の第２の実施例を
示したものである０本実施例の接合体（１６）は、第１
および第２の部材（１１） （１２）の接合面０３）
（ｔ４）間に、厚さ３０−のアルミニウム箔（１７
）の両面に厚さ３−のチタン膜（１８） （１８）を
スパッタリングにより形成したインサート材（１９）を
介在させ、このインサート材（１９）により第１および
第２の部材（１１）（１２）を熱拡散接合したものであ
る。
示したものである０本実施例の接合体（１６）は、第１
および第２の部材（１１） （１２）の接合面０３）
（ｔ４）間に、厚さ３０−のアルミニウム箔（１７
）の両面に厚さ３−のチタン膜（１８） （１８）を
スパッタリングにより形成したインサート材（１９）を
介在させ、このインサート材（１９）により第１および
第２の部材（１１）（１２）を熱拡散接合したものであ
る。
上記接合体（１６）の接合要領を実験例にもとづいて説
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、上記インサート
材（１９）を挟在させたのち、第１および第２の部材（
１１） （１２）を、処理雰囲気１０− ’ ｔｏｒ
ｒ、温度６７０″Ｃの真空炉内で適当な治具によって両
側から加圧した状態で２０分間加熱すると、インサート
材（１９）が第１および第２の部材（１１） （１２
）の接合面（１３） （１４）に熱拡散して、両部材
（１１） （１２）が強固に拡散接合した。
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、上記インサート
材（１９）を挟在させたのち、第１および第２の部材（
１１） （１２）を、処理雰囲気１０− ’ ｔｏｒ
ｒ、温度６７０″Ｃの真空炉内で適当な治具によって両
側から加圧した状態で２０分間加熱すると、インサート
材（１９）が第１および第２の部材（１１） （１２
）の接合面（１３） （１４）に熱拡散して、両部材
（１１） （１２）が強固に拡散接合した。
第３図は本発明に係る接合体（２０）の第３の実施例を
示したものである０本実施例の接合体（２０）は、第１
および第２の部材（１１） （１２）の接合面（１３
） （１４）間に、アルミニウム合金からなるインサ
ート材（２１）を介在させ、このインサート材（２１）
により第１および第２の部材（１１） （１２）を熱
拡散接合したものである。
示したものである０本実施例の接合体（２０）は、第１
および第２の部材（１１） （１２）の接合面（１３
） （１４）間に、アルミニウム合金からなるインサ
ート材（２１）を介在させ、このインサート材（２１）
により第１および第２の部材（１１） （１２）を熱
拡散接合したものである。
実験例にもとづいて上記接合体（２０）の接合要領を説
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、チタン（Ｔｉ）
を５重量％含んだ厚さ３０−のアルミニウム合金からな
るインサート材（２１）を挟在させたのち、第１および
第２の部材（１１） （１２）を処理雰囲気１０−’
Ｌｏｒｒ、 ’１７４度５８０°Ｃの真空炉内で適当な
治具によって両側から加圧した状態で２０分間加熱する
と、インサート材（２１）が第１および第２の部材（１
１） （１２）の接合面（１３）（１４）に熱拡散し
て、両部材（１１） （１２）が強固に拡散接合した
。
明する。第１および第２の部材（１１）（１２）の対向
する接合面（１３） （１４）間に、チタン（Ｔｉ）
を５重量％含んだ厚さ３０−のアルミニウム合金からな
るインサート材（２１）を挟在させたのち、第１および
第２の部材（１１） （１２）を処理雰囲気１０−’
Ｌｏｒｒ、 ’１７４度５８０°Ｃの真空炉内で適当な
治具によって両側から加圧した状態で２０分間加熱する
と、インサート材（２１）が第１および第２の部材（１
１） （１２）の接合面（１３）（１４）に熱拡散し
て、両部材（１１） （１２）が強固に拡散接合した
。
本発明によれば、熱膨張係数差によりフェライトと窒化
アルミニウムとの接合部で発生する熱応力は両部材間に
介在させたアルミニウムもしくはアルミニウム合金から
なるインサート１４で吸収されるので、各部材の接合部
付近にクラックが生じたり、接合部が剥離したりするこ
とがなく、′強固な接合構造の接合体を得ることができ
る。したがって、本発明の接合体を、例えば、薄膜磁気
ヘッドのヘッド基板に使用すれば、磁気抵抗効果素子の
電気抵抗による発熱はヘッド基板を介して効率的に放熱
され、雑音の発生等の不都合を解消することができる。
アルミニウムとの接合部で発生する熱応力は両部材間に
介在させたアルミニウムもしくはアルミニウム合金から
なるインサート１４で吸収されるので、各部材の接合部
付近にクラックが生じたり、接合部が剥離したりするこ
とがなく、′強固な接合構造の接合体を得ることができ
る。したがって、本発明の接合体を、例えば、薄膜磁気
ヘッドのヘッド基板に使用すれば、磁気抵抗効果素子の
電気抵抗による発熱はヘッド基板を介して効率的に放熱
され、雑音の発生等の不都合を解消することができる。
また、本発明の接合体は構造が簡単であって、製作が容
易であり、製作コストが安い。
易であり、製作コストが安い。
第１ＵＡは本発明に係る接合体の第１の実施例を示す断
面説明図、第２図は第２の実施例を示す断面説明図、第
３図は第３の実施例を示す断面説明図である。 第４図は従来の磁気ヘッドを示す要部拡大斜視図、第５
図は磁気ヘッドの全体斜視図である。 （１１）−一第１の部材、 （１２）−第２の部材、
（１５１−インサート材。
面説明図、第２図は第２の実施例を示す断面説明図、第
３図は第３の実施例を示す断面説明図である。 第４図は従来の磁気ヘッドを示す要部拡大斜視図、第５
図は磁気ヘッドの全体斜視図である。 （１１）−一第１の部材、 （１２）−第２の部材、
（１５１−インサート材。
Claims (1)
- （１）フェライトと窒化アルミニウムとをアルミニウム
もしくはアルミニウム合金からなるインサート材を介し
て熱拡散接合したことを特徴とするセラミック接合体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191861A JP2749070B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | セラミック接合体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191861A JP2749070B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | セラミック接合体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244075A true JPH0244075A (ja) | 1990-02-14 |
| JP2749070B2 JP2749070B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=16281716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191861A Expired - Lifetime JP2749070B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | セラミック接合体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2749070B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195067A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-03 | 新明和工業株式会社 | 拡散接合方法 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63191861A patent/JP2749070B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195067A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-03 | 新明和工業株式会社 | 拡散接合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2749070B2 (ja) | 1998-05-13 |
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